JPS61168465A - 揺動式切断装置 - Google Patents
揺動式切断装置Info
- Publication number
- JPS61168465A JPS61168465A JP593285A JP593285A JPS61168465A JP S61168465 A JPS61168465 A JP S61168465A JP 593285 A JP593285 A JP 593285A JP 593285 A JP593285 A JP 593285A JP S61168465 A JPS61168465 A JP S61168465A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- cutting
- work
- cutter
- central axis
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- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/042—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with blades or wires mounted in a reciprocating frame
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は１例えば硬脆材料に遊離砥粒によるラッピング
切断を施すのに適した切断装置に関する。
切断を施すのに適した切断装置に関する。
代表的なこの種の切断装置としてブレードソーと呼ばれ
るものがある。従来のブレードノーにおいては、切断刃
を有するブレードを左右に水平状態で往復運動させ、そ
の際上方より砥粒を流し。
るものがある。従来のブレードノーにおいては、切断刃
を有するブレードを左右に水平状態で往復運動させ、そ
の際上方より砥粒を流し。
これにより物品を切断している。
しかしながら従来のブレードソーには次の様な欠点があ
る。（、）ブレードの往復運動を案内するだめのガイド
部分が必要となり、そのガイド面とブレードとの間の隙
間だけブレードが蛇行することがあるため、切断精度が
劣る。（ｂ）摺動部があるため、その個所へ砥粒が入り
、摩耗を起すことがある。（ｃ）長尺の加工物を切断す
る時、摺動部のガイド部が邪魔となり長尺物の切断が出
来ない。（ｄ）ブレードの切断刃に摩耗によりストロー
クの終点で段差がつき、それが被加工物の端にカケを生
じる原因となる。
る。（、）ブレードの往復運動を案内するだめのガイド
部分が必要となり、そのガイド面とブレードとの間の隙
間だけブレードが蛇行することがあるため、切断精度が
劣る。（ｂ）摺動部があるため、その個所へ砥粒が入り
、摩耗を起すことがある。（ｃ）長尺の加工物を切断す
る時、摺動部のガイド部が邪魔となり長尺物の切断が出
来ない。（ｄ）ブレードの切断刃に摩耗によりストロー
クの終点で段差がつき、それが被加工物の端にカケを生
じる原因となる。
これらについて第４図及び第５図を用いて説明する。ブ
レード１は水平往復運動をするため、摺動部４とガイド
５を必要とし、したがって被加工物６の長さｔは第５図
からも明らかなようにそれらによって制限される。被加
工物６は油圧又は機構的に加工物ホルダー７を介して上
方へ押し上げられ、ブレード１に接触させられているの
で、ブレード１が被加工物６に常に接触することとなり
。
レード１は水平往復運動をするため、摺動部４とガイド
５を必要とし、したがって被加工物６の長さｔは第５図
からも明らかなようにそれらによって制限される。被加
工物６は油圧又は機構的に加工物ホルダー７を介して上
方へ押し上げられ、ブレード１に接触させられているの
で、ブレード１が被加工物６に常に接触することとなり
。
これらの間には隙間が少ないため、砥液の入りが悪い。
又ブレード１に左右動を与えるロッド３はカム機構（図
示省略）により動作されるだめ、一定長の往復動とな９
．したがってブレード１は第６図の如く段差のついた摩
耗を生じ、これが被加工物６の両端にカケやチッピング
を発生させる原因になる。
示省略）により動作されるだめ、一定長の往復動とな９
．したがってブレード１は第６図の如く段差のついた摩
耗を生じ、これが被加工物６の両端にカケやチッピング
を発生させる原因になる。
それ故に本発明の目的は、上述した欠点を解消した揺動
式切断装置を提供することにある。
式切断装置を提供することにある。
〔問題点を解決するだめの手段及び作用〕本発明によれ
ば、一端を中心として揺動可能に支持された揺動装置と
、該揺動装置の他端に設けられたブレード保持装置と、
