JPH0666384B2 - 半導体ウエハ収納用ストツカ - Google Patents
半導体ウエハ収納用ストツカInfo
- Publication number
- JPH0666384B2 JPH0666384B2 JP62005149A JP514987A JPH0666384B2 JP H0666384 B2 JPH0666384 B2 JP H0666384B2 JP 62005149 A JP62005149 A JP 62005149A JP 514987 A JP514987 A JP 514987A JP H0666384 B2 JPH0666384 B2 JP H0666384B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stocker
- loading
- storage
- unloading
- carriers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Pile Receivers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体製造工場等に配置して用いる半導体ウ
エハ収納用のストッカに関するものである。
エハ収納用のストッカに関するものである。
（従来技術とその問題点） 一般に、半導体工場においては、工程と工程との間に、
複数枚のウエハを格納したカセットを収納するストッカ
を配置して、ウエハの一時ストックやトラブル時のバッ
ファリング等のためにストッカが多く用いられている。
複数枚のウエハを格納したカセットを収納するストッカ
を配置して、ウエハの一時ストックやトラブル時のバッ
ファリング等のためにストッカが多く用いられている。
従来のストッカは、いわゆるシングル・ポート型を採用
しており、各ストッカに対し投入払出口は１個しか設け
られていないので、工程間と工程内の搬送系（作業者や
ロボット等）が物理的に干渉してしまい、制御（排他制
御）が極めて面倒となるなどの問題があり、また、高ク
リーン度を要求されるストッカでは、フィルタの設置位
置に大きな制限を受けるため、いわゆるマルチ・ポート
型構造のストッカを設計・製造することが困難であっ
た。更には、ユーザにおける工場のレイアウトによっ
て、その都度、ストッカの投入払出口の方向を合せて個
別に製造しなければならない等の問題点が存在してい
た。
しており、各ストッカに対し投入払出口は１個しか設け
られていないので、工程間と工程内の搬送系（作業者や
ロボット等）が物理的に干渉してしまい、制御（排他制
御）が極めて面倒となるなどの問題があり、また、高ク
リーン度を要求されるストッカでは、フィルタの設置位
置に大きな制限を受けるため、いわゆるマルチ・ポート
型構造のストッカを設計・製造することが困難であっ
た。更には、ユーザにおける工場のレイアウトによっ
て、その都度、ストッカの投入払出口の方向を合せて個
別に製造しなければならない等の問題点が存在してい
た。
本発明は、上記した従来の問題点を解決するために開発
したものであり、その目的とするところは、工程間と工
程内の搬送手段間の物理的な干渉をなくし、かつ、スト
ツカをユニット構造にすることによりストッカの任意の
面に投入払出用ハンドラ機構を付設できるようにした半
導体ウエハ収納用ストッカを提供するものである。
したものであり、その目的とするところは、工程間と工
程内の搬送手段間の物理的な干渉をなくし、かつ、スト
ツカをユニット構造にすることによりストッカの任意の
面に投入払出用ハンドラ機構を付設できるようにした半
導体ウエハ収納用ストッカを提供するものである。
（問題点を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本発明は、複数枚のウエハ
を収容したキャリアを収納するストッカであって、多面
形状である枠部内に収納棚を内蔵して構成したストッカ
本体の複数の面に投入払出口を設け、何れかの投入払出
口を工程間搬送系からキャリアを搬入搬出する投入払出
口とし、他の投入払出口を複数の装置へキャリアを送る
工程内搬送系においてキャリアを搬入搬出する投入払出
口とし、このストッカ本体をユニット構造にしてストッ
カ本体の枠部の任意の面に投入払出用ハンドラ機構を付
設すると共に、上記した収納棚は、中央に開口部を有す
る円板状の収納板を多段に設け、かつ基台に設けた回転
機構で収納棚を回転可能に設け、収納棚の下方に設けた
ファンより収納板の開口部より空気を送給し、各収納板
に収納されているキャリアに対してフィルタを介して放
射状に空気を送るように構成した。
を収容したキャリアを収納するストッカであって、多面
形状である枠部内に収納棚を内蔵して構成したストッカ
本体の複数の面に投入払出口を設け、何れかの投入払出
口を工程間搬送系からキャリアを搬入搬出する投入払出
口とし、他の投入払出口を複数の装置へキャリアを送る
工程内搬送系においてキャリアを搬入搬出する投入払出
口とし、このストッカ本体をユニット構造にしてストッ
カ本体の枠部の任意の面に投入払出用ハンドラ機構を付
設すると共に、上記した収納棚は、中央に開口部を有す
る円板状の収納板を多段に設け、かつ基台に設けた回転
機構で収納棚を回転可能に設け、収納棚の下方に設けた
ファンより収納板の開口部より空気を送給し、各収納板
に収納されているキャリアに対してフィルタを介して放
射状に空気を送るように構成した。
（作用） ウエハを収納するストッカにおいて、ストッカ本体に投
入払出口を複数個設けたので、搬送系の間で、干渉し合
う恐れがなく、しかも、投入払出口をストッカ本体の対
向面の位置に付けることができるので、工程間搬送系と
工程内搬送系との間のストッカとして利用することがで
き、ユーザのニーズに合ったストッカを簡単に提供する
ことが可能となる。
入払出口を複数個設けたので、搬送系の間で、干渉し合
う恐れがなく、しかも、投入払出口をストッカ本体の対
向面の位置に付けることができるので、工程間搬送系と
工程内搬送系との間のストッカとして利用することがで
き、ユーザのニーズに合ったストッカを簡単に提供する
ことが可能となる。
（実施例） 本発明における半導体ウエハ収納用ストッカの実施例を
第１図乃至第５図に従って詳述する。
第１図乃至第５図に従って詳述する。
第１図に示すように、例えばストッカ本体１の対向面に
２個の投入払出口２ａ、２ｂを設けることにより、工程
間搬送系（イ）と工程内搬送系（ロ）とが干渉すること
なく円滑に搬送することができることを特徴とするもの
であるが、具体的には以下の通りである。
２個の投入払出口２ａ、２ｂを設けることにより、工程
間搬送系（イ）と工程内搬送系（ロ）とが干渉すること
なく円滑に搬送することができることを特徴とするもの
であるが、具体的には以下の通りである。
四角形の枠部３内に円筒形の収納棚４を回転可能に設け
てストッカ本体１を構成し、このストッカ本体１をユニ
ット構造にしてストッカ本体１の任意の面に投入払出用
ハンドラ機構５を付設できるようにしたものであり、収
納棚４は、中央部に開口部６を形成した円板状の収納板
４ａを多段に設けて、全体を円筒状に構成されている。
その他、この収納棚４は、縦型の棚を放射状に配置し
て、全体の収納棚４を略筒型形状に構成することもでき
る。更に、収納棚４は基台７に回転機構８を介して回転
可能に設けられている。そして、基台７に設けたファン
９により空気を送給して収納棚４の開口部６よりフィル
タ１０を介して各収納板４ａに放射状に空気が送られ、
ウエハ１１を格納したキャリア１２に清浄空気が送られ
る。
てストッカ本体１を構成し、このストッカ本体１をユニ
ット構造にしてストッカ本体１の任意の面に投入払出用
ハンドラ機構５を付設できるようにしたものであり、収
納棚４は、中央部に開口部６を形成した円板状の収納板
４ａを多段に設けて、全体を円筒状に構成されている。
その他、この収納棚４は、縦型の棚を放射状に配置し
て、全体の収納棚４を略筒型形状に構成することもでき
る。更に、収納棚４は基台７に回転機構８を介して回転
可能に設けられている。そして、基台７に設けたファン
９により空気を送給して収納棚４の開口部６よりフィル
タ１０を介して各収納板４ａに放射状に空気が送られ、
ウエハ１１を格納したキャリア１２に清浄空気が送られ
る。
収納棚４の回りには、四角形状の枠部３が設けられてお
り、枠部３の四面のうち任意の面には、投入払出口２ａ
乃至２ｄを設けている。
り、枠部３の四面のうち任意の面には、投入払出口２ａ
乃至２ｄを設けている。
ストッカ本体１に設けた投入払出用ハンドラ機構５は、
水平ガイド部材１３、１４を介して水平方向に移動自在
に設け、かつ垂直軸１５ａ、１５ｂに沿って昇降する昇
降部材１６に回動軸１７を設け、この回動軸１７にアー
ム部１８を取付けている。
水平ガイド部材１３、１４を介して水平方向に移動自在
に設け、かつ垂直軸１５ａ、１５ｂに沿って昇降する昇
降部材１６に回動軸１７を設け、この回動軸１７にアー
ム部１８を取付けている。
次に、上記実施例における投入払出口２ａ乃至２ｄの態
様について説明すると、第４図Ａはストッカ本体１の一
面に投入払出用ハンドラ機構５を設けた例であり、第４
図Ｂ、Ｃはストッカ本体１の二面に投入払出用ハンドラ
機構５を設けた例である。この第４図Ｂ、Ｃは、工程間
搬送（イ）と工程内搬送（ロ）との間のストッカとして
利用することができる。第４図Ｄはストッカ本体１の三
面に投入払出用ハンドラ機構５を設けた例であり、投入
払出口２ａは、対工程間搬送（イ）用に、投入払出口２
ｂは、オペレータによる投入払出用に利用し、更に、投
入払出口２ｃは、対工程内搬送（ロ）用に利用してお
り、投入払出口２ｄは、非常時におけるオペレータアク
セスサイドとして用いることができる。
様について説明すると、第４図Ａはストッカ本体１の一
面に投入払出用ハンドラ機構５を設けた例であり、第４
図Ｂ、Ｃはストッカ本体１の二面に投入払出用ハンドラ
機構５を設けた例である。この第４図Ｂ、Ｃは、工程間
搬送（イ）と工程内搬送（ロ）との間のストッカとして
利用することができる。第４図Ｄはストッカ本体１の三
面に投入払出用ハンドラ機構５を設けた例であり、投入
払出口２ａは、対工程間搬送（イ）用に、投入払出口２
ｂは、オペレータによる投入払出用に利用し、更に、投
入払出口２ｃは、対工程内搬送（ロ）用に利用してお
り、投入払出口２ｄは、非常時におけるオペレータアク
セスサイドとして用いることができる。
第５図Ａ、Ｂは別のレイアウトの例を示した説明図であ
り、第６図は平棚型のストッカの状態を示した平面説明
図である。
り、第６図は平棚型のストッカの状態を示した平面説明
図である。
（発明の効果） 以上のことから明らかなように、本発明によると、スト
ッカ本体に投入払出口を複数個設けたので、搬送系間
で、干渉し合う恐れがなく、しかも、投入払出口をスト
ッカ本体の対向面の位置に付けることができるため、工
程間搬送系と工程内搬送系とが干渉することなく円滑に
搬送可能となり、ユーザのニーズに合わせたストッカを
容易に提供することができる等の優れた効果がある。
ッカ本体に投入払出口を複数個設けたので、搬送系間
で、干渉し合う恐れがなく、しかも、投入払出口をスト
ッカ本体の対向面の位置に付けることができるため、工
程間搬送系と工程内搬送系とが干渉することなく円滑に
搬送可能となり、ユーザのニーズに合わせたストッカを
容易に提供することができる等の優れた効果がある。
第１図乃至第６図は、本発明における半導体ウエハ収納
用ストッカの実施例を示したもので、第１図はストッカ
の配置例を示した平面説明図、第２図はストッカの縦断
面図、第３図は同上の拡大横断面図、第４図Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄはストッカのマルチ・ポートのバリエーションを
それぞれ示した平面説明図であり、第５図Ａは他の例を
示したストッカの平面説明図、該５図Ｂは第５図Ａのａ
部拡大図、第６図は平棚型のストッカの状態を示した平
面説明図である。 １……ストッカ本体、 ２ａ乃至２ｄ……投入払出口、 ３……枠部、 ４……収納棚、 ５……ハンドラ機構、 １１……ウエハ、 １２……キャリア。
用ストッカの実施例を示したもので、第１図はストッカ
の配置例を示した平面説明図、第２図はストッカの縦断
面図、第３図は同上の拡大横断面図、第４図Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄはストッカのマルチ・ポートのバリエーションを
それぞれ示した平面説明図であり、第５図Ａは他の例を
示したストッカの平面説明図、該５図Ｂは第５図Ａのａ
部拡大図、第６図は平棚型のストッカの状態を示した平
面説明図である。 １……ストッカ本体、 ２ａ乃至２ｄ……投入払出口、 ３……枠部、 ４……収納棚、 ５……ハンドラ機構、 １１……ウエハ、 １２……キャリア。
Claims (1)
- 【請求項１】複数枚のウエハを収容したキャリアを収納
するストッカであって、多面形状である枠部内に収納棚
を内蔵して構成したストッカ本体の複数の面に投入払出
口を設け、何れかの投入払出口を工程間搬送系からキャ
リアを搬入搬出する投入払出口とし、他の投入払出口を
複数の装置へキャリアを送る工程内搬送系においてキャ
リアを搬入搬出する投入払出口とし、このストッカ本体
をユニット構造にしてストッカ本体の枠部の任意の面に
投入払出用ハンドラ機構を付設すると共に、上記した収
納棚は、中央に開口部を有する円板状の収納板を多段に
設け、かつ基台に設けた回転機構で収納棚を回転可能に
設け、収納棚の下方に設けたファンより収納板の開口部
より空気を送給し、各収納板に収納されているキャリア
に対してフィルタを介して放射状に空気を送るようにし
たことを特徴とする半導体ウエハ収納用ストッカ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62005149A JPH0666384B2 (ja) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | 半導体ウエハ収納用ストツカ |
| KR1019880008596A KR960013626B1 (ko) | 1987-01-14 | 1988-07-11 | 캐리어 수납용 스토커(Stocker) |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62005149A JPH0666384B2 (ja) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | 半導体ウエハ収納用ストツカ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63174333A JPS63174333A (ja) | 1988-07-18 |
| JPH0666384B2 true JPH0666384B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=11603226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62005149A Expired - Lifetime JPH0666384B2 (ja) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | 半導体ウエハ収納用ストツカ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666384B2 (ja) |
| KR (1) | KR960013626B1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2705989B2 (ja) * | 1989-11-15 | 1998-01-28 | 株式会社荏原製作所 | 回転式ストッカーの固定装置 |
| JP2807150B2 (ja) * | 1992-08-31 | 1998-10-08 | 松下電器産業株式会社 | 環境制御装置 |
