JPH068052A - 放電加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 集中放電の発生を防止し、集中放電が生じた
ときその集中放電を効率よく解除する。 【構成】 ２つに分割された加工工具電極２，２´をサ
ーボモータ３，３´で伝動機構４，４´を介して駆動す
る。放電加工用電源装置５によって加工工具電極２，２
´と被加工物１間に電圧を印加し、電流センサ７，７´
で分割加工工具電極２，２´に流れる電流を検出する。
電極運動制御装置６は、平均ギャップ電圧Ｖｇに基づい
て、サーボモータ３，３´を駆動制御し分割加工工具電
極２，２´を移動させる。電流センサ７，７´からの信
号で放電の集中を検出し（電極２または２´のどちらか
一方で放電が集中しているか否か）、集中放電が検出さ
れると、電極運動制御装置６は集中放電が発生している
電極を被加工物から遠ざけ、他方を被加工物に近付け
る。また、電極２，２´と被加工物間の間隙の大きさを
交互に周期的に大きくしたり小さくする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、放電加工方法に関し、
特に、形彫放電加工機による放電加工方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】形彫放電加工機は、加工工具電極と被加
工物を絶縁性の加工液を満たした加工槽内で加工工具電
極と被加工物を微小な間隙を隔てて対向させ、両者の間
に電圧を印加し、放電を生じせしめて被加工物を部分的
に除去し、かつ、順次放電位置を変えて被加工物を加工
するものである。そのため、放電位置が一定位置に集中
することは好ましくない。しかし、放電間隙の汚染状態
（加工屑濃度）、残留イオン濃度などの不均一により、
放電の発生が加工工具電極と被加工物との間で局所的に
集中する場合がある。このような場合、従来は、加工工
具電極または被加工物を移動させて、加工工具電極と被
加工物との間の距離を増大させることによってその間の
抵抗を増大させて放電の発生を防止し、集中放電位置で
の放電発生の頻度を低下させている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、集中
放電が発生した場合、従来は、加工工具電極を被加工物
に対して相対的に移動させてその間隙を均一に増大させ
て、集中放電を防止するものであるが、この方法では、
集中放電が発生している箇所（位置）に関係なく加工工
具電極と被加工物間の間隙を増大させるものであるか
ら、集中放電発生位置ばからではなく、他の位置も同様
に間隙が増大することになる。そのため、放電の集中に
よって加工屑や残留イオンの濃度が高い位置（集中放電
発生位置近傍）では、引続き他の位置に比べ放電が発生
し易いことになり、従来の方法で集中放電を解除するこ
とは容易ではなく、満足できる集中放電解除方法ではな
かった。

【０００４】さらに、放電の発生が集中している箇所で
の放電頻度を低減しようとすると、全体的な放電頻度が
低下して加工能率が悪化するという問題があった。そこ
で、本願発明の目的は、集中放電が発生し難い放電加工
方法を提供することにあり、さらには、集中放電が発生
したとき、該集中放電を容易に解消できる放電加工方法
を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、加工工具電極
と被加工物の対向面間の距離が不均一になるように、加
工工具電極と被加工物のどちらか一方もしくは両者を周
期的に移動させ放電生成位置を強制的に移動させる方法
を採ることによって集中放電の発生を予防する。また、
集中放電が検出されると、加工工具電極と被加工物の対
向面間の距離が不均一になるように、加工工具電極と被
加工物のどちらか一方もしくは両者を周期的に移動させ
放電生成位置を強制的に移動させることにより、集中放
電を解除させる。また、放電発生位置を検出し、放電が
集中している位置の加工工具電極と被加工物間の距離を
他の位置に対して相対的に大きくするように、加工工具
電極と被加工物のどちらか一方もしくは両者を移動さ
せ、放電生成位置を強制的に移動させることにより、集
中放電を解除させる。

【０００６】加工工具電極と被加工物の対向面間の距離
を不均一にする方法としては、加工工具電極及び被加工
物の少なくとも一方を複数に分割し、加工工具電極と被
加工物の対向面間の距離が上記分割単位で不均一となる
ように移動させる方法、もしくは、加工工具電極及び被
加工物の少なくとも一方が他方に対して対向面姿勢を変
化させることによって、加工工具電極と被加工物の対向
面間の距離が不均一にする方法、さらには、加工工具電
極若しくは被加工物の一方が複数に分割され、該一方の
部分変位と他方の対向面姿勢の変化により、加工工具電
極と被加工物の対向面間の距離を不均一とする方法を採
ることによって上記課題を解決した。

