JPH0661696B2 - 揺動式切断装置 - Google Patents
揺動式切断装置Info
- Publication number
- JPH0661696B2 JPH0661696B2 JP60005932A JP593285A JPH0661696B2 JP H0661696 B2 JPH0661696 B2 JP H0661696B2 JP 60005932 A JP60005932 A JP 60005932A JP 593285 A JP593285 A JP 593285A JP H0661696 B2 JPH0661696 B2 JP H0661696B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- cutting
- workpiece
- swing
- oscillating
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
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- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/042—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with blades or wires mounted in a reciprocating frame
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は，例えば硬脆材料に遊離砥粒によるラッピング
切断を施すのに適した切断装置に関する。
切断を施すのに適した切断装置に関する。
代表的なこの種の切断装置としてブレードソーと呼ばれ
るものがある。従来のブレードソーにおいては，切断刃
を有するブレードを左右に水平状態で往復運動させ，そ
の際上方より砥粒を流し，これにより物品を切断してい
る。
るものがある。従来のブレードソーにおいては，切断刃
を有するブレードを左右に水平状態で往復運動させ，そ
の際上方より砥粒を流し，これにより物品を切断してい
る。
しかしながら従来のブレードソーには次の様な欠点があ
る。(a)ブレードの往復運動を案内するためのガイド部
分が必要となり，そのガイド面とブレードとの間の隙間
だけブレードが蛇行することがあるため，切断精度が劣
る。(b)摺動部があるため，その個所へ砥粒が入り，摩
耗を起すことがある。(c)長尺の加工物を切断する時，
摺動部のガイド部が邪魔となり長尺物の切断が出来な
い。(d)ブレードの切断刃に摩耗によりストロークの終
点で段差がつき，それが被加工物の端にカケを生じる原
因となる。
る。(a)ブレードの往復運動を案内するためのガイド部
分が必要となり，そのガイド面とブレードとの間の隙間
だけブレードが蛇行することがあるため，切断精度が劣
る。(b)摺動部があるため，その個所へ砥粒が入り，摩
耗を起すことがある。(c)長尺の加工物を切断する時，
摺動部のガイド部が邪魔となり長尺物の切断が出来な
い。(d)ブレードの切断刃に摩耗によりストロークの終
点で段差がつき，それが被加工物の端にカケを生じる原
因となる。
これらについて第４図及び第５図を用いて説明する。ブ
レード１は水平往復運動をするため，摺動部４とガイド
５を必要とし，したがって被加工物６の長さｌは第５図
からも明らかなようにそれらによって制限される。被加
工物６は油圧又は機構的に加工物ホルダー７を介して上
方へ押し上げられ，ブレード１に接触させられているの
で，ブレード１が被加工物６に常に接触することとな
り，これらの間には隙間が少ないため，砥液の入りが悪
い。又ブレード１に左右動を与えるロッド３はカム機構
（図示省略）により動作されるため，一定長の往復動と
なり，したがってブレード１は第６図の如く段差のつい
た摩耗を生じ，これが被加工物６の両端にカケやチッピ
ングを発生させる原因になる。
レード１は水平往復運動をするため，摺動部４とガイド
５を必要とし，したがって被加工物６の長さｌは第５図
からも明らかなようにそれらによって制限される。被加
工物６は油圧又は機構的に加工物ホルダー７を介して上
方へ押し上げられ，ブレード１に接触させられているの
で，ブレード１が被加工物６に常に接触することとな
り，これらの間には隙間が少ないため，砥液の入りが悪
い。又ブレード１に左右動を与えるロッド３はカム機構
（図示省略）により動作されるため，一定長の往復動と
なり，したがってブレード１は第６図の如く段差のつい
た摩耗を生じ，これが被加工物６の両端にカケやチッピ
ングを発生させる原因になる。
それ故に本発明の目的は，上述した欠点を解消した被加
工物の最終端末に発生しやすいカケ，チッピング及び段
差の発生を防止するとともに，加工精度を向上した揺動
式切断装置を提供することにある。
工物の最終端末に発生しやすいカケ，チッピング及び段
差の発生を防止するとともに，加工精度を向上した揺動
式切断装置を提供することにある。
本発明によれば，砥粒が供給され，被加工物に対して往
復動し，切断するブレードと，前記ブレードを保持する
