JPH10293053A

JPH10293053A - 振動型測定器

Info

Publication number: JPH10293053A
Application number: JP10013497A
Authority: JP
Inventors: Akira Morita; 晃森田
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 1997-04-17
Filing date: 1997-04-17
Publication date: 1998-11-04

Abstract

(57)【要約】【課題】流体の質量流量，密度を測定する振動型測定
器で流体の粘性が変化した場合等でも、人手を余り介在
させず安定，正確に測定ができるようにする。【解決手段】測定管の励磁コイルに与えるドライブ電
流と測定管の検出器より得られる信号電圧、すなわちア
ナログディジタル変換器ＡＤ１，２の各出力にもとづ
き、ＣＰＵ１で所定の演算をすることにより測定管の加
振力に対する振動振幅の割合を測定し、この割合変化を
補償するよう励振効率補償アンプＧＡ１の増幅率を自動
的に変更可能とすることで、振動系の応答性をほぼ一定
に保ち安定な振動を持続させ測定の安定化を図る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、少なくとも１本
の測定管を共振振動させ、この測定管内を流れる流体の
質量流量または密度の少なくとも一方を測定する振動型
測定器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】測定管を一定振幅で持続振動させるため
に、測定管の検出器から得られる振動振幅に比例した信
号を利用して、測定管の励磁コイルに流す電流を制御す
るようにしている。つまり、共振周波数における加振力
に対する振動振幅の割合（測定管のゲイン，位相）と回
路のゲイン、位相の関係が安定発振条件を満たすように
回路で制御している。安定発振条件とは、振動周波数に
おいて一巡伝達特性の位相が３６０度回転していること
と、ゲインが０ｄｂになっていることである。したがっ
て、閉ループ系内の測定管の加振力に対する振動振幅の
割合と位相が、測定する流体の粘性変化などにより変化
した場合、それらの変化を回路で補う必要がある。

【０００３】図８に示す従来例でも、測定管の加振力に
対する振動振幅の割合の変化を或る程度補うことが可能
である。それは、各部の信号電圧が電源電圧で飽和しな
い範囲であり、１０倍程度の変化である。ところが、流
体の粘性変化による測定管の加振力に対する振動振幅の
割合（ゲイン）の変化は、図９（イ）に示すように１０
倍以上になる場合があり、このため、適用する流体に応
じてマニュアルにて検出器後段のアンプまたは電流ブー
スタの増幅率を調整するようにしている。図９（ロ）は
振動振幅の位相変化例を示している。

【０００４】一方、測定管の加振力に対する振動振幅の
位相変化により、振動振幅のエンベロープが振動すると
いうビート現象が、図１０のように発生する可能性があ
り、このときは、マニュアルにて誤差増幅器の増幅率を
調整することで、対応するようにしている。また、図８
における設定振幅の低いモードの発振起動については、
スイッチトキャパシタフィルタからなる帯域通過フィル
タ（ＢＰＦ）のクロックを、電源オン時の位相同期ルー
プＰＬＬ１の自動掃引を利用し、ＰＬＬ出力周波数と設
定振幅の低いモードの周波数が合致した周波数で振動振
幅が徐々に上昇し、ＰＬＬ１がその周波数でロックし
て、持続振動が成立するというメカニズムを利用してい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来技
術では、測定管の加振力に対する振動振幅の割合の変化
が大きいときは測定管が設定振幅で振動せず、このた
め、マニュアルで検出器後段のアンプまたは電流ブース
タの増幅率を変更する必要があり、頻繁に人手が必要に
なるという問題がある。また、測定管の加振力に対する
振動振幅の位相変化があるときにはビート現象が発生
し、流量測定のフラツキなどに悪影響を与えるため、こ
の場合も、マニュアルで誤差増幅器の増幅率を変更する
必要があり、頻繁に人手が必要になるという問題があ
る。

