JPH0663292U - ハンドリング装置のハンド部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 構造が簡単であり、かつ効率を向上させるこ
とができるハンドリング装置のハンド部材を提供する。 【構成】 ハンドリング装置は、真空ポンプと電磁弁と
ハンド部材３とからなる。真空ポンプとハンド部材３と
の間は電磁弁を介して配管する。ハンド部材３は、本体
ブロック４とポペット弁９とで構成する。本体ブロック
４は、吸着口７を有するマニホールドである。ポペット
弁９は、スプリング１１で付勢されて吸着口７を開閉す
る弁体８を有する。弁体８は突出部８ａを有し、この突
出部８ａをダイアフラム１８に押し付けると、ダイアフ
ラム１８が吸着口７に吸着される。こののち、電磁弁を
閉じると、スプリング１１の付勢力でダイアフラム１８
が脱落する。本体ブロック４にハンドユニットを連結す
ると、吸着口７を増設することができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案はハンドリング装置のハンド部材に関し、特に、ワークを移動させる 際に使用するハンドリング装置において用いられ、ワークの着脱を行うハンド部 材に関するものである。

【０００２】

【従来の技術およびその問題点】

従来、例えば圧力センサ等に使用されるダイアフラムのような小径ワークを取 扱う際には、作業者自身の手で直接作業したり、あるいはワークを吸着可能なハ ンド部材を有するハンドリング装置で機械的に作業したりする方法が既に知られ ている。そして、例えばパレット状の台の上に並べられた複数のワークを別のパ レットに移し変えるような作業をするときには、手作業で行う場合では、ピンセ ットでパレット上のワークを１つずつ摘んで移し変えるようにするが、この場合 、手作業で１つずつ移し変える作業なので、非常に面倒であるうえ時間もかかる ため、従って、ハンドリング装置を使用して機械的に移し変え作業を行うのが最 近の主流となってきている。

【０００３】 ここで、従来より知られている一般的なハンドリング装置を図１２に示す。 すなわち、図１２に示してあるハンドリング装置は、複数のハンドユニット５ ６で形成したハンド部材４３と、このハンド部材４３に負圧力を供給する圧力供 給源である真空ポンプ４１と、この真空ポンプ４１からハンド部材４３に至る流 路を開閉する第１の電磁弁４２とを具え、ハンド部材４３のハンドユニット５６ は、真空ポンプ４１から供給される負圧力で小径ワークであるダイアフラム５８ の吸着を可能とする真空パッド４７と、前記第１の電磁弁４２から真空パッド４ ７に至る流路を開閉する第２の電磁弁４９とで形成したもので、第１および第２ の電磁弁４２、４９の開閉操作によりダイアフラム５８を着脱するようにしてい る。

【０００４】 図１２において、圧力供給源である真空ポンプ４１は、ポンプの駆動により真 空状態を形成して負圧力を発生させるもので、配管部材６１を介して後述するハ ンド部材４３に接続され、これにより、真空ポンプ４１の負圧力が配管部材６１ を通ってハンド部材４３に供給されるようにしている。

【０００５】 真空ポンプ４１とハンド部材４３との間を接続する配管部材６１の途中には第 １の電磁弁４２を介在させてあり、真空ポンプ４１からハンド部材４３に至る負 圧力の流路が第１の電磁弁４２で開閉される。

【０００６】 ハンド部材４３は、真空パッド４７（図中の４７ａ、４７ｂ）と第２の電磁弁 ４９（図中の４９ａ、４９ｂ）とで形成される複数のハンドユニット５６（図中 の５６ａ、５６ｂ）で構成される。この各ハンドユニット５６の一方を形成する 真空パッド４７は、下方に開口する吸着口を有するとともに、その吸着口の周辺 部には環状の吸着面が形成されていて、この吸着面に、小径ワークであるダイア フラム５８が密着可能となっている。ここで、真空パッド４７に吸着可能なダイ アフラム５８は、例えば図１３に示すように、一方の端面の中央部に開口する凹 所を有した円盤状をなしていて、真空パッド４７の吸着口は、その内径をダイア フラム５８の外径よりも小さくしてある。

