JPH0664693B2 - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPH0664693B2 JPH0664693B2 JP62021718A JP2171887A JPH0664693B2 JP H0664693 B2 JPH0664693 B2 JP H0664693B2 JP 62021718 A JP62021718 A JP 62021718A JP 2171887 A JP2171887 A JP 2171887A JP H0664693 B2 JPH0664693 B2 JP H0664693B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head block
- head
- air bearing
- magnetic head
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ヘッドの製造方法に関し、特に浮動型磁
気ヘッドの製造工程の内、浮上面の形成加工工程を改良
し、高精度の浮上面を形成することを可能とした磁気ヘ
ッドの製造方法に関する。
気ヘッドの製造工程の内、浮上面の形成加工工程を改良
し、高精度の浮上面を形成することを可能とした磁気ヘ
ッドの製造方法に関する。
以下、従来の磁気ヘッドの製造方法の内、特願昭57−75
647号に記載の２例を、第５図乃至第12図を参照して説
明する。
647号に記載の２例を、第５図乃至第12図を参照して説
明する。
第５図は浮動型薄膜磁気ヘッド（以下、単に「磁気ヘッ
ド」と言う。）の斜視図である。図において、１磁気ヘ
ッドで、この磁気ヘッド１は浮動部となるスライダの素
子形成面1Aに薄膜技術により素子としての磁気変換部1B
を形成してなるものである。この磁気ヘッド１は、通
常、連続体の薄板材（以下、「ヘッドブロック」と言
う。）に複数個の前記磁気変換部1Bを形成し、そのヘッ
ドブロックを各磁気変換部1B毎に複数個に分離して製造
される。図において、2Aおよび2Bは浮上面、2Cおよび2D
は溝である。
ド」と言う。）の斜視図である。図において、１磁気ヘ
ッドで、この磁気ヘッド１は浮動部となるスライダの素
子形成面1Aに薄膜技術により素子としての磁気変換部1B
を形成してなるものである。この磁気ヘッド１は、通
常、連続体の薄板材（以下、「ヘッドブロック」と言
う。）に複数個の前記磁気変換部1Bを形成し、そのヘッ
ドブロックを各磁気変換部1B毎に複数個に分離して製造
される。図において、2Aおよび2Bは浮上面、2Cおよび2D
は溝である。
第６図乃至第９図は一の従来の磁気ヘッドの製造方法を
示し、第６図は加工工程を示す説明図、第７図はヘッド
ブロックの裏面に切断溝を施した状態の説明図、第８図
はヘッドブロックの裏面を加工治具に接着した状態の説
明図、第９図はヘッドブロックの表面に浮上面を形成し
てそのヘッドブロックを各素子毎に切断分割した状態の
説明図である。
示し、第６図は加工工程を示す説明図、第７図はヘッド
ブロックの裏面に切断溝を施した状態の説明図、第８図
はヘッドブロックの裏面を加工治具に接着した状態の説
明図、第９図はヘッドブロックの表面に浮上面を形成し
てそのヘッドブロックを各素子毎に切断分割した状態の
説明図である。
図中、第５図と同符号は同一のものを示す。図におい
て、３はヘッドブロックで、このヘッドブロック３は磁
気ヘッド１の５〜10個分の大きさを有し、例えば長さ25
〜40mm、幅４〜5mm、厚さ１〜2mmの大きさを有し、表面
に浮上面2Aおよび2Bを形成する。４は加工治具、1Cはヘ
ッドブロックの裏面に設けた切断溝である。
て、３はヘッドブロックで、このヘッドブロック３は磁
気ヘッド１の５〜10個分の大きさを有し、例えば長さ25
〜40mm、幅４〜5mm、厚さ１〜2mmの大きさを有し、表面
に浮上面2Aおよび2Bを形成する。４は加工治具、1Cはヘ
ッドブロックの裏面に設けた切断溝である。
以下、この従来の磁気ヘッドの製造方法の工程を第６図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
まず、ヘッドブロック３を浮上面2Aおよび2Bとなる表面
側を下にして加工治具４に接着する。次に、そのヘッド
ブロック３の裏面に研削，ラップ等により加工基準面を
形成する。続いて、そのヘッドブロック３の裏面に切断