【０００６】さらに、設定振幅の低いモードの振動の起
動については、電源オン，オフを繰り返して起動するよ
うにしていたため、数回の試行が必要で時間が掛かると
いう問題がある。加えて、検出器後段のアンプ，電流ブ
ースタまたは誤差増幅器の増幅率が適正でない場合は、
電源オン，オフを何度繰り返しても振動が起動しないと
いう問題もある。また、電源オン時のＰＬＬ出力の周波
数変化速度が共振振動を開始できる速度であること、温
度や粘性変化によって発振周波数が急変したことにＰＬ
Ｌ出力が追従できること、の２つの特性を満足するよう
にＰＬＬを設計しなければならないという問題がある。
したがって、この発明の課題は人手の頻繁な介入を不要
にするとともに、設定振幅の低いモードの振動の起動を
短時間に、かつ安定に実行し得るようにすることにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】測定管の励振コイルに与
えるドライブ電流と測定管の検出部から得られる振動振
幅に比例した信号電圧の割合を測定し、測定管の加振力
に対する振動振幅の割合の変化を測定し、その割合の変
化を補償するように励振効率アンプの増幅率を変更す
る。これにより、振動系の応答性が常に一定に保たれる
ため、常に一定の振動振幅特性が実現できる。また、誤
差増幅器の増幅率を変更したときのビート量を測定する
か、振幅一定化ループの一巡伝達特性を測定して、適正
な誤差増幅器の増幅率を求める。その結果、測定管の加
振力に対する振動振幅の位相の変化に対応した誤差増幅
器の増幅率が設定でき、ビートを防ぐことができる。こ
れらにより、安定した振動振幅が実現でき、そのため質
量流量の測定の安定性も向上する。

【０００８】さらに、設定振幅の低いモードの起動につ
いては、電源オン時にＰＬＬの出力周波数の自動掃引で
はなく、処理装置（マイクロコンピュータ（マイコン）
等のＣＰＵ）の指令で設定振幅の低いモードの周波数を
出力して振動を開始する。また、起動時には測定管の加
振力に対する振動振幅の割合の変化が未知であるため、
その割合の変化を補うように、次第に励振効率アンプの
増幅率と誤差増幅器の増幅率を増加させる。このため、
ＰＬＬの応答性を起動時の自動掃引の応答性のことを考
慮せずに設計できること、マイコンの判断による確実な
起動が可能となる。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１はこの発明の第１の実施の形
態を示す構成図である。ここでは、測定管に設けられた
２つの検出器のうちの一方（図１では上側）の検出器を
用いて高い周波数のモードで振動させ、もう一方（図１
では下側）の検出器を用いて低い周波数のモードで振動
させている。そして、高い周波数のモードでの振幅は、
低い周波数のモードでの振幅に対して約１００倍程度大
きいことを想定している。

【００１０】振幅の大きいモードの回路は図１の上半分
に相当しており、測定管の検出器から得られた振動振幅
に比例する信号をアンプＡ１にて増幅し、その振幅を検
出するために整流回路ＲＥ１と平滑回路ＳＴ１を設けて
いる。この振幅は目標振幅に相当する値と誤差増幅器Ａ
Ｍ１で比較され、目標振幅との誤差に相当する偏差（電
流指令値）を求める。この偏差と検出器後段のアンプ出
力信号とを掛算器により掛け算した信号で、測定管を振
動させる閉ループを構成することにより、目標振幅に一
致した振幅制御が可能となる。

【００１１】ところが、測定する流体の粘性が大きくな
ったときは、測定管の加振力に対する振動振幅の割合
（検出器電圧／ドライブ電流）が低下し、持続振動がで
きなくなる。一方、粘性の大きな流体にふさわしい回路
ゲインで動作が行なわれている場合に、粘性が小さくな
り測定管の加振力に対する振動振幅の割合が増加すると
電流指令値が減少し、信号対雑音比Ｓ／Ｎが悪くなり、
安定した振幅制御ができなくなる。

