JPH0664706A - 状態検出装置及び収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハキャリアのストッカ内のキャリアの有
無や搬送系の可動部の状態などをセンサにより検出して
その検出信号を制御部に伝送するにあたり、簡単な構成
で、かつ配線量を少なくすること。 【構成】 例えばキャリアストッカにおいて、各棚毎に
キャリアの有無を検出するセンサＳ１〜Ｓ８とインター
フェイスボード２とを設ける。インターフェイスボード
２には、パラレル信号路３１及びアドレス信号路３２
と、センサＳ１〜Ｓ８からの検出信号を取り込んでパラ
レル信号路３１に出力するためのバス駆動部４と、アド
レス信号路３２からのアドレス信号にもとずいて当該イ
ンターフェイスボード２のバス駆動部４を駆動するアド
レス選択回路５などが設けられ、これらインターフェイ
スボード２を互に接続してバスラインを形成するように
構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば可動部の位置な
どをセンサにより検出する状態検出装置、及び例えば半
導体ウエハのキャリア（容器）を収納するにあたってキ
ャリアの有無をセンサにより検出する収納装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に可動部の位置や、ある物体の有無
といった状態を検出してシステムの制御を行う場合は多
い。例えば半導体ウエハの製造プロセスにおいては、熱
処理ステーション、露光・現像ステーション、検査ステ
ーションなどの間を、ウエハをキャリア（容器）に収納
して搬送する搬送系や各ステーション毎にウエハを搬出
入するための搬出入ポート、更には各ステーション間の
処理時間の差に対応するためにバッファ的役割をも果た
すキャリアストッカなどが設置される。

【０００３】このような半導体ウエハを搬送するシステ
ムは、ウエハをキャリアから取り出したり、複数のキャ
リアを一度に把持して移動させたり、あるいはキャリア
内のウエハを突き上げるなど搬送系の動きが複雑であ
る。ところでこうした搬送を行う場合例えばアームの位
置やウエハの突き上げ機構の高さ位置といった可動部の
状態、あるいはストッカの各棚のキャリアの有無などを
検出する必要がある。何故ならば、各部分の動作のタイ
ミングを制御する場合の他、例えばウエハの突き上げ機
構が降りないうちにキャリアを移動させてしまったり、
あるいはストッカの棚にキャリアを置きにいくときにそ
の位置にキャリアがあった場合などはウエハや可動部の
破壊などにつながり、このため状態を検出してインター
ロックをかける必要があるからである。

【０００４】そこでストッカの各棚毎に、キャリアの有
無を検出するためにキャリアの収納個数に相当するセン
サを配設したり、各可動部のユニット毎にアームの位置
（Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の位置）などを検出するセンサを配設
し、各センサから信号線を引きまわして制御部に接続
し、センサからの検出信号を制御部に取り込むようにし
ている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述のよ
うに各センサから信号線を引きまわして制御部に接続す
る構成では、配線量が多く、ウエハの搬送系は複雑であ
るため可動部のセンサの数も多く、また高スループット
化に対応してストッカの収納容量も大きくなっているの
でストッカ内のセンサの数も多く、従って信号線の束が
相当膨んでしまう。一方ウエハの搬送系は可動部や搬送
路が混み入っている上、発塵防止のための通風機構など
も組み込まれているので、膨らんだ配線の束を引きまわ
すことは、レイアウト上余計なスペースを確保したり、
あるいは機構部分を回避して遠くまで迂回させることに
より配線長が可成り長くなって配線量がその分更に多く
なるなどの問題があった。またセンサと制御部とが可成
り離れている場合にはノイズを拾いやすく、制御の安定
性にも問題があった。

【０００６】本発明は、このような事情のもとになされ
たものであり、その目的は、複雑な回路を用いることな
く、制御部とセンサとの接続のための配線量を大幅に減
らすことのできる状態検出装置及び収納装置を提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、被検
出ユニット毎に、複数の被検出物の状態を夫々検出する
ためのセンサが設けられ、各センサの検出信号を制御部
に取り込む状態検出装置において、各被検出ユニット毎
に、パラレル信号路及びアドレス信号路を備えたインタ
ーフェイスボードを設け、入力側が前記センサの出力側
に、また出力側が前記パラレル信号路に夫々接続され、
各センサの検出信号をパラレル信号路に出力するための
バス駆動部と、前記アドレス信号路を介して送られた、
被検出ユニットに割り当てられたアドレス信号が入力さ
れたときに当該被検出ユニットに係るインターフェイス
ボードのバス駆動部を駆動して各センサの検出信号をパ
ラレル信号路に出力させるアドレス選択回路とをインタ
ーフェイスボードに設け、各インターフェイスボードの
パラレル信号路同士及びアドレス信号路同士を接続し
て、制御部との間の伝送路であるバスラインを形成する
ことを特徴とする。

