JPH0680444B2 - ルネブルグレンズの作製方法 - Google Patents
ルネブルグレンズの作製方法Info
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- JPH0680444B2 JPH0680444B2 JP57060235A JP6023582A JPH0680444B2 JP H0680444 B2 JPH0680444 B2 JP H0680444B2 JP 57060235 A JP57060235 A JP 57060235A JP 6023582 A JP6023582 A JP 6023582A JP H0680444 B2 JPH0680444 B2 JP H0680444B2
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- JP
- Japan
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- lens
- luneburg lens
- luneburg
- focal length
- waveguide
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/62—Optical apparatus specially adapted for adjusting optical elements during the assembly of optical systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
- G02B6/1245—Geodesic lenses
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明はルネブルグレンズに係わり、特に焦点距離を調
節できるルネブルグレンズの形成法に関する。
節できるルネブルグレンズの形成法に関する。
光集積化は、スキヤナー、デフレクター、モジユレータ
ー、スイツチ、RFスペクトラムアナライザー、コンボル
バー、コリレーター、マルチプレクサー及びデマルチプ
レクサーなどの信号処理用の新しいデバイスを提供する
のに適した方法である。何故ならば配置を平面内に小さ
く固定でき、且つバツチ処理技術によつて製造できるよ
うな構造に於いて、光学処理原理を用いて高性能且つ高
速な操作が可能となる為である。
ー、スイツチ、RFスペクトラムアナライザー、コンボル
バー、コリレーター、マルチプレクサー及びデマルチプ
レクサーなどの信号処理用の新しいデバイスを提供する
のに適した方法である。何故ならば配置を平面内に小さ
く固定でき、且つバツチ処理技術によつて製造できるよ
うな構造に於いて、光学処理原理を用いて高性能且つ高
速な操作が可能となる為である。
前記各デバイスには、結像、空間フイルタリング、フオ
カーシング及びフーリエ解析を行う為に、導波された光
束の形状を調整する薄膜導波路レンズが必要である。こ
れらの適用にかなうように該レンズは効率が高く、性能
が良く、安定性も充分でなければならない。更に充分に
コリメートされた導波光束或いは充分に小さなビーム径
を必要とするようなより高度な応用にとつては、レンズ
形状によつて決まる焦点距離が正しくレンズ設計仕様を
満足するような正確さが欠かせない条件となる。
カーシング及びフーリエ解析を行う為に、導波された光
束の形状を調整する薄膜導波路レンズが必要である。こ
れらの適用にかなうように該レンズは効率が高く、性能
が良く、安定性も充分でなければならない。更に充分に
コリメートされた導波光束或いは充分に小さなビーム径
を必要とするようなより高度な応用にとつては、レンズ
形状によつて決まる焦点距離が正しくレンズ設計仕様を
満足するような正確さが欠かせない条件となる。
前記のような使用目的の為に、しばしば考慮される光集
積の為のレンズの典型的な種類の一つとしてルネブルグ
レンズがある。ルネブルグレンズは、典型的な屈折率勾
配を有するレンズの一つであり、定円の弧を第２の定円
の弧に完全に焦点を合わせるような円対称の屈折率分布
を持つ。このようなルネブルグレンズは、ある特定の開
口形状を有するマスクを通して導波路表面にレンズ材料
をスパツタリングするか又は蒸着することによつて形成
される。S.K.Yao他、Guided−wave Optical Thin−Film
