JPH0668424A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH0668424A JPH0668424A JP18379291A JP18379291A JPH0668424A JP H0668424 A JPH0668424 A JP H0668424A JP 18379291 A JP18379291 A JP 18379291A JP 18379291 A JP18379291 A JP 18379291A JP H0668424 A JPH0668424 A JP H0668424A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 82
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 105
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000012792 core layer Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 下コア４，上コア９，これらを接続する中間
コア８ａ，８ｂが絶縁層３，５，１１中に形成された磁
性体により構成され、各コアの接続面を含む各絶縁層の
表面が略平坦であって、下コア４，中間コア８ａの接続
部にギャップ７を形成してなる薄膜磁気ヘッドの改良で
ある。コアのうちギャップ７を挟む下コア４，中間コア
８ａのみを媒体対向面６に臨ませ、ギャップ７を挟むコ
ア以外の上コア９を媒体対向面６から離間させた。 【効果】 ギャップ７を挟む上コア９の接合面とギャッ
プ７を挟むコア以外の下コア４，中間コア８ａの接合面
とが、媒体対向面において向かい合うことがなく、剥離
や疑似ギャップが生じることがない。したがって、コア
の剥離・コアの合わせずれによる擬似ギャップの影響が
なくなり、分解能の低下がなく、高性能で信頼性の高い
薄膜磁気ヘッドが提供される。
コア８ａ，８ｂが絶縁層３，５，１１中に形成された磁
性体により構成され、各コアの接続面を含む各絶縁層の
表面が略平坦であって、下コア４，中間コア８ａの接続
部にギャップ７を形成してなる薄膜磁気ヘッドの改良で
ある。コアのうちギャップ７を挟む下コア４，中間コア
８ａのみを媒体対向面６に臨ませ、ギャップ７を挟むコ
ア以外の上コア９を媒体対向面６から離間させた。 【効果】 ギャップ７を挟む上コア９の接合面とギャッ
プ７を挟むコア以外の下コア４，中間コア８ａの接合面
とが、媒体対向面において向かい合うことがなく、剥離
や疑似ギャップが生じることがない。したがって、コア
の剥離・コアの合わせずれによる擬似ギャップの影響が
なくなり、分解能の低下がなく、高性能で信頼性の高い
薄膜磁気ヘッドが提供される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薄膜磁気ヘッドに係わ
り、特に高密度磁気記録に好適な薄膜磁気ヘッドに関す
るものである。
り、特に高密度磁気記録に好適な薄膜磁気ヘッドに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】最初に、図９を参照して従来の薄膜磁気
ヘッド２０の構造を説明する。基板２１上に磁性膜を形
成し、フォトリソグラフィーやエッチングにより下コア
２２を形成する。下コア２２上に端部が（磁気）ギャッ
プ２３となるように非磁性材２４を形成する。次に、絶
縁層２５，導体層を形成し、フォトリソグラフィーやエ
ッチング法等を用いて、コイルパターン２６とする。コ
イルパターン２６が形成され段差のついたコイル形成面
上に、絶縁層２７，磁性層を形成して、上コア２８とす
る。
ヘッド２０の構造を説明する。基板２１上に磁性膜を形
成し、フォトリソグラフィーやエッチングにより下コア
２２を形成する。下コア２２上に端部が（磁気）ギャッ
プ２３となるように非磁性材２４を形成する。次に、絶
縁層２５，導体層を形成し、フォトリソグラフィーやエ
ッチング法等を用いて、コイルパターン２６とする。コ
イルパターン２６が形成され段差のついたコイル形成面
上に、絶縁層２７，磁性層を形成して、上コア２８とす
る。
【０００３】従来の薄膜磁気ヘッド２０においては、絶
縁層２５と段差のあるコイルパターン２６上に、絶縁層
２７を形成し、さらにこの絶縁層２７の上に、上コア２
８を形成しているので、層を重ねるごとに、その段差は
大きくなる。例えば、通常の両コアの厚さが約５μm 、
コイルパターンの厚さが約３μm の場合、上コア形成直
前においては、段差は１０μm にまで達する。
縁層２５と段差のあるコイルパターン２６上に、絶縁層
２７を形成し、さらにこの絶縁層２７の上に、上コア２
８を形成しているので、層を重ねるごとに、その段差は
大きくなる。例えば、通常の両コアの厚さが約５μm 、
コイルパターンの厚さが約３μm の場合、上コア形成直
前においては、段差は１０μm にまで達する。
【０００４】このような段差がある面上においては、フ
ォトリソグラフィーによる解像度が極端に悪くなり、段
差の大きさ程度の解像度が限度であった。そのため、コ
イルの巻数を多くするために、コイルパターン２６のピ
ッチ間隔を小さく形成しようとしても解像度が悪いた
め、小さくできない。その結果、その上下に形成する上
下コア２２、２８の長さを大とする必要があり、磁路長
の増加により磁気抵抗が高くなり、薄膜磁気ヘッドとし
ては、性能が悪くなるという問題点があった。
ォトリソグラフィーによる解像度が極端に悪くなり、段
差の大きさ程度の解像度が限度であった。そのため、コ
イルの巻数を多くするために、コイルパターン２６のピ
ッチ間隔を小さく形成しようとしても解像度が悪いた
め、小さくできない。その結果、その上下に形成する上
下コア２２、２８の長さを大とする必要があり、磁路長
の増加により磁気抵抗が高くなり、薄膜磁気ヘッドとし
ては、性能が悪くなるという問題点があった。
【０００５】このような問題点を解決したものとして、
本出願人が先に出願した特開平３−５８３０８号公報記
載の薄膜磁気ヘッドがある。これは、図７の（Ａ）及び
（Ｂ）に示すように、絶縁層にエッチングによりコア形
状の溝を形成し、その溝に磁性体を充填し、表面を平坦
化し、それを積み重ねて磁気回路を形成した薄膜磁気ヘ
ッド３０である。３１，３２ａ，３２ｂ，３３は磁性体
からなるコア、３５はコイルパターン、３６，３７，３
８は絶縁層、３９は磁気ギャップである。