【０００８】請求項２の発明は、複数の被収納物が配列
して収納される収納ユニットを複数備え、各収納ユニッ
ト毎に、複数の被収納物の有無を夫々検出するためのセ
ンサが設けられ、各センサの検出信号を制御部に取り込
む収納装置において、各収納ユニット毎に、パラレル信
号路及びアドレス信号路を備えたインターフェイスボー
ドを設け、入力側が前記センサの出力側に、また出力側
が前記パラレル信号路に夫々接続され、各センサの検出
信号をパラレル信号路に出力するためのバス駆動部と、
前記アドレス信号路を介して送られた、収納ユニットに
割り当てられたアドレス信号にもとずいて当該収納ユニ
ットに係るインターフェイスボードのバス駆動部を駆動
して各センサの検出信号をパラレル信号路に出力させる
アドレス選択回路とをインターフェイスボードに設け、
各インターフェイスボードのパラレル信号路同士及びア
ドレス信号路同士を接続して、制御部との間の伝送路で
あるバスラインを形成することを特徴とする。

【０００９】請求項３の発明は、被検出ユニット毎に、
複数の被検出物の状態を夫々検出するための複数のセン
サが設けられ、このセンサの検出信号を制御部に取り込
む状態検出装置において、各被検出ユニット毎に第１の
インターフェイスボードを設けると共に、各被検出ユニ
ットに対して共通であり、制御部に接続されたパラレル
信号路及びアドレス信号路を含むバスラインを有する第
２のインターフェイスボードを設け、前記センサの検出
信号を前記バスに伝送するために前記第１のインターフ
ェイスボードと第２のインターフェイスボードのバスラ
インとの間にパラレル信号線を接続し、入力側が前記セ
ンサの出力側に、また出力側が前記パラレル信号線に夫
々接続され、各センサの検出信号をパラレル信号線に出
力するためのバス駆動部を第１のインターフェイスボー
ドに設け、前記バスラインを介して送られた、被検査ユ
ニットに割り当てられたアドレス信号にもとずいて、当
該被検査ユニットに係る第１のインターフェイスボード
のバス駆動部を駆動して、各センサの検出信号をパラレ
ル信号線に出力させるアドレス選択回路を設けたことを
特徴とする。

【００１０】

【作用】被検出ユニットが例えば請求項２の発明のよう
に、複数の被収納物が配列して収納される収納ユニット
である場合を例にとると、制御部からバスラインを通じ
てアドレス信号が出力されることにより当該アドレス信
号に対応する収納ユニット例えば収納棚に係るインター
フェイスボードのバス駆動部が駆動され、当該収納棚の
各センサの信号線とバスとが接続されて各センサからの
検出信号が制御部に取り込まれる。

【００１１】また請求項３の発明では、制御部からバス
ラインを介してアドレス信号が出力されると、例えば第
２のインターフェイスボードにアドレス選択回路が配置
されている場合、ここから当該アドレス信号に対応する
被検出ユニットに係る第１のインターフェイスボードの
バス駆動部にイネーブル信号が発せられて、当該バス駆
動部を駆動し、これにより当該被検出ユニットの各セン
サから第１のインターフェイスボード及び第２のインタ
ーフェイスボードを介して制御部に伝送される。

【００１２】従って所定のビット数のバスラインを形成
しておくことにより、インターフェイスボードを選択す
ることで各センサからの検出信号が制御部に取り込ま
れ、このため配線量は少なくなる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明に係る状態検出装置を、半導体
ウエハのキャリアを収納する収納装置に適用した実施例
について説明すると、図１は、キャリアの収納装置（通
常「キャリアストッカ」と呼ばれる）を含むウエハの搬
送ステーションの一部を示す図である。

