JPH067883Y2 - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPH067883Y2 JPH067883Y2 JP1986138904U JP13890486U JPH067883Y2 JP H067883 Y2 JPH067883 Y2 JP H067883Y2 JP 1986138904 U JP1986138904 U JP 1986138904U JP 13890486 U JP13890486 U JP 13890486U JP H067883 Y2 JPH067883 Y2 JP H067883Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure roller
- air cylinder
- shaft
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 31
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 23
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は研磨装置、特に、磁気ディスク基板の塗装膜を
研磨加工する研磨装置に関する。
研磨加工する研磨装置に関する。
従来の研磨装置は、第２図に示すように、研磨用テープ
３２をアルミ円板上に磁性塗料を塗布した磁気ディスク
基板３１（以下、基板と略する。）に圧接する加圧用ロ
ーラ３３と、加圧力を生じさせる加圧用スプリング３６
と、アーム３４を揺動するエアーシリンダ３７とを含ん
で構成される。
３２をアルミ円板上に磁性塗料を塗布した磁気ディスク
基板３１（以下、基板と略する。）に圧接する加圧用ロ
ーラ３３と、加圧力を生じさせる加圧用スプリング３６
と、アーム３４を揺動するエアーシリンダ３７とを含ん
で構成される。
上述の研磨装置は、基板３１をスピンドル３０に保持し
て回転させながら、エアーシリンダ３７を作動して加圧
用ローラ３３を基板３１の側に揺動し、加圧用ローラ３
３の下方に巻き付けた研磨用テープ３２を基板３１に圧
接し、基板３１の回転と研磨用テープ３２の加工面の状
態、及び加圧用スプリング３６で生じる加圧力との相互
作用に依って基板３１の塗装膜の研磨を行なっていた。
て回転させながら、エアーシリンダ３７を作動して加圧
用ローラ３３を基板３１の側に揺動し、加圧用ローラ３
３の下方に巻き付けた研磨用テープ３２を基板３１に圧
接し、基板３１の回転と研磨用テープ３２の加工面の状
態、及び加圧用スプリング３６で生じる加圧力との相互
作用に依って基板３１の塗装膜の研磨を行なっていた。
この時、基板３１の塗装膜が研磨される量は、研磨用テ
ープ３２と基板３１の接触時間に概略比例したものとな
る。
ープ３２と基板３１の接触時間に概略比例したものとな
る。
［考案が解決しようとする問題点］ 上述した従来の研磨装置は、研磨用テープ３２に加わる
研磨加工圧は、加圧用スプリング３６のバネ力で規定さ
れる。従って、加圧用スプリング３６のバネ力を強くし
て加工圧を高めると、所定の研磨量を得るまでの時間は
短縮できるが、加工面が粗く仕上り、逆に加圧用スプリ
ング３６のバネ力を弱めると、滑らかな仕上げ面は得ら
れるが、加工に長時間を要するという欠点があった。
研磨加工圧は、加圧用スプリング３６のバネ力で規定さ
れる。従って、加圧用スプリング３６のバネ力を強くし
て加工圧を高めると、所定の研磨量を得るまでの時間は
短縮できるが、加工面が粗く仕上り、逆に加圧用スプリ
ング３６のバネ力を弱めると、滑らかな仕上げ面は得ら
れるが、加工に長時間を要するという欠点があった。
本考案の研磨装置は、研磨用テープと略同一巾で、外周
を弾性材料で被覆した円筒状の加圧用ローラと、前記加
圧用ローラの中心を貫ぬき、前記加圧用ローラの両端内
径を保持する玉軸受を有するシャフトと、一端に前記シ
ャフトを固定し、中央部に回転支点軸を有し、その回転
支点軸を中心にして揺動するアームと、前記加圧用ロー
ラの取付け位置と反対側の端部にジョイントを介して連
結し、前記アームを揺動するエアーシリンダと、前記エ
アーシリンダの加圧口にチューブで接続し、圧搾空気の
圧力を加工開始工程では高圧力で加工終了工程では低圧
力になるように制御信号に応じて変換し、供給する圧力
変換器とを含んで構成される。
を弾性材料で被覆した円筒状の加圧用ローラと、前記加
圧用ローラの中心を貫ぬき、前記加圧用ローラの両端内
径を保持する玉軸受を有するシャフトと、一端に前記シ
ャフトを固定し、中央部に回転支点軸を有し、その回転
支点軸を中心にして揺動するアームと、前記加圧用ロー
ラの取付け位置と反対側の端部にジョイントを介して連
結し、前記アームを揺動するエアーシリンダと、前記エ
アーシリンダの加圧口にチューブで接続し、圧搾空気の
圧力を加工開始工程では高圧力で加工終了工程では低圧
力になるように制御信号に応じて変換し、供給する圧力
変換器とを含んで構成される。
次に、本考案の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本考案の一実施例を示す斜視図である。図に
おいて、１は、基板２を保持して回転するスピンドルで
ある。４は、基板２と接する面に砥石粒を接着した研磨
用テープ３と略同一巾で、外周部を弾性材料例えばゴム
５で被覆した円筒状の加圧用ローラである。ゴム５は、
研磨用テープ３及び基板２との接触の均一性を得るため
に設ける。６は、加圧用ローラ４の中心部を貫ぬき、そ