該ブレード保持装置に保持されたブレードとを含み、該
ブレードは上記揺動装置の揺動中心軸に対し直交する平
面内で接線方向に延在しかつ該揺動中心軸に近い側の端
面に切断刃を有しており、該切断刃は該揺動中心軸を中
心とした円弧に沿って形成されていることを特徴とする
揺動式切断装置が得られる。
ば、一端を中心として揺動可能に支持された揺動装置と
、該揺動装置の他端に設けられたブレード保持装置と、
該ブレード保持装置に保持されたブレードとを含み、該
ブレードは上記揺動装置の揺動中心軸に対し直交する平
面内で接線方向に延在しかつ該揺動中心軸に近い側の端
面に切断刃を有しており、該切断刃は該揺動中心軸を中
心とした円弧に沿って形成されていることを特徴とする
揺動式切断装置が得られる。
第１図及び第２図は本発明による揺動式切断装置の一実
施例を示す。図示の切断装置は、コの字形の揺動装置１
１を含んでいる。揺動装置１１は下端を水平な回転軸１
０によって揺動可能に支持されている。揺動装置１１の
上端（三箇所）には対のブレード保持装置１２が設けら
れている。これらのブレード保持装置１２間に複数枚の
ブレード１３が互いに間隔をおいて平行に保持される。
施例を示す。図示の切断装置は、コの字形の揺動装置１
１を含んでいる。揺動装置１１は下端を水平な回転軸１
０によって揺動可能に支持されている。揺動装置１１の
上端（三箇所）には対のブレード保持装置１２が設けら
れている。これらのブレード保持装置１２間に複数枚の
ブレード１３が互いに間隔をおいて平行に保持される。
ブレード保持装置１２は、ブレード１３の張力を調整で
きるように、張力調整ボルト１４を備えている。
きるように、張力調整ボルト１４を備えている。
グレード１３は従来と同様な材料の帯板にて作られたも
のでちり、下端面に切断刃１５を有している。この切断
刃１５は、第３図からもわかるように１回転軸１０を中
心とした円弧に沿って形成されたものである。
のでちり、下端面に切断刃１５を有している。この切断
刃１５は、第３図からもわかるように１回転軸１０を中
心とした円弧に沿って形成されたものである。
加工作業に際し、従来同様に加工物ホルダー７によって
被加工物６を上方へ押し上げ、ブレード１３の切断刃１
５に接触させる。
被加工物６を上方へ押し上げ、ブレード１３の切断刃１
５に接触させる。
そして、揺動装置１１を図示しない、駆動装置等によっ
て回転軸１０を中心として、矢印１６゜１７で示すよう
に揺動させる。すると、切断刃１５によって被加工物６
が切断される。
て回転軸１０を中心として、矢印１６゜１７で示すよう
に揺動させる。すると、切断刃１５によって被加工物６
が切断される。
なお揺動装置１１の揺動角は１回転軸１０を中心とし尼
円弧に沿って形成された切断刃１５の両端のなす角度よ
シも十分に大きいことが好ましい。
円弧に沿って形成された切断刃１５の両端のなす角度よ
シも十分に大きいことが好ましい。
上述の構造によると、ブレード１３の蛇行及び切断刃１
５の部分的な摩耗がない。また被加工物６は長さを制限
されることなく、切断後、被加工物を前後に移動するこ
とによシ全長に亘り切断が可能となる。さらに第１図の
如く被加工物６とブレード１３との間が空いているだめ
、砥液がよく浸透し、したがって切削性がよくなること
が容易に理解される。又ブレード１３の摩耗は第３図に
破線で示すように均一になるため、それによるチッピン
グも小さいであろう。
５の部分的な摩耗がない。また被加工物６は長さを制限
されることなく、切断後、被加工物を前後に移動するこ
とによシ全長に亘り切断が可能となる。さらに第１図の
如く被加工物６とブレード１３との間が空いているだめ
、砥液がよく浸透し、したがって切削性がよくなること
が容易に理解される。又ブレード１３の摩耗は第３図に
破線で示すように均一になるため、それによるチッピン
グも小さいであろう。
次に具体的数値を用い説明する。外径１００ ｔａｎ
。
。
長さ８００ ｗｍ 、のフェライト単結晶を厚さ１ｍｍ
のウェハーに５０枚切断した。加工条件は、刃厚０、２
ｍ 、往復動平均スピード毎秒１５０ ｗａｎ 、荷
重２００ｇｒ／刃、砥液ＧＯす３０００，２０％のラッ
ピング溶液を用いた。その結果、従来の切断装置では、
ウェハの厚さ公差±０．２ ｔａｎ 、周辺のチッピン
グは５０枚中３５枚に最大２０μ発生したのに対し。
のウェハーに５０枚切断した。加工条件は、刃厚０、２
ｍ 、往復動平均スピード毎秒１５０ ｗａｎ 、荷
重２００ｇｒ／刃、砥液ＧＯす３０００，２０％のラッ
ピング溶液を用いた。その結果、従来の切断装置では、
ウェハの厚さ公差±０．２ ｔａｎ 、周辺のチッピン
グは５０枚中３５枚に最大２０μ発生したのに対し。
