JPH0671042B2 - 位置修正型基板支持装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、半導体ウエハや液晶用ガラス基板等ような
電子工業界用の各種基板（以下基板と称する）に対する
処理装置や検査装置等の各種装置に配置され、上記の基
板を一時的に支持する機能と、基板が支持される位置を
修正する機能を兼ね備えた位置修正型基板支持装置に関
するものである。

〈従来の技術〉 この種の装置は従来より例えば第10図に示すもの（以下
従来例１という）、あるいは第11図に示すもの（以下従
来例２という）が知られている。

従来例１は、多関節アーム型の搬送ロボット20から搬送
されてきた基板Ｗを、直線搬送型の搬送ロボット21へ受
渡しするために、両搬送ロボット間に配置された位置修
正型基板支持装置である。

基台101上に３本の基板支持ピン110を立設して基板支持
具を構成するとともに、基台101の周縁部に多数の位置
修正用テーパピン112を立設し、そのテーパピン112はそ
の上部を基板支持ピン110のピンヘッド110aより上位に
突出してテーパ部112aを形成し、基台101はアクチェー
タ118で昇降可能に支持して成り、基板搬入側の搬送ロ
ボット20で持ち込んだ基板Ｗを基台101を上昇させるこ
とにより基板支持ピン110の上端に載置するように受け
取り、その受け取りに際し、テーパピン112のテーパ部1
12aで基板Ｗの周縁部を当接ガイドすることにより基板
Ｗの前後左右方向の位置ずれを修正するように構成され
ている。なお、従来例１の位置修正型基板支持装置のよ
うに、２つの搬送ロボット間での基板の受渡しのために
位置修正型基板支持装置が使用されるのは、次のような
２つの理由からである。

第１の理由は、例えば基板における搬送ロボットの支持
されるべき位置が、双方の搬送ロボットで重複していた
り、その他何らかの事情により、搬送ロボット同士で直
接、基板の受渡しをすることが困難な場合に、搬送ロボ
ット間に、基板を一時的に支持する手段を介在させるこ
とが必要であり、それによって、基板の受渡しが円滑に
できるからである。

第２の理由は、搬送ロボットから受け取った基板の位置
がずれていた場合に、そのままでは、次の搬送ロボット
へ基板を渡すことに支障を生じることがあるので、本来
支持されるべき位置に基板が支持されるように、基板支
持位置を修正しておいて、基板の受渡しの信頼性を高め
る必要があるからである。

従来例２も位置修正型基板支持装置であり、基台104の
中央部に基板支持具として吸引チャック106を立設し、
基台104に中央部から放射状に複数の透し溝105を等角度
間隔で切設し、基板修正具107を各透し溝105に挿通して
透し溝105に沿って移動可能に設け、それら複数の修正
具107を連動機構Ｋを介して同期連動可能に構成し、修
正具107の上端ピン107aを吸引チャック106で保持した基
板の周縁部に当接させて、基板の前後左右方向の位置ず
れを修正するように構成されている。なお同図中符号K₁
は同期連動機構Ｋを構成するパルスモータ、K₂は吸引チ
ャック106と同軸に枢支され、パルスモータK₁で回動さ
れる回転板、K₃は基板修正具107の下端部107cと回転板
_２とに旦って連設されたリンク、K₄は基板修正具107の
摺動用ガイドである。

なお、従来例２の位置修正型基板支持装置は、測定装置
に付設される。基板回転モータ108による吸引チャック1
06の回転により、基板を測定するに適した向きに旋回す
るための装置の基板支持部として使用され、基板支持部
に位置修正型基板支持装置が使用されるのは、吸引チャ
ック106に対する基板の位置を修正することが必要であ
るからである。

〈発明が解決しようとする課題〉 従来例１は、アクチェータ118を上昇させる１つの動作
で、基板Ｗの受け取りと、テーパピン112による基板Ｗ
の位置修正とができる優れた装置ではあるが、しかし、
テーパピン112のテーパ部112aが基板Ｗの周縁を案内す
ることで位置修正する方式のため、位置修正できるのは
テーパピン112のテーパ部112aの範囲内に制限される。
そのため、基板の位置を修正する範囲が狭いという不都
合がある。また、受け取った基板を、搬送ロボットへ渡
す際に、テーパピン112が搬送ロボットの動きを制約す
る不都合がある。