本出願人が先に出願した特開平３−５８３０８号公報記
載の薄膜磁気ヘッドがある。これは、図７の（Ａ）及び
（Ｂ）に示すように、絶縁層にエッチングによりコア形
状の溝を形成し、その溝に磁性体を充填し、表面を平坦
化し、それを積み重ねて磁気回路を形成した薄膜磁気ヘ
ッド３０である。３１，３２ａ，３２ｂ，３３は磁性体
からなるコア、３５はコイルパターン、３６，３７，３
８は絶縁層、３９は磁気ギャップである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記薄膜磁気ヘッド３
０は上，下，中間の全てのコア３１，３２ａ，３２ｂ，
３３が媒体対向面３４に臨むように露出しているため、
以下のような問題点が生じて、性能の優れた信頼性の高
い薄膜磁気ヘッドを提供することが困難であった。
媒体対向面（スライダ面）３４の加工時またはシステム
稼動時等に前記コアの界面で剥離が起こりやすい。また
剥離が起こった場合は勿論であるが、接合面（界面部
分）に加工変質層等があると、その部分が擬似ギャップ
として作用するため、分解能の低下を招く。 薄膜磁気ヘッド３０を媒体対向面側から見れば明らか
なように（図８参照）、各コア層の合わせが一致してい
ないと例えば同図（Ｂ）のようになった場合には、下コ
ア３１と上コア３３の間に対向する面が生じ、疑似ギャ
ップＮＧとなる。
０は上，下，中間の全てのコア３１，３２ａ，３２ｂ，
３３が媒体対向面３４に臨むように露出しているため、
以下のような問題点が生じて、性能の優れた信頼性の高
い薄膜磁気ヘッドを提供することが困難であった。
媒体対向面（スライダ面）３４の加工時またはシステム
稼動時等に前記コアの界面で剥離が起こりやすい。また
剥離が起こった場合は勿論であるが、接合面（界面部
分）に加工変質層等があると、その部分が擬似ギャップ
として作用するため、分解能の低下を招く。 薄膜磁気ヘッド３０を媒体対向面側から見れば明らか
なように（図８参照）、各コア層の合わせが一致してい
ないと例えば同図（Ｂ）のようになった場合には、下コ
ア３１と上コア３３の間に対向する面が生じ、疑似ギャ
ップＮＧとなる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するために、下コア，上コア，これらを接続する中間
コアが絶縁層中の磁性体により構成され、前記各コアの
接続面を含む前記各絶縁層の表面が略平坦であって、前
記コアの接続部にギャップを形成してなる薄膜磁気ヘッ
ドにおいて、前記コアのうちギャップを挟むコアのみを
媒体対向面に臨ませ、ギャップを挟むコア以外のコアを
媒体対向面から離間させた薄膜磁気ヘッドを提供するも
のである。
決するために、下コア，上コア，これらを接続する中間
コアが絶縁層中の磁性体により構成され、前記各コアの
接続面を含む前記各絶縁層の表面が略平坦であって、前
記コアの接続部にギャップを形成してなる薄膜磁気ヘッ
ドにおいて、前記コアのうちギャップを挟むコアのみを
媒体対向面に臨ませ、ギャップを挟むコア以外のコアを
媒体対向面から離間させた薄膜磁気ヘッドを提供するも
のである。
【０００８】上記のように構成された薄膜磁気ヘッドで
は、ギャップを挟むコアの接合面とギャップを挟むコア
以外のコアの接合面とが、媒体対向面において向かい合
うことがなく、剥離や疑似ギャップが生じない。
は、ギャップを挟むコアの接合面とギャップを挟むコア
以外のコアの接合面とが、媒体対向面において向かい合
うことがなく、剥離や疑似ギャップが生じない。
【０００９】
【実施例】本発明になる薄膜磁気ヘッドの一実施例を以
下図面と共に詳細に説明する。本薄膜磁気ヘッドは、絶
縁層にエッチングによりコア形状の溝を形成し、その溝
に磁性体を充填し表面を平坦化し、それを積み重ねて磁
気回路を形成するものであり、さらに、複数のコア
（層）のうち（磁気）ギャップ（層）を挟んだ２層のみ
を媒体対向面に露出させ、ギャップ層を挟んだ２層のコ
ア以外のコアは媒体対向面から引っ込んだ構造としたも
のである。
下図面と共に詳細に説明する。本薄膜磁気ヘッドは、絶
縁層にエッチングによりコア形状の溝を形成し、その溝
に磁性体を充填し表面を平坦化し、それを積み重ねて磁
気回路を形成するものであり、さらに、複数のコア
（層）のうち（磁気）ギャップ（層）を挟んだ２層のみ
を媒体対向面に露出させ、ギャップ層を挟んだ２層のコ
ア以外のコアは媒体対向面から引っ込んだ構造としたも
のである。
【００１０】［実施例１］第１図は本発明になる薄膜磁
気ヘッド１を示す概略断面図である。同図に示すよう
に、基板２上には平坦な下部絶縁層３形成されており、
この下部絶縁層３に形成された溝に磁性材が充填され、
前記下部絶縁層と段差なく平坦に形成された下コア４を
形成している。
気ヘッド１を示す概略断面図である。同図に示すよう
に、基板２上には平坦な下部絶縁層３形成されており、
この下部絶縁層３に形成された溝に磁性材が充填され、
前記下部絶縁層と段差なく平坦に形成された下コア４を
形成している。
【００１１】下部絶縁層３上には中間絶縁層５が形成さ
れており、この中間絶縁層５の端部（記録媒体対向面
６）には（磁気）ギャップ７を介して、磁性材からなる
中間コア８ａが下コア４と近接するように埋設され、こ
の中間コア８ａと距離を隔てた内側には磁性材からなる
中間コア８ｂが下コア１２と直接接合するように埋設さ
れている。中間絶縁層５の内部には、平面的なコイルパ
ターン１０が前記中間コア８ｂを取り巻くように螺旋状
に埋設されている。コイルパターン１０の一端部は、上
部絶縁層１１に穿設されたスルーホール内に埋められた
導体１２を介して、外部のリード線１３と接合し、外部
装置と電気的な接続が可能となっている。
れており、この中間絶縁層５の端部（記録媒体対向面
６）には（磁気）ギャップ７を介して、磁性材からなる
中間コア８ａが下コア４と近接するように埋設され、こ
の中間コア８ａと距離を隔てた内側には磁性材からなる
中間コア８ｂが下コア１２と直接接合するように埋設さ
れている。中間絶縁層５の内部には、平面的なコイルパ
ターン１０が前記中間コア８ｂを取り巻くように螺旋状
に埋設されている。コイルパターン１０の一端部は、上
部絶縁層１１に穿設されたスルーホール内に埋められた
導体１２を介して、外部のリード線１３と接合し、外部
装置と電気的な接続が可能となっている。
【００１２】また、前記中間絶縁層５の上には上部絶縁
層１１が形成され、この上部絶縁層１１には両端部が中
間コア８ａ及び８ｂと接合するように上コア９が形成さ
れ、前記下コア１２と共に磁気回路を形成している。さ
らに、複数のコア４，８ａ，８ｂ，１２のうちギャップ
７を挟んだ下コア４及び中間コア８ａのみを媒体対向面
６に突出（露出）し、ギャップ７を挟んだコア以外の上
コア９は媒体対向面６から引っ込んでいる（ｌは、記録
媒体対向面からの離間距離である）。
層１１が形成され、この上部絶縁層１１には両端部が中
間コア８ａ及び８ｂと接合するように上コア９が形成さ
れ、前記下コア１２と共に磁気回路を形成している。さ
らに、複数のコア４，８ａ，８ｂ，１２のうちギャップ
７を挟んだ下コア４及び中間コア８ａのみを媒体対向面
６に突出（露出）し、ギャップ７を挟んだコア以外の上
コア９は媒体対向面６から引っ込んでいる（ｌは、記録
媒体対向面からの離間距離である）。
【００１３】このように、本発明になる薄膜磁気ヘッド
１においては、平坦な３つの絶縁層、すなわち、下部絶
縁層３、中間絶縁層５、上部絶縁層１１が積み重ねら
れ、これら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が
接続され磁気回路を形成しているため、段差のない各絶
縁層面でフォトリソグラフィが可能となる。よって、寸
法精度の優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得ら
れるので、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッド
を得ることが可能となる。
１においては、平坦な３つの絶縁層、すなわち、下部絶
縁層３、中間絶縁層５、上部絶縁層１１が積み重ねら
れ、これら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が
接続され磁気回路を形成しているため、段差のない各絶
縁層面でフォトリソグラフィが可能となる。よって、寸
法精度の優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得ら
れるので、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッド
を得ることが可能となる。
【００１４】さらに、ギャップ７を挟んだコア以外の上
コア９の接合面が媒体対向面６に出ることがない。よっ
て、従来の薄膜磁気ヘッドように剥離が生じることがな
い。また、第２図（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ギャ
ップ７を挟む下コア４及び中間コア８ａの接合面とギャ
ップ７を挟むコア以外の上コア９の接合面とが、媒体対
向面６において向かい合うことがなく、コアの合わせず
れによる擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の低
下がない。
コア９の接合面が媒体対向面６に出ることがない。よっ
て、従来の薄膜磁気ヘッドように剥離が生じることがな
い。また、第２図（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ギャ
ップ７を挟む下コア４及び中間コア８ａの接合面とギャ
ップ７を挟むコア以外の上コア９の接合面とが、媒体対
向面６において向かい合うことがなく、コアの合わせず
れによる擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の低
下がない。
【００１５】［実施例２］第３図は、（磁気）ギャップ
７を上コア９と中間コア８ａの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッド１４である。この薄膜磁気ヘッド１４では、媒体対
向面６に上コア４，中間コア８ａが突出（露出）させた
構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外の下コア４は媒
体対向面６から引っ込んだ構造としている。
７を上コア９と中間コア８ａの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッド１４である。この薄膜磁気ヘッド１４では、媒体対
向面６に上コア４，中間コア８ａが突出（露出）させた
構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外の下コア４は媒
体対向面６から引っ込んだ構造としている。
【００１６】［実施例３］第４図は、２層のコイルパタ
ーン１０-1，１０-2、２層の下中間コア８ａ-1，８ｂ-
1，上中間コア８ａ-2，８ｂ-2からなり、（磁気）ギャ
ップ７を下コア４と下中間コア８ａ-1の間に設定した薄
膜磁気ヘッド１５ではある。この薄膜磁気ヘッド１５
は、媒体対向面６に下コア４，下中間コア８ａ-1が突出
（露出）させた構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外
の上コア９，上中間コア８ａ-2は媒体対向面６から引っ
込んだ構造としている。
ーン１０-1，１０-2、２層の下中間コア８ａ-1，８ｂ-
1，上中間コア８ａ-2，８ｂ-2からなり、（磁気）ギャ
ップ７を下コア４と下中間コア８ａ-1の間に設定した薄
膜磁気ヘッド１５ではある。この薄膜磁気ヘッド１５
は、媒体対向面６に下コア４，下中間コア８ａ-1が突出
（露出）させた構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外
の上コア９，上中間コア８ａ-2は媒体対向面６から引っ
込んだ構造としている。
【００１７】［実施例４］第５図は、２層のコイルパタ
ーン１０-1，１０-2、２層の下中間コア８ａ-1，８ｂ-
1，上中間コア８ａ-2，８ｂ-2からなり、（磁気）ギャ
ップ７を下中間コア８ａ-1と上中間コア８ａ-2の間に設
定した薄膜磁気ヘッド１６である。この薄膜磁気ヘッド
１６では、媒体対向面６に下中間コア８ａ-1，上中間コ
ア８ａ-2が突出（露出）させた構造とし、ギャップ７を
挟んだコア以外の上コア９，下コア４は媒体対向面６か
ら引っ込んだ構造としている。
ーン１０-1，１０-2、２層の下中間コア８ａ-1，８ｂ-
1，上中間コア８ａ-2，８ｂ-2からなり、（磁気）ギャ
ップ７を下中間コア８ａ-1と上中間コア８ａ-2の間に設
定した薄膜磁気ヘッド１６である。この薄膜磁気ヘッド
１６では、媒体対向面６に下中間コア８ａ-1，上中間コ
ア８ａ-2が突出（露出）させた構造とし、ギャップ７を
挟んだコア以外の上コア９，下コア４は媒体対向面６か
