JPH0663254U - 非接触式チャック装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構造でもって、ワークのチャッキング
を短時間で行えるようにする。 【構成】 チャック本体２の空気噴出孔２ｂを通じて、
空気をワークＷの下面に対して供給する。それによっ
て、ワークＷをチャック本体２に対して浮上させた非接
触状態でワークＷを、短時間でチャッキングすることが
できる。ワークＷを、その内周部においてストッパ部３
によって拘束する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ワークの下面に対して流体を噴出させてワークをチャッキングする 非接触式チャック装置に関する。主としてＩＣ用ウエハ、磁気ディスク等、異物 の付着、傷や塵埃の発生を嫌うハンドリングのチャックに用いる。

【０００２】

【従来の技術】

ＩＣ用ウエハ、磁気ディスク等は、製造工程での異物の付着を嫌うため、その 搬送時にチャック装置により非接触状態で保持して搬送することが一般に行われ ている。

【０００３】 このような非接触式チャック装置としては、例えば特開平４−１９９７３２号 公報に記載されるように、ワーク保持中心に対し開閉可能に配設された少なくと も２つの爪と、該爪より突設されワーク保持中心側に向かって延びる受台と、気 体供給源から供給される気体を吐出する気体吐出部を有し、各爪の閉じ位置で、 気体吐出部から吐出される気体により、爪内面と該爪内面に対向するワーク外側 面との間、及び受台上面と該受台上面に対向するワークの下向き面との間にそれ ぞれ気体膜を生成して、ワークを受台上に浮き上がらせる気体膜生成手段とを備 えるものが知られている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、そのようなものでは、構造が複雑で、かつワークを挾むためにワー クのロード、アンロードにかなりの時間を要していた。また、開閉動する爪等の 可動部の潤滑剤が飛散し、ワークが汚れるという問題があり、真空中での使用も 困難であった。

【０００５】 本考案は、構造が簡単で、ワークのチャッキングが短時間で行える非接触式チ ャック装置を提供するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は、ワークの下面に対して流体を噴出させてワークをチャッキングする 非接触式チャック装置を前提とする。

【０００７】 そして、請求項１の考案は、複数個の流体噴出孔を有するプレート状のチャッ ク本体と、該チャック本体の流体噴出孔に流体を供給する流体供給手段と、上記 チャック本体に配設されワークの内周部又は外周部を拘束するストッパ部とを備 える構成とする。

【０００８】 請求項２の考案においては、ストッパ部は、ワークの内周部又は外周部に対向 する部位に流体噴出孔が設けられている。

【０００９】

【作用】

請求項１の考案によれば、チャック本体の流体噴出孔を通じて供給される流体 によって非接触状態でワークが保持され、ワークは、その内周部又は外周部がス トッパ部によって拘束される。

【００１０】 請求項２の考案によれば、ストッパ部の流体噴出孔からの流体の噴出により、 ワークはストッパ部とも非接触状態となる。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に沿って詳細に説明する。

【００１２】 図１及び図２において、１は中空円板形状のワークＷの下面に対して流体を噴 出させてチャッキングする非接触式チャック装置で、プレート状のチャック本体 ２を有する。

【００１３】 チャック本体２は、ワークＷの両側部に対応する側板部２Ａ，２Ａと、該側板 部２Ａの略２倍の厚さで両側板部２Ａ，２Ａを連結する連結部２Ｂとを有する。 連結部２Ｂには、２つの給気孔２ａ，２ａが開孔され、該各給気孔２ａ，２ａは 、各側板部２Ａ，２Ａの中央付近に位置する２つの空気噴出孔２ｂ，２ｂ，２ｂ ，２ｂに通路２ｃ，２ｃを通じて連通されている。そして、各給気孔２ａ，２ａ には、チャック本体２の空気噴出孔２ｂに空気を供給する流体供給手段としての エアポンプ（図示せず）が連係されている。

【００１４】 また、上記各側板部２Ａ，２Ａには、空気噴出孔２ｂが開孔する側の面に、ワ ークＷの外周面Ｗ1 を拘束する断面三角形状のストッパ部３，３，３，３が配設 されている。

【００１５】 よって、上記非接触式チャック装置１のチャック本体２は、例えば産業ロボッ トのアームの先端に固設され、台上（図示せず）に置かれたワークＷの下面側に 挿入され、該ワークＷをすくい上げてワークＷを非接触チャッキングする。即ち 、すくい上げた状態において、空気噴出孔２ｂ，２ｂ，２ｂ，２ｂから空気を噴 出することで、ワークＷを浮上させてチャッキングする。

【００１６】 このようにすれば、従来の非接触式チャック装置のようにワーク保持中心に対 し開閉可能に配設された少なくとも２つの爪等が不要になったことから、構造が シンプルになり、可動部の潤滑剤によりワークが汚れるという問題がなくなり、 タクト時間の短縮等が改良される。

【００１７】 また、真空中での使用も容易となる。即ち、真空中で使用する場合は、非接触 式チャック装置１を真空チャンバ内に配置すると共に、真空ポンプでチャンバ内 を排気しながら、外部より非接触式チャック装置１に給気量を絞って給気すれば よい。

【００１８】 上記実施例では、ワークＷの外周部を拘束する４つの断面三角形状のストッパ 部３，３，３，３を採用しているが、それに代えて、図３及び図４に示すように 、ワークＷの外周部を拘束するリング状のストッパ部５を用いて、非接触式チャ ック装置１Ａを構成することもできる。