用の溝1Cを、ヘッドブロック３の表面の浮上面2Aおよび
2Bから0.3〜0.5mm程度を残して設ける。（第７図参
照）。
側を下にして加工治具４に接着する。次に、そのヘッド
ブロック３の裏面に研削，ラップ等により加工基準面を
形成する。続いて、そのヘッドブロック３の裏面に切断
用の溝1Cを、ヘッドブロック３の表面の浮上面2Aおよび
2Bから0.3〜0.5mm程度を残して設ける。（第７図参
照）。
次に、前記ヘッドブロック３を加工治具４から剥離し反
転させ、このヘッドブロック３の裏面の加工基準面を加
工治具４に再び接着する（第８図参照）。
転させ、このヘッドブロック３の裏面の加工基準面を加
工治具４に再び接着する（第８図参照）。
それから、前記ヘッドブロック３の表面を研削すると共
に、そのヘッドブロック３の表面に溝2Cおよび2Dを加工
して浮上面2Aおよび2Bを形成する。そのヘッドブロック
３の浮上面2Aおよび2Bにラップを施す。次に、前記ヘッ
ドブロック３を前記切断溝1Cに合致する位置で切断して
各素子（磁気変換部1B）毎に複数個に分割する（第９図
参照）。
に、そのヘッドブロック３の表面に溝2Cおよび2Dを加工
して浮上面2Aおよび2Bを形成する。そのヘッドブロック
３の浮上面2Aおよび2Bにラップを施す。次に、前記ヘッ
ドブロック３を前記切断溝1Cに合致する位置で切断して
各素子（磁気変換部1B）毎に複数個に分割する（第９図
参照）。
そして、各素子毎に分割されたヘッドブロック３を加工
治具４から剥離することにより、磁気ヘッド１が製造さ
れる。
治具４から剥離することにより、磁気ヘッド１が製造さ
れる。
第10図乃至第12図は他の従来の磁気ヘッドの製造方法を
示し、第10図は加工工程を示す説明図、第11図はヘッド
ブロックの裏面を加工治具に接着した状態の説明図、第
12図はヘッドブロックの表面に浮上面を形成してそのヘ
ッドブロックを各素子毎に切断分割した状態を示す説明
図である。
示し、第10図は加工工程を示す説明図、第11図はヘッド
ブロックの裏面を加工治具に接着した状態の説明図、第
12図はヘッドブロックの表面に浮上面を形成してそのヘ
ッドブロックを各素子毎に切断分割した状態を示す説明
図である。
図中、第５図乃至第９図と同符号は同一のものを示す。
図において、4Aは加工治具４の上面に設けた砥石逃げ溝
で、この砥石逃げ溝4Aはヘッドブロック３の切断位置に
対応する箇所に設けられている。
図において、4Aは加工治具４の上面に設けた砥石逃げ溝
で、この砥石逃げ溝4Aはヘッドブロック３の切断位置に
対応する箇所に設けられている。
以下、この従来の磁気ヘッドの製造方法の工程を第10図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
まず、ヘッドブロック３を浮上面2Aおよび2Bとなる表面
側を下にして加工治具４に接着する。次に、そのヘッド
ブロック３の裏面に研削，ラップ等により加工基準面を
形成する。続いて、そのヘッドブロック３を加工治具４
から剥離して反転させ、このヘッドブロック３の裏面の
加工基準面を加工治具４に再び接着する（第11図参
照）。
側を下にして加工治具４に接着する。次に、そのヘッド
ブロック３の裏面に研削，ラップ等により加工基準面を
形成する。続いて、そのヘッドブロック３を加工治具４
から剥離して反転させ、このヘッドブロック３の裏面の
加工基準面を加工治具４に再び接着する（第11図参
照）。
それから、前記ヘッドブロック３の表面を研削すると共
に、そのヘッドブロック３の表面に溝2Cおよび2Dを加工
して浮上面2Aおよび2Bを形成する。そのヘッドブロック
３の浮上面2Aおよび2Bにラップを施す。前記ヘッドブロ
ック３を前記加工治具４の砥石逃げ溝4Aに対応する位置
で切断して各素子（磁気変換部1B）毎に複数個に分割す
る（第12図参照）。
に、そのヘッドブロック３の表面に溝2Cおよび2Dを加工
して浮上面2Aおよび2Bを形成する。そのヘッドブロック
３の浮上面2Aおよび2Bにラップを施す。前記ヘッドブロ
ック３を前記加工治具４の砥石逃げ溝4Aに対応する位置
で切断して各素子（磁気変換部1B）毎に複数個に分割す
る（第12図参照）。
そして、各素子毎に分割されたヘッドブロック３を加工
治具４から剥離することにより、磁気ヘッド１が製造さ
れる。
治具４から剥離することにより、磁気ヘッド１が製造さ
れる。
かかる磁気ヘッド１は、磁気ディスク表面から0.3〜0.5
μｍ程度の空隙を以て浮動する必要があるため、磁気ヘ
ッド１の浮上面2Aおよび2Bの平面度は0.05〜0.1μｍ程
度の精度が要求される。
μｍ程度の空隙を以て浮動する必要があるため、磁気ヘ
ッド１の浮上面2Aおよび2Bの平面度は0.05〜0.1μｍ程
度の精度が要求される。
ところが、上述の二の従来の磁気ヘッドの製造方法は、
予めヘッドブロック３の裏面に切断溝1Cを加工するか否
かの相違点があらるが、両者は共に、ヘッドブロック３
の表面に研削，溝加工により浮上面2Aおよび2Bを形成
し、その浮上面2Aおよび2Bにラップを施し、その後ヘッ
ドブロック３を素子毎に切断するものである。すなわ
ち、従来の磁気ヘッドの製造方法は、研削溝加工により
生じた加工歪をヘッドブロック３に保留させたままで、
ラップ加工で平面度を出し、その後ヘッドブロック３を
切断するので、ヘッドブロック３に保留させたままの加
工歪がヘッドブロック３の切断で解除され、その結果ラ
ップ加工で出した平面度に新たな歪が生じ、磁気ヘッド
１の浮上面2Aおよび2Bにおいて高精度の平面度が得られ
ないなどの問題がある。
予めヘッドブロック３の裏面に切断溝1Cを加工するか否
かの相違点があらるが、両者は共に、ヘッドブロック３
の表面に研削，溝加工により浮上面2Aおよび2Bを形成
し、その浮上面2Aおよび2Bにラップを施し、その後ヘッ
ドブロック３を素子毎に切断するものである。すなわ
ち、従来の磁気ヘッドの製造方法は、研削溝加工により
生じた加工歪をヘッドブロック３に保留させたままで、
ラップ加工で平面度を出し、その後ヘッドブロック３を
切断するので、ヘッドブロック３に保留させたままの加
工歪がヘッドブロック３の切断で解除され、その結果ラ
ップ加工で出した平面度に新たな歪が生じ、磁気ヘッド
１の浮上面2Aおよび2Bにおいて高精度の平面度が得られ
ないなどの問題がある。
本発明の目的は、磁気ヘッドの浮上面において高精度の
平面度が得られる磁気ヘッドの製造方法を提供すること
にある。
平面度が得られる磁気ヘッドの製造方法を提供すること
にある。
本発明は、ヘッドブロックの表面に浮上面を形成し、そ
の後にヘッドブロックを各素子毎に切断し、さらにその
ヘッドブロックに残留する加工歪が解放される程度の温
度以上で接着剤が溶融しない程度の温度以下で、前記ヘ
ッドブロックを加熱し、それからそのヘッドブロックの
浮上面にラップを施すことを特徴とする。
の後にヘッドブロックを各素子毎に切断し、さらにその
ヘッドブロックに残留する加工歪が解放される程度の温
度以上で接着剤が溶融しない程度の温度以下で、前記ヘ
ッドブロックを加熱し、それからそのヘッドブロックの
浮上面にラップを施すことを特徴とする。
本発明は、ヘッドブロックの表面に浮上面を形成し、そ
の後にヘッドブロックを切断することにより、そのヘッ
ドブロックにおいて浮上面形成加工（研削溝加工）で生
じた加工歪の大部分が解放される。また、そのヘッドブ
ロックに残留する加工歪が解放される程度の温度以上で
接着剤が溶融しない程度の温度以下で、各素子毎に切断
したヘッドブロックを加熱することにより、接着剤の接
着力が若干低下するので、前記ヘッドブロックが治具に
接着している状態で、前記ヘッドブロックにおいて僅か
ながら残留する前記加工歪をほぼ完全に解放することが
できる。一方、前記ヘッドブロックは治具に対して大き
く動くことがないので、浮上面ラップ加工でのギャップ
深さへの影響がない。
の後にヘッドブロックを切断することにより、そのヘッ
ドブロックにおいて浮上面形成加工（研削溝加工）で生
じた加工歪の大部分が解放される。また、そのヘッドブ
ロックに残留する加工歪が解放される程度の温度以上で
接着剤が溶融しない程度の温度以下で、各素子毎に切断
したヘッドブロックを加熱することにより、接着剤の接
着力が若干低下するので、前記ヘッドブロックが治具に
接着している状態で、前記ヘッドブロックにおいて僅か
ながら残留する前記加工歪をほぼ完全に解放することが
できる。一方、前記ヘッドブロックは治具に対して大き
く動くことがないので、浮上面ラップ加工でのギャップ
深さへの影響がない。
以下、本発明の磁気ヘッドの製造方法の一実施例を第１
図乃至第４図を参照して説明する。
図乃至第４図を参照して説明する。
図中、第５図乃至第12図と同符号は同一のものを示す。
この実施例における本発明の磁気ヘッドの製造方法の工
程は、第１図に示すように、まずヘッドブロック３を浮
上面2Aおよび2Bとなる表面側を下にして加工治具４に接
着する。次に、そのヘッドブロック３の裏面に研削，ラ
ップ等により加工基準面を形成する。続いて、そのヘッ
ドブロック３を加工治具４から剥離して反転させ、この
ヘッドブロック３の裏面の加工基準面を加工治具４に再
び接着剤（図示せず）により接着する（第２図参照）。
程は、第１図に示すように、まずヘッドブロック３を浮
上面2Aおよび2Bとなる表面側を下にして加工治具４に接
着する。次に、そのヘッドブロック３の裏面に研削，ラ
ップ等により加工基準面を形成する。続いて、そのヘッ
ドブロック３を加工治具４から剥離して反転させ、この
ヘッドブロック３の裏面の加工基準面を加工治具４に再
び接着剤（図示せず）により接着する（第２図参照）。
それから、前記ヘッドブロック３の表面を研削すると共
に、そのヘッドブロック３の表面に溝2Cおよび2Dを加工
して浮上面2Aおよび2Bを形成する。その後、前記ヘッド
ブロック３を前記加工治具４の砥石逃げ溝4Aに対応する
位置で切断して各素子（磁気変換部1B）毎に複数個に分
割する（第３図参照）。このとき、ヘッドブロック３に
おいて、浮上面2Aおよび2B研削，溝2Cおよび2D加工で生
じた加工歪の大部分が解放される。
に、そのヘッドブロック３の表面に溝2Cおよび2Dを加工
して浮上面2Aおよび2Bを形成する。その後、前記ヘッド
ブロック３を前記加工治具４の砥石逃げ溝4Aに対応する
位置で切断して各素子（磁気変換部1B）毎に複数個に分
割する（第３図参照）。このとき、ヘッドブロック３に
おいて、浮上面2Aおよび2B研削，溝2Cおよび2D加工で生
じた加工歪の大部分が解放される。
しかし、切断されたヘッドブロック３は加工治具４に接
着剤で接着されたままの状態なので、そのヘッドブロッ
ク３には僅かながら上述の加工歪が未だ残留している。
この残留加工歪を除去するためには、接着剤を加熱して
接着力を若干低下させることが必要である。ところが、
接着剤の加熱温度を上げ過ぎると、接着剤が溶融して接
着力が大幅に低下し、ヘッドブロック３が加工治具４に
対してXYZ方向（磁気ヘッド１の短手方向、長手方向、
厚さ方向）に大きく動き、次工程である浮上面ラップ加
工でのギャップ深さ精度への影響が大となる。
着剤で接着されたままの状態なので、そのヘッドブロッ
ク３には僅かながら上述の加工歪が未だ残留している。
この残留加工歪を除去するためには、接着剤を加熱して
接着力を若干低下させることが必要である。ところが、
接着剤の加熱温度を上げ過ぎると、接着剤が溶融して接
着力が大幅に低下し、ヘッドブロック３が加工治具４に
対してXYZ方向（磁気ヘッド１の短手方向、長手方向、
厚さ方向）に大きく動き、次工程である浮上面ラップ加
工でのギャップ深さ精度への影響が大となる。
このように、加熱温度の上げ過ぎによる浮上面ラップ加
工でのギャップ深さ精度の問題を解決しつつ、上述の残
留加工歪を除去するために、接着剤の熱特性を考慮し
て、ヘッドブロックに残留する加工歪が解放される程度
の温度以上で接着剤が溶融しない程度の温度以下で、例
えば接着剤の軟化点以下の温度で、一般には約50℃〜65
℃で２〜10時間程度の加熱を行う。この加熱により、後
述する第４図の説明図から明らかなように、上述の残留
加工歪がほぼ完全に解放される。
工でのギャップ深さ精度の問題を解決しつつ、上述の残
留加工歪を除去するために、接着剤の熱特性を考慮し
て、ヘッドブロックに残留する加工歪が解放される程度
の温度以上で接着剤が溶融しない程度の温度以下で、例
えば接着剤の軟化点以下の温度で、一般には約50℃〜65
℃で２〜10時間程度の加熱を行う。この加熱により、後
述する第４図の説明図から明らかなように、上述の残留
加工歪がほぼ完全に解放される。
そして、前記ヘッドブロック３の浮上面2Aおよび2Bにラ
ップを施して平面度を出す。続いて、上述のヘッドブロ
ック３を加工治具４から剥離することにより、磁気ヘッ
ド１が製造される。このとき、ラップ加工後の浮上面2A
および2Bの平面度は0.02〜0.03μｍであり、剥離後の浮
上面2Aおよび2Bの平面度は0.02〜0.04μｍであり、この
結果ラップ加工後の浮上面の平面度と剥離後の浮上面の
平面度との変化量は極めて少なく、加工歪の影響を除去
できたことが判明する。
ップを施して平面度を出す。続いて、上述のヘッドブロ
ック３を加工治具４から剥離することにより、磁気ヘッ
ド１が製造される。このとき、ラップ加工後の浮上面2A