【０００７】 この真空パッド４７は、配管材４５を介して前記の配管部材６１に接続され、 これにより、真空ポンプ４１の負圧力は、配管部材６１および配管材４５を通っ て真空パッド４７に供給されるようにしている。

【０００８】 この真空パッド４７と配管部材６１との間を接続する配管材４５の途中には、 ハンドユニット５６の他方を形成する第２の電磁弁４９を介在させてあり、配管 部材６１から真空パッド４７に至る負圧力の流路が第２の電磁弁４９で開閉され る。

【０００９】 そして、ハンド部材４３は、ダイアフラム５８の個数に応じて複数のハンドユ ニット５６で構成し、１つのハンドユニット５６で１つのダイアフラム５８を取 り扱うようにしてある。

【００１０】 このハンドリング装置は、上記のように構成したことにより、ハンド部材４３ で複数のダイアフラム５８を取り扱うことが可能であり、これによって、パレッ ト５９上に並べられた各ダイアフラム５８を一度に別のパレット（図示せず）へ 移動することができるようになっている。

【００１１】 まず、第１の電磁弁４２および第２の電磁弁４９を閉じた状態で真空ポンプ４ １を駆動させたのち、ハンド部材４３の各ハンドユニット５６を、パレット５９ 上に一定配列された各ダイアフラム５８の上方に位置させ、それぞれ１対１に対 応させる。そして、第１の電磁弁４２を開いたのち第２の電磁弁４９を開くと、 真空ポンプ４１で発生した負圧力が各ハンドユニット５６の真空パッド４７に供 給されるようになるため、この負圧力の作用によって、ダイアフラム５８が真空 パッド４７の吸着口に吸引され、ダイアフラム５８が真空パッド４７に吸い付い た状態で保持されることとなる。

【００１２】 そして、ダイアフラム５８を吸着したハンド部材４３を、図示しない別のパレ ット上の所定の位置まで移動させたのち、第１の電磁弁４２を閉じて真空パッド ４７への負圧力の供給を停止すると、各ダイアフラム５８が真空パッド４７から 脱落してパレット上に所定の状態で配置されることとなる。

【００１３】 しかしながら、このような従来のハンドリング装置のハンド部材４３にあって は、各ハンドユニット５６の真空パッド４７にダイアフラム５８がそれぞれ対応 しているのかどうかを作業者が確認する必要があった。

【００１４】 すなわち、ハンド部材４３は、吸着操作をする際に、各真空パッド４７の全て にダイアフラム５８が対応していないと、第１の電磁弁４２および第２の電磁弁 ４９を開けたときに、ダイアフラム５８に対する吸引力が得られないことがある 。

【００１５】 例えば、ダイアフラム５８の個数がハンドユニット５６の数よりも少ないとき のように、ダイアフラム５８が配列されたパレット５９の上方にハンド部材４３ を位置させた際に、ダイアフラム５８が対応していないハンドユニット５６が存 在する場合には、そのハンドユニット５６の第２の電磁弁４９を閉じなければ、 ダイアフラム５８を吸着させることができないことがあった。つまり、吸着操作 をした際に、図中においてハンドユニットＢ５６ｂの下方にダイアフラム５８が 存在していない状態で、その第２の電磁弁Ｂ４９ｂが開いていると、真空パッド Ｂ４７ｂの吸着口からエアを大量に吸い込んで真空ポンプ４１の真空圧が上がら ないようになるため、所定の負圧力が他のハンドユニット５６に供給されなくな り、従って、真空パッドＡ４７ａによるダイアフラム５８の吸着ができないよう になる。

