JPH0674795B2 - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
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- JPH0674795B2 JPH0674795B2 JP3168586A JP3168586A JPH0674795B2 JP H0674795 B2 JPH0674795 B2 JP H0674795B2 JP 3168586 A JP3168586 A JP 3168586A JP 3168586 A JP3168586 A JP 3168586A JP H0674795 B2 JPH0674795 B2 JP H0674795B2
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- oil
- bearing
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、オイルフリーで超高真空を実現するターボ分
子ポンプに関するものである。
子ポンプに関するものである。
［従来の技術］ ターボ分子ポンプは、ポンプ室内で交互に配置したステ
ータ翼とロータ翼との機械的な排気作用で超高真空を達
成するものであるが、ロータを回転駆動する駆動軸の支
持構造としては、該駆動軸に回転力を与える機械室内で
上下一対のオイル軸受により軸支させるのが一般的であ
る。
ータ翼とロータ翼との機械的な排気作用で超高真空を達
成するものであるが、ロータを回転駆動する駆動軸の支
持構造としては、該駆動軸に回転力を与える機械室内で
上下一対のオイル軸受により軸支させるのが一般的であ
る。
そして、この種支持構造のものでは、第３図に示すよう
に、そのオイル軸受８、９に対し、ポンプベースの下部
に付設したオイルタンクからその内部に貯留した潤滑油
Ｏを駆動軸Ｓの内部に設けた油通路17を通して吸い上
げ、ポンプ運転中、各オイル軸受８、９の上方位置で開
口させた給油口20、20から連続的に潤滑油を供給するこ
とが行なわれている。
に、そのオイル軸受８、９に対し、ポンプベースの下部
に付設したオイルタンクからその内部に貯留した潤滑油
Ｏを駆動軸Ｓの内部に設けた油通路17を通して吸い上
げ、ポンプ運転中、各オイル軸受８、９の上方位置で開
口させた給油口20、20から連続的に潤滑油を供給するこ
とが行なわれている。
［発明が解決しようとする問題点］ しかし、この種のターボ分子ポンプでは、そのポンプ室
側と機械室側との完全なる気密性が得られない構造的制
約から、前記オイル軸受に供給される潤滑油の蒸気がポ
ンプ室側に逸散し、ポンプ室および被排気容器等を油で
汚染してしまう不都合が認められる。すなわち、駆動軸
Ｓが機械室Ｍからポンプ室Ｐに延出する軸貫通部12に
は、適当なシールを設けるとはいえ、駆動軸Ｓとの接触
干渉を避けるため僅かながらも隙間13が存在し、この隙
間13を通して機械室Ｍとポンプ室Ｐとが連通している。
そして、従来のオイル軸受８、９、特にその上部オイル
軸受８に対する給油は、前記給油口20からこの隙間13に
隣設する軸受上端側の空間Ａに注油されることになるた
め、この空間Ａから隙間13を通して機械室Ｍの潤滑油蒸
気がポンプ室Ｐに漏出し易く、特に機械室側からガスパ
ージや大気リークを行なう場合は、ポンプ室Ｐに流出し
て行くガスに上部オイル軸受付近の潤滑油が連行され
て、排気ラインのオイルで汚染してしまう深刻な問題を
生じている。
側と機械室側との完全なる気密性が得られない構造的制
約から、前記オイル軸受に供給される潤滑油の蒸気がポ
ンプ室側に逸散し、ポンプ室および被排気容器等を油で
汚染してしまう不都合が認められる。すなわち、駆動軸
Ｓが機械室Ｍからポンプ室Ｐに延出する軸貫通部12に
は、適当なシールを設けるとはいえ、駆動軸Ｓとの接触
干渉を避けるため僅かながらも隙間13が存在し、この隙
間13を通して機械室Ｍとポンプ室Ｐとが連通している。