従来例２は、基板修正具107を移動することによって基
板ｗの位置を修正する方式のため、位置修正できる範囲
が広く優れた装置ではあるが、しかし、基板修正具107
の移動は水平方向の移動にすぎないから、基板Ｗの受渡
しに際して、基板が基板修正具107の上端ピン107aに当
たらないように基板Ｗを搬送しなければならず、上端ピ
ン107aが搬送ロボットの動きを制約する不都合がある。
また、吸引チャック106と搬送ロボットとの間で基板を
受渡しする動作に対して、基板の位置を修正する方向へ
基板修正具107を移動させる動作や、基板から離れる方
向へ移動させる動作を、タイミング制御する必要があ
る。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、第１
から第５の発明に共通の解決しようとする課題は、以下
のイ及びロであり、さらに、第２から第５の発明は以下
のハも解決しようとする課題とする。

イ． 基板の位置を修正する範囲が広いこと、 ロ． 搬送ロボットとの基板の受渡しに際し、基板の位
置を修正するための手段である修正具が、搬送ロボット
による基板の移動に障害とならないように、修正具を搬
送中の基板より下へ移動できるようにして、搬送ロボッ
トの動きを修正具が制約するという問題を解消するこ
と、 ハ． 基板を受渡しするために基板支持具を昇降する動
作と、基板の位置を修正する方向へ修正具を移動させる
動作や、修正具を基板から離れる方向へ移動させる動作
を、タイミング制御する必要を解消することである。

〈課題を解決するための手段〉 包括概念で把握される第１の発明は、上記課題イ．ロを
解消するものとして以下のように構成される。

即ち、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下
方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動
可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数
のの修正具と、昇降可能に設けられ、複数の修正具を上
記両姿勢間で同期連動可能に揺動する連動具と、連動具
を昇降駆動するアクチェータとを具備して成り、複数の
修正具が連動具の昇降に基づき同期連動することによ
り、起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁に修
正具の上部が当接して基板の位置を修正し、傾倒姿勢で
は修正型具の上部がが当該基板より下位に退避するよう
に構成したことを特徴とする位置修正基板支持装置であ
る。

第２の発明は上記課題イ〜ハを解消するものであり、上
記第１の発明において、基板支持具を連動具に固設する
とともに、連動具を、上昇位置では各修正具と当接して
各修正具を起立姿勢に規制するように構成することによ
って、基板支持具と連動具とを一体に昇降するととも
に、連動具が上昇時に各修正具を連動して、起立姿勢に
規制するようにしたもので、以下のように構成される。

即ち、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下
方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動
可能に支持され、当該基板の周囲に配置された複数の修
正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置され、上
昇時に各修正具と当接し、上昇位置では各修正具を起立
姿勢に規制する連動具と、連動具を昇降駆動するアクチ
ェータとを具備して成り、複数の修正具が連動具の上昇
に基づき基板支持具の上昇と同期連動して起立し、その
起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁に修正具
の上部が当接して基板の位置を修正し、連動具の下降に
基づき基板支持具の下降と同期連動して傾動し、その傾
倒姿勢では修正具の上部が、当該基板より下位に退避す
るように構成したことを特徴とする位置修正型基板支持
装置である。

第３の発明は上記課題イ〜ハを解消するものであり、上
記第１の発明において、基板支持具を連動具に固設し、
各修正具を傾倒可能に連動具に支持するとともに、連動
具によって上昇される修正具と当接して各修正具を起立
姿勢に規制する当接具を備える構成にすることによっ
て、基板支持具と連動具とを一体に昇降するとともに、
連動具が上昇時に各修正具を当接具に当接させて起立姿
勢に規制するようにしたもので、以下のように構成され
る。

即ち、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下
方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動
可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数
の修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置さ
れ、各修正具を傾倒可能に支持する連動具と、連動具と
ともに上昇する修正具と当接して修正具を傾倒姿勢から
起立姿勢へ規制する当接具と、連動具を昇降駆動するア
クチェータとを具備して成り、複数の修正具が連動具の
上昇に基づき基板支持具の上昇と同期連動して起立し、
その起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁に修
正具の上部が当接して基板の位置を修正し、連動具の下
降に基づき基板支持具の下降と同期連動して傾動し、そ
の傾倒姿勢では修正具の上部が当該基板より下位に退避
するように構成したことを特徴とする位置修正型基板支
持装置である。

第４の発明は上記課題イ〜ハを解消するものであり、上
記第１の発明において、基板支持具を連動具に固設する
とともに、連動具を、下降位置で各修正具と当接して各
修正具を起立姿勢に規制するように構成することによっ
て、基板支持具と連動具とを一体に昇降するとともに、
連動具が下降時に各修正具を連動して起立姿勢に規制す
るようにしたもので、以下のように構成される。

