JPH0666404A - 蒸気加熱装置 - Google Patents
蒸気加熱装置Info
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- JPH0666404A JPH0666404A JP23767292A JP23767292A JPH0666404A JP H0666404 A JPH0666404 A JP H0666404A JP 23767292 A JP23767292 A JP 23767292A JP 23767292 A JP23767292 A JP 23767292A JP H0666404 A JPH0666404 A JP H0666404A
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 64
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 abstract description 12
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 2
- 229940127554 medical product Drugs 0.000 description 2
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000010619 multiway switching Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の加熱容器を１台の真空ポンプ手段で吸
引する場合であっても、それぞれの加熱容器からの吸引
力にバラツキを生じることなく、加熱容器の加熱温度を
均一に維持すること。 【構成】 加熱容器１，２に加熱蒸気を供給する蒸気供
給管３を接続する。加熱容器１，２の二次側にそれぞれ
圧力センサ２２，２３を取り付けて、差圧伝送器２６を
介してコントロ―ラ２７と接続する。加熱容器１，２の
下方に三方制御弁２８を介してエゼクタ―式真空ポンプ
３４を連接する。三方制御弁２８もコントロ―ラ２７と
接続する。エゼクタ―式真空ポンプ４は、エゼクタ―５
とタンク８と循環ポンプ６とで構成する。タンク８内に
温度センサ１７を取り付ける。タンク８に冷却水供給通
路１５を冷却水制御弁１６を介して接続する。
引する場合であっても、それぞれの加熱容器からの吸引
力にバラツキを生じることなく、加熱容器の加熱温度を
均一に維持すること。 【構成】 加熱容器１，２に加熱蒸気を供給する蒸気供
給管３を接続する。加熱容器１，２の二次側にそれぞれ
圧力センサ２２，２３を取り付けて、差圧伝送器２６を
介してコントロ―ラ２７と接続する。加熱容器１，２の
下方に三方制御弁２８を介してエゼクタ―式真空ポンプ
３４を連接する。三方制御弁２８もコントロ―ラ２７と
接続する。エゼクタ―式真空ポンプ４は、エゼクタ―５
とタンク８と循環ポンプ６とで構成する。タンク８内に
温度センサ１７を取り付ける。タンク８に冷却水供給通
路１５を冷却水制御弁１６を介して接続する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加熱容器内を真空ポン
プで吸引しながら被加熱物を１００度Ｃ程度の蒸気で効
率的に加熱処理するための蒸気加熱装置に関する。化学
や食品や医療品工場などに於ては、製品品質を維持する
ために被加熱物を１００度Ｃ程度の比較的低温で加熱し
なければならない用途が多々あり、この１００度Ｃ程度
での加熱は従来温水を用いてその多くが行なわれてい
た。しかしながら、温水は保有する熱量が少なくて加熱
ムラを生じ易く、また、温水を製造し貯蔵するためには
比較的大掛かりな設備を必要とするために、最近では低
圧蒸気を用いて１００度Ｃ程度の加熱をすることが行な
われている。
プで吸引しながら被加熱物を１００度Ｃ程度の蒸気で効
率的に加熱処理するための蒸気加熱装置に関する。化学
や食品や医療品工場などに於ては、製品品質を維持する
ために被加熱物を１００度Ｃ程度の比較的低温で加熱し
なければならない用途が多々あり、この１００度Ｃ程度
での加熱は従来温水を用いてその多くが行なわれてい
た。しかしながら、温水は保有する熱量が少なくて加熱
ムラを生じ易く、また、温水を製造し貯蔵するためには
比較的大掛かりな設備を必要とするために、最近では低
圧蒸気を用いて１００度Ｃ程度の加熱をすることが行な
われている。
【０００２】
【従来技術】従来の低温蒸気加熱の例としては、例えば