および2Bの平面度は0.02〜0.03μｍであり、剥離後の浮
上面2Aおよび2Bの平面度は0.02〜0.04μｍであり、この
結果ラップ加工後の浮上面の平面度と剥離後の浮上面の
平面度との変化量は極めて少なく、加工歪の影響を除去
できたことが判明する。
以上から、最終平面度を0.05μｍ以下に保証するために
は、浮上面2Aおよび2Bラップ加工時における平面度を管
理すれば良い。
は、浮上面2Aおよび2Bラップ加工時における平面度を管
理すれば良い。
第４図は本発明の磁気ヘッドの製造方法における加熱加
工の最適なエージング温度を示した説明図（グラフ）で
ある。
工の最適なエージング温度を示した説明図（グラフ）で
ある。
図（グラフ）において、縦軸はＸ方向（磁気ヘッド１の
短手方向）平面度変化量（μｍ／20×−×）およびＹ方
向（磁気ヘッド１の長手方向）平面度変化量（μｍ／４
・−・）を示し、横軸は加熱温度（℃）を示す。
短手方向）平面度変化量（μｍ／20×−×）およびＹ方
向（磁気ヘッド１の長手方向）平面度変化量（μｍ／４
・−・）を示し、横軸は加熱温度（℃）を示す。
この図（グラフ）から明らかなように、加熱温度50℃以
上になると、特にＹ方向平面度変化量が大きくなる。こ
の結果、ヘッドブロック３（磁気ヘッド１）に残留する
加工歪がほとんど解放されることとなる。一方、加熱温
度を上げ過ぎると、ヘッドブロック３を加工治具４に接
着している接着剤が溶融し、切断されたヘッドブロック
３（磁気ヘッド１）の並びの直線性が崩れ、平面度と同
様に重要なギャップ深さ不良が多発する虞れがある。
上になると、特にＹ方向平面度変化量が大きくなる。こ
の結果、ヘッドブロック３（磁気ヘッド１）に残留する
加工歪がほとんど解放されることとなる。一方、加熱温
度を上げ過ぎると、ヘッドブロック３を加工治具４に接
着している接着剤が溶融し、切断されたヘッドブロック
３（磁気ヘッド１）の並びの直線性が崩れ、平面度と同
様に重要なギャップ深さ不良が多発する虞れがある。
以上から、最適な加熱温度は、50℃以上接着剤が溶融し
ない程度の温度65℃以下である。
ない程度の温度65℃以下である。
なお、上述の図（グラフ）における加熱時間（保持時
間）は１時間である。
間）は１時間である。
なお、上述の実施例においては、薄膜ヘッドについて説
明したが、本発明の磁気ヘッドの製造方法はモノリシッ
クヘッドやコンポジットヘッドなどにも適用することが
できる。
明したが、本発明の磁気ヘッドの製造方法はモノリシッ
クヘッドやコンポジットヘッドなどにも適用することが
できる。
以上から明らかなように、本発明の磁気ヘッド製造方法
は、ギャップ深さへの影響が無く、磁気ヘッドの浮上面
において高精度の平面度が得られる。
は、ギャップ深さへの影響が無く、磁気ヘッドの浮上面
において高精度の平面度が得られる。
第１図乃至第４図は本発明の磁気ヘッドの製造方法の一
実施例を示し、第１図は加工工程を示す説明図、第２図
はヘッドブロックの裏面を加工治具に接着した状態の説
明図、第３図はヘッドブロックの表面に浮上面を形成し
て、そのヘッドブロックを各素子毎に切断分割した状態
の説明図、第４図は最適な加熱温度を示した説明図であ
る。 第５図は磁気ヘッドの斜視図である。 第６図乃至第９図は一の従来の磁気ヘッドの製造方法を
示し、第６図は加工工程を示す説明図、第７図はヘッド
ブロックの裏面に切断溝を施した状態の説明図、第８図
はヘッドブロックの裏面を加工治具に接着した状態の説
明図、第９図はヘッドブロックの表面に浮上面を形成し
てそのヘッドブロックを各素子毎に切断分割した状態の
説明図である。 第10図乃至第12図は他の従来の磁気ヘッドの製造方法を
示し、第10図は加工工程を示す説明図、第11図はヘッド
ブロックの裏面を加工治具に接着した状態の説明図、第
12図はヘッドブロックの表面に浮上面を形成してそのヘ
ッドブロックを各素子毎に切断分割した状態を示す説明
図である。 １……磁気ヘッド、2Aおよび2B……浮上面、2Cおよび2D
……溝、３……ヘッドブロック、４……加工治具。
実施例を示し、第１図は加工工程を示す説明図、第２図
はヘッドブロックの裏面を加工治具に接着した状態の説
明図、第３図はヘッドブロックの表面に浮上面を形成し
て、そのヘッドブロックを各素子毎に切断分割した状態
の説明図、第４図は最適な加熱温度を示した説明図であ
る。 第５図は磁気ヘッドの斜視図である。 第６図乃至第９図は一の従来の磁気ヘッドの製造方法を