保持装置とを備えた切断装置において，前記保持装置を
一端に有するとともに前記ブレードが揺動運動可能とな
るように他端を支持された揺動装置と，前記被加工物を
前記ブレードの前記他端から前記一端に向かう方向に供
給する被加工物供給装置とを含み，前記ブレードは前記
揺動装置の揺動中心軸に対して直交する平面内で，前記
揺動運動の軌跡の接線方向に沿う方向に延在しかつ該揺
動中心軸に近い側の端面に切断刃を有しており，該切断
刃は該揺動中心軸を中心とした円弧に沿って形成されて
いることを特徴とする揺動式切断装置が得られる。
復動し，切断するブレードと，前記ブレードを保持する
保持装置とを備えた切断装置において，前記保持装置を
一端に有するとともに前記ブレードが揺動運動可能とな
るように他端を支持された揺動装置と，前記被加工物を
前記ブレードの前記他端から前記一端に向かう方向に供
給する被加工物供給装置とを含み，前記ブレードは前記
揺動装置の揺動中心軸に対して直交する平面内で，前記
揺動運動の軌跡の接線方向に沿う方向に延在しかつ該揺
動中心軸に近い側の端面に切断刃を有しており，該切断
刃は該揺動中心軸を中心とした円弧に沿って形成されて
いることを特徴とする揺動式切断装置が得られる。
第１図及び第２図は本発明による揺動式切断装置の一実
施例を示す。図示の切断装置は，コの字形の揺動装置１
１を含んでいる。揺動装置１１は下端を水平な回転軸１
０によって揺動可能に支持されている。揺動装置１１の
上端（二箇所）には対のブレード保持装置１２が設けら
れている。これらのブレード保持装置１２間に複数枚の
ブレード１３が互いに間隔をおいて平行に保持される。
ブレード保持装置１２は，ブレード１３の張力を調整で
きるように，張力調整ボルト１４を備えている。
施例を示す。図示の切断装置は，コの字形の揺動装置１
１を含んでいる。揺動装置１１は下端を水平な回転軸１
０によって揺動可能に支持されている。揺動装置１１の
上端（二箇所）には対のブレード保持装置１２が設けら
れている。これらのブレード保持装置１２間に複数枚の
ブレード１３が互いに間隔をおいて平行に保持される。
ブレード保持装置１２は，ブレード１３の張力を調整で
きるように，張力調整ボルト１４を備えている。
ブレード１３は従来と同様の材料の帯板にて作られたも
のであり，下端面に切断刃１５を有している。この切断
刃１５は，第３図からもわかるように，回転軸１０を中
心とした円弧に沿って形成されたものである。
のであり，下端面に切断刃１５を有している。この切断
刃１５は，第３図からもわかるように，回転軸１０を中
心とした円弧に沿って形成されたものである。
加工作業に際し，従来同様に被加工物供給装置としての
加工物ホルダー７によって被加工物６を上方へ押し上
げ，ブレード１３の切断刃１５に接触させる。
加工物ホルダー７によって被加工物６を上方へ押し上
げ，ブレード１３の切断刃１５に接触させる。
そして，揺動装置１１を図示しない駆動装置等によって
回転軸１０を中心として，矢印１６，１７で示すように
揺動させる。すると，切断刃１５によって被加工物６が
切断される。
回転軸１０を中心として，矢印１６，１７で示すように
揺動させる。すると，切断刃１５によって被加工物６が
切断される。
なお揺動装置１０の揺動角は，回転軸１０を中心とした
円弧に沿って形成された切断刃１５の両端のなす角度よ
りも十分に大きいことが好ましい。
円弧に沿って形成された切断刃１５の両端のなす角度よ
りも十分に大きいことが好ましい。
上述の構造によると，ブレード１３の蛇行及び切断刃１
５の部分的な摩耗がない。また被加工物６は長さを制限
されることなく，切断後，被加工物を前後に移動するこ
とにより全長に亘り切断が可能となる。さらに第１図の
如く被加工物６とブレード１３との間が空いているた
め，砥液がよく浸透し，したがって切削性がよくなるこ
とが容易に理解される。又ブレード１３の摩耗は第３図
に破線で示すように均一になるため，それによるチッピ
ングも小さいであろう。
５の部分的な摩耗がない。また被加工物６は長さを制限
されることなく，切断後，被加工物を前後に移動するこ
とにより全長に亘り切断が可能となる。さらに第１図の
如く被加工物６とブレード１３との間が空いているた
め，砥液がよく浸透し，したがって切削性がよくなるこ
とが容易に理解される。又ブレード１３の摩耗は第３図
に破線で示すように均一になるため，それによるチッピ
ングも小さいであろう。
次に具体的数値を用い説明する。外径１００mm，長さ８
００mm，のフェライト単結晶を厚さ１mmのウエハーに５
０枚切断した。加工条件は，刃厚０．２mm，往復動平均
スピード毎秒１５０mm，荷重２００gr／刃，砥液ＧＣ＃
３０００，２０％のラッピング溶液を用いた。その結
果，従来の切断装置では，ウエハの厚さ公差±０．２m
m，周辺のチッピングは５０枚中３５枚に最大２０μ発
生したのに対し，本発明による切断装置では，同一条件
で切断した場合，ウエハの厚さのバラツキは±０．１mm
以下，周辺のチッピングは５０枚すべて５μ以下を得
た。
００mm，のフェライト単結晶を厚さ１mmのウエハーに５
０枚切断した。加工条件は，刃厚０．２mm，往復動平均