特開平１−２７７１０１号公報に示されているようなも
のがある。これは、加熱容器の一次側に減圧弁を配し、
二次側にエゼクタ―のノズルを通過する流体の温度を制
御することによりエゼクタ―部で発生する吸引圧力を任
意に設定することができるエゼクタ―式真空ポンプを接
続した真空蒸気発生装置であって、減圧弁にアクチュエ
―タ部を取り付けて、このアクチュエ―タに設定信号を
送ると共に、この設定信号とタンク内水温に基き冷却水
制御弁に開閉信号を送る制御部を設けたものであり、エ
ゼクタ―部で発生する吸引圧力と減圧弁の設定圧力を同
一にすることにより、減圧弁を通して蒸気が加熱容器へ
過度に供給されることがなく、蒸気損失のない効率の良
い低温蒸気加熱が可能となるものである。
特開平１−２７７１０１号公報に示されているようなも
のがある。これは、加熱容器の一次側に減圧弁を配し、
二次側にエゼクタ―のノズルを通過する流体の温度を制
御することによりエゼクタ―部で発生する吸引圧力を任
意に設定することができるエゼクタ―式真空ポンプを接
続した真空蒸気発生装置であって、減圧弁にアクチュエ
―タ部を取り付けて、このアクチュエ―タに設定信号を
送ると共に、この設定信号とタンク内水温に基き冷却水
制御弁に開閉信号を送る制御部を設けたものであり、エ
ゼクタ―部で発生する吸引圧力と減圧弁の設定圧力を同
一にすることにより、減圧弁を通して蒸気が加熱容器へ
過度に供給されることがなく、蒸気損失のない効率の良
い低温蒸気加熱が可能となるものである。
【０００３】
【本発明が解決しようとする課題】上記従来技術の場
合、複数の加熱容器を１台のエゼクタ―式真空ポンプで
吸引する場合に、個々の加熱容器に対する吸引力にバラ
ツキを生じ、加熱温度が変動してしまう問題があった。
複数の加熱容器を１台の真空ポンプで吸引する場合、そ
れぞれの配管接続の状態あるいは個々の加熱容器で発生
する凝縮水としての復水の量に差異を生じ、真空ポンプ
の吸引力にバラツキを生じてしまうのである。加熱温度
の変動は、特に化学製品や食品や医療品等においては少
しの温度変化で製品品質に変化をきたすために、極力防
止しなければならないのである。
合、複数の加熱容器を１台のエゼクタ―式真空ポンプで
吸引する場合に、個々の加熱容器に対する吸引力にバラ
ツキを生じ、加熱温度が変動してしまう問題があった。
複数の加熱容器を１台の真空ポンプで吸引する場合、そ
れぞれの配管接続の状態あるいは個々の加熱容器で発生
する凝縮水としての復水の量に差異を生じ、真空ポンプ
の吸引力にバラツキを生じてしまうのである。加熱温度
の変動は、特に化学製品や食品や医療品等においては少
しの温度変化で製品品質に変化をきたすために、極力防
止しなければならないのである。
【０００４】従って本発明の技術的課題は、複数の加熱
容器を１台の真空ポンプで吸引する場合あっても、吸引
力にバラツキを生じることなく、加熱温度を一定に維持
することのできる蒸気加熱装置を得ることである。
容器を１台の真空ポンプで吸引する場合あっても、吸引
力にバラツキを生じることなく、加熱温度を一定に維持
することのできる蒸気加熱装置を得ることである。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】上記課題を解決する為に講
じた本発明の技術的手段は、加熱容器の一次側に加熱蒸
気を供給する蒸気供給管を接続し、加熱容器の二次側に
真空ポンプ手段を配置したものにおいて、加熱容器を複
数個並列に配置し、該加熱容器のそれぞれの二次側圧力
を検出する圧力検出手段を設け、該圧力検出手段からの
検出信号によりそれぞれの二次側圧力をほぼ等しくする
ように開閉する制御弁を加熱容器の一次側または二次側
に設けたものである。
じた本発明の技術的手段は、加熱容器の一次側に加熱蒸
気を供給する蒸気供給管を接続し、加熱容器の二次側に
真空ポンプ手段を配置したものにおいて、加熱容器を複
数個並列に配置し、該加熱容器のそれぞれの二次側圧力
を検出する圧力検出手段を設け、該圧力検出手段からの
検出信号によりそれぞれの二次側圧力をほぼ等しくする
ように開閉する制御弁を加熱容器の一次側または二次側
に設けたものである。
【０００６】
【作用】加熱容器には蒸気供給管から加熱用の蒸気が供
給され被加熱物を加熱する。加熱により生じた凝縮水す
なわち復水は真空ポンプ手段に吸引される。複数の加熱
容器の二次側圧力を検出する圧力検出手段を設けて、そ
れぞれの圧力がほぼ等しくなるように制御弁を開閉する
ことにより、真空ポンプ手段の吸引力は複数の加熱容器
においてほぼ等しくなり、それぞれの加熱容器での加熱
温度を均一に維持することができる。
給され被加熱物を加熱する。加熱により生じた凝縮水す
なわち復水は真空ポンプ手段に吸引される。複数の加熱
容器の二次側圧力を検出する圧力検出手段を設けて、そ
れぞれの圧力がほぼ等しくなるように制御弁を開閉する
ことにより、真空ポンプ手段の吸引力は複数の加熱容器
においてほぼ等しくなり、それぞれの加熱容器での加熱
温度を均一に維持することができる。
【０００７】加熱容器の一次側または二次側に設ける制
御弁は、個々の加熱容器ごとに１台ずつ設けることもで
きるし、また、複数の加熱容器の配管接続部が合流した
箇所に１台の多方切替が可能な多方弁を設けることもで
きる。
御弁は、個々の加熱容器ごとに１台ずつ設けることもで
きるし、また、複数の加熱容器の配管接続部が合流した
箇所に１台の多方切替が可能な多方弁を設けることもで
きる。
【０００８】
【実施例】上記の技術的手段の具体例を示す実施例を説
明する（図１参照）。図１は本発明の蒸気加熱装置の構
成図であり、本実施例においては真空ポンプ手段として
エゼクタ―式真空ポンプを用いた例を示す。複数の加熱
容器１，２を並列に配置して、加熱蒸気を供給する蒸気
供給管３を接続する。蒸気供給管３には供給蒸気圧力ま
たは温度を制御する蒸気制御弁４を取り付ける。蒸気制
御弁４にはアクチュエ―タ１９を取り付ける。蒸気制御
弁４としては、アクチュエ―タ１９の無い手動式のもの
や自力式の調整弁を用いることもできるし、また、蒸気
供給管３に蒸気圧力を検出することのできる圧力センサ
３０を設ける場合には、圧力制御弁を用いることがで
き、また、圧力センサ３０に替えて蒸気温度を検出する
ことのできる温度センサ（図示せず）を設ける場合は、
温度制御弁を用いることができる。蒸気制御弁４のアク
チュエ―タ１９と圧力センサ３０とを接続線を介して第
１のコントロ―ラ３１に接続する。第１のコントロ―ラ
３１には蒸気制御弁４の設定圧力または温度を設定する
ことのできる設定部（図示せず）を内蔵する。
明する（図１参照）。図１は本発明の蒸気加熱装置の構
成図であり、本実施例においては真空ポンプ手段として
エゼクタ―式真空ポンプを用いた例を示す。複数の加熱
容器１，２を並列に配置して、加熱蒸気を供給する蒸気
供給管３を接続する。蒸気供給管３には供給蒸気圧力ま
たは温度を制御する蒸気制御弁４を取り付ける。蒸気制
御弁４にはアクチュエ―タ１９を取り付ける。蒸気制御
弁４としては、アクチュエ―タ１９の無い手動式のもの
や自力式の調整弁を用いることもできるし、また、蒸気
供給管３に蒸気圧力を検出することのできる圧力センサ
３０を設ける場合には、圧力制御弁を用いることがで
き、また、圧力センサ３０に替えて蒸気温度を検出する
ことのできる温度センサ（図示せず）を設ける場合は、
温度制御弁を用いることができる。蒸気制御弁４のアク
チュエ―タ１９と圧力センサ３０とを接続線を介して第
１のコントロ―ラ３１に接続する。第１のコントロ―ラ
３１には蒸気制御弁４の設定圧力または温度を設定する
ことのできる設定部（図示せず）を内蔵する。
【０００９】加熱容器１，２の二次側に圧力検出手段と
しての圧力センサ２２，２３を取り付けて、両者を差圧
伝送器２６を介して第２のコントロ―ラ２７と接続す
る。圧力センサ２２，２３の下方は三方制御弁２８を介
して合流してエゼクタ―式真空ポンプ３４と接続する。
三方制御弁２８のアクチュエ―タ２９も第２コントロ―
ラ２７と接続する。第２のコントロ―ラ２７には、差圧
伝送器２６からの信号により、差圧をなくすように三方
制御弁２８の開度を制御する開閉信号を発する発信部
（図示せず）を内蔵する。
しての圧力センサ２２，２３を取り付けて、両者を差圧
伝送器２６を介して第２のコントロ―ラ２７と接続す
る。圧力センサ２２，２３の下方は三方制御弁２８を介
して合流してエゼクタ―式真空ポンプ３４と接続する。
三方制御弁２８のアクチュエ―タ２９も第２コントロ―
ラ２７と接続する。第２のコントロ―ラ２７には、差圧
伝送器２６からの信号により、差圧をなくすように三方
制御弁２８の開度を制御する開閉信号を発する発信部
（図示せず）を内蔵する。
【００１０】三方制御弁２８の一方口はエゼクタ―５に
連通し、エゼクタ―５のディフュ―ザ―部９と循環ポン
プとしての渦巻きポンプ６の吸込口７をタンク８を介し
て連通し、渦巻きポンプ６の吐出口１０とエゼクタ―５
のノズル部１２を循環通路１１により連通する。エゼク
タ―５とディフュ―ザ―部９とタンク８と渦巻きポンプ
６とでエゼクタ―式真空ポンプ３４を構成する。循環通
路１１の一端には凝縮水としての復水及び冷却水を吐出
