JPH0672301B2 - 差圧シ−ル装置 - Google Patents

差圧シ−ル装置

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JPH0672301B2
JPH0672301B2 JP19449987A JP19449987A JPH0672301B2 JP H0672301 B2 JPH0672301 B2 JP H0672301B2 JP 19449987 A JP19449987 A JP 19449987A JP 19449987 A JP19449987 A JP 19449987A JP H0672301 B2 JPH0672301 B2 JP H0672301B2
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庸 伊藤
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 長尺薄帯たとえば冷延ないし熱延鋼帯のような長尺材を
連続的に送給する間に、真空蒸着、イオンプレーティン
グ、スパッタリングなどのいわゆるドライプレーティン
グ法によって表面被覆を施す際には、複数の、圧力差の
ある空間領域相互(以下差圧室と呼ぶ)によって、ドラ
イプレーティング領域に至る間に、順次真空度をあげ、
ついで下げていく、エア・トウ・エア(Air-to-Air)方
式が用いられ、このような差圧室相互間における圧力差
を維持しつつ長尺材の連続的な通過を誘導する、差圧シ
ールを必要とし、ここに適切な差圧シールを有利に実現
することがきる、差圧シール装置を提案しようとするも
のである。
(従来の技術) エア・トウ・エア方式に関してすでに数多の提案を見る
ことができ、たとえば米国特許第2384500号、同2972330
号、同2996410号明細書をはじめ、三菱重工技報Vol.21
(1984)No.6のp1〜7などのように、近年来の精密工作
技術の進歩と相まって、実用化が進められつつある。こ
れらのシール法のうちの、とくに最後に引用した文献に
は、通板の向きにわずか軸心をずらせた一対のロール間
に挟んで長尺材を各ロール周面に沿わせるようにしてシ
ール面積を拡大することが、また最近に至って特開昭62
−13572号公報では、一対の通板ロールに、長尺材を囲
うシールバーとアダプタとを組合せて、その囲いの内部
にて差圧を維持する試みが提案されているが、何れにあ
っても、一対のロール間に長尺材を挟圧して通板するの
で、被処理物は、その表、裏面で曲げ応力、圧縮応力が
働き、さらには大きな張力も受ける。
このような張力や局部的な面圧の作用は、製品の品質に
悪影響を及ぼし、例えば一方向性珪素鋼板にエア・トウ
・エア方式を適用した際に磁気特性の劣化を起こすこと
がわかった。
また、このような問題に加えて、通板中の振動による板
割れなども発生し易いことが指摘された。
(発明が解決しようとする問題点) 長尺薄帯のエア・トウ・エア方式による処理に適合し
て、製品品質の劣化や板割れなどを生じるうれいなし
に、有効な差圧シールを実現することができる、差圧シ
ール装置を提案することがこの発明の目的である。
(問題点を解決するための手段) この発明は、圧力差のある空間領域相互間にわたり該圧
力差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する差
圧シールにおいて、上記空間領域相互間の境界にて長尺
薄帯の巻きがけ案内を司る単一のガイドロールを備え、
このガイドロールに、その外周をほぼ半周にわたって取
り囲み、長尺薄帯の巻きがけ域を除いて該ガイドロール
の外周面に対してのみ極く微小なすき間を形成する凹円
弧状シール面と長尺薄帯の巻きがけ域にて該長尺薄帯の
背面並びに両側縁に対して極く微小なすき間を直接形成