【０００７】

【作用】分割された加工工具電極若しくは被加工物を分
割単位で移動させることによって、または、加工工具電
極若しくは被加工物の対向面姿勢を変化させること等に
よって、加工工具電極と被加工物の対向面間の距離が不
均一になるように、被加工物に対して加工工具電極を相
対的に周期的に移動させる。その結果、加工工具電極と
被加工物の対向距離、すなわち間隙が小さくなった位置
では放電が生じ易く、間隙が大きくなった位置では相対
的に放電が生じ難くなるために、放電発生位置は分散
し、集中放電の発生を抑え、均一に加工工具電極と被加
工物の対向面間で放電を発生させることができる。ま
た、集中放電が検出されたときのみ、上述した加工工具
電極と被加工物の対向面間の距離が不均一になるよう
に、加工工具電極と被加工物を相対的に周期的に移動さ
せ放電生成位置を強制的に移動させて集中放電を解除さ
せる。さらに、放電発生位置を検出し、放電が集中して
いる位置の加工工具電極と被加工物間の距離を他の位置
に対して相対的に大きくするように加工工具電極と被加
工物を相対的に移動させ、集中放電が発生した位置では
抵抗を増大させて放電発生を抑え、他の位置での放電発
生を促して、放電生成位置を強制的に移動させることに
より、集中放電を解除させる。

【０００８】

【実施例】図１は本発明の第１の実施例を実施する放電
加工機の要部ブロック図である。

【０００９】図１中、１は被加工物で、２，２´は分割
された加工工具電極であり、本実施例では加工工具電極
が２つに分割された例を示している。そして、各加工工
具電極２，２´はそれぞれサーボモータ３，３´によっ
てボールネジ／ナット等の回転運動を直線運動に変換い
る伝動機構４，４´を介して駆動させるようになってい
る。また、また、各加工工具電極２，２´は放電加工用
電源装置５に接続された導線９から分岐した導線１０，
１０´が接続され、さらに、被加工物１と上記放電加工
用電源装置５とは導線１１で接続され、該放電加工用電
源装置５によって加工工具電極２，２´と被加工物１間
に電圧が印加されるようになっている。なお、上記放電
加工用電源装置５は従来から公知の放電加工用電源装置
と同一のものである。

【００１０】また、上記導線１０，１０´に流れる電流
ｉ１，ｉ２、すなわち、加工工具電極２，２´にそれぞ
れ流れる放電電流を検出する電流センサ７，７´が設け
られ、これら電流センサ７，７´で検出された電流は平
滑回路８，８´でそれぞれ平滑され、電極運動制御装置
６に入力されている。さらに、電極運動制御装置６に
は、上記導線９の電圧を検出し平滑回路１２で平滑する
ことによって加工工具電極２，２´と被加工物１間の平
均ギャップ電圧Ｖｇを検出するようになっている。そし
て、該電極運動制御装置６はプロセッサ，ＲＯＭ，ＲＡ
Ｍ等のメモリ、入出力回路，Ａ／Ｄ変換器，サーボモー
タ３，３´を駆動制御するサーボ回路，サーボアンプ等
で構成され、従来から公知の電極運動制御装置６と同等
である。

【００１１】図１では加工槽等を省略して図示していな
いが、加工槽にためられた絶縁性の加工液の中に被加工
物１をつけて取り付け、加工工具電極２，２´を該被加
工物１に対して微小間隙を持って対向させて放電加工を
開始させると、放電加工用電源装置５は導線９，１１を
介して加工工具電極２，２´と該被加工物１間に断続的
に電圧を印加し該加工工具電極２，２´と該被加工物１
間に放電を生じせしめて放電加工を行わせる。一方、電
極運動制御装置６には導線９から平滑回路１２を介して
検出される平均ギャップ電圧Ｖｇ、及び導線１０，１０
´に流れる電流を電流センサ７，７´で検出し該検出信
号を平滑回路８，８´で平滑された信号Ｉ１，Ｉ２が入
力されており、電極運動制御装置６内のＡ／Ｄ変換器は
これらの入力信号をデジタル信号に変換し、この変換さ
れた信号に基づいて電極運動制御装置６のプロセッサは
図２に示す処理を実施して、加工工具電極２，２´を駆
動するサーボモータ３，３´を制御する。

【００１２】電極運動制御装置６に加工工具電極２，２
´の加工送り速度を決める設定電圧Ｖｓ（サーボ電圧）
を設定すると共に、分割された加工工具電極２，２´を
変位させて移動させる量Ａを設定した後、放電加工開始
指令を入力すると、放電加工用電源装置５は加工工具電
極２，２´と該被加工物１間に断続的に電圧を印加し、
放電を生じせしめて放電加工を開始する。また、電極運
動制御装置６のプロセッサは図２に示す処理を所定周期
毎実施し、まず、入力されている平均ギャップ電圧Ｖｇ
を読取り、該平均ギャップ電圧Ｖｇから設定された目標
電圧Ｖｓを減じた値に、電圧差から加工工具電極２，２
´の移動量（サーボモータ３，３´の移動量）に変換す
るフィードバックゲインＫｇを乗じて移動量を算出し、
この移動量を現在の加工工具電極２，２´の指令位置Ｚ
を記憶するレジスタに加算して新たな移動指令位置Ｚを
求める（ステップＳ１）。この実施例では、加工工具電
極２，２´がＺ軸方向に移動するものとし、かつ、加工
工具電極２，２´が被加工物１の方向に移動する方向
（図１における下方）をこのＺ軸のプラス方向としてい
る。すなわち、次の１式の演算を行って新たな加工工具
電極２，２´の指令位置Ｚを求める。

【００１３】 新たな位置（Ｚ）＝現在の指令位置（Ｚ）＋（Ｖｇ−Ｖｓ）Ｋｇ …（１） 次に、集中放電が生じているか否か判断し（ステップＳ
２）、集中放電が生じていなければ（なお集中放電が生
じているか否かの判断処理については後述する）、ステ
ップＳ１で算出された加工工具電極の指令位置Ｚを分割
された各加工工具電極２，２´に対する移動指令位置Ｚ
１，Ｚ２とし（ステップＳ３）、該位置に移動するよう
にサーボモータ３，３´を駆動制御する（ステップＳ
７）。サーボモータ３，３´が駆動されると、伝動機構
４，４´を介して加工工具電極２，２´は指令された位
置Ｚ１，Ｚ２へそれぞれ移動することになる。以下、集
中放電が検出されない限り、電極運動制御装置６のプロ
セッサは上記ステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ７の処理を
所定周期毎実施することになる。この処理による制御は
従来の加工工具電極の制御と同一のである。加工工具電
極２，２´と被加工物１間のギャップ（間隙）が大き
く、その結果、平均ギャップ電圧Ｖｇが高い場合には、
上記１式で計算される（Ｖｇ−Ｖｓ）Ｋｇも大きな値に
なり、加工工具電極２，２´も大きく移動し、ギャップ
（間隙）を小さくする、ギャップが小さくなれば、放電
が生じ易くなるため平均ギャップ電圧は低下し、加工工
具電極２，２´の移動量も小さくなる。結局、加工工具
電極２，２´の移動速度は、設定目標電圧Ｖｓによよっ
て決まり、ギャップ電圧Ｖｇがこの目標電圧Ｖｓと一致
するように制御されることになる。この点は従来と何等
変わりはなく、また、分割された加工工具電極２，２´
に対して同一の指令位置が指令されるから、分割された
加工工具電極２，２´は一体的に移動することになるか
ら、この点においても従来と何等変わりはない。

【００１４】しかし、ステップＳ２で集中放電が検出さ
れると、本実施例においては、この集中放電を解除する
ように分割された加工工具電極２，２´が移動させられ
ることになる。そこで、まず、集中放電の検出処理につ
いて述べる。電流センサ７では分割された一方の加工工
具電極２を介して流れる電流ｉ１が検出され、電流セン
サ７´では他方の加工工具電極２´を介して流れる電流
ｉ２が検出され、これら電流センサ７，７´からの検出
信号を平滑回路８，８´で平滑した後の信号をＩ１，Ｉ
２とすると、この信号Ｉ１，Ｉ２は加工工具電極２側，
加工工具電極２´側でのそれぞれの放電頻度の高さを表
すことになる。すなわち、加工工具電極２のみに放電が
生じると電流ｉ１のみとなり、電流ｉ２はほとんど流れ
ないことになる。そのため、これらの電流検出値を平滑
した信号Ｉ１は大きな値をとるが信号Ｉ２は小さな値と
なる。逆に加工工具電極２´側のみに放電が生じると信
号Ｉ２は大きな値となるが、信号Ｉ１は小さな値とな
る。そこで、信号Ｉ１，Ｉ２によって加工工具電極２側
の放電発生の割合を求め、この割合が設定範囲内にない
ときには、集中放電が発生しているものと判断するよう
にしている。すなわち、次の２式によって集中放電を判
断する。