本発明による切断装置では、同一条件で切断した場合、
ウェハの厚さのバラツキは±０．１問以下。
ウェハの厚さのバラツキは±０．１問以下。
周辺のチッピングは５０枚すべて５μ以下を得た。
以上実施例を用いて説明したように１本発明の切断装置
によると、ブレードの動きを回転運動に変えたため、摺
動部がなく、ブレードの蛇行及び砥粒による摩耗の恐れ
もなく、且つ摺動部のガイドがないため長尺物の切断も
可能である。さらにプＶ−ドの切断刃が回転軸を半径と
した円弧に沿って形成されているため、往復動の終点に
よる摩耗の段差がなく、均一に摩耗する。
によると、ブレードの動きを回転運動に変えたため、摺
動部がなく、ブレードの蛇行及び砥粒による摩耗の恐れ
もなく、且つ摺動部のガイドがないため長尺物の切断も
可能である。さらにプＶ−ドの切断刃が回転軸を半径と
した円弧に沿って形成されているため、往復動の終点に
よる摩耗の段差がなく、均一に摩耗する。
第１図は本発明の一実施例の正面図、第２図は同じく上
面図、第３図は同実施例で使用されたブレードの形状を
示す正面図、第４図は従来の切断装置の一例の正面図、
第５図は同じく上面図、第６図は第４図で使用されたブ
レードノーの正面図である。 １０・・・回転軸、１１・・・揺動装置、１２・・・ブ
レード保持装置、１３・・・ブレード、１５・・・切断
刃。
面図、第３図は同実施例で使用されたブレードの形状を
示す正面図、第４図は従来の切断装置の一例の正面図、
第５図は同じく上面図、第６図は第４図で使用されたブ
レードノーの正面図である。 １０・・・回転軸、１１・・・揺動装置、１２・・・ブ
レード保持装置、１３・・・ブレード、１５・・・切断
刃。
Claims (1)
- １、一端を中心として揺動可能に支持された揺動装置と
、該揺動装置の他端に設けられたブレード保持装置と、
該ブレード保持装置に保持されたブレードとを含み、該
ブレードは上記揺動装置の揺動中心軸に対し直交する平
面内で接線方向に延在しかつ該揺動中心軸に近い側の端
面に切断刃を有しており、該切断刃は該揺動中心軸を中
心とした円弧に沿って形成されていることを特徴とする
揺動式切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005932A JPH0661696B2 (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 揺動式切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005932A JPH0661696B2 (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 揺動式切断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61168465A true JPS61168465A (ja) | 1986-07-30 |
| JPH0661696B2 JPH0661696B2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=11624666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60005932A Expired - Lifetime JPH0661696B2 (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 揺動式切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0661696B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5834752A (ja) * | 1981-04-06 | 1983-03-01 | Hitachi Ltd | ブレ−ドを用いた研削または研磨加工方法及びその装置 |
-
1985
- 1985-01-18 JP JP60005932A patent/JPH0661696B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5834752A (ja) * | 1981-04-06 | 1983-03-01 | Hitachi Ltd | ブレ−ドを用いた研削または研磨加工方法及びその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0661696B2 (ja) | 1994-08-17 |
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