【００１４】この搬送ステーションは、外部から運ばれ
てきたキャリアからウエハを取り出して熱処理炉へ搬入
し、また熱処理後のウエハをキャリアに入れて搬出する
ためのステーションであり、処理前あるいは処理後のウ
エハの入ったキャリア１１を例えば１段あたり８個収納
できる棚が複数段重ねて配列されると共に、最下段に入
出力ポート１０を備えたストッカ１と、このストッカ１
の各棚に配列されたキャリア１１を一括して搬送する、
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能な搬送機構１２と、ストッカ
１の一番下の棚の前に停止すると共にＹ方向に移動可能
なキャリアライナ１３と、このキャリアライナ１３がス
トッカ１の正面位置からＹ方向に離れた所定位置に停止
しているときにキャリア１１内の処理前のウエハＷを把
持して図示しないウエハボートに移し替え、また逆にそ
のウエハボート内の処理後のウエハを把持してキャリア
１１内に移し替える把持機構１４と、キャリアライナ１
３の搬送路の真下に配置され、キャリア１１内のウエハ
Ｗを突き上げてウエハＷの枚数をカウントするウエハカ
ウンタ１５と、このウエハカウンタ１５と同様に動作
し、ウエハのオリフラ（オリエンテーション フラッ
ト）を揃えるためのフラットファインダ１６とを備えて
いる。

【００１５】このような構成の搬送ステーションでは、
外部から入出力ポート１０に順次キャリアが運ばれ、こ
れらキャリアが図示しない送り機構によってストッカ１
の最下段に取り込まれる。そしてこれらキャリアを搬送
機構１２により一括して一旦ストッカ１の所定の棚に収
納し、その後各棚からキャリア１１をキャリアライナ１
３に受け渡す。次いでキャリアライナ１３が所定位置ま
で移動した後把持機構１４によりキャリア１１内のウエ
ハＷが取り出され、図示しないウエハボートに移され
る。

【００１６】次いでこの実施例の要部であるストッカ１
について述べると、ストッカ１の各棚には、図２に示す
ように各キャリア１１が有るか無いかを検出するように
キャリア１１の数に対応した数だけ、例えば１段あたり
８個のセンサＳ１〜Ｓ８が配置されている。このセンサ
Ｓ１〜Ｓ８は、例えば光反射型のものが使用されるが、
リミットスイッチなど種々のタイプのものを用いること
ができる。

【００１７】また各棚には、センサＳ１〜Ｓ８の信号線
が接続され、当該センサＳ１〜Ｓ８の検出信号（出力信
号）を論理信号に変換して制御部１００に伝送するイン
ターフェイスボード２が棚の側板に取り付けられてお
り、更に各インターフェイスボード２は互に縦列接続
（カスケード接続）されて、制御部１００との間の伝送
路であるバスラインが形成されている。

【００１８】前記インターフェイスボード２について図
３を参照しながら説明すると、インターフェイスボード
２には、センサＳ１〜Ｓ８の数に対応する８ビットの信
号路よりなるパラレル信号路３１と、各棚に割り当てら
れたアドレス信号を伝送する例えば４ビットの信号路よ
りなるアドレス信号路３２とを備えており、これらパラ
レル信号路３１及びアドレス信号路３２よりなる信号路
群の上下両端には、夫々コネクタ３Ａ、３Ｂが接続され
ている。

【００１９】このコネクタ３Ａ、３Ｂは上下同じ構造の
ものが上下対称に取り付けられており、このためインタ
ーフェイスボード２のパラレル信号路３１及びアドレス
信号路３２並びにコネクタ３Ａ、３Ｂからなる部分（後
述のようにこの部分はバスラインの一部である）は上下
対称の構造となっている。

【００２０】またインターフェイスボード２には、絶縁
回路４１、バス駆動部（バスドライバ）４及びアドレス
選択回路５が設けられており、絶縁回路４１は、入力側
がセンサＳ１〜Ｓ８からの信号線に接続されると共に出
力側がバス駆動部４の入力側に接続されている。前記バ
ス駆動部４は出力側がパラレル信号路３１に接続されて
おり、前記アドレス選択回路５からのイネーブル信号の
入力により、絶縁回路４１を介して与えられたセンサＳ
１〜Ｓ８の検出信号を夫々パラレル信号路３１の８ビッ
トの信号路に出力するように構成されている。