する吐出通路１３を設けるとともに吐出量を調節するた
めの調節弁１４を取り付ける。吐出量に大きな変動が無
い場合は上記調節弁１４は必ずしも必要ではない。タン
ク８に冷却水を供給するための冷却水供給通路１５を冷
却水制御弁１６を介して接続する。タンク８の底部にタ
ンク８内水温ひいては渦巻きポンプ６とノズル部１２と
エゼクタ―部５を通過する流体の温度を検出するための
温度センサ―１７を取り付ける。冷却水制御弁１６のア
クチュエ―タ１８と温度センサ―１７を第３のコントロ
―ラ２１と連結する。第３のコントロ―ラ２１と、第２
のコントロ―ラ２７と、第１のコントロ―ラ３１とを演
算器３２に接続する。演算器３２には、第１のコントロ
―ラ３１における設定信号から、タンク８内の必要水温
を演算する演算部（図示せず）、演算結果を第３のコン
トロ―ラ２１に発する発信部（図示せず）等を内蔵す
る。また第３のコントロ―ラ２１には上記演算結果とタ
ンク８内水温から冷却水制御弁１６のアクチュエ―タ１
８に必要な開閉信号を発する発信部（図示せず）を内蔵
する。
連通し、エゼクタ―５のディフュ―ザ―部９と循環ポン
プとしての渦巻きポンプ６の吸込口７をタンク８を介し
て連通し、渦巻きポンプ６の吐出口１０とエゼクタ―５
のノズル部１２を循環通路１１により連通する。エゼク
タ―５とディフュ―ザ―部９とタンク８と渦巻きポンプ
６とでエゼクタ―式真空ポンプ３４を構成する。循環通
路１１の一端には凝縮水としての復水及び冷却水を吐出
する吐出通路１３を設けるとともに吐出量を調節するた
めの調節弁１４を取り付ける。吐出量に大きな変動が無
い場合は上記調節弁１４は必ずしも必要ではない。タン
ク８に冷却水を供給するための冷却水供給通路１５を冷
却水制御弁１６を介して接続する。タンク８の底部にタ
ンク８内水温ひいては渦巻きポンプ６とノズル部１２と
エゼクタ―部５を通過する流体の温度を検出するための
温度センサ―１７を取り付ける。冷却水制御弁１６のア
クチュエ―タ１８と温度センサ―１７を第３のコントロ
―ラ２１と連結する。第３のコントロ―ラ２１と、第２
のコントロ―ラ２７と、第１のコントロ―ラ３１とを演
算器３２に接続する。演算器３２には、第１のコントロ
―ラ３１における設定信号から、タンク８内の必要水温
を演算する演算部（図示せず）、演算結果を第３のコン
トロ―ラ２１に発する発信部（図示せず）等を内蔵す
る。また第３のコントロ―ラ２１には上記演算結果とタ
ンク８内水温から冷却水制御弁１６のアクチュエ―タ１
８に必要な開閉信号を発する発信部（図示せず）を内蔵
する。
【００１１】エゼクタ―式真空ポンプ３４は、ノズル部
１２を渦巻きポンプ６により高速の流体が通過して、通
過する流体の温度における飽和圧力値まで圧力が低下す
るものである。従って、ノズル部１２を通過する流体の
温度を調節することにより、真空ポンプとしての真空度
を調節することができる。
１２を渦巻きポンプ６により高速の流体が通過して、通
過する流体の温度における飽和圧力値まで圧力が低下す
るものである。従って、ノズル部１２を通過する流体の
温度を調節することにより、真空ポンプとしての真空度
を調節することができる。
【００１２】タンク８の上部には大気と連通する連通管
２４を弁２５を介して取り付ける。この弁２５と、吐出
通路１３に設けた調節弁１４も、蒸気制御弁４や冷却水
制御弁１６と同じように、コントロ―ラにより遠隔制御
することができる。
２４を弁２５を介して取り付ける。この弁２５と、吐出
通路１３に設けた調節弁１４も、蒸気制御弁４や冷却水
制御弁１６と同じように、コントロ―ラにより遠隔制御
することができる。
【００１３】加熱容器１，２で被加熱物を加熱する場合
まず蒸気加熱温度を第１のコントロ―ラ３１の圧力設定
部により、蒸気制御弁４を介して所定値に設定する。蒸
気の場合、圧力と温度には相関関係があり、圧力を設定
することにより加熱温度を設定することができる。蒸気
制御弁４から供給された蒸気により加熱容器１，２内で
被加熱物が加熱される。加熱容器１，２の出口側は、圧
力センサ２２，２３と三方制御弁２８とにより、加熱容
器１，２の二次側がほぼ同圧力となるように調整され
る。従って、エゼクタ―５の吸引力は両方の加熱容器
１，２にほぼ均等に作用することになり、加熱容器１，
２の加熱温度は等しいものとなる。
まず蒸気加熱温度を第１のコントロ―ラ３１の圧力設定
部により、蒸気制御弁４を介して所定値に設定する。蒸
気の場合、圧力と温度には相関関係があり、圧力を設定
することにより加熱温度を設定することができる。蒸気
