JPH0670554A - 静電アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】スルーホール部分の位置合わせを容易かつ高精
度に行い得るように改良された静電アクチュエータを提
供する。 【構成】絶縁性支持体（１）に電極（２）を所定間隔で
並べた固定子（３）と絶縁性薄葉体（４）に正負の電荷
を付与した移動子（６）とが接するように配置されて成
る静電アクチュエータにおいて、前記の絶縁性支持体
（１）として、１５０℃で２時間処理後の縦方向および
横方向の熱収縮率が共に０．４％以下である低収縮性ポ
リエステルフイルムを使用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、静電アクチュエータに
関するものであり、詳しくは、スルーホール部分の位置
合わせを容易かつ高精度に行い得るように改良された静
電アクチュエータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】静電アクチュエータは、絶縁性支持体に
電極を所定間隔で並べた固定子と絶縁性フイルムのよう
な絶縁性薄葉体に抵抗体層を設けた移動子とから成り、
当該固定子と当該移動子とが接するように配置されて構
成される。そして、静電気の作用により、移動子を瞬間
的に浮上させて摩擦を防止しながら移動させるものであ
る（平成元年度電気学会全国大会講演予稿集６−１９
１、特開平２−２８５９７８号公報）。

【０００３】静電アクチュエータは、電極やギャップの
寸法を小さくすることにより、力密度を大きくでき、ま
た、小型化し易いという特徴を有する。そのため、静電
アクチュエータは、ワードプロセッサーやファクシミリ
等における用紙搬送機構のような小型駆動装置、その他
の微小な機械システムの駆動装置として応用されること
が期待されている。

【０００４】図１（ａ）〜（ｄ）は、移動子を絶縁性フ
イルムにて構成した静電アクチュエータ（静電フイルム
アクチュエータ）の駆動原理の説明図であり、図中、
（１）は絶縁性支持体、（２）は帯状電極、（３）は固
定子、（４）は絶縁性フイルム、（５）は抵抗体層、
（６）は移動子、（７）〜（９）は電線を示す。

【０００５】先ず、図１（ａ）に示すように、電線
（７）に正、電線（８）に負の電圧を印加する。これに
より、電線（７）に接続した電極に存する電荷と電線
（８）に接続した電極に存する電荷の電位差により、
抵抗体層（５）に電流が流れ、移動子（６）の絶縁性フ
イルム（４）と抵抗体層（５）の境界に電荷が誘導され
て平衡状態となる。この電荷は、説明の便宜上、図１
（ｂ）の点線で示した鏡像電荷、で置き換えること
が出来る。そして、この電荷、の極性は、それぞれ
電荷、の極性と異なるため、図１（ｂ）の状態では
移動子（６）は固定子（３）に吸引されている。

【０００６】次に、図１（ｃ）に示すように、電線
（７）に負、電線（８）に正、電線（９）に負の電圧を
印加する。これにより、電極内の電荷は、瞬時に移動で
きるが、移動子（６）の誘導電荷は、抵抗体層（５）の
抵抗値が高いために直ぐには移動できない。その結果、
移動子（６）と固定子（３）の間には反発力が発生す
る。反発力により、固定子（３）と移動子（６）の間の
摩擦が減少し、そして、電線（９）に電圧を印加した結
果生じる負の電荷と正の誘導電荷（鏡像電荷で言えば
）の吸引力により、移動子（６）には右方向の駆動力
が発生する。

【０００７】図１（ｄ）は、上記の駆動力により、移動
子（６）が電極１ピッチ分右方向に移動した結果を示し
ている。移動子（６）を左方向に移動させる場合には、
電線（９）に正の電圧を印加すればよい。そして、上記
の電極１ピッチ毎の移動操作における印加電圧パターン
（図１（ｃ）に示すパターン）は、図１（ａ）に示す状
態とは逆符号の電圧を電線（７）、（８）に印加するパ
ターンであることから、図１（ｃ）における誘導電荷
（鏡像電荷で言えば、及び）は減衰することにな
る。

【０００８】従って、移動子（６）を右方向に電極１ピ
ッチ毎に連続移動させるには、電荷充電操作と移動操作
とを繰り返す必要があり、例えば、以下の表１に例示す
るようなパターンの電圧を繰り返し印加することが必要
である。表１に例示した電圧パターンは、１サイクルの
電圧パターンであり、（Ｇ）は電圧を印加してない状態
（アース状態）を示し、（Ｃ₁ ）〜（Ｃ₂ ）及び
（Ａ₁）〜（Ａ₃ ）は、それぞれ、電荷充電操作、移動
操作を示し、（Ｃ₁ ）は図１（ａ）に示す状態、
（Ａ₁ ）は図１（ｃ）に示す状態である。