【００１９】 また、上記実施例では、空気噴出孔の数を４つとしているが、図５に示すよう に、チャック本体１１の両側板部１１Ａ，１１Ａを連結部１１Ｂ側で連接する連 接部１１Ｃを設け、各側板部１１Ａ，１１Ａ及び連接部１１Ｃにそれぞれ１つづ つ空気噴出孔１１ａ，１１ａ，１１ａを設け、該各空気噴出孔１１ａ，１１ａ， １１ａに通路１１ｂ，１１ｂ，１１ｂを介して連通される給気孔１１ｃ，１１ｃ ，１１ｃを連結部１１Ｂに設けて、非接触式チャック装置１Ｂを構成することも できる。

【００２０】 さらに、図６及び図７に示すように、ワークＷの内周面Ｗ2 を拘束するストッ パ部を用いることもできる。即ち、チャック本体２１を、基板部２１Ａと、該基 板部２１Ａよりも板厚が厚い支持板部２１Ｂとで構成し、上記基板部２１Ａの略 中央部にワークＷの内周面（中心孔）に係合する筒状のストッパ部２２を固着す る。そして、ストッパ部２２の周囲に４つの空気噴出孔２１ａ，２１ａ，２１ａ ，２１ａが形成され、該各空気噴出孔２１ａ，２１ａ，２１ａ，２１ａが、通路 ２１ｂ，２１ｂを通じて、支持板部２１Ｂに形成した給気孔２１ｃ，２１ｃに連 通されて、非接触式チャック装置１Ｃが構成されている。

【００２１】 また、図８に示すように、ストッパ部の、ワークＷの内周部又は外周部に対向 する部位に空気噴出孔を設けるようにすることもできる。即ち、非接触式チャッ ク装置１Ｄにおいて、チャック本体３１の各側板部３１Ａ，３１ＡにワークＷの 外周面に対応した湾曲面３２ａ，３２ａを有するストッパ部３２，３２を設け、 該各湾曲面３２ａに開孔する空気噴出孔３２ｂ，３２ｂを設けている。そして、 空気噴出孔３２ｂ，３２ｂ，３２ｂ，３２ｂに、通路３２ｃ，３２ｃを通じて給 気孔３２ｄ，３２ｄより空気を供給するようになっている。チャック本体３１の 側板部３１Ａには、図１に示す構造と同様に、噴出孔３１ａ，３１ａ，３１ａ， ３１ａが形成され、通路３１ｂ，３１ｂを通じて、連結部３１Ｂの給気孔３１ｃ ，３１ｃに連通されている。

【００２２】 よって、エアポンプにより、連結部３１Ｂの給気孔３１ｃ，３１ｃ，３２ｄ， ３２ｄ、通路３１ｂ，３１ｂ，３２ｃ，３２ｃを通じて、ワークＷの下側に空気 を噴出する側板部３１Ａ，３１Ａの空気噴出孔３１ａ，３１ａ，３１ａ，３１ａ 及びワークＷの外周面に空気を噴出するストッパ部３２，３２の空気噴出孔３２ ｂ，３２ｂ，３２ｂ，３２ｂに空気が供給され、完全に非接触状態でチャッキン グすることができる。

【００２３】

【考案の効果】

請求項１の考案は上記のように構成したから、チャック本体の流体噴出孔を通 じて供給される流体によって非接触状態でワークを保持し、ワークの内周部又は 外周部をストッパ部によって拘束するようにしたので、簡単な構造で、ワークを 短時間でチャッキングすることができる。また、可動部分が必要ないので、特別 な潤滑が不要となり、真空中での使用も可能となる。

【００２４】 請求項２の考案は、ストッパ部の流体噴出孔からの流体の噴出により、ワーク は、チャック本体だけでなく、ストッパ部とも非接触状態となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の平面図である。

【図２】同側面図である。

【図３】ストッパ部の変形例の図１と同様の図である。

【図４】同側面図である。

【図５】空気噴出孔を少なくした実施例の図１と同様の
図である。

【図６】ストッパ部がワークの内周部を拘束する実施例
の図１と同様の図である。

【図７】同側面図である。

【図８】ストッパ部に空気噴出孔を設けた実施例の図１
と同様の図である。

【符号の説明】

1 非接触式チャック装置 1A 非接触式チャック装置 1B 非接触式チャック装置 1C 非接触式チャック装置 1D 非接触式チャック装置 2 チャック本体 2b 空気噴出孔（流体噴出孔） 3 ストッパ部 5 ストッパ部 11 チャック本体 11a 空気噴出孔（流体噴出孔） 21 チャック本体 21a 空気噴出孔（流体噴出孔） 31 チャック本体 31a 空気噴出孔 32 ストッパ部 32b 空気噴出孔（流体噴出孔）

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークの下面に対して流体を噴出させて
   ワークをチャッキングする非接触式チャック装置であっ
   て、 複数個の流体噴出孔を有するプレート状のチャック本体
   と、 該チャック本体の流体噴出孔に流体を供給する流体供給
   手段と、 上記チャック本体に配設されワークの内周部又は外周部
   を拘束するストッパ部とを備えることを特徴とする非接
   触式チャック装置。
2. 【請求項２】 ストッパ部は、ワークの内周部又は外周
   部に対向する部位に流体噴出孔が設けられているところ
   の請求項１記載の非接触式チャック装置。