即ち、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下
方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動
可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数
の修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置さ
れ、下降時に各修正具と当接し、下降位置では各修正具
を起立姿勢に規制する連動具と、連動具を昇降駆動する
アクチェータとを具備して成り、複数の修正具が連動具
の下降に基づき基板支持具の下降と同期連動して起立
し、その起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁
に修正具の上部が当接して基板の位置を修正し、連動具
の上昇に基づき基板支持具の上昇と同期連動して傾動
し、その傾倒姿勢では修正具の上部が当該基板より下位
に退避するように構成したことを特徴とする位置修正型
基板支持装置である。

第５の発明は上記課題イ〜ハを解消するものであり、上
記第１の発明において、基板支持具を連動具に固設し、
各修正具を傾倒可能に連動具に支持するとともに、下降
する修正具と当接して各修正具を起立姿勢に規制する当
接具を備える構成にすることによって、基板支持具と連
動具とを一体に昇降するとともに、連動具といっしょに
各修正具が下降すると、各修正具が当接具に当接し、各
修正具を起立姿勢に規制するようにしたもので、以下の
ように構成される。

即ち、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下
方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動
可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数
の修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置さ
れ、複数の修正具を同期連動可能に支持する連動具と、
連動具の下降により修正具と当接して修正具を傾倒姿勢
から起立姿勢へ規制する当接具と、連動具を昇降駆動す
るアクチェータとを具備して成り、複数の修正具が連動
具の下降に基づき基板支持具の下降と同期連動して起立
し、その起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁
に修正具の上部が当接して基板の位置を修正し、連動具
の上昇に基づき基板支持具の上昇と同期連動して傾動
し、その傾倒姿勢では修正具の上部が当該基板より下位
に退避するように構成したことを特徴とする位置修正型
基板支持装置である。

〈作用〉 第１の発明ではアクチェータで連動具を昇降することに
より、基板の周囲に配置されている複数の修正具が連動
具によって起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動する。

そして起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁に
修正具の上部が当接して基板の位置を修正し、傾倒姿勢
では修正具の上部が当該基板よりも下位に退避する。こ
れにより基板の受け渡しに際し、修正具の上部が搬送ロ
ボットの動きを制約することはなくなる。また、修正具
が動くことにより、基板の位置を修正するから、修正す
る範囲が広い。

第２の発明では上記基本動作に加えて、基板支持具が連
動具と一体に昇降する。そして連動具を上昇すると、基
板支持具が上昇して基板支持具が搬送ロボットから基板
を受け取るとともに、上昇してきた連動具が修正具に当
接することによって、修正具が起立し、基板の受け取り
に連動して基板の位置修正を行う。次いで、搬入側の搬
送ロボットを退避させるとともに、搬出側の搬送ロボッ
トの基板の下へ待機させておいてから、連動具を下降す
ると、基板支持具が下降して基板支持具から搬送ロボッ
トへ基板を渡すとともに、連動具と修正具との当接によ
る押し上げが解除され、修正具が傾倒姿勢になって基板
より下に退避する。そのため、搬送ロボットは修正具に
動きを制約されることなく基板を搬出できる。なお、基
板を受け取る際には、連動具が上昇する前に、基板を搬
入するため、まだ修正具は起立姿勢にないので、搬送ロ
ボットが修正具に動きを制約されることなく、基板を搬
入することができる。

つまり、アクチェータの１回の昇降動作で基板の受け渡
しと位置修正とが同時に行えることになる。これによ
り、迅速に位置修正できる。

第３の発明では第１の発明の基本動作に加えて、基板支
持具が連動具と一体に昇降する。そて連動具を上昇する
と、基板支持具が上昇して基板支持具が搬送ロボットか
ら基板を受け取るとともに、連動具も上昇し、上昇して
きた修正具が当接具に当接することによって、修正具が
起立し、基板の受け取りに連動して基板の位置修正を行
う。。次いで、搬入側の搬送ロボットを退避させるとと
もに、搬出側の搬送ロボットの基板の下へ待機させてお
いてから、連動具を下降すると、基板支持具が下降して
基板支持具から搬送ロボットへ基板を渡すとともに、修
正具も下降して、修正具と当接具との当接による押し上
げが解除され、修正具が傾倒姿勢になって、基板より下
に退避する。そのため、搬送ロボットが修正具に動きに
制約されることなく、基板を搬出することができる。な
お、基板を受け取る際には、連動具が上昇する前に、基
板を搬入することにより、まだ修正具は起立姿勢にない
ので、搬送ロボットが修正具に動きを制約されることな
く、基板を搬入することができる。