【００１２】そのため、測定管の加振力に対する振動振
幅の割合の変化に対して、回路ゲインを変更する必要が
ある。図１では、アナログディジタル変換器（単に変換
器またはＡＤ変換器ともいう）ＡＤ１により設定振幅の
大きいモードの振動振幅を測定し、変換器ＡＤ２によ
り、ドライブ電流を測定している。検出器電圧は正弦波
であるが、整流，平滑化した信号をＡＤ変換するので、
低速なＡＤ変換器で十分である。また、ドライブ電流も
正弦波であるが、ほぼ直流の信号である電流指令値をＡ
Ｄ変換するので、これも低速なＡＤ変換器で十分であ
る。これら２つのＡＤ変換器で取り込んだ値から測定管
の加振力に対する振動振幅の割合の変化を求め、これを
補うように励振効率補償アンプＧＡ１の増幅率を設定す
る。実際のドライブ電流は、励振効率補償アンプＧＡ１
の増幅率と変換器ＡＤ２から求めている。なお、測定管
の励振コイルに与える電流値は直接、例えば電流ブース
タＩＢの出力を整流，平滑およびＡＤ変換して求めるこ
ともできる。

【００１３】ところで、以上のように求めた加振力に対
する振動振幅の割合の変化より、励振効率補償アンプの
増幅率を変更するに当たり、微小な加振力に対する振動
振幅の割合の変化ごとに励振効率補償アンプの増幅率を
変更していると、増幅率変更による変動が安定するまで
の間、流量測定に誤差を与える。そのため、設定してい
る励振効率補償アンプの増幅率と加振力に対する振動振
幅の割合の変化から求めた設定すべき励振効率補償アン
プの増幅率の比が或る一定値（例えば、±１０％）以上
になったときだけ、励振効率補償アンプの増幅率を変更
するようにして、振動が安定するまでの間の流量測定誤
差の発生を少なくするようにする。つまり、励振効率補
償アンプの増幅率変更に、ヒステリシス特性を持たせ
る。

【００１４】さらに、測定すべき流体の粘性変化などに
より、測定管の加振力に対する振動振幅の位相（検出器
電圧／ドライブ電流）も変化する。この変化により、振
動制御系の安定性が悪化し、振動振幅が低周波数で変化
するビート現象が発生することは、図１０で説明した通
りである。このビート現象は、振幅エンベロープの位相
特性に対し振幅エンベロープのゲイン特性が大きいため
に起こる（ビート周波数での発振条件を満たすため）。
図１の回路では、このようなビート現象を、誤差増幅器
ＡＭの増幅率を低下させることで抑制することができ
る。しかし、誤差増幅器の増幅率を低下し過ぎると、振
幅指令値と実際の振幅値との誤差が大きくなり、外乱に
よる振動制御の応答性が劣化するという問題が生じる。
そのため、誤差増幅器の増幅率は適正に選ぶことが必要
となる。

【００１５】図１の回路では、流量測定を行なっていな
い校正時に、誤差増幅器の増幅率を或る範囲内で変更し
たときのビート量を、変換器ＡＤ３を利用して求め、そ
のデータから適切な誤差増幅器の増幅率を設定する。適
切な誤差増幅器の増幅率の求め方の１例として、例えば
図２のように得られたデータにおいて、ビート量が或る
一定のしきい値を越える誤差増幅器の増幅率の一定割合
（例えば１５％）とする、つまり誤差増幅器の増幅率を
図２のしきい値で求まる誤差増幅器の増幅率の左側の値
とする方法が考えられる。このように、ビート量の大き
な精度の良いデータを利用するため誤差増幅器の増幅率
設定の誤差を低減することができる。しかし、このよう
な方法は校正時にしか行なうことができず、流量測定時
の粘性急変に対応できない。そのため、常時ビート量を
測定し、ビート量が大きくなったときには誤差増幅器の
増幅率を一定割合（例えば８割）低下させ、ビート量を
低減させる方式もある。また、誤差増幅器の増幅率を増
加させなければならないときは、振動振幅の低下（また
は発振停止）より検知し、上記と同様の誤差増幅器の増
幅率調整を行なうようにする。

【００１６】上記励振効率補償アンプと誤差増幅器の増
幅率の調整は、設定振幅の大きいモードと設定振幅の小
さいモードとで互いに独立に行なう必要がある。設定振
幅の小さいモードは設定振幅の大きいモードに比べて、
振幅が１００分の１程度なので、設定振幅の小さいモー
ドを検出するために、図１ではスイッチトキャパシタフ
ィルタによるバンドパスフィルタ（ＢＰＦ）を用いてい
るが、励振効率補償アンプＧＡ２と誤差増幅器ＡＭ２の
増幅率の調整は設定振幅の大きいモードと同様に扱うこ
とができる。

【００１７】図３は図１における振動起動動作を説明す
るフローチャートである。起動シーケンスは、設定振幅
の大きいモード（一点鎖線の左側）を先に、設定振幅の
小さいモード（一点鎖線の右側）は後から起動する。こ
の逆のシーケンスでは、設定振幅の小さいモードが起動
した後に設定振幅の大きいモードを起動することとな
り、２つのモードの振幅レベルが近い瞬間が生じる。こ
のとき、２つのモードの位相関係から、検出器の出力振
幅が零付近になる瞬間があり、この瞬間が原因で設定振
幅の小さいモードのコンパレータ出力が乱れ、ＰＬＬの
ロックが外れ振動が停止することがあるため、採用でき
ないというわけである。

【００１８】設定振幅の大きいモードの起動は、励振効
率補償アンプと誤差増幅器の増幅率が安定発振条件を満
たせば、振動が開始する（ステップＳ１のＹＥＳ参
照）。起動時に粘性や測定管の加振力に対する振動振幅
の割合，位相が不明なため、次第に励振効率補償アンプ
と誤差増幅器の増幅率を増加させながら、発振開始とな
るまで待つ。設定振幅の小さいモードについては、ＢＰ
Ｆとしてスイッチトキャパシタフィルタを利用している
ため、それに与えるクロックが共振周波数の一定倍（例
えば１００倍）になったときに、ＢＰＦの中心周波数が
共振周波数に一致し、振動が開始する。このＢＰＦのク
ロックには、振動周波数成分の正弦波をコンパレートし
ＰＬＬにて逓倍（例えば１００倍）したクロックを使用
する。

【００１９】従来の方式では電源オンのときに、ＰＬＬ
出力クロックは低い周波数から次第に高い周波数にスィ
ープし、その途中の周波数でＢＰＦの中心周波数が共振
周波数と一致したときに、設定振幅の小さいモードの共
振振動が起動することを利用していた。ところが、電源
オンの時のＰＬＬクロック周波数の変化スピードが速い
場合、測定管の検出器出力が大きくなりＰＬＬがロック
する前に、ＢＰＦの中心周波数が共振周波数を通過して
しまい、持続振動が成立しない。したがって、ＰＬＬク
ロック周波数の変化を遅くするために、ＰＬＬで使用す
るラグリードフィルタの時定数を大きくする必要があ
る。しかし、このようにすると流体密度や温度の急変に
よる共振周波数の急変に対応できなくなるという問題が
ある。

【００２０】そこで、起動時のＢＰＦのクロック周波数
スィープを、周波数可変クロック回路とＣＰＵ（マイコ
ンを含む演算処理装置）による制御とし、クロック周波
数スィープに十分な時間を持たせることにして、ＢＰＦ
の中心周波数が設定振幅の小さいモードの共振周波数と
一致したときに、測定管の検出器に生じる信号振幅が増
大し、コンパレータ出力周期が安定し、ＰＬＬのロック
が安定してから、ＢＰＦで使用するクロックをスイッチ
によりＰＬＬ信号に切り換える。これにより、確実で安
定な起動を実現するとともに、高速に共振周波数変化に
対して追従できるラグリードフィルタ定数を利用し、周
波数変化にも対応可能としている。

【００２１】さらに、クロック切り換えは、ＣＰＵによ
る可変クロックとＰＬＬによるクロックの位相が合致し
たときとするのが、切換後のＰＬＬ応答が乱れないとい
う点で望ましい。この制御を行なうのが図４で、カウン
タＣＴによって可変クロックとＰＬＬ信号との位相差を
カウントし、その値を予め設定されているカウント値
（位相差に相当）と比較し、２つのクロックの位相差が
設定値以下になったときに、例えば「Ｈ」の信号を出力
し、ＣＰＵからの切換指令が例えば「Ｈ」になったとき
アンドゲートおよびラッチ回路を介して、ＢＰＦのクロ
ックを可変クロックからＰＬＬ信号に切り換える。この
信号切換えとＢＰＦのクロックはＴＴＬレベルなので、
ゲートロジックを用いて構成することができる。