【０００９】

【表１】 Ｃ₁ Ａ₁ Ｃ₂ Ａ₂ Ｃ₃ Ａ₃ （１サイクル） 電線（７） ＋ − Ｇ − − ＋ （８） − ＋ ＋ − Ｇ − （９） Ｇ − − ＋ ＋ −

【００１０】そして、駆動電圧のパターンは、例えば、
３相構造の電極の場合は、表１に例示するように、アー
ス状態を適宜のタイミングで設けて電荷充電操作と移動
操作とを繰り返し得るパターンであれば、各種のパター
ンを採用することが出来、例えば、表１に例示するパタ
ーンにおいて、（Ｃ₂ ）と（Ｃ ₃）とを省略したパター
ンを採用することも出来る。斯かる変形パターンは、例
えば、ステッピングモータの駆動用ＩＣを利用して容易
に達成することが出来る。

【００１１】静電アクチュエータを電極１ピッチ毎に安
定に連続移動させるには、移動子（６）（抵抗体層
（５））の表面固有抵抗率は、１０¹²〜１０¹⁵Ω／□の
範囲でなければならないとされている。その理由は次の
通りである。すなわち、移動子（６）の表面固有抵抗が
大きい場合には電荷充電に比較的長い時間を要し、小さ
い場合には誘導された電荷が瞬時に減衰する。ところ
が、図１に示した静電アクチュエータの場合には、移動
子を構成する絶縁性フイルムの抵抗値が大き過ぎるため
に、上記のような抵抗体層を当該絶縁性フイルムに設け
て僅かな導電性を付与する必要がある。なお、当然では
あるが、図１に示した公知の静電アクチュエータにおい
て、絶縁性フイルム（４）の代わりに、これと同程度の
抵抗値を有する他の絶縁性薄葉体を使用してもよい。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、静電ア
クチュエータは未だ研究段階にあり、実用化のためには
各要素の詳細を検討しなければならない状況にあるが、
特に、固定子については次のような問題がある。すなわ
ち、例えば、３相構造の帯状電極を形成する場合、絶縁
性支持体に設けた帯状電極をスルーホールによって集合
電線と接続させる必要がある。そして、スルーホールの
加工は、通常、ＮＣ工作機械を用いて行なわれ、穴開け
加工性などの観点から、絶縁性支持体としては絶縁性フ
イルムが使用される。ところが、帯状電極のファインパ
ター化や大面積化が進むに従いスルーホール部分の位置
合わせが困難となってきている。

【００１３】本発明者等の知見によれば、スルーホール
部分の位置合わせは、絶縁性フイルムに設けた電極のピ
ッチのズレに影響され、熱収縮率が大きいために寸法安
定性の悪い絶縁性フイルムにおいては、電極ピッチのズ
レが大きくてスルーホール部分の位置合わせが困難であ
り且つ精度が悪い。本発明は、上記実情に鑑みなされた
ものであり、その目的は、スルーホール部分の位置合わ
せを容易かつ高精度に行い得るように改良された静電ア
クチュエータを提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の要旨
は、絶縁性支持体に電極を所定間隔で並べた固定子と絶
縁性薄葉体に正負の電荷を付与した移動子とが接するよ
うに配置されて成る静電アクチュエータにおいて、前記
の絶縁性支持体として、１５０℃で２時間処理後の縦方
向および横方向の熱収縮率が共に０．４％以下である低
収縮性ポリエステルフイルムを使用することを特徴とす
る静電アクチュエータに存する。

【００１５】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
静電アクチュエータの基本的構成は、図１において、移
動子（６）の構成材料が絶縁性フイルムに限定されず、
また、移動子の構成がこれに抵抗体層を設けたものに限
定されない点を除き、同図に示した公知の静電アクチュ
エータと同じである。従って、以下の説明においては、
便宜上、図１中の（４）を絶縁性薄葉体として図１を参
照する。本発明の静電アクチュエータは、絶縁性支持体
（１）に電極（２）を所定間隔で並べた固定子（３）と
絶縁性薄葉体（４）に正負の電荷を付与した移動子
（６）から成る。

【００１６】先ず、固定子（３）について説明する。本
発明においては、固定子（３）を構成する絶縁性支持体
（１）として、１５０℃で２時間処理後の縦方向および
横方向の熱収縮率が共に０．４％以下である低収縮性ポ
リエステルフイルムを使用することが重要である。

