JPH0665012B2 - 静電偏向装置 - Google Patents
静電偏向装置Info
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- JPH0665012B2 JPH0665012B2 JP63219941A JP21994188A JPH0665012B2 JP H0665012 B2 JPH0665012 B2 JP H0665012B2 JP 63219941 A JP63219941 A JP 63219941A JP 21994188 A JP21994188 A JP 21994188A JP H0665012 B2 JPH0665012 B2 JP H0665012B2
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- Japan
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- electrodes
- electrode
- parallel plate
- deflection electrodes
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、光軸に対し上下に各々Ｘ方向及びＹ方向平行
平板タイプの偏向電極を有する静電偏向装置に関し、特
に、Ｘ方向の偏向電極とＹ方向偏向電極によりターゲッ
ト上で荷電粒子ビームを同じ距離振った場合、各々の偏
向電極の開き角が同一になるように成した静電偏向装置
に関する。
平板タイプの偏向電極を有する静電偏向装置に関し、特
に、Ｘ方向の偏向電極とＹ方向偏向電極によりターゲッ
ト上で荷電粒子ビームを同じ距離振った場合、各々の偏
向電極の開き角が同一になるように成した静電偏向装置
に関する。
［従来の技術］ 走査電子顕微鏡，電子ビーム描画装置，イオンビーム描
画装置等の荷電粒子ビーム装置においては、例えば、試
料上や材料上をビームで走査する為にビーム偏向装置が
設けられている。該ビーム偏向装置には、一般的に、ビ
ームに静電界を印加する事によりビームの向きを曲げる
静電偏向装置と、ビームに電磁界を印加する事によりビ
ームの向きを曲げる電磁偏向装置がある。
画装置等の荷電粒子ビーム装置においては、例えば、試
料上や材料上をビームで走査する為にビーム偏向装置が
設けられている。該ビーム偏向装置には、一般的に、ビ
ームに静電界を印加する事によりビームの向きを曲げる
静電偏向装置と、ビームに電磁界を印加する事によりビ
ームの向きを曲げる電磁偏向装置がある。
さて、電子ビーム描画装置等精度の高い偏向を必要とす
る荷電粒子ビーム装置においては、通常、高速且つ直線
性の高い偏向が可能な静電偏向装置が採用されている。
第３図は電子ビーム描画装置の概略図を示したものであ
る。該装置においては、電子銃１からの電子ビームを集
束レンズ２で材料３上に集束させ、制御装置４からＸ方
向位置信号をＤＡ変換器５Ｘ及びＸ方向偏向電圧発生回
路６Ｘを介してＸ方向偏向電極７Ｘに、Ｙ方向位置信号
をＤＡ変換器５Ｙ及びＹ方向偏向電圧発生回路６Ｙを介
してＹ方向偏向電極７Ｙに印加する事によりビームのパ
ターンを所望のパターン描画位置にショットしている。
る荷電粒子ビーム装置においては、通常、高速且つ直線
性の高い偏向が可能な静電偏向装置が採用されている。
第３図は電子ビーム描画装置の概略図を示したものであ
る。該装置においては、電子銃１からの電子ビームを集
束レンズ２で材料３上に集束させ、制御装置４からＸ方
向位置信号をＤＡ変換器５Ｘ及びＸ方向偏向電圧発生回
路６Ｘを介してＸ方向偏向電極７Ｘに、Ｙ方向位置信号
をＤＡ変換器５Ｙ及びＹ方向偏向電圧発生回路６Ｙを介
してＹ方向偏向電極７Ｙに印加する事によりビームのパ
ターンを所望のパターン描画位置にショットしている。
この様な静電偏向装置は正電極と負電極で１組のＸ方向
静電電極（平行平板電極），正電極と負電極で１組のＹ
方向静電電極（平行平板電極）及び各々の電極に偏向電
圧を印加する為の偏向電圧発生回路とから構成されてい
る。
静電電極（平行平板電極），正電極と負電極で１組のＹ
方向静電電極（平行平板電極）及び各々の電極に偏向電
圧を印加する為の偏向電圧発生回路とから構成されてい
る。
所で、１組のＸ方向平行平板電極と１組のＹ方向平行平
板電極との組み合わせには、第４図（ａ）に示す様に、
光軸Ｏに対し同一垂直面上に、１組のＸ方向平行平板電
極８Ｘ，８Ｘ′と該電極に対し直角方向に１組のＹ方向
平行平板電極８Ｙ，８Ｙ′を配置する場合と、第５図
（ａ）に示す様に、光軸Ｏに対し上下の垂直面上に、１
組のＸ方向平行平板電極９Ｘ，９Ｘ′と該電極に対し直
角方向に１組のＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′を配置
する場合が一般的である。尚、後者の場合、偏向感度は
電極の長さに比例するが、電極間のギャップに反比例す
るので、電極間のギャップに対し電極間の長さが大きく
なる様に構成している。
板電極との組み合わせには、第４図（ａ）に示す様に、
光軸Ｏに対し同一垂直面上に、１組のＸ方向平行平板電
極８Ｘ，８Ｘ′と該電極に対し直角方向に１組のＹ方向
平行平板電極８Ｙ，８Ｙ′を配置する場合と、第５図
（ａ）に示す様に、光軸Ｏに対し上下の垂直面上に、１
組のＸ方向平行平板電極９Ｘ，９Ｘ′と該電極に対し直
角方向に１組のＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′を配置
する場合が一般的である。尚、後者の場合、偏向感度は
電極の長さに比例するが、電極間のギャップに反比例す
るので、電極間のギャップに対し電極間の長さが大きく
なる様に構成している。
第４図（ｂ）の実線は第４図（ａ）に示すＸ方向平行平
板電極８Ｘ，８Ｘ′間の偏向力の一様性を表わしたもの
で、Ｘ方向平行平板電極８Ｘ，８Ｘ′を通る平行面から
各々Ｘ方向平行平板電極８Ｘ，８Ｘ′の僅かな所迄では
一様性は高いが、その辺りから各々Ｘ方向平行平板電極
８Ｘ，８Ｘ′に近づくに従い一様性が低下する。第４図
（ｂ）の破線は第４図（ａ）に示すＹ方向平行平板電極
８Ｙ，８Ｙ′間の偏向力の一様性を表わしたものである
が、上記と全く同じ事が言える。この様な組み合わせの
電極によりビームを偏向させた場合、中心Ｑを含む該中
心の周辺領域Ｒ内を通過するビームには殆ど偏向収差が
発生しないが、該領域の外を通過するビームには該領域
から外れるに従った大きい偏向収差が発生する。
板電極８Ｘ，８Ｘ′間の偏向力の一様性を表わしたもの
で、Ｘ方向平行平板電極８Ｘ，８Ｘ′を通る平行面から
各々Ｘ方向平行平板電極８Ｘ，８Ｘ′の僅かな所迄では
一様性は高いが、その辺りから各々Ｘ方向平行平板電極
８Ｘ，８Ｘ′に近づくに従い一様性が低下する。第４図
（ｂ）の破線は第４図（ａ）に示すＹ方向平行平板電極
８Ｙ，８Ｙ′間の偏向力の一様性を表わしたものである
が、上記と全く同じ事が言える。この様な組み合わせの
電極によりビームを偏向させた場合、中心Ｑを含む該中
心の周辺領域Ｒ内を通過するビームには殆ど偏向収差が
発生しないが、該領域の外を通過するビームには該領域
から外れるに従った大きい偏向収差が発生する。
第５図（ｂ）は第５図（ａ）に示すＸ方向平行平板電極
９Ｘ，９Ｘ′又はＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′間の
偏向力の一様性を表わしたもので、平行平板電極９と
９′との真中Ｑ′を通る平行面上は全く一様であり、該
真中Ｑ′を通る平行面から各々平行平板電極９，９′近
辺迄で一様性が高い。従って、この様な組み合わせの電
極によりビームを偏向させた場合、各電極の中心Ｑ′か
ら各電極の近辺領域Ｒ′内を通過するビームには殆ど偏
向収差が発生しない。この点から、静電偏向器としては
該第５図に示す如き組合わせのものが理想的と言える。
９Ｘ，９Ｘ′又はＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′間の
偏向力の一様性を表わしたもので、平行平板電極９と
９′との真中Ｑ′を通る平行面上は全く一様であり、該
真中Ｑ′を通る平行面から各々平行平板電極９，９′近
辺迄で一様性が高い。従って、この様な組み合わせの電
極によりビームを偏向させた場合、各電極の中心Ｑ′か
ら各電極の近辺領域Ｒ′内を通過するビームには殆ど偏
向収差が発生しない。この点から、静電偏向器としては
該第５図に示す如き組合わせのものが理想的と言える。
［発明が解決しようしする課題］ しかし、Ｘ方向平行平板電極９Ｘ，９Ｘ′とＹ方向平行
平板電極９Ｙ，９Ｙ′は全く同じ様に作成されており
（即ち，電極の寸法，電極間の距離，電極を通過する荷
電粒子を単位距離偏向する為の各偏向電極間の印加電圧
の値が同一）、同一の偏向電圧を印加すると、同一の偏
向角（開き角）となる。何故なら、平行平板電極の寸法
をｄ，各平行平板電極の距離をａ，該各平行平板電極を
通過する荷電粒子を単位距離偏向する為の各電極間の印
加電圧をＶ、該各電極を通過する荷電粒子の加速電圧を
Ｖｏ、偏向角（開き角）をθとした時、偏向角（開き
角）θは、 ｔａｎθ＝Ｖｄ／２ａＶｏ と表す事が出来るからである。
平板電極９Ｙ，９Ｙ′は全く同じ様に作成されており
（即ち，電極の寸法，電極間の距離，電極を通過する荷
電粒子を単位距離偏向する為の各偏向電極間の印加電圧
の値が同一）、同一の偏向電圧を印加すると、同一の偏
向角（開き角）となる。何故なら、平行平板電極の寸法
をｄ，各平行平板電極の距離をａ，該各平行平板電極を
通過する荷電粒子を単位距離偏向する為の各電極間の印
加電圧をＶ、該各電極を通過する荷電粒子の加速電圧を
Ｖｏ、偏向角（開き角）をθとした時、偏向角（開き
角）θは、 ｔａｎθ＝Ｖｄ／２ａＶｏ と表す事が出来るからである。
そして、該第５図（ｃ）に示す様に、Ｘ方向平行平板電
極９Ｘ，９Ｘ′とＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′は夫
々光軸Ｏに対し上下の垂直面上に配置する事から、該Ｘ
方向平行平板電極の偏向中心Ｈｘから材料Ｓ迄の距離Ｗ
ｘとＹ方向平行平板電極の偏向中心Ｈｙから材料Ｓ迄の
距離Ｗｙが大きく異なる。従って、同じ偏向電圧を印加
した場合、各々の材料上での偏向幅（Ｄｘ，Ｄｙ）が大
きく異なってしまう。尚、Ｘ方向平行平板電極９Ｘ，９
Ｘ′とＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′の偏向幅の違い
が理解し易い様に、第５図（ｃ）ではＸ方向平行平板電
極９Ｘ，９Ｘ′とＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′の個
々の偏向方向を同一に示した。実際には、第２図に示す
様に、Ｘ方向平行平板電極９Ｘ，９Ｘ′とＹ方向平行平
板電極９Ｙ，９Ｙ′の個々の偏向方向は９０°異なる。
極９Ｘ，９Ｘ′とＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′は夫
々光軸Ｏに対し上下の垂直面上に配置する事から、該Ｘ
方向平行平板電極の偏向中心Ｈｘから材料Ｓ迄の距離Ｗ
ｘとＹ方向平行平板電極の偏向中心Ｈｙから材料Ｓ迄の
距離Ｗｙが大きく異なる。従って、同じ偏向電圧を印加
した場合、各々の材料上での偏向幅（Ｄｘ，Ｄｙ）が大
きく異なってしまう。尚、Ｘ方向平行平板電極９Ｘ，９
Ｘ′とＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′の偏向幅の違い
が理解し易い様に、第５図（ｃ）ではＸ方向平行平板電
極９Ｘ，９Ｘ′とＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′の個
々の偏向方向を同一に示した。実際には、第２図に示す
様に、Ｘ方向平行平板電極９Ｘ，９Ｘ′とＹ方向平行平
板電極９Ｙ，９Ｙ′の個々の偏向方向は９０°異なる。
従って、例えば、材料Ｓ上でＸ，Ｙ方向に同じ幅Ｐ丈ビ
ームＥＢを振ろうとした場合、Ｘ方向平行平板電極９
Ｘ，９Ｘ′にはＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′に印加
する偏向電圧より大きい偏向電圧を印加しなければなら
ない。即ち、この場合、Ｘ方向平行平板電極９Ｘ，９
Ｘ′による偏向角θｘがＹ方向平行平板電極９Ｙ，９
Ｙ′による偏向角θｙより大きくなる。さて、偏向収差
の大きさは偏向角（開き角）の大きさに対応しているの
で、Ｘ方向の偏向収差がＹ方向の偏向収差に比べ大きく
なる。さて、材料上で荷電粒子ビームをＸ方向及びＹ方
向に各々同じ距離振る場合にＸ方向とＹ方向で偏向収差
が異なる場合、この様な偏向電極を荷電粒子ビーム描画
装置の偏向電極として使用すると、材料上に描画したパ
ターンの寸法精度がＸ方向とＹ方向で異なってしまう。
所で、荷電粒子描画装置ではこの様な偏向収差が許容出
来る範囲の偏向角でビームを偏向しているが、この様な
パターンの寸法精度のＸ方向とＹ方向での異なりは、現
在の許容範囲を越えたより高精度なパターン描画を行う
のに問題となる 本発明はこの様な問題を解決する事を目的としたもので
ある。
ームＥＢを振ろうとした場合、Ｘ方向平行平板電極９
Ｘ，９Ｘ′にはＹ方向平行平板電極９Ｙ，９Ｙ′に印加
する偏向電圧より大きい偏向電圧を印加しなければなら
ない。即ち、この場合、Ｘ方向平行平板電極９Ｘ，９
Ｘ′による偏向角θｘがＹ方向平行平板電極９Ｙ，９
Ｙ′による偏向角θｙより大きくなる。さて、偏向収差
の大きさは偏向角（開き角）の大きさに対応しているの
で、Ｘ方向の偏向収差がＹ方向の偏向収差に比べ大きく
なる。さて、材料上で荷電粒子ビームをＸ方向及びＹ方
向に各々同じ距離振る場合にＸ方向とＹ方向で偏向収差
が異なる場合、この様な偏向電極を荷電粒子ビーム描画
装置の偏向電極として使用すると、材料上に描画したパ
ターンの寸法精度がＸ方向とＹ方向で異なってしまう。
所で、荷電粒子描画装置ではこの様な偏向収差が許容出
来る範囲の偏向角でビームを偏向しているが、この様な
パターンの寸法精度のＸ方向とＹ方向での異なりは、現
在の許容範囲を越えたより高精度なパターン描画を行う
のに問題となる 本発明はこの様な問題を解決する事を目的としたもので
ある。
［課題を解決するための手段］ その為に、本発明はＸ方向及びＹ方向に各々平行平板タ
イプの偏向電極を有する静電偏向装置において、何れか
一方の方向の偏向電極を二段にして他方向の偏向電極を
挾む様に成し、ターゲット上で荷電粒子ビームをＸ方向
偏向電極とＹ方向偏向電極により各々同じ距離振った場
合、二段にした偏向電極夫々によるビームの開き角の和
が他の偏向電極によるビームの開き角と等しくなる様
に、該二段の各偏向電極の寸法，各偏向電極間の距離，
各偏向電極のターゲットからの距離、該各偏向電極を通
過する荷電粒子ビームを単位距離偏向する為の各偏向電
極間の印加電圧の値を設定する様に成した。
イプの偏向電極を有する静電偏向装置において、何れか
一方の方向の偏向電極を二段にして他方向の偏向電極を
挾む様に成し、ターゲット上で荷電粒子ビームをＸ方向
偏向電極とＹ方向偏向電極により各々同じ距離振った場
合、二段にした偏向電極夫々によるビームの開き角の和
が他の偏向電極によるビームの開き角と等しくなる様
に、該二段の各偏向電極の寸法，各偏向電極間の距離，
各偏向電極のターゲットからの距離、該各偏向電極を通
過する荷電粒子ビームを単位距離偏向する為の各偏向電
極間の印加電圧の値を設定する様に成した。
［実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示した静電偏向装置の概略
図である。
図である。
該第１図に示す様に、何れか一方、例えば、Ｙ方向の偏
向電極を二段（９０Ｙ，９０Ｙ′と９１Ｙ，９１Ｙ′）
にして他方向、例えば、Ｘ方向の偏向電極（９０Ｘ，９
０Ｘ′）を挾む様に配置する。そして、材料Ｓ上で荷電
粒子ビームをＸ方向偏向電極９０Ｘ，９０Ｘ′とＹ方向
偏向電極（Ｙ方向偏向電極９０Ｙ，９０Ｙ′及びＹ方向
偏向電極９１Ｙ，９１Ｙ′を合成した偏向電極）により
各々同じ距離振った場合、Ｙ方向偏向電極９０Ｙ，９０
Ｙ′によるビームの開き角θｙ１とＹ方向偏向電極９１
Ｙ，９１Ｙ′によるビームの開き角のθｙ２の和（θｙ
１＋θｙ２）がＸ方向偏向電極９０Ｘ，９０Ｘ′による
ビームの開き角θｘと等しくなる様に、該二段のＹ方向
偏向電極各々の偏向電極（９０Ｙ，９０Ｙ′及び９１
Ｙ，９１Ｙ′）の寸法，各偏向電極間の距離，各偏向電
極の材料からの距離、各偏向電極を通過する荷電粒子ビ
ームを単位距離偏向する為の各偏向電極間の印加電圧の
値を設定する。
向電極を二段（９０Ｙ，９０Ｙ′と９１Ｙ，９１Ｙ′）
にして他方向、例えば、Ｘ方向の偏向電極（９０Ｘ，９
０Ｘ′）を挾む様に配置する。そして、材料Ｓ上で荷電
粒子ビームをＸ方向偏向電極９０Ｘ，９０Ｘ′とＹ方向
偏向電極（Ｙ方向偏向電極９０Ｙ，９０Ｙ′及びＹ方向
偏向電極９１Ｙ，９１Ｙ′を合成した偏向電極）により
各々同じ距離振った場合、Ｙ方向偏向電極９０Ｙ，９０
Ｙ′によるビームの開き角θｙ１とＹ方向偏向電極９１
Ｙ，９１Ｙ′によるビームの開き角のθｙ２の和（θｙ
１＋θｙ２）がＸ方向偏向電極９０Ｘ，９０Ｘ′による
ビームの開き角θｘと等しくなる様に、該二段のＹ方向
偏向電極各々の偏向電極（９０Ｙ，９０Ｙ′及び９１
Ｙ，９１Ｙ′）の寸法，各偏向電極間の距離，各偏向電
極の材料からの距離、各偏向電極を通過する荷電粒子ビ
ームを単位距離偏向する為の各偏向電極間の印加電圧の
値を設定する。
而して、この様な静電偏向装置を例えば、電子ビーム描
画装置の偏向器として使用し、電子ビームを材料Ｓ上で
同じ距離（たとえばａ）振る場合、先ず、説明の便宜
上、Ｙ方向だけの偏向に着目すると、Ｙ方向偏向電極９
０Ｙ，９０Ｙ′に入って来た電子ビームＥＢは該偏向電
極により開き角θｙａ１丈偏向され、更に、該電子ビー
ムがＹ方向偏向電極９１Ｙ，９１Ｙ′に入ると、該偏向
電極により開き角θｙａ２偏向される。この結果、電子
ビームは該二段の各Ｙ方向偏向電極（９０Ｙ，９０Ｙ′
及び９１Ｙ，９１Ｙ′）によって、開き角（θｙａ１＋
θｙａ２）偏向され、該電子ビームは材料Ｓ上でａ偏向
される。又、同じ様に、Ｘ方向だけの偏向に着目する
と、Ｘ方向偏向電極９０Ｘ，９０Ｘ′に入って来た電子
ビームＥＢは該偏向電極により開き角θｘａ１偏向され
材料Ｓ上でａ偏向される。このとき、Ｙ方向偏向電極
（９０Ｙ，９０Ｙ′及び９１Ｙ，９１Ｙ′）による開き
角（θｙａ＋θｙａ２）とＸ方向偏向電極９０Ｘ，９０
Ｘ′による開き角θｘａ１は等しい。従って、電子ビー
ムを材料上でＸ方向とＹ方向に同じ距離振る場合、両方
向の偏向収差は等しいものとなる。
画装置の偏向器として使用し、電子ビームを材料Ｓ上で
同じ距離（たとえばａ）振る場合、先ず、説明の便宜
上、Ｙ方向だけの偏向に着目すると、Ｙ方向偏向電極９
０Ｙ，９０Ｙ′に入って来た電子ビームＥＢは該偏向電
極により開き角θｙａ１丈偏向され、更に、該電子ビー
ムがＹ方向偏向電極９１Ｙ，９１Ｙ′に入ると、該偏向
電極により開き角θｙａ２偏向される。この結果、電子
ビームは該二段の各Ｙ方向偏向電極（９０Ｙ，９０Ｙ′
及び９１Ｙ，９１Ｙ′）によって、開き角（θｙａ１＋
θｙａ２）偏向され、該電子ビームは材料Ｓ上でａ偏向
される。又、同じ様に、Ｘ方向だけの偏向に着目する
と、Ｘ方向偏向電極９０Ｘ，９０Ｘ′に入って来た電子
ビームＥＢは該偏向電極により開き角θｘａ１偏向され
材料Ｓ上でａ偏向される。このとき、Ｙ方向偏向電極
（９０Ｙ，９０Ｙ′及び９１Ｙ，９１Ｙ′）による開き
角（θｙａ＋θｙａ２）とＸ方向偏向電極９０Ｘ，９０
Ｘ′による開き角θｘａ１は等しい。従って、電子ビー
ムを材料上でＸ方向とＹ方向に同じ距離振る場合、両方
向の偏向収差は等しいものとなる。
尚、上記実施例では、Ｘ方向偏向電極がＹ方向偏向電極
より材料近くに配置されているので、Ｙ方向の偏向電極
を２分割してＸ方向偏向電極を挾む様に配置したが、Ｘ
方向偏向電極都Ｙ方向偏向電極の配置が逆の場合には、
Ｘ方向の偏向電極を２分割してＹ方向偏向電極を挾む様
に配置する。
より材料近くに配置されているので、Ｙ方向の偏向電極
を２分割してＸ方向偏向電極を挾む様に配置したが、Ｘ
方向偏向電極都Ｙ方向偏向電極の配置が逆の場合には、
Ｘ方向の偏向電極を２分割してＹ方向偏向電極を挾む様
に配置する。
［発明の効果］ 本発明によれば、Ｘ方向及びＹ方向に各々平行平板タイ
プの偏向電極を有する静電偏向装置において、何れか一
方の方向の偏向電極を二段にして他方向の偏向電極を挾
む様に成し、ターゲット上で荷電粒子ビームをＸ方向偏
向電極とＹ方向偏向電極により各々同じ距離振った場
合、二段にした偏向電極夫々によるビームの開き角の和
が他の偏向電極によるビームの開き角と等しくなる様
に、該二段の各偏向電極の寸法，各偏向電極間の距離，
各偏向電極のターゲットからの距離、該各偏向電極を通
過する荷電粒子ビームを単位距離偏向する為の各偏向電
極間の印加電圧の値を設定する様に成している。従っ
て、ターゲット上で、荷電粒子ビームをＸ方向及びＹ方
向に同じ距離振る場合にＸ方向とＹ方向で偏向収差が同
一なので、例えば、本発明の偏向電極を荷電粒子ビーム
描画装置の偏向電極として使用した場合、材料上に描画
したパターンの寸法精度がＸ方向とＹ方向で同一とな
り、描画精度が向上する
プの偏向電極を有する静電偏向装置において、何れか一
方の方向の偏向電極を二段にして他方向の偏向電極を挾
む様に成し、ターゲット上で荷電粒子ビームをＸ方向偏
向電極とＹ方向偏向電極により各々同じ距離振った場
合、二段にした偏向電極夫々によるビームの開き角の和
が他の偏向電極によるビームの開き角と等しくなる様
に、該二段の各偏向電極の寸法，各偏向電極間の距離，
各偏向電極のターゲットからの距離、該各偏向電極を通
過する荷電粒子ビームを単位距離偏向する為の各偏向電
極間の印加電圧の値を設定する様に成している。従っ
て、ターゲット上で、荷電粒子ビームをＸ方向及びＹ方
向に同じ距離振る場合にＸ方向とＹ方向で偏向収差が同
一なので、例えば、本発明の偏向電極を荷電粒子ビーム
描画装置の偏向電極として使用した場合、材料上に描画
したパターンの寸法精度がＸ方向とＹ方向で同一とな
り、描画精度が向上する
第１図は本発明の一実施例を示した静電偏向装置の概略
図、第２図は、第４図及び第５図は従来の静電偏向装置
の概略図、第３図は電子ビーム描画装置の概略図であ
る。 ９０Ｙ，９０Ｙ′，９１Ｙ，９１Ｙ′：Ｙ方向偏向電
極、９０Ｘ，９０Ｘ′：Ｘ方向の偏向電極
図、第２図は、第４図及び第５図は従来の静電偏向装置
の概略図、第３図は電子ビーム描画装置の概略図であ
る。 ９０Ｙ，９０Ｙ′，９１Ｙ，９１Ｙ′：Ｙ方向偏向電
極、９０Ｘ，９０Ｘ′：Ｘ方向の偏向電極
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ方向及びＹ方向に各々平行平板タイプの
偏向電極を有する静電偏向装置において、何れか一方の
方向の偏向電極を二段にして他方向の偏向電極を挟む様
に成し、ターゲット上で荷電粒子ビームをＸ方向偏向電
極とＹ方向偏向電極により各々同じ距離振った場合、二
段にした偏向電極夫々によるビームの開き角の和が他の
偏向電極によるビームの開き角と等しくなる様に該二段
の各偏向電極の寸法，各偏向電極間の距離，各偏向電極
のターゲットからの距離、該各偏向電極を通過する荷電
粒子を単位距離偏向する為の各偏向電極間の印加電圧の
値を設定した静電偏向装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63219941A JPH0665012B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 静電偏向装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63219941A JPH0665012B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 静電偏向装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0268845A JPH0268845A (ja) | 1990-03-08 |
| JPH0665012B2 true JPH0665012B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=16743427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63219941A Expired - Fee Related JPH0665012B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 静電偏向装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0665012B2 (ja) |
-
1988
- 1988-09-02 JP JP63219941A patent/JPH0665012B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0268845A (ja) | 1990-03-08 |
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