第４の発明では、第１の発明の基本動作に加えて、基板
支持具が一体に昇降する。連動具を上昇すると、基板支
持具が上昇して搬送ロボットから基板を受け取り、その
後、搬入側の搬送ロボットを退避させてから連動具を下
降すると、連動具が修正具に当接し、修正具が起立し、
基板の位置修正を行う。次いで、再び連動具を上昇する
と、連動具と修正具との当接による押し上げの解除によ
り修正具が傾倒姿勢になり、搬出側の搬送ロボットを基
板の下へ待機させておいてから、連動具を再度下降する
と、基板支持具が下降し、下降する途中で基板支持具か
ら搬送ロボットへ基板を渡す。なお、修正具が起立する
のは、下降する途中であるから、まだ修正具が起立して
いない内に、搬出側の搬送ロボットに基板が渡され、修
正具は渡された基板の下で起立することになるので、修
正具に動きを制約されることなく搬送ロボットが基板を
搬出することができる。

第５の発明では第１の発明の基本動作に加えて、基板支
持具が一体に昇降する。連動具を上昇すると、基板支持
具が上昇して搬送ロボットから基板を受け取る。その
後、搬入側の搬送ロボットを退避させてから、連動具を
下降すると、修正具が下降して当接具に当接して起立
し、基板の位置修正を行う。次いで、再び連動具を上昇
し、修正具の当接具との当接による押し上げが解除され
て、修正具が傾倒姿勢になり、搬出側の搬送ロボットを
基板の下へ待機させておいてから、連動具を再度下降す
ると、基板支持具が下降し、下降する途中で搬送ロボッ
トへ基板を渡す。なお、まだ修正具が起立していない内
に、搬出側の搬送ロボットに基板が渡されるから、修正
具は渡された基板の下で起立するので、修正具に動きを
制約されることなく搬送ロボットが基板を搬出すること
ができる。

〈実施例〉 以下図面に基づいて本発明の実施例装置を説明する。

第１図は第１の発明の属する位置修正型基板支持装置の
斜視図、第２図はその縦断面図であり、検査装置等の前
段に配置される。

この装置は、基台１と基台１上に立設した左右一対の基
枠２・２と、基板支持具として基台１上に立設した３本
の基板支持ピン10‥と、各基枠２に揺動支点Ｑで支持し
た一対の修正具12・12と、修正具12を実線で示す起立姿
勢Ａと、第２図の仮想線で示す傾倒姿勢Ｂとの間で同期
連動可能に揺動する連動具15と、連動具15を昇降駆動す
るアクチェータ18とを具備して成り、 アーム昇降式搬送ロボット20Aで搬入した基板Ｗを３本
の基板支持ピン10‥で支持し、アクチェータ18で連動具
15を下降させることにより修正具12で基板Ｗの位置を修
正するように構成されている。

即ち、各修正具12は第１図に示すようにＬ字状に形成し
た２個の部材を下部12cで一体に連接して一組となし、
基板支持ピン10のピンヘッド10aより下方に位置する揺
動支点Ｑで揺動可能に支持し、第２図に示すように圧縮
ばね13で下端部12cを押し上げることにより傾倒姿勢Ｂ
側へ付勢され、かつ左右一対の修正具12・12の下部12c
・12cに連動具15を架着し、圧縮ばね13に抗して下部12c
を押し下げるように構成されている。これにより起立姿
勢Ａでは基板支持ピン２で支持した基板Ｗの外縁に修正
具12の上部が当接して基板Ｗの位置を修正し、傾倒姿勢
Ｂでは当該上部12aが基板Ｗより下位に退避する。な
お、これらの図中符号14は基板Ｗに余分の当接力が作用
しないように修正具12の起立姿勢を規定するる規制具で
ある。又この規制具14に代えてアクチェータ18の昇降ス
トロークを規定するようにしてもよい。

第３図は第１の発明に属する上記装置の変形例を示す縦
断面図である。この装置は、一対の基枠２・２上にベー
ス板４を架設し、ベース板上に３本の基板支持ピン10‥
を立設し、連動具15の左右両側部に修正具12のエルボ12
bを押し上げる当ローラ16を設けた点が上記第２図のも
のと基本的に異なる。なお、基板Ｗの位置修正動作は同
様であり、その説明を省く。

