JPH067074U - Ic試験装置 - Google Patents

Ic試験装置

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JPH067074U
JPH067074U JP4544492U JP4544492U JPH067074U JP H067074 U JPH067074 U JP H067074U JP 4544492 U JP4544492 U JP 4544492U JP 4544492 U JP4544492 U JP 4544492U JP H067074 U JPH067074 U JP H067074U
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 タイミング比較を高い精度で行う事を可能と
する。 【構成】 被試験IC素子11よりの出力はレベル比較
器12,13で基準高レベルVH ,基準低レベルVL
それぞれ比較されてECLレベルとされ、その出力はタ
イミング比較器14,17でストローブパルスによりサ
ンプルホールドされる。そのサンプルホールド出力はD
型フリップフロップ19,21でそれぞれリタイミング
され、そのリタイミング出力は論理比較回路24,25
で期待値と比較される。タイミング比較器14,17は
それぞれ複数の差動バッファ32が直列に接続され、そ
の終段出力側にラッチ回路33が接続されて構成され
る。タイミング比較器に対するストローブパルスは可変
遅延回路16,18などを通じて供給され、可変遅延回
路16,18はそのタイミング位相の決定と同時に各経
路間の誤差の吸収も行う。タイミング比較器14,1
7,可変遅延回路16,18,フリップフロップ19,
21,論理比較回路24,25,遅延回路22,23は
同一のLSI31内に構成される。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
この考案は被試験IC素子の出力をレベル比較器で基準レベルと比較し、その 比較出力をタイミング比較器でストローブパルスによりサンプルホールドし、そ のサンプルホールド出力を論理比較回路で期待値と比較するIC試験装置に関す る。
【0002】
【従来の技術】
図2に従来のこの種のIC試験装置の要部を示す。被試験IC素子11の一つ の端子ピンからの出力はレベル比較器12および13でそれぞれ基準高レベルV H および基準低レベルVL と比較されてECLレベルの信号とされる。レベル比 較器12の出力はタイミング比較器14でストローブパルスによりサンプルホー ルドされる。このストローブパルスは端子15よりのパルスが遅延回路16で遅 延されて所定のテストサイクルの始めに対して設定されたタイミングとされる。 またレベル比較器12の出力はタイミング比較器16にも供給される。このタイ ミング比較器16はタイミング比較器14と異なるタイミングのストローブパル スによってサンプルホールドを行う。このストローブパルスは端子15よりのパ ルスを遅延回路18で遅延して得られる。
【0003】 タイミング比較器14,17の各出力はリタイミングのためにD型フリップフ ロップ19,21にそれぞれ取り込まれる。その各取り込みパルスは遅延回路1 6,18の出力がそれぞれ分岐されて遅延回路22,23において遅延され、正 しいリタイミングが行われるようにされている。D型フリップフロップ19およ び21の各出力は論理比較回路(排他的論理和回路)24,25でそれぞれ期待 値と比較される。論理比較回路24,25の出力は試験結果が正しいか否か、い わゆるパスかフェールかを表す出力となる。図に示していないが、レベル比較器 13の出力についても同様に二つのタイミング比較器でサンプルホールドされ、 それぞれD型フリップフロップでリタイミングされ、さらに期待値と論理比較さ れる。
【0004】 レベル比較器12,13はテストヘッド内に設けられ、ケーブルを通じてタイ ミング比較器14,17と接続され、タイミング比較器14,17や遅延回路1 6,18さらにリタイミング用のD型フリップフロップ19,21,論理比較回 路24,25などは試験装置本体内に設けられている。また、タイミング比較器 14,17は高速動作かつ高利得で広帯域のものが要求され、従来においては市 販されているアナログのディスクリートの比較器が用いられていた。また端子1 5よりのパルスを遅延して各タイミング比較器に供給するためのストローブパル スを作るための遅延回路16,18などは一つのLSI26内に設けられ、さら にD型フリップフロップ19,21,遅延回路22,23,論理比較回路24, 25などはまた別のLSI27内に構成されていた。
【0005】
【考案が解決しようとする課題】
このように従来においてはタイミング比較器14,17などはそれぞれ一つず つモノリシックのアナログICで構成されているため、これらに対するストロー ブパルスをLSI26から外部へ取り出す必要があり、このため一つのチャネル 、つまり被試験IC素子の一つの端子ピン対応に、四つのストローブパルス取り 出し用の端子28と、さらにリタイミグするための遅延回路22,23などに供 給するための四つの端子29とをLSI26に必要とし、LSI26に多くの端 子ピンが必要となる。
【0006】 またこのLSI26から外に取り出して配線するため、配線経路が長くなり、 それだけ経路誤差が大きくなり、このためこの経路誤差や素子のバラツキを吸収 するために可変遅延回路16,18などの回路規模が大きくなる欠点があった。 また、このようにタイミング比較器14,17などの出力をさらに別のLSI2 7内に入れるため、その配線が長くなり、D型フリップフロップ19,21など のリタイミングを確実に行わさせるためのそのリタイミングパルスを得るための 遅延回路22,23などの遅延量が多くなって遅延段数が多くなり、規模が大き くなり、このように素子数が多くなるため経路誤差分も多くなり、その成分も加 味する必要があった。
【0007】 またタイミング比較器14,17などが持っているセットアップタイムやホー ルドタイムが大きく、これらと前記二つの経路誤差とを合わせて考慮しなければ ならないため、一層遅延回路22,23などの規模が大きくなる問題があった。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この考案によればタイミング比較器、論理比較回路、ストローブパルスの経路 誤差吸収部は同一の半導体集積回路内に構成され、またタイミング比較器は直列 接続された複数の差動バッファと、その出力側に接続されたラッチ回路とにより 構成される。
【0009】
【実施例】
図1にこの考案の実施例を示し、図2と対応する部分に同一符号を付けてある 。この考案においてはタイミング比較器14,17など、経路誤差吸収用の可変 遅延回路16,18など、またリタイミング用のD型フリップフロップ19,2 1など、さらにリタイミングを確実にするための遅延回路22,23など、また 論理比較回路24,25などが同一のLSI31内に構成される。さらにタイミ ング比較器14は複数の差動バッファ32が直列に接続され、その終段の出力側 にラッチ回路33が接続されて構成される。この差動バッファ32の段数は要求 される利得によって決定される。この場合も図に示していないが、他の比較器1 3に対するタイミング比較器、可変遅延回路、論理比較回路なども同様に集積回 路LSI31内に構成される。通常のECLゲートアレー内には差動バッファの 他ラッチ回路も設けられており、従って通常のECLゲートアレーを用いてLS I31を構成することができる。このようにラッチ回路33の前段に差動形バッ ファ32を多段接続することによって高速、高精度のタイミング比較器を構成す ることができる。場合によってはリタイミング用のD型フリップフロップを省略 することもできる。
【0010】
【考案の効果】
以上述べたように、この考案によればタイミング比較器と論理比較回路と、さ らに経路誤差吸収用の可変遅延回路などが一つのLSI31内に構成されており 、LSIから外部へ導出する外部端子が少なく、LSI31が作りやすく、かつ その各接続が外部配線によらないため、非常に短く経路誤差が少なくなる。
【0011】 またその外部とLSIとの接続がないため、波形劣化も少ない。このように経 路が短くなるため、経路誤差を吸収するための可変遅延回路16,18などや遅 延回路22,23などに対する負担が小さく、高い精度のタイミング比較を行う ことができる。同様の理由でリタイミングパルスに必要な遅延量も大幅に減少し 、遅延回路22,23などのその遅延段数が少なくて済み、誤差も小さくなり、 リタイミングの精度が向上する。遅延回路16,18,22,23の規模が小さ くて済む。
【0012】 さらにタイミング比較器がLSIに内蔵されており、セットアップタイムやホ ールドタイムが従来のモノシックICのタイミング比較器に比べて小さく、それ だけタイミング比較の判定性能が向上し、経路誤差の吸収もそれだけ楽になる。 この点からも高速度タイミング比較が可能となる。
【提出日】平成5年6月30日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0002
【補正方法】変更
【補正内容】
【0002】
【従来の技術】
図2に従来のこの種のIC試験装置の要部を示す。被試験IC素子11の一つ の端子ピンからの出力はレベル比較器12および13でそれぞれ基準高レベルV H および基準低レベルVL と比較されてECLレベルの信号とされる。レベル比 較器12の出力はタイミング比較器14でストローブパルスによりサンプルホー ルドされる。このストローブパルスは端子15よりのパルスが遅延回路16で遅 延されて所定のテストサイクルの始めに対して設定されたタイミングとされる。 またレベル比較器12の出力はタイミング比較器17にも供給される。このタイ ミング比較器17 はタイミング比較器14と異なるタイミングのストローブパル スによってサンプルホールドを行う。このストローブパルスは端子15よりのパ ルスを遅延回路18で遅延して得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この考案の実施例を示すブロック図。
【図2】従来のIC試験装置を示すブロック図。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被試験IC素子の出力をレベル比較器で
    基準レベルと比較し、 その比較出力をタイミング比較器でストローブパルスに
    よりサンプルホールドし、 そのタイミング比較器の出力を論理比較回路で期待値と
    比較するIC試験装置において、 上記タイミング比較器、上記論理比較回路および上記ス
    トローブパルスの経路誤差吸収部が同一の半導体集積回
    路内に構成され、 上記タイミング比較器は直列接続された複数の差動バッ
    ファと、その出力側に接続されたラッチ回路とから構成
    されていることを特徴とするIC試験装置。
JP4544492U 1992-06-30 1992-06-30 Ic試験装置 Expired - Fee Related JP2586342Y2 (ja)

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JPH067074U true JPH067074U (ja) 1994-01-28
JP2586342Y2 JP2586342Y2 (ja) 1998-12-02

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5795215U (ja) * 1980-12-02 1982-06-11
JPS6035710U (ja) * 1983-08-18 1985-03-12 岡本 三郎 ろ過装置

Cited By (2)

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JPS5795215U (ja) * 1980-12-02 1982-06-11
JPS6035710U (ja) * 1983-08-18 1985-03-12 岡本 三郎 ろ過装置

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