【００１６】 従って、ダイアフラム５８の吸着操作をする際には、各ハンドユニット５６の 真空パッド４７がそれぞれダイアフラム５８に対応しているかどうかを作業者が 判断し、真空パッド４７の下方にダイアフラム５８が存在する場合は、そのハン ドユニット５６の第２の電磁弁４９を開き、また、真空パッド４７の下方にダイ アフラム５８が存在していない場合は、そのハンドユニット５６の第２の電磁弁 ４９を閉じたままにしておかなければならない。このため、ハンドリングの自動 化には不向きであった。

【００１７】 また、上記のハンドリング装置のハンド部材４３にあっては、一度に取り扱え るダイアフラム５８の個数を多くするほど、構造が煩雑になるものであった。

【００１８】 すなわち、１つのダイアフラム５８について１つのハンドユニット５６が必要 であるため、多数のダイアフラム５８を取り扱うには、それに応じた数のハンド ユニット５６が必要となる。従って、一度に吸着できるダイアフラム５８の数を 増やすためにハンドユニット５６のユニット数を増やすと、それに応じて真空パ ッド４７や第２の電磁弁４９の数も多くなり、これに伴って、配管材４５の本数 も増えて、構造が複雑になってしまうものであった。

【００１９】 この考案は上記の問題点を解消し、構造を簡単にすることができるとともに、 ハンドリングの効率を向上させることができるハンドリング装置のハンド部材を 提供することを目的とする。

【００２０】

【問題点を解決するための手段】

この考案は上記の問題点を解決するために、ワークを取り扱うハンドリング装 置において使用され、圧力供給源から供給される負圧力の作用で前記ワークの着 脱を行うハンド部材であって、このハンド部材は、前記圧力供給源と連通可能な 吸着口を有する本体ブロックと、この本体ブロックの吸着口から出没可能な突出 部を有し、付勢部材で付勢されて前記突出部の出没動作で前記吸着口を開閉する 弁体とを具え、前記弁体の突出部で前記ワークを押し付けた際に、前記吸着口が 開いて前記ワークを吸着し、前記圧力供給源による圧力供給を停止した際に、前 記吸着口が閉じて吸着されていたワークを離脱するという構成を有しているもの である。

【００２１】

【作用】

この考案は上記の手段を採用したことにより、ハンド部材は、弁体による吸着 口の開閉操作で、圧力供給源から供給される負圧力をワークに作用させたり、あ るいはその作用を停止したりし、これにより、ワークを着脱して取扱うようにな っている。

【００２２】 そして、この考案にあっては、吸着操作をする際に、ワークの有無を判断する ことができるようになっている。 すなわち、吸着操作をする際に、吸着口に対応した部位にワークが存在すると きには、弁体の突出部でワークを押し付けることにより、弁体が吸着口を開いて ワークを吸着できるようにし、また、吸着口に対応した部位にワークが存在しな いときには、弁体がスプリングの付勢力で吸着口を閉じたままとなるようにして ある。従って、ハンド部材自身が吸着操作の対象であるワークの有無を自動的に 判断し、その結果、ワークが存在する吸着口のみを開口させることができるので 、外部エアの吸い込みによる圧力供給源の圧力低下を防止し、圧力供給源より供 給される負圧力を常に所定値で確保することができることとなる。

【００２３】 また、この考案にあっては、ハンド部材の構造を簡単にすることができる。 すなわち、このハンド部材はブロック構成であるために、外部配管を必要とし ない。つまり、圧力供給源より供給される負圧力は、本体ブロックの内部に形成 される流路を流通するため、ハンド部材には煩雑な配管が不要である。

【００２４】

【実施例】

以下、図面に示すこの考案の実施例を説明する。

【００２５】 図１は、ハンドリング装置を示す図であって、この考案の概念を示している。 すなわち、図１に示すハンドリング装置は、ハンド部材３と、圧力供給源であ る真空ポンプ１と、この真空ポンプ１からハンド部材３に至る流路を開閉する電 磁弁２とを具え、ハンド部材３は、吸着口７を有する本体ブロック４と、突出部 ８ａを有し、付勢部材であるスプリング１１で付勢されて吸着口７を開閉するポ ペット弁９とで形成したもので、ポペット弁９の開閉操作により小径ワークであ るダイアフラム１８を着脱するようになっている。

【００２６】 図１において、圧力供給源である真空ポンプ１は、ポンプの駆動により真空状 態を形成して負圧力を発生させるもので、この真空ポンプ１が配管部材２１を介 して後述するハンド部材３に接続されることにより、真空ポンプ１の負圧力が配 管部材２１を通ってハンド部材３に供給されるようにしている。

【００２７】 真空ポンプ１とハンド部材３との間を接続する配管部材２１の途中には、図２ に示すような構成をなす電磁弁２を介在させてあり、この電磁弁２の操作により 、真空ポンプ１からハンド部材３に至る負圧力の流路が開閉される。

【００２８】 ハンド部材３は、図３および図４に示すように、本体ブロック４とポペット弁 ９とで形成される。ハンド部材３の一方を形成する本体ブロック４は、所謂マニ ホールドであって、吸着口７と接続口６とを有し、内部に、吸着口７と接続口６ とを連通する流通路５が形成されているものである。接続口６は、本体ブロック ４の上端面の中央部に開口するとともに、前記の配管部材２１の一端を接続可能 とするように形成してある。また、この本体ブロック４には、上下方向に貫通す る１乃至複数の穴（図においては４穴）が形成され、その各上方開口部を蓋体１ ２でそれぞれ閉塞することにより、下方に開口する１乃至複数の弁体室１３を形 成し、その各下方開口部を吸着口７としてある。そして、この本体ブロック４は 、その接続口６と前記の各弁体室１３との間を流通路５で連通することにより、 接続口６が流通路５を介して各吸着口７と連通するようにしてある。

【００２９】 各吸着口７には、弁体８と弁座１５とで形成されるポペット弁９を設ける。こ のポペット弁９の弁座１５は、各吸着口７の周縁部において内方へ突出するフラ ンジ状に形成してあり、弁体８は、弁座１５に当接可能であるとともに、吸着口 ７を閉塞可能な大きさで形成されて弁体室１３内に上下動自在に配設されている 。

【００３０】 この弁体８と蓋体１２との間には付勢部材であるスプリング１１が配設される 。このスプリング１１は、弁体室１３の内部において弁体８を下方へ付勢するも のであって、ここでは所謂圧縮コイルばねが用いられている。そして、このスプ リング１１の付勢力で弁体８が吸着口７を開閉可能となるようにしている。

【００３１】 また、弁体８には、下方に突出して小径ワークのダイアフラム１８の上端面に 接触可能な突出部８ａが形成されていて、閉弁時には、突出部８ａの下端が吸着 口７よりも下方に突出し、また開弁時には、突出部８ａが弁体室１３内に収容可 能となるようにしてある。このとき、弁体８の突出部８ａは、その外径が弁座１ ５の内径よりも小径に形成され、吸着口７において弁座１５と突出部８ａとの間 に環状の流路を形成するようにしておく。また、図５および図６に示すように、 本体ブロック４内の流通路５において、弁体室１３への開口部は、弁体８の開弁 時に、流通路５と吸着口７との間の流路が弁体８で阻害されない部位に位置させ ておく。

【００３２】 なお、１０は穴であって、弁体室１３内において、スプリング１１が配設され ている側の空所を他方の側の空所に連通させ、これにより、弁体８の上下動をス ムーズにするもので、閉弁時には、この穴１０が弁座１５で閉塞されるようにし ておく。

【００３３】 さらに、本体ブロック４には、ハンドユニット１６が連結可能となっている。 この場合、本体ブロック４には、その側面に流通路５と連通する連通口２２を開 口させ、この連通口２２にハンドユニット１６を接続する。このハンドユニット １６は、図４中の斜線部分を１つのユニットとして扱うようにしたもので、下方 に開口する吸着口を有するとともに、この吸着口と連通して側方に開口する流通 路が形成されたブロック体に、スプリングで付勢されて吸着口を開閉するポペッ ト弁が設けられている。

【００３４】 このとき、本体ブロック４の連通口２２を複数箇所に形成したり、ハンドユニ ット１６の側面にもその流通路と連通する連通口を開口させたりすれば、ハンド ユニット１６を直列又は並列に連結して多数個増設することが可能となる。ハン ドユニット１６を増設しないときは、図４に示すように連結口２２は盲材１７で 栓をしておけばよい。

【００３５】 なお、図において、１４はシールリングであって、本体ブロック４およびハン ドユニット１６の吸着口７を囲うように環状に形成された装着溝に装着されるも ので、ダイアフラム１８を吸着口７に吸着した際に、ダイアフラム１８と、本体 ブロック４またはハンドユニット１６との間の密着状態を良好にするものである 。 また、ここで取り扱われる小径ワークであるダイアフラム１８は、例えば図１ ３に示すように、一方の端面の中央部に開口する凹所を有した円盤状をなしてい る。

【００３６】 次に、上記のものの作用を説明する。 このハンドリング装置は、上記のように構成したことにより、ハンド部材３の ポペット弁９の開閉操作で小径ワークであるダイアフラム１８を着脱し、複数の ダイアフラム１８をハンド部材３で一度に取り扱うことができるようにしたため 、複数のダイアフラム１８を一度に移動させることができるようになっている。

【００３７】 例えば、図７に示すように、パレットＡ１９ａおよびパレットＢ１９ｂ上に並 べられているダイアフラム１８をパレットＣ２０に移し変えるような場合には、 次の手順で操作を行う。

【００３８】 まず、常態にあっては、図３に示すように、本体ブロック４に形成された各吸 着口７は、スプリング１１の付勢力でポペット弁９が閉じた状態となっている。 そして、電磁弁２を閉じた状態で真空ポンプ１を駆動させたのち、図８に示すよ うに、ハンド部材３をパレットＡ１９ａの上方に位置させる。このとき、ハンド 部材３の本体ブロック４は、その各吸着口７を、パレットＡ１９ａ上に配列され た各ダイアフラム１８の上方に位置させて対応させる。

【００３９】 次いで、図９に示すように、本体ブロック４の下端面がダイアフラム１８の上 端面に接触する状態となる位置まで、各ポペット弁９の弁体８に形成された突出 部８ａの下端部を各ダイアフラム１８の上端面に押し付け、弁体８をスプリング １１の付勢力に抗して上動させることにより、吸着口７を開口させる。このとき 、吸着口７の下方にダイアフラム１８が位置していないときは、その吸着口７に 設けられたポペット弁９は、図１０に示すように、スプリング１１の付勢力によ り閉じた状態のままとなっている。

【００４０】 そして、パレットＡ１９ａ上のダイアフラム１８に弁体８を押し付けた状態で 電磁弁２を開くと、真空ポンプ１の負圧力が配管部材２１を介してハンド部材３ に供給されることとなる。この際、ハンド部材３に供給された負圧力は、本体ブ ロック４の流通路５を通って、開口している各吸着口７からダイアフラム１８に 作用することとなり、この負圧力の作用により、ダイアフラム１８が吸着口７に 吸着し、その状態で保持されるようになっている。

【００４１】 そして、ダイアフラム１８を吸着させたハンド部材３を、別のパレットＣ２０ 上の所定の位置まで移動させたのち、電磁弁２を閉じてハンド部材３への負圧力 の供給を停止すると、各弁体室１３内が大気圧に戻るようになるため、この結果 、図１１に示すように、スプリング１１の付勢力で弁体８が下動しながら、突出 部８ａでダイアフラム１８が押し下げられることとなり、これにより、各ダイア フラム１８が吸着口７から離脱して落下し、パレットＣ２０上に所定の状態で配 置されることとなる。

【００４２】 引き続き、パレットＢ１９ｂ上に並べられたダイアフラム１８をパレットＣ２ ０に移し変える場合も、上記の操作を繰り返せばよいことになる。

【００４３】 そして、上記のハンドリング装置のハンド部材３にあっては、ダイアフラム１ ８の有無を自動的に判別することができるようになっている。

【００４４】 すなわち、ハンド部材３は、吸着口７を有する本体ブロック４に、スプリング １１で付勢されて吸着口７を開閉するポペット弁９を設けて構成し、このポペッ ト弁９の弁体８に、ダイアフラム１８の有無に応じて吸着口７の開閉切換をする 突出部８ａを形成したので、ダイアフラム１８に対する吸着操作をする際に、ハ ンド部材３をダイアフラム１８に押し付けるようにすれば、ダイアフラム１８の 有無に応じて、突出部８ａがポペット弁９の状態を切り換えることができるよう になっている。

【００４５】 つまり、吸着操作をする際に、吸着口７の下方にダイアフラム１８が存在する ときは、ポペット弁９の弁体８をダイアフラム１８に押し付けると、その吸着口 ７が開くようになり、また吸着口７の下方にダイアフラム１８が存在しないとき は、弁体８がスプリング１１の付勢力で閉じた状態のままとなるため、これによ り、吸着の対象となるダイアフラム１８が吸着口７の下方に存在するがどうかを 判断するようになっている。

【００４６】 従って、例えば、ダイアフラム１８の個数がハンド部材３の吸着口７の数より も少ないようなときでも、ダイアフラム１８が配列されたパレット１９の上方に ハンド部材３を位置させて、ハンド部材３をダイアフラム１８に押し付けるよう にすると、ダイアフラム１８が存在する部位の吸着口７のみが開弁してダイアフ ラム１８を吸着し、その他の吸着口７は閉弁した状態のままとなる。この結果、 真空ポンプ１から供給される負圧力の流路系統が完全に閉ざされることとなるた め、外部エアを大量に吸い込むことによる真空ポンプ１の真空圧の低下が防止さ れ、各吸着口７に対する負圧力の一定供給を確保するようになっている。

【００４７】 また、上記のハンドリング装置のハンド部材３にあっては、その構造を簡単に することができるようになっている。

【００４８】 すなわち、ハンド部材３は、マニホールドの本体ブロック４を具えているため 、真空ポンプ１から負圧力を供給するための配管部材２１を１本接続すれば、負 圧力の流路は、本体ブロック４内の流通路５で形成されることとなり、その他の 配管材による配管を不要とすることができるようになっている。

【００４９】 しかも、一度に取り扱うダイアフラム１８の個数を増やすために吸着口７を増 設する場合でも、ハンドユニット１６を本体ブロック４に連結することにより容 易に行うことができる。つまり、ハンドユニット１６は、吸着口を有するマニホ ールドのブロック体に、その吸着口を開閉するポペット弁を設けて構成してある ので、このハンドユニット１６を、その流通路が本体ブロック４の連通口２２に 連通するように本体ブロック４に連結すれば、ハンド部材３の吸着口７を簡単に 増設することができるようになり、これによって、一度に取り扱うダイアフラム １８を増やすことができるようになっている。この場合、ハンドユニット１６に も連通口が形成されてあれば、ハンドユニット１６どうしの連結も可能であり、 従って、ハンド部材３は、次々と直列又は並列にハンドユニット１６の増設をす ることができる。

【００５０】 また、この際、ハンドユニット１６はマニホールドのブロック体を具えている ため、本体ブロック４または別のハンドユニット１６と連結する場合でも、負圧 力を供給するための配管が不要である。従って、吸着口を増設する場合、従来で は配管材で配管しなければならなかったために、その配管により構造が複雑にな らざるを得なかったが、この考案にによるハンド部材３にあっては、負圧力の供 給はブロック体内の流通路でなされるため、その負圧力の供給構造を簡単にする ことができるようになっている。