そして、従来のオイル軸受８、９、特にその上部オイル
軸受８に対する給油は、前記給油口20からこの隙間13に
隣設する軸受上端側の空間Ａに注油されることになるた
め、この空間Ａから隙間13を通して機械室Ｍの潤滑油蒸
気がポンプ室Ｐに漏出し易く、特に機械室側からガスパ
ージや大気リークを行なう場合は、ポンプ室Ｐに流出し
て行くガスに上部オイル軸受付近の潤滑油が連行され
て、排気ラインのオイルで汚染してしまう深刻な問題を
生じている。
本発明は、このような問題点を機械室内の上部オイル軸
受に対する給油手段を工夫することにより解決し、オイ
ルフリーのターボ分子ポンプを提供せんとするものであ
る。
受に対する給油手段を工夫することにより解決し、オイ
ルフリーのターボ分子ポンプを提供せんとするものであ
る。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、このような目的を実現するために、ロータを
回転駆動する駆動軸を機械室内で上部オイル軸受と下部
オイル軸受とで回転自在に軸支するとともに、これら両
オイル軸受に対し前記駆動軸の内部に設けた油通路から
潤滑油を供給するようにしたターボ分子ポンプにおい
て、前記上部オイル軸受に対する前記油通路からの給油
口を該上部オイル軸受の下方位置に設けたことを特徴と
する。
回転駆動する駆動軸を機械室内で上部オイル軸受と下部
オイル軸受とで回転自在に軸支するとともに、これら両
オイル軸受に対し前記駆動軸の内部に設けた油通路から
潤滑油を供給するようにしたターボ分子ポンプにおい
て、前記上部オイル軸受に対する前記油通路からの給油
口を該上部オイル軸受の下方位置に設けたことを特徴と
する。
［作用］ 本発明のターボ分子ポンプでは、その上部オイル軸受へ
の給油口を該軸受の下方位置に設けているので、この上
部オイル軸受に対する注油をその下側から行い得る。そ
して、こうすれば上部オイル軸受の上端側に浸出する油
を、従来方式に比較して遥かに少ない量に抑えることが
でき、ポンプ室に隣接する該上部オイル軸受の上方空間
からポンプ室側への油蒸気の漏出を効果的に防止するこ
とができる。
の給油口を該軸受の下方位置に設けているので、この上
部オイル軸受に対する注油をその下側から行い得る。そ
して、こうすれば上部オイル軸受の上端側に浸出する油
を、従来方式に比較して遥かに少ない量に抑えることが
でき、ポンプ室に隣接する該上部オイル軸受の上方空間
からポンプ室側への油蒸気の漏出を効果的に防止するこ
とができる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図は、本発明に係るターボ分子ポンプの構成全体を
示し、第２図はその要部拡大図を示す。ターボ分子ポン
プは空冷式で、ポンプ本体１の下部に冷却ファン（図示
せず）を備えたオイルタンク２を付設している。
示し、第２図はその要部拡大図を示す。ターボ分子ポン
プは空冷式で、ポンプ本体１の下部に冷却ファン（図示
せず）を備えたオイルタンク２を付設している。
ポンプ本体１は、ポンプベース３の中央にモータハウジ
ング４を立設してその内部に機械室Ｍを形成していると
ともに、外周を外枠ケース５で包囲して上方に吸気口６
を、下方に排気口７を有するポンプ室Ｐを形成してい
る。そして、機械室Ｍの中心に駆動軸Ｓを挿通するとと
もに、これを上部オイル軸受８と下部オイル軸受９とで
回転自在に軸支し、更に内設モータ10により該駆動軸Ｓ
を超高速回転させるようにしている。
ング４を立設してその内部に機械室Ｍを形成していると
ともに、外周を外枠ケース５で包囲して上方に吸気口６
を、下方に排気口７を有するポンプ室Ｐを形成してい
る。そして、機械室Ｍの中心に駆動軸Ｓを挿通するとと
もに、これを上部オイル軸受８と下部オイル軸受９とで
回転自在に軸支し、更に内設モータ10により該駆動軸Ｓ
を超高速回転させるようにしている。
一方、ポンプ室Ｐには、モータハウジング４に蓋着した
押え板11の軸貫通部12に微小な隙間13を形成して駆動軸
Ｓの上端部が延出されており、この部分に吊鐘形のロー