【００２１】前記アドレス選択回路５は入力側がアドレ
ス信号路３２に接続され、アドレス信号路３２を介して
与えられたアドレス信号が当該インターフェイスボード
２に対応するとき、つまりセンサＳ１〜Ｓ８が配列され
ている棚に割り当てられたアドレスに対応するとき、バ
ス駆動部４に対してイネーブル信号を出力するように構
成される。

【００２２】図４はインターフェイスボード２に設けら
れた各部の具体的回路構成の一例を示す図であり、前記
絶縁回路４１は、例えば各センサＳ１〜Ｓ８に対応して
設けられたフォトカプラＦ１〜Ｆ８よりなり、これらフ
ォトカプラＦ１〜Ｆ８の発光ダイオ−ドの両端間にセン
サＳ１〜Ｓ８からの信号線が接続されている。バス駆動
部４は例えばスリ−ステ−トロジック回路Ｔ１〜Ｔ８か
らなり、その入力側が夫々フォトカプラＦ１〜Ｆ８のフ
ォトトランジスタ側に接続されると共に、出力側が夫々
パラレル信号路３１の８ビットの信号路に接続されてい
る。なおフォトトランジスタのコレクタ側には夫々抵抗
Ｒ１〜Ｒ８を介して電圧＋Ｖが印加されている。

【００２３】前記アドレス選択回路５は例えば入力側が
アドレス信号路３２の４ビットの信号路の所定の２本の
信号路に接続されたロジック回路ユニットよりなり、当
該インターフェイスボード２に対応するアドレス信号の
入力時にバス駆動部４のスリ−ステ−トロジック回路Ｔ
１〜Ｔ８にイネーブル信号を出力する機能を有してい
る。

【００２４】このような構成のインターフェイスボード
２においては、ある棚のインターフェイスボード２の上
側のコネクタ３Ａと、当該棚の一段上の棚のインターフ
ェイスボード２の下側のコネクタ３Ｂとをフラットケー
ブル３０を介して互に接続して、インターフェイスボー
ド２のパラレル信号路３１及びアドレス信号路３２をカ
スケード接続することによりバスラインが形成される。
このバスラインの一端側は、本実施例に係るシステムを
制御する制御部１００（図２、図３参照）に接続され
る。なお実際にはバスラインの中には、電源電圧ライン
やアースラインなども含まれるが、説明では詳細してあ
る。

【００２５】次に上述実施例の作用について述べる。先
ず図１に示す搬送システムでは、既述したように外部か
ら処理前のウエハを収納したキャリア１１がストッカ１
に一旦収納され、ここからキャリアライナ１３などをを
経て図示しない熱処理部へ搬送される。

【００２６】そしてストッカ１の各棚に配置されたセン
サＳ１〜Ｓ８によりキャリア１１の有無が常時検出さ
れ、その検出信号がインターフェイスボード２のフォト
カプラＦ１〜Ｆ８に夫々入力され、その出力側からバス
駆動部４の各スリ−ステ−トロジック回路Ｔ１〜Ｔ８に
入力される。一方制御部１００からはバスを介してアド
レス信号を順次出力し、インターフェイスボード２側の
アドレス選択回路５に当該インターフェイスボード２
（当該棚）に割り当てられたアドレス信号が取り込まれ
たときにそのアドレス選択回路５からバス駆動部４にイ
ネーブル信号を出力してバス駆動部４を駆動し、これに
よりセンサＳ１〜Ｓ８の検出信号をパラレル信号路３１
に伝送する。従って制御部１００に前記検出信号が取り
込まれ、この検出信号はストッカ１の各棚の様子の表示
やあるいは搬送機構１２の制御などに用いられる。

【００２７】このような実施例によれば、各棚のインタ
ーフェイスボード２を互に接続してバスラインを形成
し、各棚のセンサＳ１〜Ｓ８の検出信号をこのバスライ
ンを通して順次制御部１００に伝送するようにしている
ため、ストッカ１のすべてのセンサからの信号線の膨ん
だ束を制御部１００まで引きまわす場合に比べて大幅に
配線量を減らすことができるので、システムのレイアウ
ト上非常に得策であるし、またノイズにも強くなる。