する第2の凹円弧状シール面を有するシーリングアタッ
チメントを配置してなり、該シーリングアタッチメント
は、第2の凹円弧状シール面に、長尺薄帯の断面寸法よ
りもやや大きいがガイドロールのロール幅よりも狭い幅
にて開口し、ガイドロールに巻きがけられた長尺薄帯を
圧力差のある空間領域へ誘導する細長い通路を備える、
ことを特徴とする差圧シール装置であり、ここで上記単
一のガイドロールは、ロール外周面に多数の小孔を有す
る中空ロールからなり、該中空ロールの内部には、中空
ロールの内周に面した吸引口を有し、巻がけ域における
長尺薄帯をロール外周面に吸引密着させる円筒部材を備
えたものであるのが望ましい。
さて第1図にこの発明による差圧シール装置を適用した
事例を示し、図中1は長尺薄帯、2はガイドロール、3
はシーリングアタッチメントであって、4は第1差圧
室、5は第2差圧室、6は第3差圧室で、これらの圧力
差のある空間領域相互間にわたって該圧力差を維持しつ
つ長尺薄帯1を大気圧p0下から添数字の順の圧力pに真
空度を高めるが、ここで差圧の値が最も高いp0−p1の空
間領域相互間に、この発明の差圧シール装置を用いた場
合について、先ず説明する。
該領域相互間の境界に相当する差圧室ケーシング7の入
側にて、ガイドロール2を軸受け支持し、このガイドロ
ール2の外周に長尺薄帯1を予め設定された巻付き接触
角θにて、巻きがけする。
シーリングアタッチメント3は、ガイドロール2の外周
をほぼ半周にわたって取囲み、長尺薄帯1の巻きがけ域
を除いてガイドロール2の外周面に対してのみ極く微小
なすき間δ1を形成する凹円弧状シール面s1と、巻きが
け域にて長尺薄帯1の背面並びに両側縁に対してやはり
極く微小なすき間δ2とδ3,δ3′を直接形成する第
2の凹円弧状シール面s2及び第2の凹円弧状シール面s2
にて長尺薄帯1の断面寸法よりもやや大きいがガイドロ
ール2のロール幅よりも狭い幅にて開口しガイドロール
2に巻きがけられた長尺薄帯1を圧力差のある空間領域
へ誘導する細長い通路tとをそなえる。その外観を第2
図(a)に、またガイドロール2に面する凹円弧状シー
ル面s1,s2をわかり易く第2図(b)にそれぞれ図解し
た。
なお、上掲第2図(a)(b)については一体構造にな
るシーリングアタッチメント3の例を示したが各構成部
材の接合部におけるシールを確実にできるものであれば
分割構造であっても一向にかまわない。
第1図に示した例で、差圧室4,5間及び5,6間の差圧(p1
−p2),(p2−p3)は、上述の(p0−p1)に比しはるか
に小さいこともあって、軸心を通板方向にずらせたロー
ル対8,9によるロールシールを用いた場合を示してい
る。
また第3図に、この発明による差圧シール装置のとくに
単一のガイドロール2を、ロール外周面に多数の小孔2a
を有する中空ロールとして、この中空ロール内部に、複
数の吸引口10aを有する固定式の円柱部材10を組込んだ
好適例を示した。上記円柱部材10の吸引口10aは、該部
材10を保持する固定支持軸11に設けた吸引口11aと連通
していて、真空ポンプ(図示省略)の作動により、長尺
薄帯1の通板中、該薄帯1を巻きがけ域においてロール
2の外面に吸引密着させる構造になる。
(作用) 長尺薄帯1は大気圧p0から第1差圧室4内の圧力p1に至
るとくに高い差圧の下に送り進められ、このとき凹円弧
状シール面s1及びs2において極く微小なすき間δ1,δ
2,δ3及びδ3′をへだてるにすぎないので有効な差
圧シールが成就されるだけでなく、長尺薄帯1は単一の
ガイドロール2に巻きがけされるようになっているの
で、強い面圧は受けることがない。
ここで長尺薄帯1をガイドロール2に巻きがけして通板
させる際、単に巻きがけするのみでは該薄帯1の巻付き
接触角θや張力によっては製品品質が異なることがあ