Luneburg Lenses:Fabrication Technique and Propert
ies,Appl.Optics,18,4067（1979）。
積の為のレンズの典型的な種類の一つとしてルネブルグ
レンズがある。ルネブルグレンズは、典型的な屈折率勾
配を有するレンズの一つであり、定円の弧を第２の定円
の弧に完全に焦点を合わせるような円対称の屈折率分布
を持つ。このようなルネブルグレンズは、ある特定の開
口形状を有するマスクを通して導波路表面にレンズ材料
をスパツタリングするか又は蒸着することによつて形成
される。S.K.Yao他、Guided−wave Optical Thin−Film
Luneburg Lenses:Fabrication Technique and Propert
ies,Appl.Optics,18,4067（1979）。
しかし、マスクと基板位置のアライメントに誤まりがあ
つたり又は堆積状況に偶然間違いがあつて屈折率にわず
かな違いが生ずることによつて、ルネブルグレンズはし
ばしば設計値とは異なつた焦点距離をもつことがある。
つたり又は堆積状況に偶然間違いがあつて屈折率にわず
かな違いが生ずることによつて、ルネブルグレンズはし
ばしば設計値とは異なつた焦点距離をもつことがある。
たとえば特別な意を払つたとしても、レンズ作製プロセ
ス上、前記問題点を是正することは通例きわめて難し
い。従つてレンズ作製プロセスにおけるエラーを是正す
るために作製されたルネブルグレンズの焦点距離を何と
かして調整することが必要である。さもなければそのよ
うなデバイスのトータルの製造コストはかなり高くなつ
てしまうう。
ス上、前記問題点を是正することは通例きわめて難し
い。従つてレンズ作製プロセスにおけるエラーを是正す
るために作製されたルネブルグレンズの焦点距離を何と
かして調整することが必要である。さもなければそのよ
うなデバイスのトータルの製造コストはかなり高くなつ
てしまうう。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、予め
定められた値に正確に調整された焦点距離を持つルネブ
ルグレンズを安価に作製する方法を提供することにあ
る。
定められた値に正確に調整された焦点距離を持つルネブ
ルグレンズを安価に作製する方法を提供することにあ
る。
本発明の上記目的は、導波路上にエネルギー輻射によつ
て屈折率が変化する材料からルネブルグレンズを形成す
る過程と、該ルネブルグレンズの焦点距離が予め定めら
れた値に調整されるまで形成されたルネブルグレンズを
エネルギー輻射にさらす過程と、該調整されたルネブル
グレンズを外部輻射から守る保護層で覆う過程とから成
るルネブルグレンズの作製方法によって達成される。
て屈折率が変化する材料からルネブルグレンズを形成す
る過程と、該ルネブルグレンズの焦点距離が予め定めら
れた値に調整されるまで形成されたルネブルグレンズを
エネルギー輻射にさらす過程と、該調整されたルネブル
グレンズを外部輻射から守る保護層で覆う過程とから成
るルネブルグレンズの作製方法によって達成される。
また、強誘電体LiNbO3結晶基板上に蒸着したTi膜を熱拡
散することによつて形成される効率が高く、性能の良い
導波路上に、蒸着によつて薄膜ルネブルグレンズを形成
する材料として、特にAs2S3が適していることを発見し
た。Ti内部拡散LiNbO3導波路は、長所として損失の少な
い光伝播特性（〜1dB/cm）と大きな音響光学定数を持
つ。更にAs2S3及びTi内部拡散LiNbO3導波路の屈折率
は、TM0モードで、空気中での波長が0.8300ミクロンで
ある半導体レーザ光に対しては、それぞれ約2.37及び2.
27であり、空気中での波長が0.6328ミクロンであるHe−
Neレーザ光に対しては、それぞれ約2.39及び2.29であ
る。それ故As2S3ルネブルグレンズは、Ti内部拡散導波
路内を伝播すする上記波長の光を有効に集光又は平行光
とするのに役立つ。
散することによつて形成される効率が高く、性能の良い
導波路上に、蒸着によつて薄膜ルネブルグレンズを形成
する材料として、特にAs2S3が適していることを発見し
た。Ti内部拡散LiNbO3導波路は、長所として損失の少な
い光伝播特性（〜1dB/cm）と大きな音響光学定数を持
つ。更にAs2S3及びTi内部拡散LiNbO3導波路の屈折率
は、TM0モードで、空気中での波長が0.8300ミクロンで
ある半導体レーザ光に対しては、それぞれ約2.37及び2.