【００２８】また配線量を減らす手法として、仮にセン
サの検出信号をシリアル伝送する場合には、制御ソフト
が複雑である上、各インターフェイスボード２毎に専用
の制御回路を組み込まなければならないのでハード構成
も相当複雑になるが、上述実施例ではパラレル伝送を採
用しているので、制御ソフト及びハード構成が簡単であ
る。

【００２９】更にまた各インターフェイスボード２に対
してコネクタ３Ａ、３Ｂが互に対称に設けられているた
め、工場のレイアウトの都合上インターフェイスボード
２をストッカ１の左側面に取り付ける場合と右側面に取
り付ける場合とがあっても、前記インターフェイスボー
ド２は上下を逆にして取り付けることによりどちらのタ
イプに対しても適用できるという利点がある。

【００３０】以上において本発明では、ウエハの容器で
あるキャリアのストッカに限らず、他の被収納物を収納
する装置に対しても適用することができ、更にはまた収
納装置に限らず、被検出ユニット毎に複数のセンサを設
けて、これらセンサにより被検出ユニットに係る被検出
物の状態を検出する装置に対しても適用することができ
る。上述の実施例において、ストッカ１の各棚は被検出
ユニットあるいは被収納ユニットに相当し、キャリア１
１は被検出物あるいは被収納物に相当するものである。

【００３１】次いで本発明の他の実施例について図５を
参照しながら説明すると、この実施例では複数の被検出
ユニットＵ１〜Ｕｎの各ユニット毎に、複数の被検出物
の状態を夫々検出するためのセンサＳ（説明の便宜上同
符号で示す）と第１のインターフェイスボード６とが設
けられており、また各ユニットＵ１〜Ｕｎに対して共通
な第２のインターフェイスボード７が設けられている。

【００３２】前記第１のインターフェイスボード６は、
絶縁回路６１、論理切り替え回路９及びバス駆動部６２
を備え、該当する被検出ユニットに係る各センサＳから
の検出信号を絶縁回路６１及び論理切り替え回路９を介
してバス駆動部６２に出力するように構成される。一方
前記第２のインターフェイスボード７は一端が制御部１
００に接続された、例えば８ビットのパラレル信号路７
１及び例えば４ビットのアドレス信号路７２よりなるバ
スラインを備えており、このパラレル信号路７１と第１
のインターフェイスボード６の各々のバス駆動部６２と
の間は例えば８ビットのパラレル信号線６３により接続
されている。

【００３３】前記第２のインターフェイスボード７のア
ドレス信号路７２には例えばロジック回路ユニットより
なるアドレス選択回路８が接続されており、このアドレ
ス選択回路８は、アドレス信号路７２を介して入力され
たアドレス信号に対応するユニット（第１のインターフ
ェイスボード６）のバス駆動部６２に対して、イネーブ
ル信号線８１を介してイネーブル信号を出力してバス駆
動部６２を駆動するように構成されている。なお図５中
６４、７３、８２はコネクタを示している。

【００３４】図６は第１のインターフェイスボード６の
具体的回路の一例を示す図であり、バス駆動部６２のイ
ネーブル信号が第２のインターフェイスボード７から入
力される点、及び絶縁回路６１とバス駆動部６２との間
に論理切り替え回路９が設けられている点を除けば先の
実施例で述べたインターフェイスボード２の回路構成
（図４参照）と同様である。

【００３５】前記論理切り替え回路９は、各センサＳの
検出信号ラインに夫々排他的論理和回路ＥＸ１〜ＥＸ８
を設け、この排他的論理和回路ＥＸ１〜ＥＸ８の一方の
入力端を夫々フォトカプラＦ１〜Ｆ８の出力側に、また
出力端を夫々スリ−ステ−トロジック回路Ｔ１〜Ｔ８の
入力側に接続し、更に排他的論理和回路ＥＸ１〜ＥＸ８
の他方の入力端に夫々論理入力切り替えのためのスイッ
チＳＷ１〜ＳＷ８が接続されて構成されている。前記ス
イッチＳＷ１〜ＳＷ８は＋Ｖの電圧源（制御部１００か
ら与えられる電圧）とアースとの間に接続され、排他的
論理和回路ＥＸ１〜ＥＸ８の一端の入力の論理を切り替
えることができるように構成されている。