タＲが固着されている。そして、このロータＲの外周か
ら多段に突設したロータ翼14を前記外枠ケース５の内周
からスペーサ15に固定して突設した逆向きのステータ翼
16とを交互に配置して、ポンプ室Ｐ内に機械的に排気作
用を営むタービン翼列を構成している。
押え板11の軸貫通部12に微小な隙間13を形成して駆動軸
Ｓの上端部が延出されており、この部分に吊鐘形のロー
タＲが固着されている。そして、このロータＲの外周か
ら多段に突設したロータ翼14を前記外枠ケース５の内周
からスペーサ15に固定して突設した逆向きのステータ翼
16とを交互に配置して、ポンプ室Ｐ内に機械的に排気作
用を営むタービン翼列を構成している。
また、前記オイルタンク２は、機械室Ｍ内の前記両オイ
ル軸受８、９に注入する潤滑兼冷却用の油Ｏを内部に貯
留している。そして、このオイルタンク２内に前記駆動
軸Ｓの下端ノズル部Snを浸漬しており、ポンプの運転中
は、該ノズル部Snから吸い上げられる潤滑油を駆動軸Ｓ
の内部に穿設した油通路17を通して前記両オイル軸受
８、９に連続的に油を給油するようにしている。なお、
これらオイル軸受８、９からの戻り油は機械室Ｍの冷却
に利用した後、ポンプベース３に開口した戻り孔18、19
よりオイルタンク２に戻される。
ル軸受８、９に注入する潤滑兼冷却用の油Ｏを内部に貯
留している。そして、このオイルタンク２内に前記駆動
軸Ｓの下端ノズル部Snを浸漬しており、ポンプの運転中
は、該ノズル部Snから吸い上げられる潤滑油を駆動軸Ｓ
の内部に穿設した油通路17を通して前記両オイル軸受
８、９に連続的に油を給油するようにしている。なお、
これらオイル軸受８、９からの戻り油は機械室Ｍの冷却
に利用した後、ポンプベース３に開口した戻り孔18、19
よりオイルタンク２に戻される。
このような構成を具備してなるターボ分子ポンプにおい
て、駆動軸Ｓの内部に形成された前記油通路17から上下
オイル軸受８、９に対する給油口20a、20bを、下部オイ
ル軸受９に対するものは従来通りその上方位置で開口さ
せるようにしている一方、上部オイル軸受８に対するも
のはその下方直下位置に開口させている。そして、この
上部給油口20aに対向する位置に、軸受ハウジング21に
その上端を固着して環状のオイル反射板22を配設してい
る。この反射板22は、その内周に駆動軸Ｓの軸心Ｘに対
して適当な傾斜角度θをもった上開き状の反射面22aが
形成されている。
て、駆動軸Ｓの内部に形成された前記油通路17から上下
オイル軸受８、９に対する給油口20a、20bを、下部オイ
ル軸受９に対するものは従来通りその上方位置で開口さ
せるようにしている一方、上部オイル軸受８に対するも
のはその下方直下位置に開口させている。そして、この
上部給油口20aに対向する位置に、軸受ハウジング21に
その上端を固着して環状のオイル反射板22を配設してい
る。この反射板22は、その内周に駆動軸Ｓの軸心Ｘに対
して適当な傾斜角度θをもった上開き状の反射面22aが
形成されている。
そして、このオイル軸受８の上方で、駆動軸Ｓにシール
環24を固着しその軸貫通部12で軸受ハウジング21と押え
板11との間に迷路状の隙間23を作り出すラビリンスシー
ル部25を構成するようにしている。
環24を固着しその軸貫通部12で軸受ハウジング21と押え
板11との間に迷路状の隙間23を作り出すラビリンスシー
ル部25を構成するようにしている。
しかして、かかるターボ分子ポンプであると、ポンプ運
転中、その上部オイル軸受８と下部オイル軸受９にオイ
ルタンク２から駆動軸Ｓ内の油通路17を通して連続的に
給油されることになる。その際、下部オイル軸受９へは
給油口20bから従来通りその上方側より注油されるのに
対し、上部オイル軸受８へは給油口20aからその下方側
から注油されることになる。すなわち、駆動軸Ｓの給油
口20aからは高速回転による強力な遠心力の下に先ず水
平に油が吐出し、次いでそれが反射板22の反射面22aに
当って変向し該反射面22aの上端から上部オイル軸受８