27であり、空気中での波長が0.6328ミクロンであるHe−
Neレーザ光に対しては、それぞれ約2.39及び2.29であ
る。それ故As2S3ルネブルグレンズは、Ti内部拡散導波
路内を伝播すする上記波長の光を有効に集光又は平行光
とするのに役立つ。
従つて、Ti内部拡散LiNbO3導波路に薄膜のAs2S3ルネブ
ルグレンズをのせるという組み合わせは、特にRFスペク
トラムアナライザ又はビームスキヤニングモジユールの
ようなデバイスに適している。何故ならば、該導波路の
特長である損失の少ない光伝播特性と大きな音響光学定
数を有し、又導波路とレンズの屈折率の差が大きいため
As2S3ルネブルグレンズのパワーが大きいからである。
ルグレンズをのせるという組み合わせは、特にRFスペク
トラムアナライザ又はビームスキヤニングモジユールの
ようなデバイスに適している。何故ならば、該導波路の
特長である損失の少ない光伝播特性と大きな音響光学定
数を有し、又導波路とレンズの屈折率の差が大きいため
As2S3ルネブルグレンズのパワーが大きいからである。
以下に記載する本発明の詳細がよりよく理解され、また
当該技術に関して本発明の寄与する処が正しく評価され
る為に、以上、本発明の重要な特徴事項について概略を
述べた。いうまでもなく、前述の事項には後述するよう
な本発明の付加的な特徴事項があり、それらは添付した
特許請求の範囲の要旨を成すものである。当業者には本
発明が、本発明と同様のいくつかの目的を実現するため
の別の方法を構成する基本として利用し得ることが認ら
れるであろう。従つて特許請求の範囲は本発明の範囲か
ら逸脱しない限りにおいて、前記の如き同等の構成を包
含するものと考えられる。
当該技術に関して本発明の寄与する処が正しく評価され
る為に、以上、本発明の重要な特徴事項について概略を
述べた。いうまでもなく、前述の事項には後述するよう
な本発明の付加的な特徴事項があり、それらは添付した
特許請求の範囲の要旨を成すものである。当業者には本
発明が、本発明と同様のいくつかの目的を実現するため
の別の方法を構成する基本として利用し得ることが認ら
れるであろう。従つて特許請求の範囲は本発明の範囲か
ら逸脱しない限りにおいて、前記の如き同等の構成を包
含するものと考えられる。
第１図はAs2S3より屈折率の低い材料より成る導波路２
上にマスク蒸着によつて形成されるAs2S3ルネブルグレ
ンズ１を示す。導波路２はＹカツトLiNbO3か又は他の材
料より成る基板３上に設けられる。導波路２は基板３よ
り屈折率がいくらか高く、導波路内の光伝播条件を満足
させている。
上にマスク蒸着によつて形成されるAs2S3ルネブルグレ
ンズ１を示す。導波路２はＹカツトLiNbO3か又は他の材
料より成る基板３上に設けられる。導波路２は基板３よ
り屈折率がいくらか高く、導波路内の光伝播条件を満足
させている。
As2S3を蒸着して形成されるルネブルグレンズの組成は
主としてAs2S3であるが、蒸着したばかりのレンズに異
なつた組成比を持つ硫化砒素化合物がいくらか含まれて
いてもよい。
主としてAs2S3であるが、蒸着したばかりのレンズに異
なつた組成比を持つ硫化砒素化合物がいくらか含まれて
いてもよい。
第１ステツプ、つまり、実際のルネブルグレンズの作製
ププロセスの第１段階に於いては、As2S3ルネブルグレ
ンズ１の中心から、レーザーダイオード５より出射した
発散ビーム６がバツトカツプリング（butt−coupling）
される導波路端面４までの距離“C"がAs2S3ルネブルグ
レンズ１の設計上の焦点距離として設定される。しかし
蒸着直後のレンズの屈折率は設計上の屈折率より小さい
ので、この焦点距離は設計上の焦点距離より長くなつて
しまう。従つてルネブルグレンズ蒸着直後は、導波路２
内を伝播する発散ビーム６がAs2S3レンズによつて完全
にコリメートされることはない。
ププロセスの第１段階に於いては、As2S3ルネブルグレ
ンズ１の中心から、レーザーダイオード５より出射した
発散ビーム６がバツトカツプリング（butt−coupling）
される導波路端面４までの距離“C"がAs2S3ルネブルグ
レンズ１の設計上の焦点距離として設定される。しかし
蒸着直後のレンズの屈折率は設計上の屈折率より小さい
ので、この焦点距離は設計上の焦点距離より長くなつて
しまう。従つてルネブルグレンズ蒸着直後は、導波路２
内を伝播する発散ビーム６がAs2S3レンズによつて完全
にコリメートされることはない。
スクリーン９は端部出射された光ビーム８の幅を求める
為に、導波路端面11から適当な距離をおいて設けられて
いる。スクリーン９上の光ビームの幅“A"は、蒸着直後
