JPH0770186B2 - 磁気ヘッドのスライダーの浮上面の研摩方法 - Google Patents
磁気ヘッドのスライダーの浮上面の研摩方法Info
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- JPH0770186B2 JPH0770186B2 JP62263977A JP26397787A JPH0770186B2 JP H0770186 B2 JPH0770186 B2 JP H0770186B2 JP 62263977 A JP62263977 A JP 62263977A JP 26397787 A JP26397787 A JP 26397787A JP H0770186 B2 JPH0770186 B2 JP H0770186B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク装置に使用される磁気ヘッドの
浮上面を高精度の平面に加工するのに好適な浮上面の研
摩方法に関する。
浮上面を高精度の平面に加工するのに好適な浮上面の研
摩方法に関する。
近年、磁気ディスク装置は記録密度の増加に伴ない、磁
気ディスク面に対する磁気ヘッドの浮上量が増々狭小化
する傾向にある。このように磁気ヘッドの浮上量を狭小
化するためには、第９図に示すように、磁気ディスク面
上に微小な間隙をもって浮上する磁気ヘッドＨの浮上面
の平面度を高精度に加工することが必要である。
気ディスク面に対する磁気ヘッドの浮上量が増々狭小化
する傾向にある。このように磁気ヘッドの浮上量を狭小
化するためには、第９図に示すように、磁気ディスク面
上に微小な間隙をもって浮上する磁気ヘッドＨの浮上面
の平面度を高精度に加工することが必要である。
そのため、一般には、第10図に示すように、上面である
研摩面１′が真平らに形成された円板形状のラップ定盤
１を駆動軸２に取付け、そのラップ定盤１の研摩面１′
に、ワーク貼付け治具３に貼付けられた磁気ヘッドのス
ライダー４と修正輪５とを載せ、ラップ定盤１を駆動軸
２によって回転させかつ修正輪５及びワーク貼付け治具
３を支持軸６によって回転させて、修正輪5,スライダー
４とラップ定盤１とが互に擦り合うことにより、ラップ
定盤１がスライダー４の浮上面を高精度の平面に加工
し、かつ修正輪５がスライダー４の加工によって摩耗し
たラップ定盤１の平面度を修正するようにしている。し
かし、このような磁気ヘッド用研摩装置では、ラップ定
盤１の定位置にスライダー４及び修正輪５があるため、
ラップ定盤１が使用することによって摩耗し、所望精度
を維持するのが困難になる結果、スライダー４の浮上面
の精度が低下する。
研摩面１′が真平らに形成された円板形状のラップ定盤
１を駆動軸２に取付け、そのラップ定盤１の研摩面１′
に、ワーク貼付け治具３に貼付けられた磁気ヘッドのス
ライダー４と修正輪５とを載せ、ラップ定盤１を駆動軸
２によって回転させかつ修正輪５及びワーク貼付け治具
３を支持軸６によって回転させて、修正輪5,スライダー
４とラップ定盤１とが互に擦り合うことにより、ラップ
定盤１がスライダー４の浮上面を高精度の平面に加工
し、かつ修正輪５がスライダー４の加工によって摩耗し
たラップ定盤１の平面度を修正するようにしている。し
かし、このような磁気ヘッド用研摩装置では、ラップ定
盤１の定位置にスライダー４及び修正輪５があるため、
ラップ定盤１が使用することによって摩耗し、所望精度
を維持するのが困難になる結果、スライダー４の浮上面
の精度が低下する。
この対策として複数の従来技術がある。即ち、第１の従
来技術では、第11図に示すようにラップ定盤１の研摩面
１′が外周部から中央部にかけて直線的に高くなる形状
とし、修正輪５を重心移動して研摩面１′上の中央部に