スピード毎秒１５０mm，荷重２００gr／刃，砥液ＧＣ＃
３０００，２０％のラッピング溶液を用いた。その結
果，従来の切断装置では，ウエハの厚さ公差±０．２m
m，周辺のチッピングは５０枚中３５枚に最大２０μ発
生したのに対し，本発明による切断装置では，同一条件
で切断した場合，ウエハの厚さのバラツキは±０．１mm
以下，周辺のチッピングは５０枚すべて５μ以下を得
た。
以上説明したように，本発明の切断装置によると，ブレ
ードの動きを回転運動に変えたため，摺動部がなく，ブ
レードの蛇行及び砥粒による摩耗の恐れもなく，且つ摺
動部のガイドがないため長尺物の切断も可能である。さ
らにブレードの切断刃が回転軸を半径とした円弧に沿っ
て形成されているため，往復動の終点による摩耗の段差
がなく，均一に摩耗する。被加工物の最終端末に発生し
やすいカケ，チッピング及び段差の発生を防止するとと
もに，加工精度を向上した揺動式切断装置を提供するこ
とができる。
ードの動きを回転運動に変えたため，摺動部がなく，ブ
レードの蛇行及び砥粒による摩耗の恐れもなく，且つ摺
動部のガイドがないため長尺物の切断も可能である。さ
らにブレードの切断刃が回転軸を半径とした円弧に沿っ
て形成されているため，往復動の終点による摩耗の段差
がなく，均一に摩耗する。被加工物の最終端末に発生し
やすいカケ，チッピング及び段差の発生を防止するとと
もに，加工精度を向上した揺動式切断装置を提供するこ
とができる。
第１図は本発明の一実施例の正面図，第２図は同じく上
面図，第３図は同実施例で使用されたブレードの形状を
示す正面図，第４図は従来の切断装置の一例の正面図，
第５図は同じく上面図，第６図は第４図で使用されたブ
レードソーの正面図である。 １０……回転軸，１１……揺動装置，１２……ブレード
保持装置，１３……ブレード，１５……切断刃。
面図，第３図は同実施例で使用されたブレードの形状を
示す正面図，第４図は従来の切断装置の一例の正面図，
第５図は同じく上面図，第６図は第４図で使用されたブ
レードソーの正面図である。 １０……回転軸，１１……揺動装置，１２……ブレード
保持装置，１３……ブレード，１５……切断刃。
Claims (1)
- 【請求項１】砥粒が供給され，被加工物に対して往復動
し，切断するブレードと，前記ブレードを保持する保持
装置とを備えた切断装置において， 前記保持装置を一端に有するとともに前記ブレードが揺
動運動可能となるように他端を支持された揺動装置と， 前記被加工物を前記ブレードの前記他端から前記一端に
向かう方向に供給する被加工物供給装置とを含み， 前記ブレードは前記揺動装置の揺動中心軸に対して直交
する平面内で，前記揺動運動の軌跡の接線方向に沿う方
向に延在しかつ該揺動中心軸に近い側の端面に切断刃を
有しており，該切断刃は該揺動中心軸を中心とした円弧
に沿って形成されていることを特徴とする揺動式切断装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005932A JPH0661696B2 (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 揺動式切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005932A JPH0661696B2 (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 揺動式切断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61168465A JPS61168465A (ja) | 1986-07-30 |
| JPH0661696B2 true JPH0661696B2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=11624666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60005932A Expired - Lifetime JPH0661696B2 (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 揺動式切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0661696B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5834752A (ja) * | 1981-04-06 | 1983-03-01 | Hitachi Ltd | ブレ−ドを用いた研削または研磨加工方法及びその装置 |
-
1985
- 1985-01-18 JP JP60005932A patent/JPH0661696B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61168465A (ja) | 1986-07-30 |
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