第４図は第２の発明の属する位置修正型基板支持装置の
斜視図、第５図はその縦断面図である。

この装置は、基台１に３本の支柱2a‥を立設してベース
板４を架設固定し、ベース板４の左右両端部下面に修正
具12の下部12cを支持する揺動支点Ｑを設け、基板支持
ピン10‥は連動具15を構成する昇降板15a上に立設して
ベース板４にあけた挿通孔を通して昇降可能に構成し、
昇降板15aの左右両側部に修正具12のエルボ12bを押し上
げる当たりローラ16を設けて成り、修正具12は基板支持
ピン10の昇降と同期連動して起立・傾動退避するように
構成されている。

従って、この装置では第１図に示した装置の基本動作に
加えて、基板支持ピン10の下降と同期連動して修正具12
が傾倒するようになっており、次のように動作する。

基板Ｗの受け渡しを開始する前の初期状態では、昇降板
15aはまだ上昇させていない。この状態で、基板搬入側
の搬送ロボット（図示せず）が、基板支持ピン10の上方
へ基板Ｗを搬入してくる。

続いて、アクチェータ18で昇降板15aで上昇すると、基
板支持ピン10が上昇し、基板搬入側の搬送ロボットから
基板を受け取る。また、昇降板15aが上昇する過程で当
りローラ16が修正具12のエルボ12bを当接押し上げし、
修正具12を起立させ、基板支持ピン10に受け取られた基
板Ｗを位置修正する。

次に、搬入側の搬送ロボットを退避させておいてから、
搬出側の搬送ロボット20Bを基板Ｗの下へ待機させ、昇
降板15aを下降すると、基板支持ピン10の上端が搬出側
の搬送ロボットより低くなるので、搬送ロボット20Bへ
基板Ｗが渡される。その際、昇降板15aの下降に伴っ
て、当たりローラ16による修正具12のエルボ12bの押し
上げが解除され、修正具12は傾倒し、修正具12は基板Ｗ
より下になる。そのため、基板搬出側の搬送ロボット20
Bは、修正具12に動きを制約されることなく、基板Ｗを
搬出することができる。なお、基板搬入側の搬送ロボッ
トから基板Ｗを受け取る際には、昇降板15aが上昇する
前に、基板を搬入するため、修正具12は、まだ起立姿勢
になってないので、搬送ロボットが修正具12に動きを制
約されることなく、基板を搬入することができる。

このように、アクチェータ18の１回の昇降動作で基板の
受け渡し位置修正動作と基板Ｗの搬入及び搬出時の修正
具12の傾倒動作のすべてを行い、以下の特有の効果を有
する。

１回の昇降動作だけであるから、位置修正を伴う基板Ｗ
の受け渡しが、迅速である。昇降板15aを昇降するだけ
で、基板搬入時の修正具12の傾倒動作から、基板Ｗの受
け取り動作、基板Ｗの位置修正動作、基板Ｗを渡す動
作、搬出時の修正具12の傾倒動作に至る一連の動作が、
タイミング制御を要さずに行える。搬出側の搬送ロボッ
トには、基板Ｗを昇降する機能を有していなくても、基
板Ｗの受け渡し及び、修正具12に動きを制約されること
なく基板の搬入と搬出ができ、搬送ロボットに簡単な機
構のものを使用できる。

第６図は上記第３の発明に属する装置を示す斜視図であ
る。この装置は連動具15を構成する昇降板15aで修正具1
2を支持した点が第４図のものと異なり、第６図中、符
号12dはベース板４の一端部下面に当接する修正具12の
当接ローラ、13aは修正具12を傾倒姿勢側へ付勢する錘
りであり、連動具15を構成する昇降板15aの昇降に伴っ
て、修正具12の揺動支点Ｑも昇降し、その上昇に伴っ
て、修正具12の当接ローラ12dがベース板４に当接して
押し下げられて、修正具12が起立するようになってお
り、次のように動作する。なお、ベース板４が第３の発
明の構成における当接具に相当する。

基板Ｗの受け渡しを開始する前の初期状態では、昇降板
15aはまだ上昇させていない。この状態で、基板搬入側
の搬送ロボット（図示せず）が、基板支持ピン10の上方
へ基板Ｗを搬入してくる。

続いて、アクチェータ18で昇降板15aを上昇すると、基
板支持ピン10が上昇し、基板搬入側の搬送ロボットから
基板を受け取る。また、昇降板15aが上昇する過程で、
修正具12の当接ローラ12dがベース板４に当接して押し
下げられ、修正具12を起立させ、基板支持ピン10に受け
取られた基板Ｗを位置修正する。