り、このため巻付き接触角θについては15°〜120°の
範囲に、また張力は0.1〜2.0kg/mm2の範囲に設定するの
が望ましい。
以下、その理由を、とくに下記の条件にて製造した珪素
鋼板に、上記の装置を適用したイオンプレーティング処
理にてTiNの被膜(厚さ0.8μm)を形成させた実験例に
基づいて説明する。
実験に用いた珪素鋼板は、表−1に示す成分組成になる
珪素鋼スラブを、1340℃で4時間加熱後、熱間圧延して
厚さ2.0mmの熱延板に仕上げ、その後950℃で3分間の中
間焼鈍を挟んで2回の冷間圧延を施して厚さ0.23mmの最
終冷延板とし、その後830℃の湿水素中で脱炭1次再結
晶焼鈍を施した後、鋼板表面上にMgO(35%)、Al2O
3(60%)、TiO2(4%)、SrSO4(1%)よりなる焼鈍
分離剤をスラリー塗布してから、850℃で5時間の2次
再結晶焼鈍後、1180℃で8時間乾水素中にて鈍化焼鈍を
施し、その後鋼板表面の酸化物を酸洗により除去した上
で電解研磨により中心線平均粗さRa:0.1μmに仕上げた
ものを用いた。
第4図は、巻付き接触角θ及び張力を種々変化させた場
合の磁気特性に及ぼす影響を調査したグラフであるが、
ガイドロール2の巻付き接触角θが15°以上、望ましく
は60°以上でありかつ、張力が0.1〜2.0kg/mm2、望まし
くは0.2〜0.5kg/mm2の範囲において良好な磁気特性を示
すのは明らかである。これに反し、巻付き接触角θが小
さく、かつ鋼板の張力が0.1kg/mm2未満では、差圧室へ
導入する際の鋼板の振動によって磁気特性が劣化した
り、板割れなどが発生し、また張力が2.0kg/mm2を越え
た場合についても磁気特性が劣化した。
なお、巻付き接触角θは120°を超える場合には例えば
第1図から明らかなように上下のシーリングアタッチメ
ント3とロールとのシール長さが異なり、隙間を通して
の空気流の大きさが非対称的になりそれにより鋼板のパ
タツキによる板割れがはげしくなるため120°以内に設
定するのが望ましい。
長尺薄帯1の巻付き接触角θおよび張力の好適範囲は上
述した通りであるが、その設定値が上記範囲の下限近傍
にあると、やはり通板時に薄帯1に振動等が発生するう
れいがある。このような場合は、上掲第3図に示したよ
うにガイドロール2の巻きがけ域で長尺薄帯1を、ロー
ル外周面に吸引密着させることで有利に防止できる。
なお、ガイドロール2の外周面に設ける小孔10aのサイ
ズは、0.1φ〜2.0φmm程度が好適であり、また長尺薄帯
1をロール外面に吸引密着させる吸引力は円柱部材10に
設けた吸引口10aの径(a)と、ガイドロール2の内周
面から円柱部材10までに至る間にて形成されるすき間
(b)(第3図参照)の差によって決るが、(a)>>
(b)のように設定すれば、巻きがけ域以外の穴から吸
引される空気は無視できる。また、ガイドロール2の巻
きがけ域の長尺薄帯1を確実に吸引させるために、円柱
部材10の表面にシール部材12を設けるのはさらに好適で
ある。
なお第1図において図示したδ2,δ1については長尺
薄帯幅が変わった場合に過大となっても多少は、許容せ
ざるを得ないが、このような場合においては気密性を有
しロール軸方向に移動可能な補助板を設置して薄帯幅の
変化があっても常に微小なすき間とすることもできる。
ここに一対のロールによるロールシールにて狭圧された
長尺薄帯の品質劣化の事例を、一方向性珪素鋼板の仕上
焼鈍後、その表面酸化物を除去した上で電解研磨により
中心線平均粗さRa:0.1μmに鏡面仕上げした場合のロー
ルシールによる面圧に依存した鉄損劣化度について第5
図に示したように、面圧の増加、それもとくに100kg/cm
2をこえることきには、鉄損の劣化が著しいのに反して
この発明によると、このような面圧を発生するうれいの
ない単一のガイドロールに、上記のようなシーリングア