移動させ、或いは第12図に示すように研摩面１′の外周
部が中央部から直線的に高い形状とし、修正輪５を同様
にしてラップ定盤１上の外周部に移動させ、かくしてラ
ップ定盤１の高い部分を摩耗させて修正するようにして
いる。
来技術では、第11図に示すようにラップ定盤１の研摩面
１′が外周部から中央部にかけて直線的に高くなる形状
とし、修正輪５を重心移動して研摩面１′上の中央部に
移動させ、或いは第12図に示すように研摩面１′の外周
部が中央部から直線的に高い形状とし、修正輪５を同様
にしてラップ定盤１上の外周部に移動させ、かくしてラ
ップ定盤１の高い部分を摩耗させて修正するようにして
いる。
また第２の従来技術では、第13図に示すように、ラップ
定盤１の中央部と外周部とにまたがる大型の修正輪５を
使用し、その修正輪５におけるラップ定盤１の中央部及
び外周部と対応する位置にリンク機構８を介して錘り7,
7を夫々載せ、該錘り7,7によって修正輪５の重心位置を
変えることによりラップ定盤１の平面度を修正するよう
にしている。なお、この種の装置として関連するものに
は、例えば特開昭59−81056号公報が挙げられる。
定盤１の中央部と外周部とにまたがる大型の修正輪５を
使用し、その修正輪５におけるラップ定盤１の中央部及
び外周部と対応する位置にリンク機構８を介して錘り7,
7を夫々載せ、該錘り7,7によって修正輪５の重心位置を
変えることによりラップ定盤１の平面度を修正するよう
にしている。なお、この種の装置として関連するものに
は、例えば特開昭59−81056号公報が挙げられる。
ところで、磁気ヘッドの浮上量を狭小化しようとする
と、例えば0.2〜0.3μｍの浮上量が要請されると、その
浮上量を得るには第14図に示す磁気ヘッド浮上量と磁気
ヘッドのスライダー平面度との関係からスライダーの浮
上面の平面度を0.05μｍ以下と云う超高精度に加工しな
ければならない。
と、例えば0.2〜0.3μｍの浮上量が要請されると、その
浮上量を得るには第14図に示す磁気ヘッド浮上量と磁気
ヘッドのスライダー平面度との関係からスライダーの浮
上面の平面度を0.05μｍ以下と云う超高精度に加工しな
ければならない。
しかし、上記に示す第11図及び第12図，第13図に示す従
来技術は、何れもラップ定盤１の研摩面１′の平面度を
正確に修正しようとするためのものであるが、スライダ
ーの浮上面の加工精度とラップ定盤１の形状との関係に
ついて配慮されていない。
来技術は、何れもラップ定盤１の研摩面１′の平面度を
正確に修正しようとするためのものであるが、スライダ
ーの浮上面の加工精度とラップ定盤１の形状との関係に
ついて配慮されていない。
また、何れの従来技術でも、ラップ定盤１が外周部から
中央部に亘り略直線状の平面形状となっているが、この
ような形状のラップ定盤１を用いて0.05μｍ以下のスラ
イダーの浮上面の平面度を得ようとすると、ラップ定盤
１の研摩面の修正作業を試行さく誤を繰返して行なわな
ければならず、非常に長い修正時間を要し、場合によっ
ては不可能なこともあり、そのため、研摩装置の稼動率
が著しく低下する問題があり、また、ラップ定盤１を直
線状の平面に修正することができても、磁気ヘッド浮上
面の加工精度にばらつきが生じる結果、歩留りが低下す
ると云う問題がある。
中央部に亘り略直線状の平面形状となっているが、この
ような形状のラップ定盤１を用いて0.05μｍ以下のスラ
イダーの浮上面の平面度を得ようとすると、ラップ定盤
１の研摩面の修正作業を試行さく誤を繰返して行なわな
ければならず、非常に長い修正時間を要し、場合によっ
ては不可能なこともあり、そのため、研摩装置の稼動率
が著しく低下する問題があり、また、ラップ定盤１を直
線状の平面に修正することができても、磁気ヘッド浮上
面の加工精度にばらつきが生じる結果、歩留りが低下す
ると云う問題がある。
本発明の目的は、前記従来技術の問題点に鑑み、研摩面
の形状を規定し、以てヘッドスライダーの浮上面の要求
加工精度を容易に得ることができるとともに、機械稼動
率を向上し得る磁気ヘッドのスライダーの浮上面の研摩
方法を提供することにある。
の形状を規定し、以てヘッドスライダーの浮上面の要求
加工精度を容易に得ることができるとともに、機械稼動
率を向上し得る磁気ヘッドのスライダーの浮上面の研摩
方法を提供することにある。
本発明では、ラップ定盤の研摩面が、ラップ定盤及び磁
気ヘッドのスライダーの大きさと該スライダーの浮上面
に要求される平面図に基づき適宜の曲率をもつとともに
研摩面の外周部と中央部とを結ぶ直線に対してスライダ
ーと接触し得る範囲の最も高い部分である有効研摩部の
肉厚寸法を適宜に設定した円弧状に形成されたラップ定
盤を軸周りに回転し、該回転するラップ定盤の研摩面に
対し、該研摩面における前記有効研摩部にスライダーの
浮上面の中心部を位置させながらスライダーと修正輪と
の底面を押圧するとともに、該スライダーと修正輪との
双方をスライダー浮上面の中心部周りに回転させること
により、スライダーの浮上面を平面に研摩する一方、修
正輪によりラップ定盤の研摩面を修正するようにしてい
る。
気ヘッドのスライダーの大きさと該スライダーの浮上面
に要求される平面図に基づき適宜の曲率をもつとともに
研摩面の外周部と中央部とを結ぶ直線に対してスライダ
ーと接触し得る範囲の最も高い部分である有効研摩部の
肉厚寸法を適宜に設定した円弧状に形成されたラップ定
盤を軸周りに回転し、該回転するラップ定盤の研摩面に
対し、該研摩面における前記有効研摩部にスライダーの
浮上面の中心部を位置させながらスライダーと修正輪と
の底面を押圧するとともに、該スライダーと修正輪との
双方をスライダー浮上面の中心部周りに回転させること
により、スライダーの浮上面を平面に研摩する一方、修
正輪によりラップ定盤の研摩面を修正するようにしてい
る。
磁気ヘッドのスライダーの研摩においては、該スライダ
ーがラップ定盤の研摩面上の定位置で回転するため、ス
ライダーとラップ定盤とが常時接触していなければなら
ず、そのため、ラップ定盤の研摩面が第８図に示すよう
に、Ｉ−Ｘの如き円弧状のもの、II−Ｙの如き真平らの
もの、III−Ｚの如き陥没円弧状のものが種々考えられ
る。しかし、II−Ｙの如き真平らのものはその形状を保
ち続けることが実用上不可能であり、またIII−Ｚの如
き陥没円弧状のものは、研摩時、研摩面の外周部から摩
耗し、その形状を保ち続けることが難しい。
ーがラップ定盤の研摩面上の定位置で回転するため、ス
ライダーとラップ定盤とが常時接触していなければなら
ず、そのため、ラップ定盤の研摩面が第８図に示すよう
に、Ｉ−Ｘの如き円弧状のもの、II−Ｙの如き真平らの
もの、III−Ｚの如き陥没円弧状のものが種々考えられ
る。しかし、II−Ｙの如き真平らのものはその形状を保
ち続けることが実用上不可能であり、またIII−Ｚの如
き陥没円弧状のものは、研摩時、研摩面の外周部から摩
耗し、その形状を保ち続けることが難しい。
本発明では、前述の如く、ラップ定盤の研摩面が該ラッ
プ定盤及び磁気ヘッドのスライダーの大きさと該スライ
ダーの浮上面に要求される平面度に基づき適宜の曲率を
もつとともに、外周部と中央部とを結ぶ直線上の途中位
置に最も高い部分（有効研摩部ｒ）の高さをもつ円弧状
に形成され、このラップ定盤を軸周りに回転し、該回転
するラップ定盤の研摩面に対し、該研摩面における最も
い高い部分にスライダーの浮上面の中心部を位置させた
状態で該スライダーと修正輪とを押圧し乍ら、かつスラ
イダ浮上面の中心部の周りに回転させるので、研摩時、
ラップ定盤とスライダーとが常時接触し、ラップ定盤が
研摩面をスライダーの浮上面に転写させる如くスライダ
ーの浮上面を研摩することができる結果、スライダーの
浮上面をその要求精度に確実に加工し得、しかも安定し
た加工精度が得られる。また、研摩面が円弧状に形成さ
れることにより、研摩面の修正作業を容易に行なうこと
が可能になり、研摩装置の稼動率が低下するのを防止し
得ると云う結果がある。
プ定盤及び磁気ヘッドのスライダーの大きさと該スライ
ダーの浮上面に要求される平面度に基づき適宜の曲率を
もつとともに、外周部と中央部とを結ぶ直線上の途中位
置に最も高い部分（有効研摩部ｒ）の高さをもつ円弧状
に形成され、このラップ定盤を軸周りに回転し、該回転
するラップ定盤の研摩面に対し、該研摩面における最も
い高い部分にスライダーの浮上面の中心部を位置させた
状態で該スライダーと修正輪とを押圧し乍ら、かつスラ
イダ浮上面の中心部の周りに回転させるので、研摩時、
ラップ定盤とスライダーとが常時接触し、ラップ定盤が
研摩面をスライダーの浮上面に転写させる如くスライダ
ーの浮上面を研摩することができる結果、スライダーの
浮上面をその要求精度に確実に加工し得、しかも安定し
た加工精度が得られる。また、研摩面が円弧状に形成さ
れることにより、研摩面の修正作業を容易に行なうこと
が可能になり、研摩装置の稼動率が低下するのを防止し
得ると云う結果がある。
以下、本発明の一実施例を第１図乃至第７図により説明
する。第１図は本発明の研摩方法の一実施例を示す一部
断面の斜視図、第２図は本発明の研摩方法に用いるラッ
プ定盤を示す一部断面の斜視図、第13図はラップ定盤の
形状を示す説明図、第４図は第３図におけるラップ定盤
とヘッドスライダーとの関係を示す説明図である。
する。第１図は本発明の研摩方法の一実施例を示す一部
断面の斜視図、第２図は本発明の研摩方法に用いるラッ
プ定盤を示す一部断面の斜視図、第13図はラップ定盤の
形状を示す説明図、第４図は第３図におけるラップ定盤
とヘッドスライダーとの関係を示す説明図である。
この研摩方法の実施例は、第１図に示すように、回転さ
れたラップ定盤11の研摩面11′に、磁気ヘッドのスライ
ダー14を押圧し乍らかつ研摩面11′の定位置で回転さ
せ、研摩面11′によりスライダー14の浮上面を研摩する
ようにしている。
れたラップ定盤11の研摩面11′に、磁気ヘッドのスライ
ダー14を押圧し乍らかつ研摩面11′の定位置で回転さ
せ、研摩面11′によりスライダー14の浮上面を研摩する
ようにしている。
前記ラップ定盤11は、その中央部が取付けボルト等によ
って駆動軸12に取付けられ、該駆動軸12の駆動により軸
周りに回転するようにしている。前記磁気ヘッドのスラ
イダー14は、修正輪15の内方位置に配置されたワーク貼
付け治具13に取付けられて、その浮上面がラップ定盤11
の研磨面11′上の定位置に配置され、ラップ定盤11の回
転時、該ラップ定盤の11の研摩面11′に対し浮上面が押
圧されるとともに研摩面11′の定位置で回転され、浮上
面が研摩面11′と擦り合うことによって研摩されるよう
にしている。なお、前記スライダー14は、研摩時、複数
個のものが一体となってブロック化されたももで同時に
研摩され、その研摩後、各々切断され、かつ所望形状に
形成されるとともに組付け及び配線されることにより磁
気ヘッドを構成する。
って駆動軸12に取付けられ、該駆動軸12の駆動により軸
周りに回転するようにしている。前記磁気ヘッドのスラ
イダー14は、修正輪15の内方位置に配置されたワーク貼
付け治具13に取付けられて、その浮上面がラップ定盤11
の研磨面11′上の定位置に配置され、ラップ定盤11の回
転時、該ラップ定盤の11の研摩面11′に対し浮上面が押
圧されるとともに研摩面11′の定位置で回転され、浮上
面が研摩面11′と擦り合うことによって研摩されるよう
にしている。なお、前記スライダー14は、研摩時、複数
個のものが一体となってブロック化されたももで同時に
研摩され、その研摩後、各々切断され、かつ所望形状に
形成されるとともに組付け及び配線されることにより磁
気ヘッドを構成する。
前記修正輪15は、その上部が支持軸16に取付けられると
ともに、その下部に形成された凹部にブロック化された
スライダー14を貼付けたワーク貼付け治具を配置し、支
持軸16の駆動により前記ワーク貼付け治具13を介しブロ
ック化されたスライダー14を回転させるようにしてい
る。またその際、前記修正輪15はその下端面がラップ定
盤11の研摩面11′と擦り合うことにより、該研摩面11′
を所望形状に修正し得るようにしている。
ともに、その下部に形成された凹部にブロック化された
スライダー14を貼付けたワーク貼付け治具を配置し、支
持軸16の駆動により前記ワーク貼付け治具13を介しブロ
ック化されたスライダー14を回転させるようにしてい
る。またその際、前記修正輪15はその下端面がラップ定
盤11の研摩面11′と擦り合うことにより、該研摩面11′
を所望形状に修正し得るようにしている。
しかして、実施例においては、その研摩面11′が第２図
乃至第４図に示すように、適宜の曲率をもつ円弧状に形
成されている。即ち、前記ラップ定盤11の研摩面11′
は、ラップ定盤11の大きさ及びスライダー14の大きさ
と、スライダー14の浮上面に要求される平面度とに基づ
き、所望の曲率Ｒをもつとともに、その外周部と中央部
との間に適宜の高さｙをもつ円弧状に形成され、しかも
該円弧面の外周部と中央部とを結ぶ直線に対しスライダ
ー14と接触する範囲の最も高い部分である有効研摩部ｒ
までの肉厚寸法Δｒを適宜に設定している。前記有効研
摩部ｒにはブロック化されたスライダー14の浮上面の中
心部が位置するのが望ましい。
乃至第４図に示すように、適宜の曲率をもつ円弧状に形
成されている。即ち、前記ラップ定盤11の研摩面11′
は、ラップ定盤11の大きさ及びスライダー14の大きさ
と、スライダー14の浮上面に要求される平面度とに基づ
き、所望の曲率Ｒをもつとともに、その外周部と中央部
との間に適宜の高さｙをもつ円弧状に形成され、しかも
該円弧面の外周部と中央部とを結ぶ直線に対しスライダ
ー14と接触する範囲の最も高い部分である有効研摩部ｒ
までの肉厚寸法Δｒを適宜に設定している。前記有効研
摩部ｒにはブロック化されたスライダー14の浮上面の中
心部が位置するのが望ましい。
次に、前記ラップ定盤11及びスライダー14の大きさと、
該スライダー14の浮上面に要求される平面度の関係につ
いて述べる。
該スライダー14の浮上面に要求される平面度の関係につ
いて述べる。
まず、ラップ定盤11内の半径をl1、ラップ定盤11の研摩
面11′の幅をl2、球の半径をＲ、球の中心とラップの定
盤の最外周とを結んだ線の角度をθとすると、次式が成
り立つ。
面11′の幅をl2、球の半径をＲ、球の中心とラップの定
盤の最外周とを結んだ線の角度をθとすると、次式が成
り立つ。
（l1＋l2）２＋（Rsinθ）２ ＝R2……（１） l1 2＋（Rsinθ＋ｙ）２＝R2 ……（３） 上記式（１），（２），（３）より肉厚寸法Δｒは次の
とおりとなる。
とおりとなる。
また、ラップ定盤11の肉厚寸法Δｒと、ブロック化され
たスライダー14の長手方向の長さＤの平面度ａ及び短手
方向の長さＣの平面度ｂとは次の関係となる。
たスライダー14の長手方向の長さＤの平面度ａ及び短手
方向の長さＣの平面度ｂとは次の関係となる。
上記式（４），（５），（６），（７）より、スライダ
ー14の浮上面に必要とされる平面度a,bの寸法により、
ラップ定盤11の曲率R,高さy,肉厚寸法Δｒが求められ
る。
ー14の浮上面に必要とされる平面度a,bの寸法により、
ラップ定盤11の曲率R,高さy,肉厚寸法Δｒが求められ
る。
上記の如くして形成されたラップ定盤11を用いてスライ
ダー14を研摩すると、回転するラップ定盤の研摩面11′
が円弧状に形成され、しかも研摩面11′に対し、該研摩
面における最も高い部分に（有効研摩部ｒ）にスライダ
ー14の浮上面の中心部を位置させた状態で該スライダー
14と修正輪15とを押圧し乍ら、かつスライダー浮上面の
中心部の周りに回転させるので、が円弧状に形成される
ことにより該研摩面11′にスライダー14の浮上面が常時
接触し、その浮上面に研摩面11′が転写される如くスラ
イダー14を加工することができるので、スライダー14の
浮上面をその要求精度に確実に研摩し得、しかも安定し
た加工精度が得られる。また、ラップ定盤11が上述の如
く円弧状に形成され、該研摩面11′における最も高いい
部分（有効研摩部ｒ）にスライダー14の浮上面の中心部
が位置するように修正輪15をラップ定盤11に押圧しかつ
回転させるので、第８図に示すII−Ｙ及びIII−Ｚの如
き真平らなものや陥没円弧状のものに比べ、修正輪15に
よる研真面11′の修正が簡単であって容易に修正作業を
行なうことが可能となり、それだけ研摩装置の稼動率が
低下するのを防止し得る。
ダー14を研摩すると、回転するラップ定盤の研摩面11′
が円弧状に形成され、しかも研摩面11′に対し、該研摩
面における最も高い部分に（有効研摩部ｒ）にスライダ
ー14の浮上面の中心部を位置させた状態で該スライダー
14と修正輪15とを押圧し乍ら、かつスライダー浮上面の
中心部の周りに回転させるので、が円弧状に形成される
ことにより該研摩面11′にスライダー14の浮上面が常時
接触し、その浮上面に研摩面11′が転写される如くスラ
イダー14を加工することができるので、スライダー14の
浮上面をその要求精度に確実に研摩し得、しかも安定し
た加工精度が得られる。また、ラップ定盤11が上述の如
く円弧状に形成され、該研摩面11′における最も高いい
部分（有効研摩部ｒ）にスライダー14の浮上面の中心部
が位置するように修正輪15をラップ定盤11に押圧しかつ
回転させるので、第８図に示すII−Ｙ及びIII−Ｚの如
き真平らなものや陥没円弧状のものに比べ、修正輪15に
よる研真面11′の修正が簡単であって容易に修正作業を
行なうことが可能となり、それだけ研摩装置の稼動率が
低下するのを防止し得る。
因みに、ラップ定盤11の高さｙが10μｍの場合における
肉厚寸法Δｒとスライダー14の浮上面の長手方向の平面
度との関係を第５図に示す。同図から、肉厚寸法Δｒが
−２μｍ〜２μｍぐらいのとき、スライダー14の平面度
が最小値になることがわかる。
肉厚寸法Δｒとスライダー14の浮上面の長手方向の平面
度との関係を第５図に示す。同図から、肉厚寸法Δｒが
−２μｍ〜２μｍぐらいのとき、スライダー14の平面度
が最小値になることがわかる。
また、ラップ定盤11の肉厚寸法Δｒが1.5μｍの場合に
おける高さｙと単一のスライダー14の長手方向の平面度
との関係を第６図に示す。同図から、肉厚寸法Δｒが1.
5μｍの場合、高さｙが略10μｍにすると、スライダー1
4の浮上面の平面度が最小となり、高さｙがそれより大
きく或いは小さくとも平面度が大きくなるので、高さｙ
を略10μｍの寸法に保つことにより極めて高精度に加工
し得る。なお、第６図に示すスライダー14の長手方向と
は、単一のスライダー14のものであり、第４図に示すよ
うにブロック化されたスライダー14の短手方向に相当す
る。
おける高さｙと単一のスライダー14の長手方向の平面度
との関係を第６図に示す。同図から、肉厚寸法Δｒが1.
5μｍの場合、高さｙが略10μｍにすると、スライダー1
4の浮上面の平面度が最小となり、高さｙがそれより大
きく或いは小さくとも平面度が大きくなるので、高さｙ
を略10μｍの寸法に保つことにより極めて高精度に加工
し得る。なお、第６図に示すスライダー14の長手方向と
は、単一のスライダー14のものであり、第４図に示すよ
うにブロック化されたスライダー14の短手方向に相当す
る。
さらに、肉厚寸法Δｒが1.5μｍの場合における高さｙ
とスライダー14の加工能率との関係を第７図に示す。同
図から、高さｙが略10μｍのときにスライダー14対する
加工能率が高く、その高さｙを管理すれば、研摩作業の
高能率化を図り得ることがわかる。
とスライダー14の加工能率との関係を第７図に示す。同
図から、高さｙが略10μｍのときにスライダー14対する
加工能率が高く、その高さｙを管理すれば、研摩作業の
高能率化を図り得ることがわかる。
図示実施例では、ラップ定盤11の径が一般的な12インチ
（約305mm）の場合、高さｙを15μｍ、肉厚寸法Δｒを
２μｍにすることにより、スライダー14の浮上面の平面
度を0.05gμｍ以下に達成できることが確認されたが、
それらはラップ定盤11及びスライダー14の大きさや該ス
ライダー14の浮上面に要求される平面度に応じ適宜に選
定されるのは勿論である。
（約305mm）の場合、高さｙを15μｍ、肉厚寸法Δｒを
２μｍにすることにより、スライダー14の浮上面の平面
度を0.05gμｍ以下に達成できることが確認されたが、
それらはラップ定盤11及びスライダー14の大きさや該ス
ライダー14の浮上面に要求される平面度に応じ適宜に選
定されるのは勿論である。
以上述べたように、本発明によれば、研摩面が、ラップ
定盤及びスライダーの大きさとスライダーの浮上面に要
求される平面度とに基づき所望の曲率をもち、かつ研摩
面の外周部と中央部とを結ぶ直線に対しスライダーと接
触し得る範囲の最も高い部分である有効研摩部の肉厚寸
法を適宜に設定した円弧状に形成されたラップ定盤を軸
周りに回転し、該回転するラップ定盤の研摩面に対し、
該研摩面における前記有効研摩部にスライダーの浮上面
の中心部を位置させながらスライダーと修正輪との底面
を押圧するとともに、該スライダーと修正輪との双方を
スライダー浮上面の中心部周りに回転させることによ
り、スライダーの浮上面を平面に研摩する一方、修正輪
によりラップ定盤の研摩面を修正するように構成したの
で、研摩時にはラップ定盤の研摩面にスライダーの浮上
面が常時接触し、その浮上面に研摩面が転写される如く
スライダーを加工し得る結果、スライダーの浮上面をそ
の要求精度に確実に研摩し得、しかも安定した加工精度
が得られる効果があり、またラップ定盤の研摩面を簡単
かつ確実に修正することができ、容易に修正作業を行う
ことができる結果、それだけ研摩装置の稼動率を向上し
得る効果がある。
定盤及びスライダーの大きさとスライダーの浮上面に要
求される平面度とに基づき所望の曲率をもち、かつ研摩
面の外周部と中央部とを結ぶ直線に対しスライダーと接
触し得る範囲の最も高い部分である有効研摩部の肉厚寸
法を適宜に設定した円弧状に形成されたラップ定盤を軸
周りに回転し、該回転するラップ定盤の研摩面に対し、
該研摩面における前記有効研摩部にスライダーの浮上面
の中心部を位置させながらスライダーと修正輪との底面
を押圧するとともに、該スライダーと修正輪との双方を
スライダー浮上面の中心部周りに回転させることによ
り、スライダーの浮上面を平面に研摩する一方、修正輪
によりラップ定盤の研摩面を修正するように構成したの
で、研摩時にはラップ定盤の研摩面にスライダーの浮上
面が常時接触し、その浮上面に研摩面が転写される如く
スライダーを加工し得る結果、スライダーの浮上面をそ
の要求精度に確実に研摩し得、しかも安定した加工精度
が得られる効果があり、またラップ定盤の研摩面を簡単
かつ確実に修正することができ、容易に修正作業を行う
ことができる結果、それだけ研摩装置の稼動率を向上し
得る効果がある。
第１図は本発明の研摩方法の一実施例を示す斜視図、第
２図は本発明の研摩方法に用いるラップ定盤を示す斜視
図、第３図はラップ定盤の形状を示す説明図、第４図は
第３図におけるラップ定盤とスライダーとの関係を示す
説明図、第５図はラップ定盤の肉厚寸法とスライダーの
浮上面の平面度との関係を示す説明図、第６図はラップ
定盤の高さとスライダーの浮上面の平面度との関係を示
す説明図、第７図はラップ定盤の高さとスライダーの加
工能率との関係を示す説明図、第８図はラップ定盤の種
々の形状を示す説明図、第９図（ａ），（ｂ）は種々の
磁気ヘッドを示す斜視図、第10図は一般の研摩装置を示
す説明用斜視図、第11図乃至第13図は従来の研摩装置の
種々の例を示す説明図、第14図は磁気ヘッド浮上量とス
ライダーの浮上面の平面度との関係を示す説明図であ
る。 1,11……ラップ定盤、１′,11′……ラップ定盤の研摩
面、4,14……磁気ヘッドのスライダー、Ｒ……ラップ定
盤の曲率半径、ｙ……ラップ定盤の研摩面の高さ。
２図は本発明の研摩方法に用いるラップ定盤を示す斜視
図、第３図はラップ定盤の形状を示す説明図、第４図は
第３図におけるラップ定盤とスライダーとの関係を示す
説明図、第５図はラップ定盤の肉厚寸法とスライダーの
浮上面の平面度との関係を示す説明図、第６図はラップ
定盤の高さとスライダーの浮上面の平面度との関係を示
す説明図、第７図はラップ定盤の高さとスライダーの加
工能率との関係を示す説明図、第８図はラップ定盤の種
々の形状を示す説明図、第９図（ａ），（ｂ）は種々の