次に、搬入側の搬送ロボットを退避させておいてから、
搬出側の搬送ロボット（図示せず）を基板Ｗの下へ待機
させ、昇降板15aを下降すると、搬送ロボットへ基板Ｗ
が渡される。また、昇降板15aの下降に伴って、当接ロ
ーラ12dの押し下げが解除され、修正具12は傾倒し、修
正具12は基板Ｗより下になる。そのため、基板搬出側の
搬送ロボットは、修正具12に動きを制約されることな
く、基板Ｗを搬出することができる。なお、基板搬入側
の搬送ロボットから基板Ｗを受け取る際には、昇降板15
aが上昇する前に、基板を搬入するため、まだ修正具12
は起立姿勢にないので、搬送ロボットが修正具12に動き
を制約されることなく、基板を搬入することができる。

このように、第３の発明に属する第６図示の実施例で
も、第２の発明に属する第４図及び第５図示の実施例と
同様に、アクチェータ18の１回の昇降動作で基板の受け
渡しと、位置修正動作と、基板Ｗの搬入及び搬出時の修
正具12の傾倒動作のすべてを行い、第４図及び第５図示
の実施例と同様の特有の効果を有する。

第７図は第４の発明に属する位置修正型基板支持装置の
斜視図である。この装置は、基台１に直接ベース板４を
固設し、ベース板４上の左右両端部に各修正具12のエル
ボ12bを支持する揺動支点Ｑを設け、ベース板４の上方
に昇降板15aを配置してアクチェータ18の出力ドットで
昇降可能に支持し、昇降板15aに基板支持ピン10‥を立
設し、各修正具12の下部に当接ローラ12dを設けて成
り、修正具12は当接ローラ12dが昇降板15aの両端部下面
と当接して押し下げられることにより、傾倒姿勢から起
立姿勢へ同期連動するように構成されている。なお、同
図中符号12eは、修正具12に付設された基板支持具、13b
は修正具12を傾倒姿勢側へ付勢する引張ばねであり、起
立姿勢では、当該支持具12eで基板Ｗを支持することに
なる。このためピンヘッド10aと基板Ｗとの間に、わず
かな隙間が形成される。

この装置では、連動具15を構成する昇降板15aの下降に
伴って、修正具12の当接ローラ12dがベース板４に押し
下げられて、修正具12が起立するようになっており、次
のように動作する。

基板Ｗの受け渡しを開始する前の初期状態では、昇降板
15aはまだ上昇させていない。この状態で、基板搬入側
の搬送ロボット（図示せず）が、基板支持ピン10の上方
へ基板Ｗを搬入してくる。

続いて、アクチェータ18で昇降板15aを上昇すると、昇
降板15aによる当接ローラ12dの押し下げが解除されて修
正具12が傾倒するとともに、基板支持ピン10が上昇し、
基板搬入側の搬送ロボットから基板を受け取る。

更に続けて、搬入側の搬送ロボットを退避させておいて
から、昇降板15aを下降すると、当接ローラ12dが昇降板
15aに押し下げられて、修正具12が起立し、基板Ｗを位
置修正する。

次に、再度、昇降板15aを上昇させておいてから、搬出
側の搬送ロボット（図示せず）を基板Ｗの下へ待機さ
せ、昇降板15aを再度下降すると、搬送ロボットへ基板
Ｗが渡される。なお、昇降板15aの下降に伴って、修正
具12が起立するが、起立し終えるまでに搬送ロボットへ
基板Ｗが渡されるので、修正具12は渡された基板Ｗの下
で起立するから、修正具12に動きを制約されることなく
基板搬出側の搬送ロボットが、基板Ｗを搬出することが
できる。

このように、アクチェータ18の２回の昇降動作で基板Ｗ
の受け渡しと、位置修正動作と基板Ｗの搬入及び搬出時
の修正具12の傾倒動作のすべてを行い、以下の特有の効
果を有する。

昇降板15aを昇降するだけで、基板受け取りのための基
板支持ピン10の上昇動作、基板Ｗの位置修正動作、基板
を渡すための基板支持ピン10の下降動作に至る一連の動
作が、タイミング制御を要さずに行える。搬出側の搬送
ロボットには、基板Ｗを昇降する機能を有していなくて
も、基板Ｗの受け渡し及び修正具12に動きを制約される
ことなく基板の搬入と搬出ができ、搬送ロボットに簡単
な機構なものを使用できる。

第８図は上記第４の発明の変形例を示す要部縦断面図で
ある。この装置は修正具12の上部12aを錘り状に形成し
て引張りばね13bを省くとともに、当接ローラ12dを省い
て直接修正具12の下部を押し下げるように構成し、構造
を簡素化したものである。なお、基板の位置修正動作等
は第７図示のものと同様であり、その説明を省く。