ら引っ込んだ構造としている。
【００１８】［実施例５］第６図は、２層のコイルパタ
ーン１０-1，１０-2、２層の下中間コア８ａ-1，８ｂ-
1，上中間コア８ａ-2，８ｂ-2からなり、（磁気）ギャ
ップ７を上コア９と上中間コア８ａ-2の間に設定した薄
膜磁気ヘッド１７である。この薄膜磁気ヘッド１７で
は、媒体対向面６に上コア９と上中間コア８ａ-2が突出
（露出）させた構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外
の下コア４，下中間コア８ａ-1は媒体対向面６から引っ
込んだ構造としている。
ーン１０-1，１０-2、２層の下中間コア８ａ-1，８ｂ-
1，上中間コア８ａ-2，８ｂ-2からなり、（磁気）ギャ
ップ７を上コア９と上中間コア８ａ-2の間に設定した薄
膜磁気ヘッド１７である。この薄膜磁気ヘッド１７で
は、媒体対向面６に上コア９と上中間コア８ａ-2が突出
（露出）させた構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外
の下コア４，下中間コア８ａ-1は媒体対向面６から引っ
込んだ構造としている。
【００１９】実施例２〜５に示した薄膜磁気ヘッド１４
〜１７においても、平坦な絶縁層が積み重ねられ、これ
ら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が接続され
磁気回路を形成しているため、段差のない各絶縁層面で
フォトリソグラフィが可能となる。よって、寸法精度の
優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得られるの
で、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッドを得る
ことが可能となる。
〜１７においても、平坦な絶縁層が積み重ねられ、これ
ら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が接続され
磁気回路を形成しているため、段差のない各絶縁層面で
フォトリソグラフィが可能となる。よって、寸法精度の
優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得られるの
で、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッドを得る
ことが可能となる。
【００２０】さらに、ギャップを挟んだコア以外のコア
の接合面が媒体対向面に出ることがない。よって、従来
の薄膜磁気ヘッドように剥離やコアの合わせずれによる
擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の低下がな
い。
の接合面が媒体対向面に出ることがない。よって、従来
の薄膜磁気ヘッドように剥離やコアの合わせずれによる
擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の低下がな
い。
【００２１】
【発明の効果】本発明になる薄膜磁気ヘッドは、下コ
ア，上コア，これらを接続する中間コアが絶縁層中の磁
性体により構成され、前記各コアの接続面を含む前記各
絶縁層の表面が略平坦であって、前記コアの接続部にギ
ャップを形成してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記コ
アのうちギャップを挟むコアのみを媒体対向面に臨ま
せ、ギャップを挟むコア以外のコアを媒体対向面から離
間させたものであるから、ギャップを挟むコアの接合面
とギャップを挟むコア以外のコアの接合面とが、媒体対
向面において向かい合うことがなく、剥離や疑似ギャッ
プが生じることがない。したがって、従来の薄膜磁気ヘ
ッドのようにコアの剥離・コアの合わせずれによる擬似
ギャップの影響がなくなり、分解能の低下がなく、高性
能で信頼性の高い薄膜磁気ヘッドが提供される。
ア，上コア，これらを接続する中間コアが絶縁層中の磁
性体により構成され、前記各コアの接続面を含む前記各
絶縁層の表面が略平坦であって、前記コアの接続部にギ
ャップを形成してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記コ
アのうちギャップを挟むコアのみを媒体対向面に臨ま
せ、ギャップを挟むコア以外のコアを媒体対向面から離
間させたものであるから、ギャップを挟むコアの接合面
とギャップを挟むコア以外のコアの接合面とが、媒体対
向面において向かい合うことがなく、剥離や疑似ギャッ
プが生じることがない。したがって、従来の薄膜磁気ヘ
ッドのようにコアの剥離・コアの合わせずれによる擬似
ギャップの影響がなくなり、分解能の低下がなく、高性
能で信頼性の高い薄膜磁気ヘッドが提供される。
【図１】本発明になる薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
概略断面図である。
概略断面図である。
【図２】薄膜磁気ヘッドを媒体対抗面から見た図で、コ
アのパターン合わせずれが生じた場合を説明する図であ
る。
アのパターン合わせずれが生じた場合を説明する図であ
る。
【図３】磁気ギャップを上コアと中間コアの間に設定し
た薄膜磁気ヘッドの実施例である。
た薄膜磁気ヘッドの実施例である。
【図４】コイル（及び中間コア）を２層にして、磁気ギ
ャップを下コアと下中間コアの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッドの実施例である。
ャップを下コアと下中間コアの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッドの実施例である。
【図５】コイル（及び中間コア）を２層にして、磁気ギ
ャップを上中間コアと下中間コアの間に設定した薄膜磁
気ヘッドの実施例である。
ャップを上中間コアと下中間コアの間に設定した薄膜磁
気ヘッドの実施例である。
【図６】コイル（及び中間コア）を２層にして、磁気ギ
ャップを上コアと上中間コアの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッドの実施例である。
ャップを上コアと上中間コアの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッドの実施例である。
【図７】従来の薄膜磁気ヘッドを示す概略断面図及び平
面図である。
面図である。