のルネブルグレンズ１がレンズの設計上の焦点距離をも
つ場合に得られる正しくコリメートされた光ビーム７の
幅“B"より広い。
為に、導波路端面11から適当な距離をおいて設けられて
いる。スクリーン９上の光ビームの幅“A"は、蒸着直後
のルネブルグレンズ１がレンズの設計上の焦点距離をも
つ場合に得られる正しくコリメートされた光ビーム７の
幅“B"より広い。
第２ステツプでは、この状態において正しい焦点距離を
持つAs2S3レンズを得るために、外部エネルギー輻射、
例えば光或いは熱輻射、好ましくは紫外（U.V）光10
を、スクリーン９上のビーム幅“A"が正しくコリメート
された場合のビーム幅“B"と等しくなるまでAs2S3レン
ズに極めて短時間の照射を繰り返す、或いは連続して照
射する。As2S3レンズの焦点距離を正確に調整するには
スクリーン位置にスクリーンの代わりにダイオードセン
サーアレイ（図示していない）を配置して紫外光源用操
作スイツチにダイオードセンサーアレイの出力を相関作
用させることが好ましい。上述のような紫外光の照射を
調整する構成により、As2S3レンズへの露光はセンサー
アレイからの信号の監視に従つて自動的に行なわれ且つ
正しいビーム幅“B"即ちAs2S3ルネブルグレンズが正し
い焦点距離“C"を持つ事を検知した時に露光を終了す
る。
持つAs2S3レンズを得るために、外部エネルギー輻射、
例えば光或いは熱輻射、好ましくは紫外（U.V）光10
を、スクリーン９上のビーム幅“A"が正しくコリメート
された場合のビーム幅“B"と等しくなるまでAs2S3レン
ズに極めて短時間の照射を繰り返す、或いは連続して照
射する。As2S3レンズの焦点距離を正確に調整するには
スクリーン位置にスクリーンの代わりにダイオードセン
サーアレイ（図示していない）を配置して紫外光源用操
作スイツチにダイオードセンサーアレイの出力を相関作
用させることが好ましい。上述のような紫外光の照射を
調整する構成により、As2S3レンズへの露光はセンサー
アレイからの信号の監視に従つて自動的に行なわれ且つ
正しいビーム幅“B"即ちAs2S3ルネブルグレンズが正し
い焦点距離“C"を持つ事を検知した時に露光を終了す
る。
露光によつて生ずる蒸着されたAs2S3膜の屈折率変化
は、photorefractive effectと云われている。これはあ
る波長の光の照射による屈折率の変化として定義され且
つホログラフイツク記録材料のような他の分野でも使用
されて成功している。屈折率の増加量は照射光10の波長
及び全エネルギーに依存しており、紫外光又は青色光の
ように波長の短い光線は屈折率の増加をひき起こすのに
より有効である。
は、photorefractive effectと云われている。これはあ
る波長の光の照射による屈折率の変化として定義され且
つホログラフイツク記録材料のような他の分野でも使用
されて成功している。屈折率の増加量は照射光10の波長
及び全エネルギーに依存しており、紫外光又は青色光の
ように波長の短い光線は屈折率の増加をひき起こすのに
より有効である。
ルネブルグレンズの設計上の焦点距離は所望の平行ビー
ムの幅及びレンズの屈折率に従つて選定される。焦点を
調整する際に余裕をいくらかもたせるため露光によつて
屈折率が最大になる時の焦点距離が設計上の焦点距離よ
り短かくなるようにルネブルグレンズを設計することが
好ましい。蒸着直後のレンズは設計値より屈折率が小さ
くなるので、実際の焦点距離は設計上の焦点距離より長
くなる。紫外線にさらすと焦点距離は設計値まで減少
し、更に所望するなら飽和状態の時に得られる最少焦点
距離まで減らすことができる。
ムの幅及びレンズの屈折率に従つて選定される。焦点を
調整する際に余裕をいくらかもたせるため露光によつて
屈折率が最大になる時の焦点距離が設計上の焦点距離よ
り短かくなるようにルネブルグレンズを設計することが
好ましい。蒸着直後のレンズは設計値より屈折率が小さ
くなるので、実際の焦点距離は設計上の焦点距離より長
くなる。紫外線にさらすと焦点距離は設計値まで減少
し、更に所望するなら飽和状態の時に得られる最少焦点
距離まで減らすことができる。
第２図は、第１図と同様にAs2S3材料から成るルネブル
グレンズ１、導波路２、及び基板３を示す。第１図の実
施例に見られるように、As2S3ルネブルグレンズの中心
位置は端面11から設計上の焦点距離に等しく設置される
ので、直角プリズム12によつて結合される平行シートビ
ーム13はAs2S3の屈折率が小さい時つまり蒸着直後には
いくらか焦点がぼける。光線はダイオードセンサーアレ