第９図は、上記第５の発明を示す斜視図である。この装
置は昇降板15aの左右両端部に修正具12を支持する揺動
支点Ｑを設け、修正具12の下部12cに取着した当接ロー
ラ12dを基台１に当接させることにより、基板支持ピン1
0の下降時に修正具12を傾動させ、上昇時に引張ばね13b
により修正具12を傾動させるように構成されており、次
のように作動する。

基板Ｗの受け渡しを開始する前の初期状態では、昇降板
15aはまだ上昇させていない。この状態で基板搬入側の
搬送ロボット（図示せず）が、基板支持ピン10の上方へ
基板Ｗを搬入してくる。

続いて、アクチェータ18で昇降板15aを上昇する。昇降
板15aとともに修正具12の揺動支点Ｑが上昇し、当接ロ
ーラ12dの基台１による押上げ方向の力が解除されて、
修正具12が傾倒するとともに、基板支持ピン10が上昇
し、基板搬入側の搬送ロボットから基板を受け取る。

さらに続けて、搬入側の搬送ロボットを退避させておい
てから、昇降板15aを下降すると、当接ローラ12dが基台
１に当接して押し下げる方向の力を受け、修正具12が起
立し、基板Ｗを位置修正する。

次に、再度、昇降板15aを上昇しておいてから搬出側の
搬送ロボット（図示せず）を基板Ｗの下へ待機させ、昇
降板15aを再度下降すると、搬送ロボットへ基板Ｗが渡
される。なお、昇降板15aの下降に伴って修正具12が起
立するが、起立し終えるまでに搬送ロボットへ基板Ｗが
渡されるので、修正具12に動きを制約されることなく基
板搬出側の搬送ロボットが、基板Ｗを搬出することがで
きる。

このようにアクチェータ18の２回の昇降動作で基板Ｗの
受け渡しと、位置修正動作と基板Ｗの搬入及び搬出時の
修正具12の傾倒動作のすべてを行い、第４の発明に属す
る第７図及び第８図示の実施例と同様の特有の効果を有
する。

なお、上記実施例ではいづれも搬送ロボット間での基板
の受け渡し用の位置修正型基板支持装置として説明した
が、検査装置等の試料台として適用することもできる。

また、上記実施例では基板支持具としてピン10を用いて
いるが、これに代えて吸着式のチャック等を用いること
もできる。同様に修正具についても多様な変形を加えて
実施し得る。

〈発明の効果〉 以上の説明で明らかなように、第１の発明は、基板の位
置を修正するための修正具を起立姿勢と傾倒姿勢との間
で揺動させ、基板の受け渡しに際し、修正具の上部を当
該支持位置よりも下方に退避させるようにしたので、次
のイ及びロの効果を奏する。

さらに、第２と第３の発明は連動具とともに基板支持具
を昇降するようにし、上昇した位置で基板の位置修正を
するようにしたから、以下のイ．ロ．ハ．ニ．及びホの
効果を奏する。

また、第４と第５の発明は、第１の発明をさらに連動具
とともに基板支持具を昇降するようにし、下降した位置
で基板の位置修正をするようにしたから、以下のイ．
ロ．ハハ及びニの効果を奏する。

イ．修正具が移動することにより基板の位置を修正する
から、基板の位置を修正する範囲が広い。

ロ．搬送ロボットとの基板の受け渡しに際し、修正具
が、搬送ロボットによる基板の移動に障害とならないよ
うに、修正具を搬送中の基板より下へ移動し、修正具が
搬送ロボットの動きを制約せず、搬送ロボットの動きが
自由である。

ハ．基板を受け渡しするために基板支持具を昇降する動
作と、基板の位置を修正する方向へ修正具を移動させる
動作や、修正具を基板から離れる方向へ移動させる動作
を、タイミング制御する必要がない。

ニ．搬出側の搬送ロボットには、基板を昇降する機能を
有していなくても、基板を渡すこと及び修正具に動きを
制約されることなく基板を搬出することができ、搬出側
の搬送ロボットに簡単な機構のものを使用できる。

ホ．連動具を１回昇降動作させるだけで、位置修正を伴
う基板Ｗの受け渡しが迅速にできる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第９図は本発明に係る位置修正型基板支持装置
の実施例を示し、第１図は第１の発明に属する実施例装
置の斜視図、第２図はその縦断面図、第３図はその変形
例を示す縦断面図、第４図は第２の発明の属する実施例
装置の斜視図、第５図はその縦断面図、第６図は第３の
発明に属する実施例装置を示す斜視図、第７図は第４の
発明に属する実施例装置の斜視図、第８図はその変形例
を示す縦断面図、第９図は第５の発明に属する実施例装
置を示す斜視図、第10図及び第11図はそれぞれ従来例を
示す斜視図である。 10……基板支持具（基板支持ピン）、12……修正具、12
a……修正具の上部、15・15a……連動具（昇降板）、1
6.16a……当接具、18……アクチェータ、Ａ……起立姿
勢、Ｂ……傾倒姿勢、Ｑ……揺動支点、Ｗ……基板。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥野 英治 京都府京都市伏見区羽束師古川町322番地 大日本スクリーン製造株式会社洛西工場 内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板支持具と、基板支持具で支持した基板
   より下方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間
   で揺動可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置され
   た複数の修正具と、昇降可能に設けられ、複数の修正具
   を上記両姿勢間で同期連動可能に揺動する連動具と、連
   動具を昇降駆動するアクチェータとを具備して成り、 複数の修正具が連動具の昇降に基づき同期連動すること
   により、起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁
   に修正具の上部が当接して基板の位置を修正し、傾倒姿
   勢では修正具の上部が当該基板より下位に退避するよう
   に構成したことを特徴とする位置修正型基板支持装置
2. 【請求項２】基板支持具と、基板支持具で支持した基板
   より下方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間
   で揺動可能に支持され、当該基板の周囲に配置された複
   数の修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置さ
   れ、上昇時に各修正具と当接し、上昇位置では各修正具
   を起立姿勢に規制する連動具と、連動具を昇降駆動する
   アクチェータとを具備して成り、 複数の修正具が連動具の上昇に基づき基板支持具の上昇
   と同期連動して起立し、その起立姿勢では基板支持具で
   支持した基板の外縁に修正具の上部が当接して基板の位
   置を修正し、連動具の下降に基づき基板支持具の下降と
   同期連動して傾動し、その傾倒姿勢では修正具の上部が
   当該基板より下位に退避するように構成したことを特徴
   とする位置修正型基板支持装置
3. 【請求項３】基板支持具と、基板支持具で支持した基板
   より下方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間
   で揺動可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置され
   た複数の修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設
   置され、各修正具を傾倒可能に支持する連動具と、連動
   具とともに上昇する修正具と当接して修正具を傾倒姿勢
   から起立姿勢へ規制する当接具と、連動具を昇降駆動す
   るアクチェータとを具備して成り、 複数の修正具が連動具の上昇に基づき基板支持具の上昇
   と同期連動して起立し、その起立姿勢では基板支持具で
   支持した基板の外縁に修正具の上部が当接して基板の位
   置を修正し、連動具の下降に基づき基板支持具の下降と
   同期連動して傾動し、その傾倒姿勢では修正具の上部が
   当該基板より下位に退避するように構成したことを特徴
   とする位置修正型基板支持装置
4. 【請求項４】基板支持具と、基板支持具で支持した基板
   より下方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間
   で揺動可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置され
   た複数の修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設
   置され、下降時に各修正具と当接し、下降位置では各修
   正具を起立姿勢に規制する連動具と、連動具を昇降駆動
   するアクチェータとを具備して成り、 複数の修正具が連動具の下降に基づき基板支持具の下降
   と同期連動して起立し、その起立姿勢では基板支持具で
   支持した基板の外縁に修正具の上部が当接して基板の位
   置を修正し、連動具の上昇に基づき基板支持具の上昇と
   同期連動して傾動し、その傾倒姿勢では修正具の上部が
   当該基板より下位に退避するように構成したことを特徴
   とする位置修正型基板支持装置
5. 【請求項５】基板支持具と、基板支持具で支持した基板
   より下方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間
   で揺動可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置され
   た複数の修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設
   置され、複数の修正具を同期連動可能に支持する連動具
   と、連動具の下降により修正具と当接して修正具を傾倒
   姿勢から起立姿勢へ規制する当接具と、連動具を昇降駆
   動するアクチェータとを具備して成り、 複数の修正具が連動具の下降に基づき基板支持具の下降
   と同期連動して起立し、その起立姿勢では基板支持具で
   支持した基板の外縁に修正具の上部が当接して基板の位
   置を修正し、連動具の上昇に基づき基板支持具の上昇と
   同期連動して傾動し、その傾倒姿勢では修正具の上部が
   当該基板より下位に退避するように構成したことを特徴
   とする位置修正型基板支持装置