【図８】従来の薄膜磁気ヘッドを媒体対抗面から見た図
で、コアのパターン合わせずれが生じた場合を説明する
図である。
で、コアのパターン合わせずれが生じた場合を説明する
図である。
【図９】従来の薄膜磁気ヘッドを示す概略断面図であ
る。
る。
１ 薄膜磁気ヘッド ２ 基板 ３ 下部絶縁層 ４ 下コア ５ 中間絶縁層 ６ 記録媒体対向面 ７ （磁気）ギャップ ８ 中間コア ８ａ-1，８ｂ-1 下中間コア ８ａ-2，８ｂ-2 上中間コア ９ 上コア １０ コイルパターン １０-1，１０-2 コイルパターン １２ 下コア １４〜１７ 薄膜磁気ヘッド ｌ 記録媒体対向面からの離間距離
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年８月３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の詳細な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薄膜磁気ヘッドに係わ
り、特に高密度磁気記録に好適な薄膜磁気ヘッドに関す
るものである。
り、特に高密度磁気記録に好適な薄膜磁気ヘッドに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】最初に、図９を参照して従来の薄膜磁気
ヘッド２０の構造を説明する。基板２１上に磁性膜を形
成し、フォトリソグラフィーやエッチングにより下コア
２２を形成する。下コア２２上に端部が（磁気）ギャッ
プ２３となるように非磁性材２４を形成する。次に、絶
縁層２５，導体層を形成し、フォトリソグラフィーやエ
ッチング法等を用いて、コイルパターン２６とする。コ
イルパターン２６が形成され段差のついたコイル形成面
上に、絶縁層２７，磁性層を形成して、上コア２８とす
る。
ヘッド２０の構造を説明する。基板２１上に磁性膜を形
成し、フォトリソグラフィーやエッチングにより下コア
２２を形成する。下コア２２上に端部が（磁気）ギャッ
プ２３となるように非磁性材２４を形成する。次に、絶
縁層２５，導体層を形成し、フォトリソグラフィーやエ
ッチング法等を用いて、コイルパターン２６とする。コ
イルパターン２６が形成され段差のついたコイル形成面
上に、絶縁層２７，磁性層を形成して、上コア２８とす
る。
【０００３】従来の薄膜磁気ヘッド２０においては、絶
縁層２５と段差のあるコイルパターン２６上に、絶縁層
２７を形成し、さらにこの絶縁層２７の上に、上コア２
８を形成しているので、層を重ねるごとに、その段差は
大きくなる。例えば、通常の両コアの厚さが約５μｍ、
コイルパターンの厚さが約３μｍの場合、上コア形成直
前においては、段差は１０μｍにまで達する。
縁層２５と段差のあるコイルパターン２６上に、絶縁層
２７を形成し、さらにこの絶縁層２７の上に、上コア２
８を形成しているので、層を重ねるごとに、その段差は
大きくなる。例えば、通常の両コアの厚さが約５μｍ、
コイルパターンの厚さが約３μｍの場合、上コア形成直
前においては、段差は１０μｍにまで達する。
【０００４】このような段差がある面上においては、フ
ォトリソグラフィーによる解像度が極端に悪くなり、段
差の大きさ程度の解像度が限度であった。そのため、コ
イルの巻数を多くするために、コイルパターン２６のピ
ッチ間隔を小さく形成しようとしても解像度が悪いた
め、小さくできない。その結果、その上下に形成する上
下コア２２、２８の長さを大とする必要があり、磁路長
の増加により磁気抵抗が高くなり、薄膜磁気ヘッドとし
ては、性能が悪くなるという問題点があった。
ォトリソグラフィーによる解像度が極端に悪くなり、段
差の大きさ程度の解像度が限度であった。そのため、コ
イルの巻数を多くするために、コイルパターン２６のピ
ッチ間隔を小さく形成しようとしても解像度が悪いた
め、小さくできない。その結果、その上下に形成する上
下コア２２、２８の長さを大とする必要があり、磁路長
の増加により磁気抵抗が高くなり、薄膜磁気ヘッドとし
ては、性能が悪くなるという問題点があった。
【０００５】このような問題点を解決したものとして、
本出願人が先に出願した特開平３−５８３０８号公報記
載の薄膜磁気ヘッドがある。これは、図７の（Ａ）及び
（Ｂ）に示すように、絶縁層にエッチングによりコア形
状の溝を形成し、その溝に磁性体を充填し、表面を平坦
化し、それを積み重ねて磁気回路を形成した薄膜磁気ヘ
ッド３０である。３１，３２ａ，３２ｂ，３３は磁性体
からなるコア、３５はコイルパターン、３６，３７，３
８は絶縁層、３９は磁気ギャップである。
本出願人が先に出願した特開平３−５８３０８号公報記
載の薄膜磁気ヘッドがある。これは、図７の（Ａ）及び
（Ｂ）に示すように、絶縁層にエッチングによりコア形
状の溝を形成し、その溝に磁性体を充填し、表面を平坦
化し、それを積み重ねて磁気回路を形成した薄膜磁気ヘ
ッド３０である。３１，３２ａ，３２ｂ，３３は磁性体
からなるコア、３５はコイルパターン、３６，３７，３
８は絶縁層、３９は磁気ギャップである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記薄膜磁気ヘッド３
０は上，下，中間の全てのコア３１，３２ａ，３２ｂ，
３３が媒体対向面３４に臨むように露出しているため、
以下のような問題点が生じて、性能の優れた信頼性の高
い薄膜磁気ヘッドを提供することが困難であった。 媒体対向面（スライダ面）３４の加工時またはシステ
ム稼動時等に前記コアの界面で剥離が起こりやすい。ま
た剥離が起こった場合は勿論であるが、接合面（界面部
分）に加工変質層等があると、その部分が擬似ギャップ
として作用するため、分解能の低下を招く。 薄膜磁気ヘッド３０を媒体対向面側から見れば明らか
なように（図８参照）、各コア層の合わせが一致してい
ないと例えば同図（Ｂ）のようになった場合には、下コ
ア３１と上コア３３の間に対向する面が生じ、疑似ギャ
ップＮＧとなる。
０は上，下，中間の全てのコア３１，３２ａ，３２ｂ，
３３が媒体対向面３４に臨むように露出しているため、
以下のような問題点が生じて、性能の優れた信頼性の高
い薄膜磁気ヘッドを提供することが困難であった。 媒体対向面（スライダ面）３４の加工時またはシステ
ム稼動時等に前記コアの界面で剥離が起こりやすい。ま
た剥離が起こった場合は勿論であるが、接合面（界面部
分）に加工変質層等があると、その部分が擬似ギャップ
として作用するため、分解能の低下を招く。 薄膜磁気ヘッド３０を媒体対向面側から見れば明らか