の内輪8cとリテーナ8bとの隙間を通して内部のボール8d
等に油が供給される。そして、軸受内部に注油された油
は、その外輪8aとリテーナ8bとの隙間を通して機械室Ｍ
内に還流される。
転中、その上部オイル軸受８と下部オイル軸受９にオイ
ルタンク２から駆動軸Ｓ内の油通路17を通して連続的に
給油されることになる。その際、下部オイル軸受９へは
給油口20bから従来通りその上方側より注油されるのに
対し、上部オイル軸受８へは給油口20aからその下方側
から注油されることになる。すなわち、駆動軸Ｓの給油
口20aからは高速回転による強力な遠心力の下に先ず水
平に油が吐出し、次いでそれが反射板22の反射面22aに
当って変向し該反射面22aの上端から上部オイル軸受８
の内輪8cとリテーナ8bとの隙間を通して内部のボール8d
等に油が供給される。そして、軸受内部に注油された油
は、その外輪8aとリテーナ8bとの隙間を通して機械室Ｍ
内に還流される。
したがって、このような構成、作動を有するものであれ
ば、反射板22の反射面22aにおける傾斜角度θを適当に
調整し、反射板22に当って注入される油量を適当に調節
することにより、上部オイル軸受８の内部に必要な潤滑
油量を確保しつつ、その上端側に浸出する油量を今まで
の上方給油方式に比較して激減させることができる。そ
して、このことが上部オイル軸受８の上方にラビリンス
部25を設けていることと相まって、その上端側から軸貫
通部12の隙間13を通して油蒸気が漏出するのを効果的に
減らし、ターボ分子ポンプのオイルフリー化に奏効する
ものとなる。
ば、反射板22の反射面22aにおける傾斜角度θを適当に
調整し、反射板22に当って注入される油量を適当に調節
することにより、上部オイル軸受８の内部に必要な潤滑
油量を確保しつつ、その上端側に浸出する油量を今まで
の上方給油方式に比較して激減させることができる。そ
して、このことが上部オイル軸受８の上方にラビリンス
部25を設けていることと相まって、その上端側から軸貫
通部12の隙間13を通して油蒸気が漏出するのを効果的に
減らし、ターボ分子ポンプのオイルフリー化に奏効する
ものとなる。
また、前述のように、反射板22はその反射面22aの傾斜
角度θを変えることにより、上部オイル軸受８への給油
量を過不足なく自在に調節することができるし、また、
反射板22の開口部上端が上部軸受８の内輪8c側へ突出す
る寸法ａを可変することにより、該軸受８に対する注油
部位を調節することもできる。
角度θを変えることにより、上部オイル軸受８への給油
量を過不足なく自在に調節することができるし、また、
反射板22の開口部上端が上部軸受８の内輪8c側へ突出す
る寸法ａを可変することにより、該軸受８に対する注油
部位を調節することもできる。
なお、本考案に係るターボ分子ポンプにおいて、その上
部オイル軸受８に対する潤滑油供給状態の適否は、その
上端側が油で湿潤しているかどうかを目視するだけで判
別でき、この点上部給油方式ではその上端側に油が見え
ても必ずしも内部の潤滑状況の良否が判別できなかった
のに比較すると有利である。
部オイル軸受８に対する潤滑油供給状態の適否は、その
上端側が油で湿潤しているかどうかを目視するだけで判
別でき、この点上部給油方式ではその上端側に油が見え
ても必ずしも内部の潤滑状況の良否が判別できなかった
のに比較すると有利である。
以上、一実施例について説明したが、本考案は以下のよ
うな実施態様によっても実施可能である。
うな実施態様によっても実施可能である。
すなわち、上部オイル軸受に対しその下方部に設ける給
油口を、ボール下方位置の内輪取付部で駆動軸上に開口
させ、さらにこの給油口に連通させるようにして内輪を
貫通する油路を設けて、駆動軸の油通路からこれら給油
口および油路を通し軸受内の隙間にそのボール直下付近
から直接潤滑油を注入せしめるようにすることもでき
る。そして、このような実施態様を採る場合は、勿論前
記反射板は不要となる。
油口を、ボール下方位置の内輪取付部で駆動軸上に開口