制御弁４から供給された蒸気により加熱容器１，２内で
被加熱物が加熱される。加熱容器１，２の出口側は、圧
力センサ２２，２３と三方制御弁２８とにより、加熱容
器１，２の二次側がほぼ同圧力となるように調整され
る。従って、エゼクタ―５の吸引力は両方の加熱容器
１，２にほぼ均等に作用することになり、加熱容器１，
２の加熱温度は等しいものとなる。
【００１４】
【発明の効果】上記のように本発明によれば、複数の加
熱容器の二次側圧力検出手段を設けて、それぞれの圧力
がほぼ等しくなるように制御弁を開閉することにより、
真空ポンプ手段の吸引力のバラツキを無くして、それぞ
れの加熱容器の加熱温度を均一に維持することができ
る。
熱容器の二次側圧力検出手段を設けて、それぞれの圧力
がほぼ等しくなるように制御弁を開閉することにより、
真空ポンプ手段の吸引力のバラツキを無くして、それぞ
れの加熱容器の加熱温度を均一に維持することができ
る。
【図１】本発明の蒸気加熱装置の構成図である。
１，２ 加熱容器 ３ 蒸気通路 ４ 蒸気制御弁 ５ エゼクタ― ６ 渦巻きポンプ ８ タンク ９ ディフュ―ザ―部 １５ 冷却水供給通路 １６ 冷却水制御弁 １７ 温度センサ― １８，１９ アクチュエ―タ ２１ 第３のコントロ―ラ ２２，２３ 圧力センサ ２６ 差圧伝送器 ２７ 第２のコントロ―ラ ２８ 三方制御弁 ３１ 第１のコントロ―ラ ３２ 演算器
Claims (1)
- 【請求項１】 加熱容器の一次側に加熱蒸気を供給する
蒸気供給管を接続し、加熱容器の二次側に真空ポンプ手
段を配置したものにおいて、加熱容器を複数個並列に配
置し、該加熱容器のそれぞれの二次側圧力を検出する圧
力検出手段を設け、該圧力検出手段からの検出信号によ
りそれぞれの二次側圧力をほぼ等しくするように開閉す
る制御弁を加熱容器の一次側または二次側に設けたこと
を特徴とする蒸気加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23767292A JP2699044B2 (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 蒸気加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23767292A JP2699044B2 (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 蒸気加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666404A true JPH0666404A (ja) | 1994-03-08 |
| JP2699044B2 JP2699044B2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=17018803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23767292A Expired - Lifetime JP2699044B2 (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 蒸気加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2699044B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09250706A (ja) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Tlv Co Ltd | 加熱冷却装置 |
-
1992
- 1992-08-12 JP JP23767292A patent/JP2699044B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09250706A (ja) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Tlv Co Ltd | 加熱冷却装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2699044B2 (ja) | 1998-01-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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