【００２２】設定振幅の小さいモードも設定振幅の大き
いモードと同様に、安定した持続振動を行なうために
は、測定管と回路で構成される閉ループ系が安定発振条
件を満たさなければならない。測定管が振動していない
場合は、粘性や測定管の加振力に対する振動振幅の割合
が未知のため、設定振幅の大きいモードと同様に励振効
率補償アンプと誤差増幅器の増幅率を次第に増加させな
がら、振動を開始させるようにする。

【００２３】図５はこの発明の第２の実施の形態を示す
構成図である。なお、同図では設定振幅の大きいモード
の誤差増幅器の増幅率の調整方法のみを示しているが、
設定振幅の小さいモードへの適用も可能である。また、
図１の実施例１で示したように、励振効率補償アンプの
増幅率調整と各モードの起動シーケンスとの併用が可能
である。振幅制御系の一巡伝達特性は、一般に図６に示
すようになる。振動型測定器においてこの特性を測定す
るには、誤差増幅器の前段に外乱となる正弦波を加算器
の一方の端子に入力し、この信号成分が加算器の前段で
どの程度検出されるかを、入力する外乱用正弦波の周波
数を変化させながら測定する。こうすると、加算器前段
で検出した外乱信号と同一周波数の信号成分と、加えた
外乱信号との振幅の比，位相の差が一巡伝達特性とな
る。このような特性を測定する装置としては、例えば図
７に示すようなサーボアナライザが市販されている。

【００２４】つまり、図７と同様な機能（スイープ外乱
発生器，信号取り込み部，振幅比・位相差計算部）を付
加すれば目的とする一巡伝達特性が得られ、それから誤
差増幅器の増幅率を適切に設定することができる。しか
しながら、一般に、一巡伝達特性のゲイン余有と位相余
有の値から概略の制御性能を求めることができるため、
図６に示すように広い範囲の周波数について測定する必
要はない。また、制御ループ構造が決定している場合、
図６（イ），（ロ）に示すように、ゲイン余有と位相余
有に或る一定の関係があるため、どちらか一方のみを測
定するだけで十分である。

【００２５】図５はゲイン余有を測定する例である。同
図では、一巡伝達特性の測定のための外乱正弦波信号
を、ＶＣＯ（電圧制御発振器）により発生させている。
このＶＣＯの出力をＬＰＦ（低域通過フィルタ）に入力
して基本周波数のみの正弦波を作成し、外乱信号振幅は
ゲイン余有の測定感度が良く、かつ質量流量の測定に影
響を与えないレベルをＣＰＵが判断し、ゲイン制御アン
プＡ３で制御する。この外乱用正弦波信号は、誤差増幅
器ＡＭ１の前段の加算器の一端に入力する。図６の
（イ），（ロ）関係からも明らかなように、ゲイン余有
は一巡伝達特性の位相が０となる周波数で測定できるた
め、その周波数の外乱を作成する必要がある。そこで、
一巡伝達特性の位相が０となるように、位相比較をして
ＶＣＯの制御を行なうようにしている。ゲイン余有は加
算される外乱用正弦波信号と、加算器前段の信号をＨＰ
Ｆ（高域通過フィルタ），整流回路，平滑回路により外
乱用正弦波と同一周波数成分のみを抽出し、Ａ／Ｄ変換
してＣＰＵ（マイコンを含む処理装置）に取り込んだ信
号との比から計算部にて計算する。こうして得られたゲ
イン余有から誤差増幅器の適正な増幅率を求め、その値
を自動設定する。このようにすることで、必要最小限の
ゲイン余有を測定するだけのため、図７の如く全周波数
範囲にわたって測定するものに比べ、測定時間が短縮さ
れるという利点が得られる。