させ、さらにこの給油口に連通させるようにして内輪を
貫通する油路を設けて、駆動軸の油通路からこれら給油
口および油路を通し軸受内の隙間にそのボール直下付近
から直接潤滑油を注入せしめるようにすることもでき
る。そして、このような実施態様を採る場合は、勿論前
記反射板は不要となる。
なお、反射板を設置する場合、図示の実施例では、それ
を軸受ハウジングに固着するようにしたが、これは上部
オイル軸受の外輪に固着するようにしてもよいし、ある
いは外輪と一体化することも可能である。
を軸受ハウジングに固着するようにしたが、これは上部
オイル軸受の外輪に固着するようにしてもよいし、ある
いは外輪と一体化することも可能である。
［発明の効果］ 以上のように、本発明のターボ分子ポンプは、その上部
オイル軸受に対する給油手段を工夫改良したことによ
り、ポンプ室に隣接する軸受上端側に出る油量を顕著に
少なくすることができ、これに伴ないポンプ室に漏れ出
す油蒸気を減じオイルフリー化に奏効するものである。
オイル軸受に対する給油手段を工夫改良したことによ
り、ポンプ室に隣接する軸受上端側に出る油量を顕著に
少なくすることができ、これに伴ないポンプ室に漏れ出
す油蒸気を減じオイルフリー化に奏効するものである。
第１図は本発明の一実施例を示すターボ分子ポンプの一
部断面図、第２図はその要部の拡大断面図である。第３
図は従来例を示すターボ分子ポンプの要部断面図であ
る。 Ｐ……ポンプ室、Ｍ……機械室 Ｓ……駆動軸、Ｒ……ロータ １……ポンプ本体 ２……オイルタンク ８……上部軸受 ９……下部軸受 17……油通路 20a,20b……給油口 22……オイル反射板、22a……反射面 24……シール環
部断面図、第２図はその要部の拡大断面図である。第３
図は従来例を示すターボ分子ポンプの要部断面図であ
る。 Ｐ……ポンプ室、Ｍ……機械室 Ｓ……駆動軸、Ｒ……ロータ １……ポンプ本体 ２……オイルタンク ８……上部軸受 ９……下部軸受 17……油通路 20a,20b……給油口 22……オイル反射板、22a……反射面 24……シール環
Claims (1)
- 【請求項１】ロータを回転駆動する駆動軸を機械室内で
上部オイル軸受と下部オイル軸受とで回転自在に軸支す
るとともに、これら両オイル軸受に対し前記駆動軸の内
部に設けた油通路から潤滑油を供給するようにしたター
ボ分子ポンプにおいて、前記上部オイル軸受に対する前
記油通路からの給油口を該上部オイル軸受の下方位置に
設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3168586A JPH0674795B2 (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3168586A JPH0674795B2 (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62189395A JPS62189395A (ja) | 1987-08-19 |
| JPH0674795B2 true JPH0674795B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=12337939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3168586A Expired - Fee Related JPH0674795B2 (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0674795B2 (ja) |
-
1986
- 1986-02-14 JP JP3168586A patent/JPH0674795B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62189395A (ja) | 1987-08-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |