JPH03100910A

JPH03100910A - 薄膜磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH03100910A
Application number: JP23607689A
Authority: JP
Inventors: Hideji Orihara; 秀治折原; Takaharu Nishino; 西野　隆治
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1989-09-12
Filing date: 1989-09-12
Publication date: 1991-04-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、磁気記録再生装置の薄膜磁気ヘッドに係り、
特に、高密度磁気記録用の′Ｒ膜磁気ヘッドに関する。

（従来の技術）従来の薄膜磁気ヘッドは、真空薄膜形成技術等により、
磁性層を形成し、フォトリソグラフィー法やエツチング
等により、所定のコア形状に加工し、コイル、絶縁層等
を介して磁性層を形成することにより磁気回路を構成し
ていた。

第３図（Ａ）〜（Ｂ）は従来の薄膜磁気ヘッド１０を示
す図であり、同図（Ａ）は記録媒体摺動面を示す概略平
面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のＡ−Ａ切断線に沿った
概略断面図である。

同図において、１１は絶縁体からなる基板であり、１２
は基板の上に形成された下コア、１３は上コアである。

両コアの一端部は非磁性材１４を介して互いに接合され
、記録媒体摺動面１５に磁気ギャップ１６を形成し、他
端部は互いに直接接合され後部接合部１７を形成してい
る。

上コア１３と下コア１２とが対向する空間部には非磁性
材１４、絶縁層１８を介して螺旋状のコイルパターン１
９が後部接合部１７を取り巻く様に形成されている。こ
のコイルパターン１９の始端部と終端部には接続用パタ
ーン２０．２１が形成されている。この接続用パターン
２０．２１は前記非磁性材１４上に形成されている。

また、前記コイルパターン１９は絶縁層２２で覆われて
おり、接続用パターン２０．２１と他の機器を電気的に
接続するためには、この絶縁層２２上から接続用パター
ン２０（または２１）にかけて折曲したリード線２３を
配設しである。

なお、この従来の薄膜磁気へラド１０においては、上コ
ア１３と、下コア１２が、非磁性材１４を介して接合し
た接合部の記録媒体摺動面１５における、水平方向の幅
が、トラックの幅（以後「トラック幅」）ｔを形成して
いる。

次にこの様な、従来の薄膜磁気ヘッド１０の製造方法を
説明する。

まず、基板１１上に磁性膜を形成し、周知のフォトリソ
グラフィーやエツチング等により、下コア１２を形成す
る。

その上に、端部が後の磁気ギャップ１６となる様に非磁
性材１４を形成し、フォトリソグラフィー法やエツチン
グ法等を用いて、不必要な部分を除去する６次に、絶縁
層１８を形成し、上記同様に、フォトリソグラフィー法
や、エツチング法等を用いて不必要な部分を取除く、そ
の上に、導体層を形成し、フォトリソグラフィーやエツ
チング法等を用いて、コイルパターン１９を形成する。

このコイルパターン１９が形成され、段差のついたコイ
ル形成面上に、絶縁層２２を形成し、不必要な部分は、
前記同様、フォトリソグラフィー法やエツチング法等を
用いて除去する。

次に、真空薄膜形成技術により、磁性層を形成して、コ
イルパターン１９の内周中に、前記下コア１２と結合部
１７を作成し、その後、前記同様不必要な部分は除去し
て上コア１３を形成する。

実際の使用に際しては、上面に、例えば、Ａｌ２Ｏ３な
どの保護膜２４を形成して使用する。

この従来の薄膜磁気ヘッド１０においては、絶縁層１８
と段差のあるコイルパターン１９上に、絶縁層２２を形
成し、さらにこの絶縁層２２の上に、上コア１３を形成
しているので、層を重ねるごとに、その段差は大きくな
る。

この様な段差がある面上においては、フォトリソグラフ
ィーによる解像度が極端に悪くなり、段差の大きさ程度
の解像度が限度であった。そのため、コイルの巻数を多
くするために、コイルパターン１９のピッチ間隔を小さ
く形成しようとしても解像度が悪いため、小さくできず
、その結果、その上下に形成する上下コア１２．１３の
長さを大とする必要があり、磁路長の増加により磁気抵
抗が高くなり、薄膜磁気ヘッドとしては、性能が悪くな
るという問題点があった。

そこで、磁気回路が少なくとも、下コア、上コア、及び
、それらを接続する前部及び後部中間コアからなり、前
部中間コアと上コアの接続部または、前部中間コアと下
コアの接続部のいずれかに磁気ギャップを形成してなる
薄膜磁気ヘッドであって、前記下コア、上コア、両中間
コアの各コアが、各絶縁層に形成された清に充填された
磁性体よりなることを特徴とした後記する覆膜磁気ヘッ
ド３０が提案されている。

第４図（Ａ）〜（Ｃ）は、別の従来の薄膜磁気ヘッド３
０および４０の記録媒体摺動面を示す概略平面図である
。

同図において、従来の薄膜磁気ヘッド１０の構成要素と
同一構成要素には同一符号を付し説明を省略する。

この薄膜磁気ヘッド３０においては、平坦な３つの絶縁
層、すなわち、下部絶縁層３２ａ、中間絶縁層３２ｂ、
上部絶縁層３２ｃが積み重ねられ、これら絶縁層３２ａ
、３２ｂ、３２ｃ内の所定の個所に形成された磁性層が
接続され磁気回路を形成しており、また、記録媒体摺動
面１５上においては、下コア１２上には、磁気ギャップ
１６を介して、前部中間コア３１を配設し、さらに、前
部中間コア３１上に、上コア１３を配設している。

この様な薄膜数ヘッド３０においては、実際のトラック
幅Ｔｒは、磁気ギャップ１６面を介して接合する２つの
磁性層の、記録媒体摺動方向と垂直な方向（即ち、磁気
ギャグ面に平行な方向）の長さとなる。そのため、上コ
ア１３、前部中間コア３１、下コア１２が同じ幅で、し
かも確実に配設されていれば、必要なトラック幅ｔと実
際のトラック幅Ｔｒとは一致するものであった。

（同図（Ａ））ところが、実際には、各コアは露光機等を用いてを接合
するため位置ずれが生じ、実際のトラック幅Ｔｒは、必
要なトラック幅ｔよりも狭くなってしまうことが多かっ
た。　　　　　（同図（Ｂ））そのため、前部中間コア
３１の幅を必要なトラック幅ｔとし、下コア１２の幅は
、前部中間コア３１よりも大きく形成した別の薄膜磁気
ヘッド４０が用いられていた。　　　　　　　（同図（
Ｃ））ところが、磁気記録技術において、記録密度を上
げるためには、必要なトラック幅ｔを狭くしていく必要
があり、上記の様な薄膜磁気ヘッド４０においては、前
部中間コア３１の幅を狭くしなければならず、従って溝
の底面積も小さくする必要があった。

しかし、この様な薄膜磁気ヘッド４０においては、各コ
ア１２．３１．１３は各絶縁層３２ａ、３２ｂ、３２ｃ
中に形成された溝に磁性層を埋設して形成するため、上
記溝の底面積に対し、溝の深さが大きくなると、それに
つれて、磁性層中にボイド（空洞）が形成されやすく、
磁気抵抗が大きくなってしまうという問題点がありな。

また、上コア１３と前部中間コア３１の幅の関係につい
ても、以下の様な問題があった。

即ち、上コア１３の幅を前部中間コア３１の幅と同じか
、あるいは狭くした場合には、磁気飽和が起りやすく、
また、逆に上コア１３の幅を前部中間コア３１の幅より
も広くした場合には、上コア１３と下コアの間の絶縁層
部分（即ち、中間絶縁層３２ｂの一部）に疑似ギャップ
が形成される結果、クロストーク特性が悪化するもので
あった。

（発明が解決しようとする課題）上述の様に、従来の薄膜磁気ヘッドにおいては、次の様
な問題点があった。

■多コアの幅を必要なトラック幅にしてしまうと正確な
トラック幅を得るのが困難となる。

■前部中間コア３１の幅のみを必要なトラック幅に設定
し、下コア１２の幅をこれよりも大きく設定した場合、（１）必要なトラック幅が小となるにつれて、中間コア
の磁性層中にボイドが発生しやすく、磁気抵抗が大きく
なり、磁気特性が悪化する。

■上コア１３と前部中間コア３１の幅との大小関係によ
り、磁気飽和が生じたり、疑似ギャップが形成される等
の問題点があった。

（課題を解決するための手段）本発明は上記課題を解決するためになされたものであり
、磁気回路が少なくとも、下コア、上コア、及び、これ
らを接続する前部及び後部中間コアからなり、前記前部
中間コアと上コアの接続部または、前部中間コアと下コ
アの接続部のいずれかで磁気ギャップを介してトラック
を形成してなる薄膜磁気ヘッドであって、前記下コア、
上コア、及び両中間コアの各コアが、各絶縁層に形成さ
れた溝に充填された磁性体からなり、前記各コアの接続
面を含む各絶縁層の表面が平坦で、かつ、記録媒体摺動
面上の磁気ギャップと平行な方向における前部中間コア
の幅を前記方向の下コアまたは上コアの幅よりも大きく
設定し、これら下コアまたは上コアの幅で前記トラック
の幅を規定してなることを特徴とする薄膜磁気ヘッドを
提供しようとするものである。

（実施例）［実施例１］第１図（Ａ）〜（Ｂ）は本発明になる薄膜磁気ヘッド５
０を示す図であり、同図（Ａ）は記録媒体摺動面を示す
概略平面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のＳ−８切断線に
沿った概略断面図である。

以下、同図を用いて本発明の薄膜磁気へラド５０を説明
するが、従来の薄膜磁気ヘッド３０および４０の構成要
素と同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する
。

本発明になる薄膜磁気ヘッド５０は、従来の薄膜磁気ヘ
ッド３０．４０と同様に、平坦な３つの絶縁層、すなわ
ち、下部絶縁層３２ａ、中間絶縁層３２ｂ、上部絶縁層
３２ｃが積み重ねられ、これら絶縁層３２ａ、３２ｂ、
３２ｃ内の所定の個所に形成された磁性層が接続され磁
気回路を形成している。

同図に示す様に、本発明になる薄膜磁気ヘッド５０が薄
膜磁気ヘッド３０または４０と興なる点は、本発明にな
る薄膜磁気ヘッド５０においては、前部中間コア３１の
幅を下コア１２の幅よりも大きくし、下コア１２の幅で
トラック幅を規定している点である。

上述の様に、前部中間コア３１の幅を必要なトラック幅
ｔよりも充分大きく形成することにより、下コア１２の
幅を、実際のトラック幅Ｔｒと一致させることができる
し、前部中間コア３１内にボイドが形成されることがな
い。

なお、同図（Ａ）においては、上コア１３の幅は前部中
間コア３１の幅よりも小さいが、上コア１３の幅が前部
中間コア３１の幅よりも大きい場合においても、同様の
効果が得られるのはもちろんである。

なお、下コア１２の幅を必要なトラック幅ｔに設定して
形成しても、下コア１２は、前部中間コア３１よりも記
録媒体摺動面と垂直な方向の長さ４が大きいので、渭深
さに対し溝の底面積は充分に大きくとることができ、下
コア１２の磁性層中にもボイドが形成されることがない
。

また、上コア１３または、下コア１２と、前部中間コア
３１との関係についても、前部中間コア３１の幅を上コ
ア１３または下コア１２よりも大きくとり、上コア１３
または下コア１２の幅でトラック幅を規定するため、上
コア１３と下コア１２は前記中間コア３１で遮断された
状態となり、下コア１２と上コア１３の絶縁層部分に疑
似ギャップが形成されることはない。

［実施例２］第２図（Ａ）〜（Ｂ）は本発明になる別の薄膜磁気ヘッ
ド６０を示す図であり、同図（Ａ）は記録媒体摺動面を
示す概略平面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のＴ−Ｔ切断
線に沿った概略断面図である。