イ（図示していない）により導波路２の端面11において
検知される。
グレンズ１、導波路２、及び基板３を示す。第１図の実
施例に見られるように、As2S3ルネブルグレンズの中心
位置は端面11から設計上の焦点距離に等しく設置される
ので、直角プリズム12によつて結合される平行シートビ
ーム13はAs2S3の屈折率が小さい時つまり蒸着直後には
いくらか焦点がぼける。光線はダイオードセンサーアレ
イ（図示していない）により導波路２の端面11において
検知される。
As2S3ルネブルグレンズ１の焦点距離を調節し、導波路
２の端面11に正しく集光されたビームスポツト17を形成
するためには、ダイオードセンサーアレイからの出力信
号を監視することによつて前記端面11のスポツトの大き
さが最小になるまで、外部光10好ましくは紫外光を、パ
ルス光源のように、As2S3レンズ１に短時間の照射を繰
り返し行うように設ける。
２の端面11に正しく集光されたビームスポツト17を形成
するためには、ダイオードセンサーアレイからの出力信
号を監視することによつて前記端面11のスポツトの大き
さが最小になるまで、外部光10好ましくは紫外光を、パ
ルス光源のように、As2S3レンズ１に短時間の照射を繰
り返し行うように設ける。
外部輻射特に紫外線に誤まつてさらしたり周囲の大気か
らAs2S3レンズの中へ湿気が入り込むなどの原因でAs2S3
の屈折率をそれ以上不要に変化させないために、処理済
As2S3レンズを保護コーテイングで覆うことも有効であ
る。前記保護コーテイングには、有機フオトレジストか
又はレンズ材料を熱で劣化させることなく用いることの
できる他の材料のような屈折率の低い膜と該膜上に堆積
するAl,Au,Agといつたた高反射膜との組み合わせが光に
よつて更にひき起こされる。As2S3ルネブルグレンズの
屈折率の変化を防ぐのに十分役立つ。前記低屈折率膜の
厚さは好ましくは1000Åかそれ以上であり、一方反射膜
の厚さは500Åかそれ以上であることが望ましい。この
ような保護膜付ルネブルグレンズについては、本出願人
によつてU.S.P.Serial No.254,471の中に開示され、特
許請求がなされている。
らAs2S3レンズの中へ湿気が入り込むなどの原因でAs2S3
の屈折率をそれ以上不要に変化させないために、処理済
As2S3レンズを保護コーテイングで覆うことも有効であ
る。前記保護コーテイングには、有機フオトレジストか
又はレンズ材料を熱で劣化させることなく用いることの
できる他の材料のような屈折率の低い膜と該膜上に堆積
するAl,Au,Agといつたた高反射膜との組み合わせが光に
よつて更にひき起こされる。As2S3ルネブルグレンズの
屈折率の変化を防ぐのに十分役立つ。前記低屈折率膜の
厚さは好ましくは1000Åかそれ以上であり、一方反射膜
の厚さは500Åかそれ以上であることが望ましい。この
ような保護膜付ルネブルグレンズについては、本出願人
によつてU.S.P.Serial No.254,471の中に開示され、特
許請求がなされている。
実施例 ２個のAs2S3ルネブルグレンズのサンプルを、ＹキツトT
i内部拡散LiNbO3導波路上に、8mmの直径と0.8ミクロン
の中心厚を持つように、１×10-5Torrの高真空状態でAs
2S3溶融ガラスを入れた水晶坩堝からマスク蒸着によつ
て形成した。下記表はアルゴンレーザ光又はU.V.黒色光
にさらした結果を示す。
i内部拡散LiNbO3導波路上に、8mmの直径と0.8ミクロン
の中心厚を持つように、１×10-5Torrの高真空状態でAs
2S3溶融ガラスを入れた水晶坩堝からマスク蒸着によつ
て形成した。下記表はアルゴンレーザ光又はU.V.黒色光
にさらした結果を示す。
この方法は、導波路内を伝播する光ビームを弾性表面波
によつて偏向させる光束走査装置を製造する場合に、特
に有効である。
によつて偏向させる光束走査装置を製造する場合に、特
に有効である。
このように本発明の好ましい態様について特に述べてき
たが、本発明を理解すれば、添付の特許請求の範囲に規
定される発明の範囲から逸脱することなく種々の変形を
なしうることは、当業者にとつては自明であろう。例え
ばレンズの材料として、As2S3以外のカルコーゲンガラ
ス等を用いることもできる。
たが、本発明を理解すれば、添付の特許請求の範囲に規
定される発明の範囲から逸脱することなく種々の変形を
なしうることは、当業者にとつては自明であろう。例え
ばレンズの材料として、As2S3以外のカルコーゲンガラ
ス等を用いることもできる。
以上説明したように本発明は、ルネブルグレンズの作製
方法において、ルネブルグレンズをエネルギー輻射にさ