【００３６】ここで図５に示す被検出ユニットについて
は、例えば図１に示す搬送システムにおける搬送機構１
２、キャリアライナ１３、ウエハ把持機構１４、ウエハ
カウンタ１５、フラットファインダ１６などが各ユニッ
トに相当し、これらの可動部の例えばＸ、Ｙ、Ｚ方向の
各位置検出センサなどがそのユニット内のセンサＳに相
当する。

【００３７】次にこの実施例の作用について説明する
と、各ユニットＵ１〜ＵｎのセンサＳによってユニット
の状態が検出される。ユニットの状態とは例えばウエハ
把持機構がウエハを把持しているか否か、キャリアライ
ナ１３の上方側にあるか否かなどであり、センサＳから
の検出信号は絶縁回路６１及び論理切り替え回路９を介
してバス駆動部６２に入力される。

【００３８】一方制御部１００からアドレス信号路７２
を通じてアドレス信号が伝送され、第２のインターフェ
イスボード７のアドレス選択回路８は、そのアドレス信
号に対応するユニットの第１のインターフェイスボード
６に対してイネーブル信号を送り、これにより当該イン
ターフェイスボード６のバス駆動部６２が駆動されてバ
ス駆動部６２の入力側の検出信号がパラレル信号線６３
を介してパラレル信号路７１に出力され、制御部１００
に伝送される。制御部１００ではこの検出信号にもとず
いて可動部にインターロックをかけるなどの制御を行
う。

【００３９】この実施例においてはセンサの検出信号を
２つのインターフェイスボード６、７を介してバスライ
ンに乗せて制御部１００に伝送しているため配線量が少
なくて済む。この場合第２のインターフェイスボード７
をできるだけ端末側におくことによりその効果が一層大
きくなる。また各ユニット同士が可成り離れている場
合、ユニット群の中間に第２のインターフェイスボード
７を配置すれば、先の実施例のように第１のインターフ
ェイスボード６同士をフラットケーブルで接続してバス
ラインを形成する場合に比べて配線量が少なくなる。

【００４０】そして論理切り替え回路９が第１のインタ
ーフェイスボード６に設けられているため、ノーマリオ
ープン、ノーマリクローズのどちらのタイプのセンサを
使用しても、スイッチＳＷの状態により制御部１００か
ら見た検出信号の論理（「１」、「０」）を統一するこ
とができ、ユニットに対して同じインターロックをかけ
ることができる。また配線チェックやトラブルシューテ
ィングにも応用することができ、スイッチＳＷを開閉す
ることによりセンサの不良かインターフェイスボード６
以降の断線などの不良かを調べることができる。このよ
うな論理切り替え回路９は先の実施例のインターフェイ
スボード２に組み込むようにしてもよい。

【００４１】そしてまた図５に示す実施例においては、
第２のインターフェイスボード７にアドレス選択回路８
を設けることにより、第２のインターフェイスボード７
から第１のインターフェイスボード６にアドレス信号路
を引き込まなくてよいので（この場合イネーブル線のみ
でよい）配線量が少なくて済むが、第１のインターフェ
イスボード６にアドレス選択回路を設けるようにしても
よい。

【００４２】以上において上述のインターフェイスボー
ド２、６、７のハード構成については上述実施例に限定
されることなく、例えばバス駆動部に用いられているス
リ−ステ−トロジック回路の各出力線を、互に論理の異
なる２本の出力線により構成してノイズに強くするなど
の構成を採用することができる。

【００４３】なお本発明を収納装置に適用するにあたっ
ては、収納ユニット（実施例では棚に相当する）が上下
に配列される代りに横に並ぶ場合にも適用できるし、ま
た本発明は半導体ウエハの製造プロセス以外の種々のシ
ステムに適用してもよい。

【００４４】

【発明の効果】請求項１、請求項２の発明によれば、イ
ンターフェイスボードを互に接続することによりバスラ
インを形成しているため、センサからの信号線はインタ
ーフェイスボードまで配線すればよく、従って配線量が
少なくて済むし、またパラレル伝送であるからインター
フェイスボードの回路構成も複雑化しない。