【００２６】

【発明の効果】この発明によれば、測定管の励振コイル
に与えるドライブ電流と、測定管の検出部から得られる
振動振幅に比例する信号電圧の割合から、測定管の加振
力に対する振動振幅の割合の変化を測定し、この割合変
化を補償するように励振効率補償アンプの増幅率を変更
するようにしたので、振動系の応答性が常に一定に保た
れ、安定した振動振幅制御特性が実現できるという利点
が得られる。また、誤差増幅器の増幅率を変更したとき
のビート量を測定するか、振幅一定化ループの一巡伝達
特性を測定して、誤差増幅器の適正な増幅率を求めるよ
うにしているため、測定管の加振力に対する振動振幅の
位相の変化に対応した誤差増幅器の増幅率を設定するこ
とができ、ビートを防止できる利点がある。さらに、設
定振幅の低いモードの起動については、電源オン時にＰ
ＬＬの出力周波数の自動掃引ではなく、ＣＰＵの指令で
設定振幅の低いモードの周波数を出力して振動を開始す
るとともに、起動時には測定管の加振力に対する振動振
幅の割合の変化が未知であることから、その割合の変化
を補うように次第に励振効率補償アンプと誤差増幅器の
増幅率を増加させるようにしたので、ＰＬＬの応答性を
起動時の自動掃引の応答性を考慮せずに設計でき、ＣＰ
Ｕの判断による確実な起動が可能となる利点がもたらさ
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施の形態を示す構成図であ
る。