の加圧用ローラ４の両端内径を保持する玉軸受７，７′
を有するシャフトである。８は、一端に加圧用ローラ４
を固定し、中央部を回転支転軸９に依って回転可能に支
持されたアームである。１０は、後端をピボット軸１１
で支持され、先端のピストンロッド１２に固定したジョ
イント１３がリンク軸１４を介してアーム８に連結され
たエアーシリンダである。１９は、圧搾空気の圧力を所
定の制御信号に応じて変換し、供給する圧力変換器で、
圧搾空気の出力口である出力ポート１９は、エアーシリ
ンダ１０の加圧用ボート１５とチューブ17で接続されて
いる。２３は、圧搾空気の流路を変更する切換弁であ
り、圧搾空気の一方の出力口は、出力ポートＡ２４であ
り、圧力変換器１９の入力ポート２１にチューブ２２で
接続され、もう一方の出力は、出力ポートＢ２５であ
り、エアーシリンダ１０の戻し用ポート１６にチューブ
１８で接続されている。
おいて、１は、基板２を保持して回転するスピンドルで
ある。４は、基板２と接する面に砥石粒を接着した研磨
用テープ３と略同一巾で、外周部を弾性材料例えばゴム
５で被覆した円筒状の加圧用ローラである。ゴム５は、
研磨用テープ３及び基板２との接触の均一性を得るため
に設ける。６は、加圧用ローラ４の中心部を貫ぬき、そ
の加圧用ローラ４の両端内径を保持する玉軸受７，７′
を有するシャフトである。８は、一端に加圧用ローラ４
を固定し、中央部を回転支転軸９に依って回転可能に支
持されたアームである。１０は、後端をピボット軸１１
で支持され、先端のピストンロッド１２に固定したジョ
イント１３がリンク軸１４を介してアーム８に連結され
たエアーシリンダである。１９は、圧搾空気の圧力を所
定の制御信号に応じて変換し、供給する圧力変換器で、
圧搾空気の出力口である出力ポート１９は、エアーシリ
ンダ１０の加圧用ボート１５とチューブ17で接続されて
いる。２３は、圧搾空気の流路を変更する切換弁であ
り、圧搾空気の一方の出力口は、出力ポートＡ２４であ
り、圧力変換器１９の入力ポート２１にチューブ２２で
接続され、もう一方の出力は、出力ポートＢ２５であ
り、エアーシリンダ１０の戻し用ポート１６にチューブ
１８で接続されている。
次に動作について説明する。
加圧用ローラ４の初期位置は、研磨用テープ３を下方に
巻付け、基板２から離れて上方に位置する。つまり、本
考案の要旨の一つである圧搾空気の流れでいいかえて説
明すると、図示していない圧搾空気発生源から圧送され
た圧搾空気は、チューブ２７を通じて入力ポート２６に
導入され、切換弁２３に依って出力ポートＢ２５側に送
出され、チューブ１８を通じて戻し用ポート１６に供給
された状態であり、エアーシリンダ１０は、ピストンロ
ッド１２が加圧用ポート１５側の方向に下降した状態と
なる。まず、前述の状態で、基板２を保持したスピンド
ル１を作動して、基板２を回転させながら、切換弁２３
を作動し、圧搾空気を出力ポートＢ２５側から出力ポー
トＡ２４側に切換えて送出し、チューブ２２を通じて圧
力変換器１９の入力ポート２１に供給する。次いで、圧
力変換器１９を所定の制御信号に応じて作動し、圧搾空
気を所定の圧力に変換し、出力ポート２０から、チュー
ブ１７を通して、加圧用ポート１５へ供給し、エアーシ
リンダ１０のピストンロッド１２を上昇させ、回転支点
軸９を回転中心にしてアーム８を揺動し、研磨用テープ
３を介して加圧用ローラ４を基板２へ圧接する。続い
て、加圧用ローラ４を基板２に圧接した状態を所定時間
維持し、研磨用テープ３を図示していないテープ送り機
構などで送りながら、基板２の塗装膜を研磨加工する。
この間、圧力変換器１９を所定の制御信号に応じて作動
し、加圧用ポート１５に供給する圧搾空気の圧力、すな
わち加圧用ローラ４に加える研磨加工圧を加工時間の経
過に併ない、概略次のように変換して供給する。
巻付け、基板２から離れて上方に位置する。つまり、本
考案の要旨の一つである圧搾空気の流れでいいかえて説
明すると、図示していない圧搾空気発生源から圧送され
た圧搾空気は、チューブ２７を通じて入力ポート２６に
導入され、切換弁２３に依って出力ポートＢ２５側に送
出され、チューブ１８を通じて戻し用ポート１６に供給
された状態であり、エアーシリンダ１０は、ピストンロ
ッド１２が加圧用ポート１５側の方向に下降した状態と
なる。まず、前述の状態で、基板２を保持したスピンド
ル１を作動して、基板２を回転させながら、切換弁２３
を作動し、圧搾空気を出力ポートＢ２５側から出力ポー
トＡ２４側に切換えて送出し、チューブ２２を通じて圧
力変換器１９の入力ポート２１に供給する。次いで、圧
力変換器１９を所定の制御信号に応じて作動し、圧搾空
気を所定の圧力に変換し、出力ポート２０から、チュー
ブ１７を通して、加圧用ポート１５へ供給し、エアーシ
リンダ１０のピストンロッド１２を上昇させ、回転支点
軸９を回転中心にしてアーム８を揺動し、研磨用テープ
３を介して加圧用ローラ４を基板２へ圧接する。続い
て、加圧用ローラ４を基板２に圧接した状態を所定時間
維持し、研磨用テープ３を図示していないテープ送り機
構などで送りながら、基板２の塗装膜を研磨加工する。
この間、圧力変換器１９を所定の制御信号に応じて作動
し、加圧用ポート１５に供給する圧搾空気の圧力、すな
わち加圧用ローラ４に加える研磨加工圧を加工時間の経
過に併ない、概略次のように変換して供給する。
(1)加工時間の当初の時期は、研磨加工量を多くし、加
工時間の短縮を計るために、圧搾空気の圧力を高くす
る。
工時間の短縮を計るために、圧搾空気の圧力を高くす