磁気ヘッドを示す斜視図、第10図は一般の研摩装置を示
す説明用斜視図、第11図乃至第13図は従来の研摩装置の
種々の例を示す説明図、第14図は磁気ヘッド浮上量とス
ライダーの浮上面の平面度との関係を示す説明図であ
る。 1,11……ラップ定盤、１′,11′……ラップ定盤の研摩
面、4,14……磁気ヘッドのスライダー、Ｒ……ラップ定
盤の曲率半径、ｙ……ラップ定盤の研摩面の高さ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹下 幸二 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所小田原工場内 (56)参考文献 特開 昭62−166958（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−61019（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】回転するラップ定盤の研摩面に修正輪と該
修正輪の内部に配置される磁気ヘッドのスライダーの浮
上面とを押圧し乍ら回転させ、前記研摩面によりスライ
ダーの浮上面を研摩する研摩方法において、研摩面が、
ラップ定盤及びスライダーの大きさとスライダーの浮上
面に要求される平面度とに基づき所望の曲率をもち、か
つ研摩面の外周部と中央部とを結ぶ直線に対しスライダ
ーと接触し得る範囲の最も高い部分である有効研摩部の
肉厚寸法を適宜に設定した円弧状に形成されたラップ定
盤を軸周りに回転し、該回転するラップ定盤の研摩面に
対し、該研摩面における前記有効研摩部にスライダーの
浮上面の中心部を位置させながらスライダーと修正輪と
の底面を押圧するとともに、該スライダーと修正輪との
双方をスライダー浮上面の中心部周りに回転させること
により、スライダーの浮上面を平面に研摩する一方、修
正輪によりラップ定盤の研摩面を修正するようにしたこ
とを特徴とする磁気ヘッドのスライダーの浮上面の研摩
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62263977A JPH0770186B2 (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 磁気ヘッドのスライダーの浮上面の研摩方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62263977A JPH0770186B2 (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 磁気ヘッドのスライダーの浮上面の研摩方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15569796A Division JPH08329441A (ja) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | 磁気ヘッドのスライダーの浮上面の研摩方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01107309A JPH01107309A (ja) | 1989-04-25 |
| JPH0770186B2 true JPH0770186B2 (ja) | 1995-07-31 |
Family
ID=17396840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62263977A Expired - Lifetime JPH0770186B2 (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 磁気ヘッドのスライダーの浮上面の研摩方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0770186B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53111594A (en) * | 1977-02-23 | 1978-09-29 | Fujitsu Ltd | Method of mounting workpiece on holder |
| JPS60152133A (ja) * | 1984-01-19 | 1985-08-10 | Onkyo Corp | Ｆｍ受信装置 |
| JPS6261019U (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-15 | ||
| JPS62166958A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-23 | Tohoku Metal Ind Ltd | 凹面研摩用定盤 |
| JPH0664693B2 (ja) * | 1987-02-03 | 1994-08-22 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘツドの製造方法 |
-
1987
- 1987-10-21 JP JP62263977A patent/JPH0770186B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01107309A (ja) | 1989-04-25 |
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