【００１７】上記のポリエステルは、テレフタル酸、イ
ソフタル酸、ナフタレンジカルボン酸のような芳香族ジ
カルボン酸またはそのエステルとエチレングリコール、
ジエチレングリコール、１，４−ブタンジオール、ネオ
ペンチルグリコール、１，４−シクロヘキサンジメタノ
ールのようなグリコールとを重縮合させて製造される。
重縮合方法としては、以下の（１）及び（２）に例示す
る公知の方法を任意に採用することが出来る。

【００１８】（１）芳香族ジカルボン酸の低級アルキル
エステルとグリコールとの間でエステル交換を行なわせ
て重縮合させるる方法。 （２）芳香族ジカルボン酸とグリコールとを直接エステ
ル化させて芳香族ジカルボン酸のビスグリコールエステ
ル又はその低重合体を形成させた後、減圧下２４０℃以
上の温度で重縮合させる方法。 重縮合には、通常の触媒、安定剤、その他の各種添加剤
を任意に使用することが出来る。

【００１９】上記のポリエステルの代表例としては、ポ
リエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレー
ト、ポリシクロヘキサンジメチレンテレフタレート等が
挙げられる。そして、ポリエステルは、ホモポリマー、
第３成分を共重合したコポリマー、これらのブレンド物
の何れであってもよい。また、ポリエステルには、各種
の安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、顔料、可塑剤などが添
加されていてもよい。

【００２０】ポリエステルフイルムは、原料ポリエステ
ルを公知の方法に従って製膜することにより得られる。
製膜方法は、キャスティングドラム上に溶融押出して得
られたポリエステルシートをロール延伸法によって縦方
向に延伸した後、ステンターによって横方向に延伸する
方法が好適に採用される。そして、ポリエステルフイル
ムの低収縮化方法としては、得られたフィルムについて
弛緩熱処理を施す方法が好適である。弛緩熱処理は、通
常、約１８０〜２００℃の温度で行なわれ、処理後のフ
イルムは、冷却後に巻き取られる。

【００２１】上記の弛緩熱処理は、通常、オフライン加
工として行なわれるが、製膜後、フイルムを巻き取る前
に、インライン加工として行なうことも出来る。また、
例えば、特開昭６１−１６０２２４号公報に記載されて
いる方法に従って、インライン加工およびオフライン加
工の弛緩熱処理を行なってフイルムの平面性を高度に向
上させることも出来る。そして、上記の熱弛緩処理を施
したフイルムを所定寸法に裁断した後、約１００〜２０
０℃に保持されたオーブン内で所定時間再度熱処理する
ならば、一層高度の低収縮化を達成することが出来る。

【００２２】本発明において、ポリエステルフイルムの
１５０℃で２時間処理後の熱収縮率は、縦方向および横
方向共に０．４％以下、好ましくは０．３％以下である
ことが必要である。上記の熱収縮率が縦方向および横方
向の何れかにおいて０．４％を超える場合は、ポリエス
テルフイルムの十分な寸法安定性が得られず、スルーホ
ール部分の位置合わせを高精度に行い得る本発明の静電
アクチュエータは達成し得ない。

【００２３】本発明において、絶縁性支持体（１）とし
て使用される低収縮性ポリエステルフイルムの厚さは、
通常５０〜２００μｍの範囲とされる。また、低収縮性
ポリエステルフイルムには、公知の方法に従って、難燃
性、オリゴマー発生防止性などの静電アクチュエータの
機能を損なうことのない機能を適宜付与することが出来
る。なお、低収縮性フイルムとしては、ポリエステルフ
イルムの他に、例えば、ポリイミドフイルムがある。し
かしながら、ポリエステルフイルムは、汎用されている
ために安価であるのに対し、ポリイミドフイルムは高価
であり、従って、実用化のために低コスト化が要求され
る静電アクチュエータの材料フイルムとしては適当では
ない。

【００２４】電極（２）の形成方法は、特に制限されな
いが、絶縁性支持体（１）の上に導電性材料を積層して
エッチング法にて電極を形成する方法、スクリーン印刷
方法により絶縁性支持体（１）の上に直接電極を形成す
る方法などが挙げられる。図２は、帯状電極（２）の一
例を示す説明図であるが、上下に示された円形のランド
はスルーホールを表わしている。穴開け加工は、通常、
ＮＣ工作機械を用いて行なわれ、斯かるスルーホールを
通して各帯状電極と電線（集合電線）との結線が行なわ
れる。