本実施例になる薄膜磁気ヘッド６０が前記薄膜磁気ヘッ
ド５０と異なる点は、本実施例においては、磁気ギャッ
プ１６が上コア１３と前部中間コア３１の間に形成され
ており、トラック幅ｔは上コア１３の幅により規定され
、前部中間コア３１の幅は上コア１３の幅よりも大きい
点である。

同図においては、下コア１２の幅を前部中間コア３１の
幅よりも充分大きくとることにより、各コア１２．３１
．１３内にボイドが形成されることがなく、しかも、階
段状に各コア１２．３１．１３が形成されるので、疑似
ギャップの形成がなくクロストーク特性も悪化すること
のない薄膜磁気ヘッドを得ることができる。

なお、この場合、同図においては、下コア１２の幅は前
部中間コア３１の幅よりも大きくしたが、下コア１２の
幅が前部中間コア３１の幅よりも小さい場合についても
同−様の効果が得られのはもちろんのことである。

（発明の効果）上述の様に、本発明によれば、磁気回路が少なくとも、
下コア、上コア、及び、これらを接続する前部及び後部
中間コアからなり、前記前部中間コアと上コアの接続部
または、前部中間コアと下コアの接続部のいずれかで磁
気ギャップを介してトラックを形成してなる薄膜磁気ヘ
ッドであって、前記下コア、上コア、及び両中間コアの
各コアが、各絶縁層に形成された渭に充填された磁性体
からなり、前記各コアの接続面を含む各絶縁層の表面が
平坦で、かつ、記録媒体摺動面上の磁気ギヤツブ噂と平
行な方向における前部中間コアの幅を前記方向の下コア
または上コアの幅よりも大きく設定し、これら下コアま
たは上コアの幅で前記トラックの幅を規定してなること
を特徴としたので、正確なトラック幅を有し、磁性層中
にボイドが形成されないので磁気抵抗が少なく、また、
上コアと前部中間コアの位置関係による磁気飽和や、疑
似ギャップも生ずることはなく性能の良好な薄膜磁気ヘ
ッドの提供を可能とする。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）〜（Ｂ）は本発明になる薄膜磁気ヘッドを
示す図であり、同図（Ａ）は記録媒体摺動面を示す概略
平面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ＞のＳ−８切断線に沿っ
た概略断面図、第２図（Ａ）〜（Ｂ）は本発明になる別の薄膜磁気へ・
ｙドを示す図であり、同図（Ａ）は記録媒体摺動面を示
す概略平面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のＴ−Ｔ切断線
に沿った概略断面図、第３図（Ａ）〜（Ｂ）は従来の薄膜磁気ヘッドを示す図
であり、同図（Ａ）は記録媒体摺動面を示す概略平面図
、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のＡ−Ａ切断線に沿った概略
断面図、第４図（Ａ）〜（Ｃ）は、別の従来の薄膜磁気ヘッドの
記録媒体摺動面を示す概略平面図である。５０．６０・・・本発明になる薄膜磁気ヘッド、１１・
・・基板、１２・・・下コア、１３・・・上コア、１５・・・記録
媒体摺動面、１６・・・磁気ギャップ、１９・・・コイルパターン、３１・・・前部中間コア、３２ａ・・・下部絶縁層、３２ｂ・・・中間絶縁層、３２ｃ・・・上部絶縁層、４・・・長さ、ｔ・・・必要なトラック幅、Ｔｒ・・・実際のトラック幅。特許

Claims

【特許請求の範囲】磁気回路が少なくとも、下コア、上コア、及び、これら
を接続する前部及び後部中間コアからなり、前記前部中
間コアと上コアの接続部または、前部中間コアと下コア
の接続部のいずれかで磁気ギャップを介してトラックを
形成してなる薄膜磁気ヘッドであつて、前記下コア、上コア、及び両中間コアの各コアが、各絶
縁層に形成された溝に充填された磁性体からなり、前記
各コアの接続面を含む各絶縁層の表面が平坦で、かつ、
記録媒体摺動面上の磁気ギャップと平行な方向における
前部中間コアの幅を前記方向の下コアまたは上コアの幅
よりも大きく設定し、これら下コアまたは上コアの幅で
前記トラックの幅を規定してなることを特徴とする薄膜
磁気ヘッド。