JPS6284987A - 真空吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はワークのハンドリング装置の一部を構成する真
空吸着装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来からワークの表面に吸着バッドを当てた状態で、一
定の荷重をかけてワークと吸着バット間の空気を吸引排
気し、真空若しくは負圧の状態を生じさせてワークを吸
着する所謂真空吸着装置としては２例えば特開昭５５−
３７２１０号公報記載のものがある。

第３図は上記真空吸着装置を示す要部縦断面図である。

同図において１は吸着体であり、逆′Ｆ型に形成した基
板１０内に下面に臨んで開口するリング状溝３を設け、
上面に開口する細孔２と連通ずる。基板１０上面にはヘ
ッドカバー５を着脱自在に固着すると共に、ヘッドカバ
ー５にはパイプ４を設けて一方を細孔２と１他方を真空
ポンプ（図示せず）等の排気手段と各々接抗する。６は
べ−スプレートであり、ばね７を介して基板１０と上下
動自在に係合する。８は吸着パッドであり。

基板１０下面に固着すると共に、リング状溝３に臨む部
分に複数個の孔１１を設ける。

上記のように構成した吸着体ｌをハンドリング装置（図
示せず）に組込み、１￥線で示すワーク９上に移動させ
、吸着体１の基板１０をワーク９と密着させると、ベー
スプレート６が自重により。

ばね７の反発力に抗して吸着体ｌの基板ＩＯおよび吸着
パッド８を押圧する。この状態で真空ポンプを作動させ
て、孔１１．リング状溝３．細孔２およびパイプ４内に
存在する空気を吸引排出すれば、これ等の空間が真空若
しくは負圧状態となり。

ワーク９を吸着パッド８に吸着するのである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来の真空吸着装置は、平板状のワークを吸着する
場合には特に問題はないが、複数個のワーク若しくは吸
着面が平面でないワークを吸着する場合には、吸着部分
の形状、大きさ、整列状態の相違によって、閉鎖されな
い吸着口を生じ、この吸着口からのエア洩れが原因とな
って吸着力が低下するという問題点があった。

この防止策として （１１強力な真空ポンプによる吸引能力の向上（２）閉
鎖されない吸着口のマスキング（３）　　ワーク形状に
合致した吸着パッドの装着（４）各吸着口をセンサーと
電磁弁により独立に制御する機構とし、閉鎖吸着口のみ
吸引作用というような手段がある。

しかしながら（１）の方法は、既設の真空ポンプの他に
新たに強力な真空ポンプを必要とし、（２）の方法では
、マスキング作業が付加されて工程が複雑になる。また
（３）の方法では、ワークの吸着部分の形状、大きさ、
整列の状態が変わる毎に吸着バンドを交換するという段
取替が必要となり、（４）の方法では装置全体が大形と
なり、かつ高価で制御も複雑になるという問題点がある
。

本発明は、上記のような従来の装置に存在する問題点を
解決し、ワーク形状に影響されず、常に確実にワークを
吸着し得る真空吸着装置を提供することを目的とするも
のである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記目的達成のために、複数の吸着口と夫々対
応する吸引口との間を連通路によって夫々連通させると
共に、これ等の連通路を排気手段と接続した真空吸着装
置において、ワークの吸着面に弾性材料からなる中空吸
着板を前記吸着口を夫々包囲するように設け、前記連通
路内には弁室を設け、かつ弁室の吸引口側には弁座を設
けると共に、弁室の吸着口側には球状に形成した弁体を
遊動可能に設けた構成としたものである。

〔作用〕

以上の構成により、吸着口がワークによって閉鎖されな
い場合には、弁体が吸い上げられて吸引口を閉鎖するた
め吸引能力の低下を防止する。また吸着口がワークによ
って閉鎖された場合には５弁体は自由状態となり、吸着
口は吸引能力を保持する。更に各吸着口には夫々独立の
吸着パ・ノドを設けであるため、ワーク形状若しくは他
の吸着パッドの押圧状態には全く影響されない。

〔実施例〕

第１図は本発明の実施例を示す要部部分断面図。

第２図は第１図における裏面図である。両図において１
２は基板であり、複数個の弁室１３を例えば千鳥状に穿
設する。次に１４は中間板であり。

前記基板１２の弁室１３と対応する位置に、吸着口１５
を穿設する。１６は吸着板であり、スポンジ等の弾性材
料によって中空リング状に形成し。

前記中間板１４に穿設した吸着口１５を包囲するように
中間板１４の下面に固着する。次に１７は上板であり、
基板１２の弁室１３と対応する位置に孔１８を穿没し、
弁座部材１９を嵌着する。弁座部材Ｉ９には中心部に吸
引口２０を設けると共に、下端部を弁室１３内に臨ませ
１円錐状に開口する弁座２１を設ける。而して弁室１３
内には球状に形成した弁体２２を遊動可能に封入すると
共に、上板１７上部には、マニホールド２３を固着し、
孔２４を介して真空ポンプ等の排気手段（図示せず）と
接続する。マニホールド２３．上板１７、基板１２およ
び中間板１４の相互間には、必要に応じてゴム板等のシ
ール部材（図示せず）を介装して、ボルト等の締結手段
（図示せず）によって強固に固着一体化する。

以上の構成により、吸着板１６をワークの吸着面に接触
させると１弾性材料からなる吸着板１６がワーク吸着面
の凹凸を吸収し、ワーク吸着面と吸着板１６とは完全に
密着状態となる。ここで真空ポンプ等の排気手段（図示
せず）によって排気作用を発生させると、弁室１３．吸
引口２０および孔２４内の空気が排出され、弁体２２は
自由状態（少し浮く程度）となり、吸着板１６を介して
ワークを吸着する。次に吸着板１６の下にワークが存在
しない場合、または吸着板１６にワークが完全に係合し
ていない場合、すなわち吸着口１５が閉鎖されない場合
には、真空ポンプの排気作用によって弁体２２は弁室１
３に臨んで設けた弁座２１に吸引定着し、吸引ｎ２０を
閉塞、シールする。従って所謂エア洩れを防止し、全体
としての吸引能力を保持するのである。而して吸着板１
６は第２図に示すようにマトリックス状に配設しである
ため２種々の形状、大きさ、整列状態のワークの吸着部
分にも対応して吸着作用を及ぼすことができる。

本実施例においては、吸着板をスポンジで形成した例を
示したが、ワーク吸着面の凹凸を吸収し。

かつ密着密封作用を有する限り、ゴムその他の弾性材料
を使用することができ９寸法および形状も自由に選定で
きる。また基板および中間板に設ける弁室および吸着Ｌ
］の寸法、形状および配列は。

吸着すべきワークの寸法、形状等に応じて適宜ｊｘ定で
きる。更に弁体の構成材料としては、ポリアミド樹脂（
例えば→−イロン等）が耐摩耗性その他の点で良好であ
るが、他の材料であっても支障がないことは勿論である
。なお弁座を弁室内に突出する円錐面で形成した例を示
したが、必ずしもこれに限定せず、要するに弁体が密着
可能であり。

かつ密着した場合にシール作用を発揮するものであれば
よい。

〔発明の効果〕

本発明は以上記述のような構成および作用であるから、
下記のような効果を奏することができる。

（１１強力な真空ポンプを使用する必要がなく９通常の
真空ポンプでワークの吸着力が得られる。

（２）閉鎖されない吸着口を、テープ、シート等でマス
キングする必要がない。

（３）　　ワークの吸着部分の形状・寸法等に影９され
ず、またワークが整列状態になくても吸着可能であり、
更にはワークに対応して吸着パッドを交換する必要がな
い。

（４）電磁弁を特に付加する必要がなく、真空ポンプと
の連通配管系に０Ｎ１０ＦＦ用として１個使用すればよ
い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す要部部分断面図。 第２図は第１図の裏面を示す平面図、第３図は従来の真
空吸着装置を示す要部縦断面図である。 １３：弁室、１５：吸着口、１６：吸着板、２０：吸引
口、２１：弁座、２２：弁体。 特許出願人　　日立金属株式会社 代理人　　　　弁理士　森　ＦＢ　　　寛矛　ｊ　図 ￥’−２１２１ 第３図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数個の吸着口と夫々対応する吸引口との間を連
   通路によって夫々連通させると共に、これ等の連通路を
   排気手段と接続した真空吸着装置において、ワークの吸
   着面に弾性材料からなる中空吸着板を前記吸着口を夫々
   包囲するように設け、前記連通路内には弁室を設け、か
   つ弁室の吸引口側には弁座を設けると共に、弁室の吸着
   口側には球状に形成した弁体を遊動可能に設けたことを
   特徴とする真空吸着装置。
2. （２）弾性材料がスポンジである特許請求の範囲第１項
   記載の真空吸着装置。
3. （３）弁体がポリアミド樹脂である特許請求の範囲第１
   項若しくは第２項記載の真空吸着装置。