タッチメントの工夫によって、確実な差圧シールが成就
される。
この発明の差圧シール装置は、上記のように一方向性珪
素鋼板に適用される仕上焼鈍後の酸化物除去、ないしは
さらにRa≦0.4μmの鏡面仕上を経て、ドライプレーテ
ィングでもって、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Cr,Mo,Co,Ni,Mn,Al,B
およびSiの窒化物及び/又は炭化物並びにAl,Ni,Cu,W,S
i及びZnの酸化物のうち少なくとも1種を、それらの地
鉄との混合相を介した張力皮膜の形成による一方向性珪
素鋼板の有利な鉄損低減(特開昭62−1820号、同62−18
22号公報など参照)を図るとき、極めて有用であって、
とくにこのドライプレーティングを1000℃〜1100℃の高
温状態で施すことにより、鋼板両面における弾性張力の
有効な利用によって有利に超鉄損化を可能ならしめる
(特開昭62−30302号公報参照)場合にももちろん適用
できる。
(実施例) 第6図には、第1図について述べた差圧シールを2回く
り返すことによって、p0からp1さらにp1からp2への高差
圧を、より有利に達成し得る例を示し、また第7図は、
この発明による差圧シール装置の2組みを、ガイドロー
ル2,2″の接近した対向配置(ただし両ロールにより狭
圧しない)することによって、すでに述べた差圧シール
の2回くり返しで、シール効果をより高めた例を示す。
さらに第8図にて、やはり差圧シール装置の2組みを、
ガイドロール2,2″の離間対向配置にて、それらの間に
スリット15を挿入してやはり差圧シールを2回くり返し
シール効果を高める場合を示した。
以上何れの場合も、微小すき間を0.01〜0.5mm程度とす
ることによって、この発明の差圧シール装置は、たとえ
ば長尺薄帯の幅300〜1200mm、厚み0.1〜1.2mmのとき、
それに隣接する低い方の差圧室圧力に対する倍率にて1.
5〜20倍程度の差圧を維持することができた。
なお、微小すき間を上記の範囲において微小調整するに
は、例えばシーリングアタッチメント3を全体的又はそ
の一部、とくに長尺薄帯の巻きがけ域に面する部位を上
下に移動可能としておき、これらを適宜変位させるか、
シーリングアタッチメント3のシール面に対してこれに
近接又は離隔するようにガイドロール2を変位させれば
よい。
また第9図にてガイドロール2のジャーナルに隣接した
端面にかぶさってそこにも差圧シールを付加的に行い、
装置側面における差圧シールを向上させる場合の例を、
また第10図、第11図にて、ガイドロール2のジャーナル
に隣接した端面に段差あるいは凹部を設け、この段差や
凹部に沿う形状を有したシーリングアタッチメント3を
組込んで、やはりそこにも差圧シールを付加的に行い、
装置の側面における差圧シールをより一層向上させた例
をそれぞれ示す。なお、第10図に示した例で、差圧室4,
5間及び5,6間の差圧(P2−P3)は(P0−P1)に比しはる
かに小さいこともあって、第1図で示したと同様に軸心
を通板方向にずらせたロール対8,9によるロールシール
(ただし各ロールにより狭圧しない)を用いた場合を示
している。
さらに第12図に、上掲第10図に示した差圧シールを6回
繰返すことによって、P0からP5への高差圧をより有利に
達成し得る場合の例を示した。
次に第1図に示した差圧シール装置を組込んだPVD設備
を適用して、珪素鋼板にイオンプレーティング処理を施
してTiN(0.8μm)の被膜を形成し、得られた製品の磁
気特性を調査した。
その結果を通板時の各条件とともに表−2に示す。
なお上記珪素鋼板は、表−3に示す成分組成になる珪素
鋼スラブを、1440℃で3時間加熱後、熱間圧延して厚さ
1.8mmの熱延板とし、その後1050℃の中間焼鈍を挟んで
2回の冷間圧延を施し厚さ0.23mmの最終冷延板とし、そ