【００４５】請求項３の発明によれば各ユニット毎にセ
ンサからの信号線を第１のインターフェイスボードに接
続し、これら第１のインターフェイスボードを第２のイ
ンターフェイスボードに共通に接続しているため、各ユ
ニットが大きく離れていても配線量が少なくて済む。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の全体構成を示す斜視図であ
る。

【図２】図１の実施例のキャリアストッカを拡大して示
す斜視図である。

【図３】本発明の実施例のインターフェイスボードを示
す構成図である。

【図４】インターフェイスボードのハード構成の一例を
示す回路図である。

【図５】本発明の他の実施例の構成を示す構成図であ
る。

【図６】図５に示した第１のインターフェイスボードの
ハード構成を示す回路図である。

【符号の説明】

１ ストッカ １１ キャリア ２ インターフェイスボード ３１、７１ パラレル信号路 ３２、７２ アドレス信号路 ４、６２ バス駆動部 ５、８ アドレス選択回路 ６ 第１のインターフェイスボード ７ 第２のインターフェイスボード Ｕ１〜Ｕｎ 被検出ユニット

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検出ユニット毎に、複数の被検出物の
   状態を夫々検出するためのセンサが設けられ、各センサ
   の検出信号を制御部に取り込む状態検出装置において、 各被検出ユニット毎に、パラレル信号路及びアドレス信
   号路を備えたインターフェイスボードを設け、 入力側が前記センサの出力側に、また出力側が前記パラ
   レル信号路に夫々接続され、各センサの検出信号をパラ
   レル信号路に出力するためのバス駆動部と、前記アドレ
   ス信号路を介して送られた、被検出ユニットに割り当て
   られたアドレス信号が入力されたときに当該被検出ユニ
   ットに係るインターフェイスボードのバス駆動部を駆動
   して各センサの検出信号をパラレル信号路に出力させる
   アドレス選択回路とをインターフェイスボードに設け、 各インターフェイスボードのパラレル信号路同士及びア
   ドレス信号路同士を接続して、制御部との間の伝送路で
   あるバスラインを形成することを特徴とする状態検出装
   置。
2. 【請求項２】 複数の被収納物が配列して収納される収
   納ユニットを複数備え、各収納ユニット毎に、複数の被
   収納物の有無を夫々検出するためのセンサが設けられ、
   各センサの検出信号を制御部に取り込む収納装置におい
   て、 各収納ユニット毎に、パラレル信号路及びアドレス信号
   路を備えたインターフェイスボードを設け、 入力側が前記センサの出力側に、また出力側が前記パラ
   レル信号路に夫々接続され、各センサの検出信号をパラ
   レル信号路に出力するためのバス駆動部と、前記アドレ
   ス信号路を介して送られた、収納ユニットに割り当てら
   れたアドレス信号にもとずいて当該収納ユニットに係る
   インターフェイスボードのバス駆動部を駆動して各セン
   サの検出信号をパラレル信号路に出力させるアドレス選
   択回路とをインターフェイスボードに設け、 各インターフェイスボードのパラレル信号路同士及びア
   ドレス信号路同士を接続して、制御部との間の伝送路で
   あるバスラインを形成することを特徴とする収納装置。
3. 【請求項３】 被検出ユニット毎に、複数の被検出物の
   状態を夫々検出するための複数のセンサが設けられ、こ
   のセンサの検出信号を制御部に取り込む状態検出装置に
   おいて、 各被検出ユニット毎に第１のインターフェイスボードを
   設けると共に、 各被検出ユニットに対して共通であり、制御部に接続さ
   れたパラレル信号路及びアドレス信号路を含むバスライ
   ンを有する第２のインターフェイスボードを設け、 前記センサの検出信号を前記バスラインに伝送するため
   に前記第１のインターフェイスボードと第２のインター
   フェイスボードのバスラインとの間にパラレル信号線を
   接続し、 入力側が前記センサの出力側に、また出力側が前記パラ
   レル信号線に夫々接続され、各センサの検出信号をパラ
   レル信号線に出力するためのバス駆動部を第１のインタ
   ーフェイスボードに設け、 前記バスラインを介して送られた、被検査ユニットに割
   り当てられたアドレス信号にもとずいて、当該被検査ユ
   ニットに係る第１のインターフェイスボードのバス駆動
   部を駆動して、各センサの検出信号をパラレル信号線に
   出力させるアドレス選択回路を設けたことを特徴とする
   状態検出装置。