らすことによつて焦点距離を調整し、その後、調整され
たルネブルグレンズを外部輻射から守る保護層で覆うよ
うにしたので、作製コストを高めることなく、作製され
たルネブルグレンズの焦点距離の精度を向上させる効果
が得られたものである。
方法において、ルネブルグレンズをエネルギー輻射にさ
らすことによつて焦点距離を調整し、その後、調整され
たルネブルグレンズを外部輻射から守る保護層で覆うよ
うにしたので、作製コストを高めることなく、作製され
たルネブルグレンズの焦点距離の精度を向上させる効果
が得られたものである。
第１図は本発明に従つたAs2S3ルネブルグレンズをコリ
メーテイングレンズとして用いる場合を示す透視図、第
２図は本発明に従つたAs2S3ルネブルグレンズを集光レ
ンズとして用いる場合を図示した透視図である。 １……As2S3ルネブルグレンズ ２……導波路 ３……基板 4,11……導波路端面 ５……半導体レーザ ６……発散ビーム 7,8……光ビーム ９……スクリーン 10……外部エネルギー輻射
メーテイングレンズとして用いる場合を示す透視図、第
２図は本発明に従つたAs2S3ルネブルグレンズを集光レ
ンズとして用いる場合を図示した透視図である。 １……As2S3ルネブルグレンズ ２……導波路 ３……基板 4,11……導波路端面 ５……半導体レーザ ６……発散ビーム 7,8……光ビーム ９……スクリーン 10……外部エネルギー輻射
Claims (2)
- 【請求項１】予め定められた焦点距離を持つルネブルグ
レンズを作製する方法において、導波路上にエネルギー
輻射によって屈折率が変化する材料からルネブルグレン
ズを形成する過程と、該ルネブルグレンズの焦点距離が
予め定められた値に調整されるまで形成されたルネブル
グレンズをエネルギー輻射にさらす過程と、該調整され
たルネブルグレンズを外部輻射から守る保護層で覆う過
程とから成ることを特徴とするルネブルグレンズの作製
方法。 - 【請求項２】前記ルネブルグレンズの材料がAs2S3であ
り、前記エネルギー輻射が紫外光である特許請求の範囲
第１項記載のルネブルグレンズの作製方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/254,465 US4369202A (en) | 1981-04-15 | 1981-04-15 | Method of adjusting a Luneburg lens |
| US254465 | 1981-04-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57176007A JPS57176007A (en) | 1982-10-29 |
| JPH0680444B2 true JPH0680444B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=22964413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57060235A Expired - Lifetime JPH0680444B2 (ja) | 1981-04-15 | 1982-04-09 | ルネブルグレンズの作製方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4369202A (ja) |
| JP (1) | JPH0680444B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CA2259350A1 (en) | 1999-01-20 | 2000-07-20 | Hamid Hatami-Hanza | Method for volume production of optical grating devices with tuning capability |
-
1981
- 1981-04-15 US US06/254,465 patent/US4369202A/en not_active Expired - Lifetime
-
1982
- 1982-04-09 JP JP57060235A patent/JPH0680444B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57176007A (en) | 1982-10-29 |
| US4369202A (en) | 1983-01-18 |
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