る。
(2)加工時間の終了時期は、研磨加工量を少なくし、滑
らかな仕上面を得るために、圧搾空気の圧力を低くす
る。次ぎに、切換弁２４を作動し、圧搾空気の流路を初
期状態に切換え、加圧用ローラ４を基板２から引離し、
スピンドル１の回転を停止して加工を終了する。
らかな仕上面を得るために、圧搾空気の圧力を低くす
る。次ぎに、切換弁２４を作動し、圧搾空気の流路を初
期状態に切換え、加圧用ローラ４を基板２から引離し、
スピンドル１の回転を停止して加工を終了する。
本考案の研磨装置は、研磨加工圧を一定の圧力に規定す
るスプリングを設けるかわりに、研磨加工圧を決定する
圧搾空気の圧力値を加工開始工程では高圧力で加工終了
工程では低圧力になるように設定した制御信号に応じて
変換できる圧力変換器と、それに接続エアーシリンダと
を設けたことにより、効率良く短時間に、しかも良好な
研磨仕上げ面が得られるという効果がある。
るスプリングを設けるかわりに、研磨加工圧を決定する
圧搾空気の圧力値を加工開始工程では高圧力で加工終了
工程では低圧力になるように設定した制御信号に応じて
変換できる圧力変換器と、それに接続エアーシリンダと
を設けたことにより、効率良く短時間に、しかも良好な
研磨仕上げ面が得られるという効果がある。
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２図は、従
来の一例を示す斜視図である。 １……スピンドル、２……基板、３……研磨用テープ、
４……加圧用ローラ、８……アーム、９……回転支点
軸、１０……エアーシリンダ、１９……圧力変換器、２
３……切換弁、３０……スピンドル、３１……基板、３
２……研磨用テープ、３３……加圧用ローラ、３６……
加圧用スプリング。
来の一例を示す斜視図である。 １……スピンドル、２……基板、３……研磨用テープ、
４……加圧用ローラ、８……アーム、９……回転支点
軸、１０……エアーシリンダ、１９……圧力変換器、２
３……切換弁、３０……スピンドル、３１……基板、３
２……研磨用テープ、３３……加圧用ローラ、３６……
加圧用スプリング。
Claims (1)
- 【請求項１】研磨用テープと略同一巾で外周を弾性材料
で被覆した円筒状の加圧用ローラと、前記加圧用ローラ
の中心を貫ぬき前記加圧用ローラの両端内径を保持する
玉軸受を有するシャフトと、一端に前記シャフトを固定
し中央部に回転支点軸を有しその回転支点軸を中心にし
て揺動するアームと、前記加圧用ローラの取付け位置と
反対側の端部にジョイントを介して連結し前記アームを
揺動するエアーシリンダと、前記エアーシリンダの加圧
口にチューブで接続し圧搾空気の圧力を加工開始工程で
は高圧力で加工終了工程では低圧力になるように制御信
号に応じて変換し供給する圧力変換器とを含むことを特
徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986138904U JPH067883Y2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986138904U JPH067883Y2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344753U JPS6344753U (ja) | 1988-03-25 |
| JPH067883Y2 true JPH067883Y2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=31044308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986138904U Expired - Lifetime JPH067883Y2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067883Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1015802A (ja) * | 1996-07-10 | 1998-01-20 | Sony Corp | 研磨装置および研磨方法 |
| JP2011224680A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Ebara Corp | 研磨方法及び研磨装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5622211A (en) * | 1979-07-30 | 1981-03-02 | Hitachi Ltd | Finishing method and its device for magnetic head |
| JPS6076954A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-05-01 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気デイスク研摩装置 |
-
1986
- 1986-09-09 JP JP1986138904U patent/JPH067883Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6344753U (ja) | 1988-03-25 |
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