| EP1303729B1 (en) * | 2000-07-06 | 2007-11-21 | Brooks Automation, Inc. | Item storage and retrieval system |
| DE10350517A1 (de) * | 2003-10-29 | 2005-06-09 | Sieghard Schiller Gmbh & Co. Kg | Wafer-Stocker |
| US7896602B2 (en) | 2006-06-09 | 2011-03-01 | Lutz Rebstock | Workpiece stocker with circular configuration |
| EP2092556B1 (en) * | 2006-11-15 | 2019-01-09 | Dynamic Micro Systems | Compartments for workpiece stocker |
| US20080112787A1 (en) | 2006-11-15 | 2008-05-15 | Dynamic Micro Systems | Removable compartments for workpiece stocker |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61155105A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-14 | Toshiba Corp | カル−セル式倉庫設備における荷搬出入方法 |
-
1987
- 1987-01-14 JP JP62005149A patent/JPH0666384B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-07-11 KR KR1019880008596A patent/KR960013626B1/ko not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960013626B1 (ko) | 1996-10-10 |
| JPS63174333A (ja) | 1988-07-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI821588B (zh) | 立式批次處理爐組件 | |
| US4986715A (en) | Stock unit for storing carriers | |
| KR100742091B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 취급용 로봇 | |
| US6607602B1 (en) | Device for processing semiconductor wafers | |
| US6582174B1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
| CN101542713B (zh) | 基板处理装置和基板处理方法 | |
| US8894344B2 (en) | Vertical wafer buffering system | |
| US20030185655A1 (en) | Method and apparatus for transferring substrate | |
| JPH04190840A (ja) | 真空処理装置 | |
| JP2007288029A (ja) | 基板搬送処理装置 | |
| US8292563B2 (en) | Nonproductive wafer buffer module for substrate processing apparatus | |
| JP2024023874A (ja) | 基板処理装置及び基板収納容器保管方法 | |
| EP1084509A1 (en) | Batch end effector for semiconductor wafer handling | |
| US6364592B1 (en) | Small footprint carrier front end loader | |
| JPH0666384B2 (ja) | 半導体ウエハ収納用ストツカ | |
| JP2853677B2 (ja) | 半導体装置製造ライン | |
| US6454367B1 (en) | Apparatus for processing workpieces | |
| KR100541183B1 (ko) | 스토커 및 이를 포함하는 반송 시스템 | |
| US12412768B2 (en) | Semiconductor substrate processing apparatus | |
| JPH04163937A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH09213764A (ja) | 真空処理装置 | |
| JP3251566B2 (ja) | ストッカ搬送システム | |
| US20020153578A1 (en) | Wafer buffering system | |
| JPH03225847A (ja) | ウエハカセツトストツカ | |
| JP2719524B2 (ja) | 半導体製造装置 |