示し、第６図は加工工程を示す説明図、第７図はヘッド
ブロックの裏面に切断溝を施した状態の説明図、第８図
はヘッドブロックの裏面を加工治具に接着した状態の説
明図、第９図はヘッドブロックの表面に浮上面を形成し
てそのヘッドブロックを各素子毎に切断分割した状態の
説明図である。 第10図乃至第12図は他の従来の磁気ヘッドの製造方法を
示し、第10図は加工工程を示す説明図、第11図はヘッド
ブロックの裏面を加工治具に接着した状態の説明図、第
12図はヘッドブロックの表面に浮上面を形成してそのヘ
ッドブロックを各素子毎に切断分割した状態を示す説明
図である。 １……磁気ヘッド、2Aおよび2B……浮上面、2Cおよび2D
……溝、３……ヘッドブロック、４……加工治具。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 辻 義一 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所小田原工場内 (56)参考文献 特開 昭55−135320（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】ヘッドブロックに複数個の素子を形成し、
そのヘッドブロックを各素子毎に分離して、磁気ヘッド
を製造する方法において、下記（イ）乃至（ヘ）の工程
からなることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 （イ） ヘッドブロックの裏面を治具に接着剤により接
着する。 （ロ） ヘッドブロックの表面に浮上面を形成する。 （ハ） ヘッドブロックを各素子毎に切断する。 （ニ） そのヘッドブロックに残留する加工歪が解放さ
れる程度の温度以上で前記接着剤が溶融しない程度の温
度以下で、前記ヘッドブロックを加熱する。 （ホ） ヘッドブロックの浮上面にラップを施す。 （ヘ） ヘッドブロックを治具より剥離する。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62021718A JPH0664693B2 (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62021718A JPH0664693B2 (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63191309A JPS63191309A (ja) | 1988-08-08 |
| JPH0664693B2 true JPH0664693B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=12062858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62021718A Expired - Lifetime JPH0664693B2 (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0664693B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0770186B2 (ja) * | 1987-10-21 | 1995-07-31 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘッドのスライダーの浮上面の研摩方法 |
| JPH1186251A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-30 | Tdk Corp | 磁気ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55135320A (en) * | 1979-04-09 | 1980-10-22 | Sanyo Electric Co Ltd | Manufacture of magnetic head |
-
1987
- 1987-02-03 JP JP62021718A patent/JPH0664693B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63191309A (ja) | 1988-08-08 |
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