【００２５】絶縁性支持体（１）に設けられる帯状電極
（２）は、絶縁性支持体（１）の表面に並べて設けて
も、または、絶縁性支持体（１）の中に埋設して設けて
もよい。そして、電極の絶縁性を向上させるためには、
印刷や塗布等の方法により帯状電極（２）の表面に絶縁
層を形成し、絶縁性支持体（１）と絶縁層との間に帯状
電極（２）を埋設するのがよい。図３は、帯状電極
（２）の一例を示す断面説明図であるが、絶縁性支持体
（１）に帯状電極（２）を形成した後、その表面に絶縁
ペースト等を印刷して、絶縁層（１０）を設けたもので
ある。

【００２６】帯状電極（２）の間隔は、静電アクチュエ
ータの発生力、駆動電圧等の駆動性能を向上させるため
には帯状電極間隔の微細化が望ましく、通常は５００μ
ｍ以下、好ましくは３００μｍ以下とされる。そして、
電極（２）としては、上記のように、通常は帯状電極が
採用されるが、ドット型電極であってもよい。また、電
極（２）の構造は、通常、３相構造が基本的であるが、
これに限られず、３ｎ（ｎは整数）構造であってもよ
い。

【００２７】次に、移動子（６）について説明する。移
動子（６）を構成する絶縁性薄葉体（４）は、絶縁性材
料より成るフイルム（シート）より構成される。絶縁性
材料としては、特に制限はなく、絶縁性の良好な各種の
合成樹脂、セラミックス、ガラス等を使用することが出
来る。そして、合成樹脂の具体例としては、エポキシ樹
脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリプロピレ
ン樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリスチレン樹脂、
ポリアミド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリエチレン樹
脂、ポリビニルアルコール系樹脂等が挙げられる。そし
て、絶縁性薄葉体（４）を合成樹脂フイルムで構成する
場合、特に好ましいフイルムは、密度、曲げ弾性率、耐
皺性等の点から、ポリエステルフィルム、例えば、ポリ
エチレンテレフタレートフイルム、ポリエチレン−２，
６−ナフタレートフィルムである。

【００２８】絶縁性薄葉体（４）に正負の電荷を付与す
る方法は、図１に示した公知の静電フイルムアクチュエ
ータと同様に、絶縁性薄葉体（４）に抵抗体層（５）を
設ける方法が挙げられる。具体的には、例えば、絶縁性
薄葉体（４）の表面に帯電防止効果の弱い帯電防止剤を
塗布する方法等を使用し得る。この場合、抵抗体層
（５）の表面固有抵抗率は１０¹²〜１０¹⁵Ω／□の範
囲、好ましくは１０¹⁴Ω／□前後にすることが必要であ
る。そして、抵抗体層（５）設ける方向は、移動子
（６）の固定子（３）と接する面または他方の面の何れ
であってもよいが、後者の面上が好ましい。

【００２９】また、絶縁性薄葉体（４）に正負の電荷を
付与する方法は、上記の方法に限られず、当業者にとっ
て自明の各種の他の方法を採用し得る。例えば、絶縁性
薄葉体（４）を合成樹脂フイルムで構成する場合には、
カーボンブラック等の導電性物質を練り込んで絶縁性薄
葉体（４）自体を上記と同様の抵抗率を有する抵抗体と
する方法が挙げられる。更には、絶縁性薄葉体（４）に
帯状電極を設ける方法、イオン発生装置を利用する方
法、絶縁性薄葉体（４）にエレクトレット材料を利用す
る方法等が挙げられる。

【００３０】絶縁性薄葉体（４）に帯状電極を設ける方
法は、特に図示しないが、図１において、電線（７）及
び（８）に対応する２相構造の帯状電極を固定子の帯状
電極（２）と対応させて設け、これらの電線に常時正負
の電圧を印加する方法であって、各帯状電極に存する正
負の電荷を鏡像電荷及びの代わりに利用する方法で
ある。また、イオン発生装置を利用する方法は、固定子
（３）に接して絶縁性薄葉体（４）を配置し、電線
（７）、電線（８）に正負の電圧を印加して電荷を誘導
した後、除電器として知られているイオン発生装置（針
電極に交流電圧を印加してコロナ放電を起こさせ、生じ
た正負のイオン風を送風機にて帯電物体に当てるように
なされた装置）からのイオン風を絶縁性薄葉体（４）の
表面に当てる方法であって、絶縁性薄葉体（４）の表面
に形成されたイオン化空気層を鏡像電荷及びの代わ
りに利用する方法である。そして、イオン発生装置とし
ては、「静電気ハンドブック」（静電気学会偏、オーム
社出版、第１版８１９頁以降）に記載の各種の除電器を
使用することが出来る。

【００３１】絶縁性薄葉体（４）の厚さは、当該絶縁性
薄葉体に電荷を付与する方法によって静電アクチュエー
タの発生力が異なるために一概には決定できないが、通
常は１０μｍ以上とされる。そして、電荷を付与する方
法として絶縁性薄葉体（４）に抵抗体層（５）を設ける
方法を採用した場合には、１０〜２００μｍの範囲とす
るのが好ましい。また、電荷の付与が何れの方法で行わ
れる場合においても、絶縁性薄葉体（４）の厚さは、絶
縁性支持体（１）に並べた帯状電極（２）の間隔をＰと
し、帯状電極（２）の表面と絶縁性薄葉体（４）と抵抗
体層（５）（絶縁性薄葉体（４）に帯状電極を設けた場
合は当該帯状電極、イオン化空気層を形成した場合はそ
れ自体）との境界面との距離をＧとした場合、０．１＜
Ｇ／Ｐ＜０．４の関係を満足する範囲とするのが好まし
い。

【００３２】

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
するが、本発明は、その要旨を超えない限り以下の実施
例に限定されるものではない。なお、以下の例におい
て、ポリエチレンテレフタレートフイルム（ＰＥＴフイ
ルム）の熱収縮率は、次の方法によって測定した。すな
わち、サンプルフイルムを縦（長手）方向および横
（幅）方向のそれぞれに長さ５０ｃｍ（Ｌo ）幅１５ｍ
ｍで切出し、熱処理した後、フイルムの長さ（Ｌ）を測
定し、次式から、縦方向および横方向の熱収縮率を求め
る。 熱収縮率＝〔（Ｌo −Ｌ）／Ｌo 〕×１００（％）

【００３３】実施例１ （１）低収縮化ＰＥＴフイルムの調製 １５０℃で２時間熱処理後の熱収縮率が縦方向１．０％
で横方向０．２％の二軸延伸ＰＥＴフイルムを約１９０
℃に保持されたオーブンに通し、処理時間１０秒、処理
時のテンション４０ｇ／ｍｍ² の条件下に低収縮化処理
を施し低収縮化ＰＥＴフイルムを得た。上記の低収縮化
ＰＥＴフイルムの１５０℃で２時間処理後の熱収縮率
は、縦方向０．３％、横方向０．１％てあった。

【００３４】（２）固定子の作成 以下の表２に示すスクリーンマスク及び表３に示す導電
性インクを使用し、スクリーン印刷法により、上記の低
収縮化ＰＥＴフィルム上に図２に示すような帯状電極を
形成して固定子とした。スクリーン印刷機には三谷電子
工業製２４００を使用した。

【００３５】

【表２】＜スクリーンマスク＞ 製版材料 ：ステンレス紗（線径：約２０μｍ、メッシ
ュ：４００メッシュ） 電極ピッチ：２００μｍ（印刷される電極巾１００μ
ｍ） 電極サイズ：８０ｍｍ×２００ｍｍ

【００３６】

【表３】＜導電性インク＞ 導電性微粒子 ：銀（平均粒径約３μｍ） 樹脂バインダー：ポリエステル樹脂 溶媒 ：ブチルセルソルブアセテート 粘度（２５℃）：約３００００ｃｐｓ（Ｂｒｏｏｋｆｉ
ｅｌｄ法にて測定）

【００３７】＜電極の形成＞先ず、ウレタン製のスキー
ジを用いて、ＰＥＴフィルム上に導電性インクを印刷
し、８０℃、３０分間熱風乾燥した。乾燥後の銀インク
の厚さは、約５μｍであり、表面固有抵抗率は、約１Ω
／□であった。次いで、別のスクリーンマスクを使用
し、円形ランド部分を除くＰＥＴフィルム上の電極印刷
面全体に透明のポリエステル樹脂をスクリーン印刷し
た。透明のポリエステル樹脂の厚さは１０μｍとし、印
刷後の乾燥条件は上記と同様とした。

【００３８】（２）結線 円形ランド部分をＮＣ工作機械を用いて、直径０．２ｍ
ｍの穴開け加工を行い、その後、ディスペンサーを使用
し、銀ペーストによってスルーホール部分を導通させて
結線を行なった。穴開け加工においては、電極ピッチの
ズレは殆ど生じず、加工は良好に行なわれ、また、スル
ーホール部分の位置合わせは容易かつ高精度に行われ
た。