の後、850℃の湿水素中にて脱炭焼鈍を施してから鋼板
表面上にMgO(35%)、Al2O3(65%)の焼鈍分離剤をス
ラリー塗布した後、850℃から1050℃まで15℃/hrで昇温
して2次再結晶させた後、1200℃で8時間乾水素中で鈍
化処理を施した。その後鋼板表面上の酸化物を酸洗によ
り除去した上で、電解研摩により中心線平均粗さRa:0.1
μmに仕上げたものを用いた。
(発明の効果) この発明の差圧シール装置は、単一のガイドロールにア
タッチメントを併用するのみで、長尺薄帯に局部面圧を
生じさせることなく、高い差圧シールが成就されて製品
の品質が面圧の作用によって劣化するうれいをなくすこ
とができ、また通板中における被処理物の振動を有利に
防止することも可能でとくに超鉄損一方向製珪素鋼板に
対しドライプレーティング皮膜の形成を行うときに用い
て好適なばかりでなく、局部面圧が製品の品質に影響し
易い、軟鋼などに対しても適用し得るのはいうまでもな
い。
【図面の簡単な説明】 第1図はこの発明に従う差圧シール装置の構成を示す模
式図、 第2図(a),(b)は要部の外観図、 第3図(a),(b)及び(c)は要部の断面および外
観を示す図、 第4図はロールの巻付き接触角度θと張力の関係を示す
グラフ、 第5図は面圧と一方向性珪素鋼板の鉄損劣下度の相関グ
ラフであり、 第6図〜第8図はこの発明の実施例を示す模式図、 第9図は別例の要部分解斜視図、 第10図〜第12図はこの発明の他の実施例を示す模式図で
ある。 1…長尺薄帯、2…ガイドロール 2a…小孔、3…アタッチメント 4、5,6…差圧室、7…差圧ケーシング 8,9…ロール、10…吸引ロール 10a…吸引口、11…固定支持軸 11a…吸引口、12…シール部材 13…軸受、14…プーリー s1…凹円弧状シール面 s2…第2の凹円弧シール面 t…通路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−12867(JP,A) 特開 昭60−234964(JP,A)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧力差のある空間領域相互間にわたり、該
    圧力差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する
    差圧シール装置において、 上記空間領域相互間の境界にて長尺薄帯の巻きがけ案内
    を司る単一のガイドロールを備え、このガイドロール
    に、その外周をほぼ半周にわたって取り囲み、長尺薄帯
    の巻きがけ域を除いて該ガイドロールの外周面において
    のみ極く微小なすき間を形成する凹円弧状シール面と長
    尺薄帯の巻きがけ域にて該長尺薄帯の背面並びにその両
    側縁に対して極く微小なすき間を直接形成する第2の凹
    円弧状シール面を有するシーリングアタッチメントを配
    置してなり、該シーリングアタッチメントは、第2の凹
    円弧状シール面に、長尺薄帯の断面寸法よりもやや大き
    いがガイドロールのロール幅よりも狭い幅にて開口し、
    ガイドロールに巻きがけられた長尺薄帯を圧力差のある
    空間領域へ誘導する細長い通路を備える、ことを特徴と
    する差圧シール装置。
  2. 【請求項2】単一のガイドロールが、ロール外周面に多
    数の小孔を有する中空ロールからなり、該中空ロールの
    内部には、中空ロールの内周に面した吸引口を有し、巻
    きがけ域における長尺薄帯をロール外周面に吸引密着さ
    せる円柱部材を備えたものである特許請求の範囲第1項
    記載の差圧シール装置。
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