【図２】誤差増幅器の増幅率とビート量の関係説明図で
ある。

【図３】振動の起動手順を説明するフローチャートであ
る。

【図４】ＢＰＦ用クロックの切り換えタイミング制御回
路を示すブロック図である。

【図５】この発明の第２の実施の形態を示す構成図であ
る。

【図６】振幅制御系の一巡伝達特性説明図である。

【図７】振幅制御系の一巡伝達特性測定方法の一般例を
示すブロック図である。

【図８】従来例を示す構成図である。

【図９】測定管の伝達特性説明図である。

【図１０】測定管のビート現象説明図である。

【符号の説明】

ＡＤ…アナログディジタル変換器、ＤＡ…ディジタルア
ナログ変換器、Ａ…アンプ、ＲＥ…整流回路、ＳＴ…平
滑回路、ＥＡ…誤差増幅器、ＧＡ…励振効率補償アン
プ、ＩＢ…電流ブースタ、ＣＰＵ…マイコン等の処理装
置、ＢＰＦ…バンドパスフィルタ（帯域通過フィル
タ）、ＨＰＦ…高域通過フィルタ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも１本の測定管を共振振動さ
せ、この測定管内を流れる流体の質量流量または密度の
少なくとも一方を測定する振動型測定器において、前記測定管内の流体の粘性が変化した場合を含む加振力
に対する振動振幅の割合の変化を検出し、その割合の変
化を補償するように励振効率補償増幅器の増幅率を制御
し、安定な持続振動を可能にすることを特徴とする振動
型測定器。
【請求項２】測定管の検出器から得られる振動に比例
する信号振幅と測定管の励磁コイルに与える電流値との
比から、測定管の加振力に対する振動振幅の割合を測定
することを特徴とする請求項１に記載の振動型測定器。
【請求項３】前記測定管の検出器の後段に整流回路，
平滑回路およびＡＤ変換器を設けて、測定管の振動に比
例する信号を測定する一方、励磁電流指令信号およびＡ
Ｄ変換器を介するか、または測定管の励磁コイルに与え
る電流値を整流回路，平滑回路およびＡＤ変換器を介し
て直接に、それぞれ測定することを特徴とする請求項２
に記載の振動型測定器。
【請求項４】前記励振効率補償増幅器の増幅率変更
に、ヒステリシス特性を持たせることを特徴とする請求
項１に記載の振動型測定器。
【請求項５】少なくとも１本の測定管を共振振動さ
せ、この測定管内を流れる流体の質量流量または密度の
少なくとも一方を測定する振動型測定器において、前記測定管内の流体の粘性が変化した場合を含む加振力
に対する振動振幅位相差の変化を検出し、その位相差変
化による振動振幅制御性能の変化を誤差増幅器の増幅率
を制御して補償し、安定な持続振動を可能にすることを
特徴とする振動型測定器。
【請求項６】前記誤差増幅器の増幅率を変更しなが
ら、測定管の検出器に生じる振動振幅の変化幅（ビート
量）を測定し、加振力に対する振動振幅の位相変化を間
接的に求め、誤差増幅器の適正な増幅率を求めることを
特徴とする請求項５に記載の振動型測定器。
【請求項７】前記加振力に対する振動振幅の位相変化
が生じ振動振幅制御性能が劣化したことを、測定管の検
出器に生じる振動振幅の変化幅（ビート量）が増大した
ことから検出し、前記誤差増幅器の増幅率を減少させて
振動振幅の変化幅を抑制することを特徴とする請求項５
に記載の振動型測定器。
【請求項８】少なくとも１本の測定管を共振振動さ
せ、この測定管内を流れる流体の粘性が変化した場合を
含む加振力に対する振動振幅の割合の変化を検出し、そ
の割合の変化を補償するように励振効率補償増幅器の増
幅率を制御するとともに、前記測定管内の流体の粘性が
変化した場合を含む加振力に対する振動振幅の位相差の
変化を検出し、その位相差変化による振動振幅制御性能
の変化を補償するように誤差増幅器の増幅率を制御しな
がら、測定管内を流れる流体の質量流量または密度の少
なくとも一方を測定し、第１の共振振動モードと第２の
共振振動モードの共振周波数を利用して測定値の補正を
行ない、かつ、２つの振動モードに差を設けた振動型測
定器に対し、設定振幅の大きいモード，設定振幅の小さいモードの順
で振動を起動し、各モードの起動時には、前記誤差増幅
器の増幅率および励振効率補償増幅器の増幅率を徐々に
上昇させて行くための起動制御回路を設けたことを特徴
とする振動型測定器。
【請求項９】前記設定振幅の小さいモードの検出器後
段にはスイッチトキャパシタフィルタからなるバンドパ
スフィルタを設ける一方、前記起動制御回路を少なくと
も周波数可変クロック回路，演算処理装置および位相同
期ループから形成し、電源投入時には、前記バンドパス
フィルタのクロック周波数スイープを前記処理装置から
周波数可変クロック回路を制御することにより行ない、
前記バンドパスフィルタの中心周波数が前記設定振幅の
小さいモードに一致し、前記検出器に生じる信号振幅が
増大し、位相同期ループのロックが安定したときに、前
記バンドパスフィルタのクロックを位相同期ループから
の出力へと切り換えることを特徴とする請求項８に記載
の振動型測定器。
【請求項１０】前記バンドパスフィルタのクロックの
切替えを、前記周波数可変クロックと位相同期ループか
らの出力信号との位相が一致したときに行なうことを特
徴とする請求項９に記載の振動型測定器。
【請求項１１】少なくとも振幅，周波数の制御が可能
な外乱用正弦波発生装置と、この外乱用正弦波を前記誤
差増幅器の前段に加算する加算回路と、この加算回路前
段に生じる前記外乱と同一の周波数成分を検出する検出
回路と、前記外乱用正弦波成分と加算回路前段に生じる
前記外乱と同一の周波数成分との比から振幅制御性能を
測定し、誤差増幅器の適正な増幅率を求める演算処理装
置と、を付加したことを特徴とする請求項５または８の
いずれかに記載の振動型測定器。
【請求項１２】前記演算処理装置により、前記外乱用
正弦波とその信号の加算回路前段に生じる前記外乱と同
一の周波数成分との位相が常に０度となるよう外乱用正
弦波の位相を制御し、外乱用正弦波とその信号の加算回
路前段に生じる前記外乱と同一の周波数成分との振幅比
（ゲイン余有）を用いて、誤差増幅器の適正な増幅率を
求めることを特徴とする請求項１１に記載の振動型測定
器。