【００３９】（３）移動子の作製 厚さ２５μｍのＰＥＴフィルムに帯電防止効果の弱い帯
電防止剤をフィルムの片面にスプレー塗布して抵抗体層
を形成して移動子とした。なお、抵抗体層の表面固有抵
抗率は、２×１０¹⁴Ω／□であった。

【００４０】（４）静電アクチュエータの作製 上記の（１）で作製した固定子と上記（３）で作製した
移動子とを重ね合わせて本発明の静電アクチュエータを
作製した。上記の静電アクチュエータを図４（ａ）〜
（ｄ）に示す要領に従って、以下の表４に示す駆動条件
で駆動させたところ、移動子が連続的に駆動できるのが
確認できた。また、移動子が２ｋＨｚ、４０ｃｍ／ｓま
で駆動できることを確認した。

【００４１】

【表４】＜駆動条件＞ 初期充電時間：１ｓ 充電時間 ：９ｍｓ 移動時間 ：１ｍｓ 駆動周波数 ：１００Ｈｚ 駆動電圧 ：±２００Ｖ

【００４２】実施例２ 実施例１で得た低収縮化ＰＥＴフイルムを５００ｍｍ×
５００ｍｍに裁断し、約１８０℃に保持されたオーブン
内にて１時間熱処理を施し超低収縮化ＰＥＴフイルムを
得た。上記の超低収縮化ＰＥＴフイルムの１５０℃で２
時間処理後の熱収縮率は、縦方向０．２％、横方向０．
０５％であった。上記の超低収縮化ＰＥＴフイルムを使
用し、実施例１と同様の操作を通して静電アクチュエー
タを作成した。結線操作における穴開け加工において
は、電極ピッチのズレは殆ど生じず、加工は良好に行な
われ、また、スルーホール部分の位置合わせは容易かつ
高精度に行われた。また、実施例１と同一条件下の駆動
試験においては、移動子が２ｋＨｚ、４０ｃｍ／ｓまで
駆動できることを確認した。

【００４３】比較例１ １５０℃で２時間熱処理後の熱収縮率が縦方向１．０％
で横方向０．２％の二軸延伸ＰＥＴフイルムを使用し、
実施例１と同様の操作を通して静電アクチュエータを作
成した。結線操作における穴開け加工においては、フイ
ルムの縦方向の収縮率が大きいために縦方向の電極のピ
ッチのズレが大きく、加工は良好に行なわれなかった。

【００４４】

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、スルーホ
ール部分の位置合わせを容易かつ高精度に行い得るよう
に改良された静電アクチュエータが提供される。よっ
て、本発明は、静電アクチュエータの実用化に寄与する
ところが大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】静電アクチュエータの駆動原理の説明図であ
る。

【図２】帯状電極の一例を示す平面説明図である。

【図３】帯状電極の一例を示す断面説明図である。

【符号の説明】

（１）：絶縁性支持体 （２）：帯状電極 （３）：固定子 （４）：絶縁性フイルム又は絶縁性薄葉体 （５）：抵抗体層 （６）：移動子 （７）〜（９）：電線 （１０）：絶縁層

フロントページの続き (72)発明者 合田 富男 神奈川県横浜市緑区鴨志田町1000番地 三 菱化成株式会社総合研究所内 (72)発明者 畑部 悦生 神奈川県鎌倉市大船二丁目14番40号 三菱 電機株式会社生活システム研究所内 (72)発明者 永田 良浩 神奈川県鎌倉市大船二丁目14番40号 三菱 電機株式会社生活システム研究所内 (72)発明者 尾崎 慶英 神奈川県横浜市緑区鴨志田町1000番地 ダ イアホイルヘキスト株式会社中央研究所内 (72)発明者 坂本 征二 神奈川県横浜市緑区鴨志田町1000番地 ダ イアホイルヘキスト株式会社中央研究所内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 絶縁性支持体に電極を所定間隔で並べた
   固定子と絶縁性薄葉体に正負の電荷を付与した移動子と
   が接するように配置されて成る静電アクチュエータにお
   いて、前記の絶縁性支持体として、１５０℃で２時間処
   理後の縦方向および横方向の熱収縮率が共に０．４％以
   下である低収縮性ポリエステルフイルムを使用すること
   を特徴とする静電アクチュエータ。