【００５１】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、ハンドリング装置のハンド部材を、吸着口を 有するマニホールドの本体ブロックと、突出部を有し、本体ブロックの吸着口を 開閉する弁体とで構成し、ワークに対する吸着操作をする際に、吸着口の下方に ワークが存在すると、本体ブロックをワークに押し付ければ、突出部が弁体を開 けてワークを吸着し、また吸着口の下方にワークが存在しないと、弁体が吸着口 を閉じたままであるため、ハンド部材自身でワークの有無を自動的に判断するこ とができるようになる。従って、ワークに対するハンドリングの自動化および効 率化を可能とすることができる。

【００５２】 また、ハンド部材は、マニホールドのブロックで構成されているため、圧力供 給源からの圧力供給を行う配管が一本あれば、その他の配管が不要となるため、 全体的な構造を簡単にすることができる。

【００５３】 さらに、ハンド部材において吸着口を増設する場合には、吸着口を有するマニ ホールドのブロック体と、突出部を有し、ブロック体の吸着口を開閉する弁体と で構成したハンドユニットを、本体ブロックに連結するだけでよいため、一度に 取り扱えるワークの個数を任意に、かつ容易に増やすことができるという効果が ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案によるハンドリング装置の概念を示す
図である。

【図２】図１に示す電磁弁のバルブポジションを示す図
である。

【図３】この考案によるハンドリング装置のハンド部材
を示す断面図である。

【図４】図３における底面を示す図である。

【図５】図３に示すポペット弁の閉弁状態を示す図であ
る。

【図６】図３に示すポペット弁の開弁状態を示す図であ
る。

【図７】ダイアフラムの移動の例を示す図である。

【図８】ハンド部材の作用を示す第１の図である。

【図９】ハンド部材の作用を示す第２の図であって、開
弁状態を示す図である。

【図１０】ハンド部材の作用を示す第２の図であって、
閉弁状態を示す図である。

【図１１】ハンド部材の作用を示す第３の図である。

【図１２】従来例を示す図である。

【図１３】ダイアフラムを示す図である。

【符号の説明】

１、４１……真空ポンプ（圧力供給源） ２、４２、４９、４９ａ、４９ｂ……電磁弁 ３、４３……ハンド部材 ４……本体ブロック ５……流通路 ６……接続口 ７……吸着口 ８……弁体 ８ａ……突出部 ９……ポペット弁 １０……穴 １１……スプリング（付勢部材） １２……蓋体 １３……弁体室 １４……シールリング １５……弁座 １６、５６ａ、５６ｂ、５６……ハンドユニット １７……盲材 １８、５８……ダイアフラム（小径ワーク） １９、１９ａ、１９ｂ、２０、５９……パレット ２１、６１……配管部材 ２２……連通口 ４５……配管材 ４７ａ、４７ｂ、４７……真空パッド

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワーク（１８）を取り扱うハンドリング
   装置において使用され、圧力供給源（１）から供給され
   る負圧力の作用で前記ワーク（１８）の着脱を行うハン
   ド部材（３）であって、該ハンド部材（３）は、前記圧
   力供給源（１）と連通可能な吸着口（７）を有する本体
   ブロック（４）と、該本体ブロック（４）の吸着口
   （７）から出没可能な突出部（８ａ）を有し、付勢部材
   （１１）で付勢されて前記突出部（８ａ）の出没動作で
   前記吸着口（７）を開閉する弁体（８）とを具え、前記
   弁体（８）の突出部（８ａ）で前記ワーク（１８）を押
   し付けた際に、前記吸着口（７）が開いて前記ワーク
   （１８）を吸着し、前記圧力供給源（１）による圧力供
   給を停止した際に、前記吸着口（７）が閉じて吸着され
   ていたワーク（１８）を離脱することを特徴とするハン
   ドリング装置のハンド部材。