なように（図８参照）、各コア層の合わせが一致してい
ないと例えば同図（Ｂ）のようになった場合には、下コ
ア３１と上コア３３の間に対向する面が生じ、疑似ギャ
ップＮＧとなる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するために、下コア，上コア，これらを接続する中間
コアが絶縁層中の磁性体により構成され、前記各コアの
接続面を含む前記各絶縁層の表面が略平坦であって、前
記コアの接続部にギャップを形成してなる薄膜磁性ヘッ
ドにおいて、前記コアのうちギャップを挟むコアのみを
媒体対向面に臨ませ、ギャップを挟むコア以外のコアを
媒体対向面から離間させた薄膜磁気ヘッドを提供するも
のである。
決するために、下コア，上コア，これらを接続する中間
コアが絶縁層中の磁性体により構成され、前記各コアの
接続面を含む前記各絶縁層の表面が略平坦であって、前
記コアの接続部にギャップを形成してなる薄膜磁性ヘッ
ドにおいて、前記コアのうちギャップを挟むコアのみを
媒体対向面に臨ませ、ギャップを挟むコア以外のコアを
媒体対向面から離間させた薄膜磁気ヘッドを提供するも
のである。
【０００８】上記のように構成された薄膜磁気ヘッドで
は、ギャップを挟むコアの接合面とギャップを挟むコア
以外のコアの接合面とが、媒体対向面において向かい合
うことがなく、剥離や疑似ギャップが生じない。
は、ギャップを挟むコアの接合面とギャップを挟むコア
以外のコアの接合面とが、媒体対向面において向かい合
うことがなく、剥離や疑似ギャップが生じない。
【０００９】
【実施例】本発明になる薄膜磁気ヘッドの一実施例を以
下図面と共に詳細に説明する。本薄膜磁気ヘッドは、絶
縁層にエッチングによりコア形状の溝を形成し、その溝
に磁性体を充填し表面を平坦化し、それを積み重ねて磁
気回路を形成するものであり、さらに、複数のコア
（層）のうち（磁気）ギャップ（層）を挟んだ２層のみ
を媒体対向面に露出させ、ギャップ層を挟んだ２層のコ
ア以外のコアは媒体対向面から引っ込んだ構造としたも
のである。
下図面と共に詳細に説明する。本薄膜磁気ヘッドは、絶
縁層にエッチングによりコア形状の溝を形成し、その溝
に磁性体を充填し表面を平坦化し、それを積み重ねて磁
気回路を形成するものであり、さらに、複数のコア
（層）のうち（磁気）ギャップ（層）を挟んだ２層のみ
を媒体対向面に露出させ、ギャップ層を挟んだ２層のコ
ア以外のコアは媒体対向面から引っ込んだ構造としたも
のである。
【００１０】［実施例１］第１図は本発明になる薄膜磁
気ヘッド１を示す概略断面図である。同図に示すよう
に、基板２上には平坦な下部絶縁層３形成されており、
この下部絶縁層３に形成された溝に磁性材が充填され、
前記下部絶縁層と段差なく平坦に形成された下コア４を
形成している。
気ヘッド１を示す概略断面図である。同図に示すよう
に、基板２上には平坦な下部絶縁層３形成されており、
この下部絶縁層３に形成された溝に磁性材が充填され、
前記下部絶縁層と段差なく平坦に形成された下コア４を
形成している。
【００１１】下部絶縁層３上には中間絶縁層５が形成さ
れており、この中間絶縁層５の端部（記録媒体対向面
６）には（磁気）ギャップ７を介して、磁性材からなる
中間コア８ａが下コア４と近接するように埋設され、こ
の中間コア８ａと距離を隔てた内側には磁性材からなる
中間コア８ｂが下コア１２と直接接合するように埋設さ
れている。中間絶縁層５の内部には、平面的なコイルパ
ターン１０が前記中間コア８ｂを取り巻くように螺旋状
に埋設されている。コイルパターン１０の一端部は、上
部絶縁層１１に穿設されたスルーホール内に埋められた
導体１２を介して、外部のリード線１３と接合し、外部
装置と電気的な接続が可能となっている。
れており、この中間絶縁層５の端部（記録媒体対向面
６）には（磁気）ギャップ７を介して、磁性材からなる
中間コア８ａが下コア４と近接するように埋設され、こ
の中間コア８ａと距離を隔てた内側には磁性材からなる
中間コア８ｂが下コア１２と直接接合するように埋設さ
れている。中間絶縁層５の内部には、平面的なコイルパ
ターン１０が前記中間コア８ｂを取り巻くように螺旋状
に埋設されている。コイルパターン１０の一端部は、上
部絶縁層１１に穿設されたスルーホール内に埋められた
導体１２を介して、外部のリード線１３と接合し、外部
装置と電気的な接続が可能となっている。
【００１２】また、前記中間絶縁層５の上には上部絶縁
層１１が形成され、この上部絶縁層１１には両端部が中
間コア８ａ及び８ｂと接合するように上コア９が形成さ
れ、前記下コア１２と共に磁気回路を形成している。さ
らに、複数のコア４，８ａ，８ｂ，１２のうちギャップ
７を挟んだ下コア４及び中間コア８ａのみを媒体対向面
６に突出（露出）し、ギャップ７を挟んだコア以外の上
コア９は媒体対向面６から引っ込んでいる（１は、記録
媒体対向面からの離間距離である）。
層１１が形成され、この上部絶縁層１１には両端部が中
間コア８ａ及び８ｂと接合するように上コア９が形成さ
れ、前記下コア１２と共に磁気回路を形成している。さ
らに、複数のコア４，８ａ，８ｂ，１２のうちギャップ
７を挟んだ下コア４及び中間コア８ａのみを媒体対向面
６に突出（露出）し、ギャップ７を挟んだコア以外の上
コア９は媒体対向面６から引っ込んでいる（１は、記録
媒体対向面からの離間距離である）。
【００１３】このように、本発明になる薄膜磁気ヘッド
１においては、平坦な３つの絶縁層、すなわち、下部絶
縁層３、中間絶縁層５、上部絶縁層１１が積み重ねら
れ、これら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が
接続され磁気回路を形成しているため、段差のない各絶
縁層面でフォトリソグラフィが可能となる。よって、寸
法精度の優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得ら
れるので、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッド
を得ることが可能となる。
１においては、平坦な３つの絶縁層、すなわち、下部絶
縁層３、中間絶縁層５、上部絶縁層１１が積み重ねら
れ、これら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が
接続され磁気回路を形成しているため、段差のない各絶
縁層面でフォトリソグラフィが可能となる。よって、寸
法精度の優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得ら
れるので、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッド
を得ることが可能となる。
【００１４】さらに、ギャップ７を挟んだコア以外の上
コア９の接合面が媒体対向面６に出ることがない。よっ
て、従来の薄膜磁気ヘッドように剥離が生じることがな
い。また、第２図（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ギャ
ップ７を挟む下コア４及び中間コア８ａの接合面とギャ
ップ７を挟むコア以外の上コア９の接合面とが、媒体対
向面６において向かい合うことがなく、コアの合わせず
れによる擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の低
下がない。
コア９の接合面が媒体対向面６に出ることがない。よっ
て、従来の薄膜磁気ヘッドように剥離が生じることがな
い。また、第２図（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ギャ
ップ７を挟む下コア４及び中間コア８ａの接合面とギャ
ップ７を挟むコア以外の上コア９の接合面とが、媒体対
向面６において向かい合うことがなく、コアの合わせず
れによる擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の低
下がない。
【００１５】［実施例２］第３図は、（磁気）ギャップ
７を上コア９と中間コア８ａの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッド１４である。この薄膜磁気ヘッド１４では、媒体対
向面６に上コア４，中間コア８ａが突出（露出）させた
構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外の下コア４は媒
体対向面６から引っ込んだ構造としている。
７を上コア９と中間コア８ａの間に設定した薄膜磁気ヘ
ッド１４である。この薄膜磁気ヘッド１４では、媒体対
向面６に上コア４，中間コア８ａが突出（露出）させた
構造とし、ギャップ７を挟んだコア以外の下コア４は媒
体対向面６から引っ込んだ構造としている。
【００１６】［実施例３］第４図は、２層のコイルパタ
ーン１０−１，１０−２、２層の下中間コア８ａ−１，
８ｂ−１，上中間コア８ａ−２，８ｂ−２からなり、
（磁気）ギャップ７を下コア４と下中間コア８ａ−１の
間に設定した薄膜磁気ヘッド１５ではある。この薄膜磁
気ヘッド１５は、媒体対向面６に下コア４，下中間コア
８ａ−１が突出（露出）させた構造とし、ギャップ７を
挟んだコア以外の上コア９，上中間コア８ａ−２は媒体
対向面６から引っ込んだ構造としている。
ーン１０−１，１０−２、２層の下中間コア８ａ−１，
８ｂ−１，上中間コア８ａ−２，８ｂ−２からなり、
（磁気）ギャップ７を下コア４と下中間コア８ａ−１の
間に設定した薄膜磁気ヘッド１５ではある。この薄膜磁
気ヘッド１５は、媒体対向面６に下コア４，下中間コア
８ａ−１が突出（露出）させた構造とし、ギャップ７を
挟んだコア以外の上コア９，上中間コア８ａ−２は媒体
対向面６から引っ込んだ構造としている。
【００１７】［実施例４］第５図は、２層のコイルパタ
ーン１０−１，１０−２、２層の下中間コア８ａ−１，
８ｂ−１，上中間コア８ａ−２，８ｂ−２からなり、
（磁気）ギャップ７を下中間コア８ａ−１と上中間コア
８ａ−２の間に設定した薄膜磁気ヘッド１６である。こ
の薄膜磁気ヘッド１６では、媒体対向面６に下中間コア
８ａ−１，上中間コア８ａ−２が突出（露出）させた構
造とし、ギャップ７を挟んだコア以外の上コア９，下コ
ア４は、媒体対向面６から引っ込んだ構造としている。
ーン１０−１，１０−２、２層の下中間コア８ａ−１，
８ｂ−１，上中間コア８ａ−２，８ｂ−２からなり、
（磁気）ギャップ７を下中間コア８ａ−１と上中間コア
８ａ−２の間に設定した薄膜磁気ヘッド１６である。こ
の薄膜磁気ヘッド１６では、媒体対向面６に下中間コア
８ａ−１，上中間コア８ａ−２が突出（露出）させた構
造とし、ギャップ７を挟んだコア以外の上コア９，下コ
ア４は、媒体対向面６から引っ込んだ構造としている。
【００１８】［実施例５］第６図は、２層のコイルパタ
ーン１０−１，１０−２、２層の下中間コア８ａ−１，
８ｂ−１，上中間コア８ａ−２，８ｂ−２からなり、
（磁気）ギャップ７を上コア９と上中間コア８ａ−２の
間に設定した薄膜磁気ヘッド１７である。この薄膜磁気
ヘッド１７では、媒体対向面６に上コア９と上中間コア
８ａ−２が突出（露出）させた構造とし、ギャップ７を
挟んだコア以外の下コア４，下中間コア８ａ−１は媒体
対向面６から引っ込んだ構造としている。
ーン１０−１，１０−２、２層の下中間コア８ａ−１，
８ｂ−１，上中間コア８ａ−２，８ｂ−２からなり、
（磁気）ギャップ７を上コア９と上中間コア８ａ−２の
間に設定した薄膜磁気ヘッド１７である。この薄膜磁気
ヘッド１７では、媒体対向面６に上コア９と上中間コア
８ａ−２が突出（露出）させた構造とし、ギャップ７を
挟んだコア以外の下コア４，下中間コア８ａ−１は媒体
対向面６から引っ込んだ構造としている。
【００１９】実施例２〜５に示した薄膜磁気ヘッド１４
〜１７においても、平坦な絶縁層が積み重ねられ、これ
ら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が接続され
磁気回路を形成しているため、段差のない各絶縁層面で
フォトリソグラフィが可能となる。よって、寸法精度の
優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得られるの
で、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッドを得る
ことが可能となる。
〜１７においても、平坦な絶縁層が積み重ねられ、これ
ら絶縁層内の所定の個所に形成された磁性層が接続され
磁気回路を形成しているため、段差のない各絶縁層面で
フォトリソグラフィが可能となる。よって、寸法精度の
優れた小型のコイルパターン・磁気コアが得られるの
で、磁気抵抗が低く、性能の良い薄膜磁気ヘッドを得る
ことが可能となる。
【００２０】さらに、ギャップを挟んだコア以外のコア
の接合面が媒体対向面に出ることがない。よって、従来
の薄膜磁気ヘッドように剥離やコアの合わせずれによる
擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の低下がな
い。
の接合面が媒体対向面に出ることがない。よって、従来
の薄膜磁気ヘッドように剥離やコアの合わせずれによる
擬似ギャップの影響がなくなるため分解能の低下がな
い。
【００２１】
【発明の効果】本発明になる薄膜磁気ヘッドは、下コ
ア，上コア，これらを接続する中間コアが絶縁層中の磁
性体により構成され、前記各コアの接続面を含む前記各
絶縁層の表面が略平坦であって、前記コアの接続部にギ
ャップを形成してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記コ
アのうちギャップを挟むコアのみを媒体対向面に臨ま
せ、ギャップを挟むコア以外のコアを媒体対向面から離
間させたものであるから、ギャップを挟むコアの接合面
とギャップを挟むコア以外のコア接合面とが、媒体対向
面において向かい合うことがなく、剥離や疑似ギャップ
が生じることがない。したがって、従来の薄膜磁気ヘッ
ドのようにコアの剥離・コアの合わせずれによる擬似ギ
ャップの影響がなくなり、分解能の低下がなく、高性能
で信頼性の高い薄膜磁気ヘッドが提供される。
ア，上コア，これらを接続する中間コアが絶縁層中の磁
性体により構成され、前記各コアの接続面を含む前記各
絶縁層の表面が略平坦であって、前記コアの接続部にギ
ャップを形成してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記コ
アのうちギャップを挟むコアのみを媒体対向面に臨ま
せ、ギャップを挟むコア以外のコアを媒体対向面から離
間させたものであるから、ギャップを挟むコアの接合面
とギャップを挟むコア以外のコア接合面とが、媒体対向
面において向かい合うことがなく、剥離や疑似ギャップ
が生じることがない。したがって、従来の薄膜磁気ヘッ
ドのようにコアの剥離・コアの合わせずれによる擬似ギ
ャップの影響がなくなり、分解能の低下がなく、高性能
で信頼性の高い薄膜磁気ヘッドが提供される。
Claims (1)
- 【請求項１】下コア，上コア，これらを接続する中間コ
アが絶縁層中の磁性体により構成され、前記各コアの接
続面を含む前記各絶縁層の表面が略平坦であって、前記
コアの接続部にギャップを形成してなる薄膜磁気ヘッド
において、 前記コアのうちギャップを挟むコアのみを媒体対向面に
臨ませ、ギャップを挟むコア以外のコアを媒体対向面か
ら離間させたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3183792A JP2636570B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3183792A JP2636570B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0668424A true JPH0668424A (ja) | 1994-03-11 |
| JP2636570B2 JP2636570B2 (ja) | 1997-07-30 |
Family
ID=16142010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3183792A Expired - Lifetime JP2636570B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2636570B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6515825B1 (en) | 1999-08-06 | 2003-02-04 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin film magnetic head having a bottom pole layer, a gap layer, and a top pole layer which are formed by plating |
| US7828985B2 (en) | 2006-10-16 | 2010-11-09 | Tdk Corporation | Method of producing thin film magnetic head |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60119613A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-27 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッドとその製造方法 |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP3183792A patent/JP2636570B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60119613A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-27 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッドとその製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6515825B1 (en) | 1999-08-06 | 2003-02-04 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin film magnetic head having a bottom pole layer, a gap layer, and a top pole layer which are formed by plating |
| US7828985B2 (en) | 2006-10-16 | 2010-11-09 | Tdk Corporation | Method of producing thin film magnetic head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2636570B2 (ja) | 1997-07-30 |
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