【００１５】 ＬＬ＜Ｉ１／（Ｉ１＋Ｉ２）＜ＬＨ …（２） Ｉ１／（Ｉ１＋Ｉ２）の値が設定下限値ＬＬ以下のとき
には、信号Ｉ１が小さくＩ２が大きいことを意味し、加
工工具電極２側での放電が少なく加工工具電極２´側で
放電が集中していることを意味する。また、Ｉ１／（Ｉ
１＋Ｉ２）の値が設定上限値ＬＨ以上である場合は、逆
に、加工工具電極２´側での放電が少なく加工工具電極
２側で放電が集中していることを意味する。そして、Ｉ
１／（Ｉ１＋Ｉ２）の値が下限値ＬＬと上限値ＬＨの間
にあるときは、放電が分散され、集中放電が生じていな
いものと判断する。

【００１６】こうして、ステップＳ２で放電が集中して
いないと判断されたときには、前述したステップＳ３，
Ｓ７の従来と同様の電極運動制御を行う。しかし、放電
が集中していると判断されたときには、ステップＳ４に
移行して、信号Ｉ１とＩ２を比較し、Ｉ１が大きい場
合、すなわち、加工工具電極２に流れる電流ｉ１が多
く、加工工具電極２側で放電が集中していると判断され
たときには、加工工具電極２への指令位置Ｚ１をステッ
プＳ１で算出された位置Ｚから設定量Ａを減じた値（Ｚ
−Ａ）とし、他方の加工工具電極２´への指令位置Ｚ２
を（Ｚ＋Ａ）とし、加工工具電極２及び加工工具電極２
´への移動指令位置を変えて（ステップＳ５）、この位
置に移動するように各サーボモータ３，３´を駆動制御
する（ステップＳ７）。その結果、放電が集中している
側の加工工具電極２は被加工物１から遠くなりそのギャ
ップ（間隙）は大きくなる。しかと、他方の加工工具電
極２´は被加工物１に近付き、そのギャップは小さくな
る。そのため、放電は、加工工具電極２側では生じ難く
なると共に、加工工具電極２´側では発生しやすくな
り、放電の集中は強制的に解除されることになる。

【００１７】一方、ステップＳ４で信号Ｉ２が大きいと
判断されたときには（加工工具電極２´側で放電が集中
している）、逆に、加工工具電極２への指令位置Ｚ１を
（Ｚ＋Ａ）とし、他方の加工工具電極２´への指令位置
Ｚ２を（Ｚ−Ａ）とし（ステップＳ６）、該指令位置Ｚ
１，Ｚ２へサーボモータ３，３´を駆動して加工工具電
極２，加工工具電極２´を移動させる（ステップＳ
７）。これにより、放電が集中している加工工具電極側
を被加工物１から遠ざけて、他方の加工工具電極を被加
工物側に近付けることによって、放電が集中している側
はギャップが大きくなり放電が発生し難くなると共に他
方の加工工具電極はギャップが小さくなり放電が発生し
易くなることによって放電の集中を強制的に解除する。

【００１８】図３は本発明の第２の実施例を実施する放
電加工機の要部ブロック図で、この放電加工機と図１で
示す放電加工機は加工工具電極２が分割されてないこ
と、及びこの加工工具電極２の駆動方法が異なる点で相
違している。この実施例においては、加工工具電極２の
略中心位置Ｐ１で、サーボモータ３の回転運動を直線運
動に変換する伝動機構４の出力軸に加工工具電極２が回
動自在に接続され、さらに、この出力軸にはもう１つの
サーボモータ３´が取り付けられて該サーボモータ３´
の回転運動を直線運動に変換する伝動機構４´の出力軸
が加工工具電極２の端部Ｐ２を回動自在に接続してい
る。さらに、加工工具電極２の両端には、放電加工用電
源装置５は電圧印加用の導線９から分岐した導線１０，
１０´が接続され、被加工物１と放電加工用電源装置５
間に接続された導線１１によって加工工具電極２と被加
工物１の間に電圧が印加されるようになっている。ま
た、導線１０，１０´に流れる電流ｉ１，ｉ２を検出す
る電流センサ７，７´が設けられ、これら電流センサ
７，７´での検出信号は平滑回路８，８´で平滑されそ
の平滑信号Ｉ１，Ｉ２を電極運動制御装置６に入力され
ていること、及び導線９の電位より加工工具電極２と被
加工物１間のギャップ電圧を検出し平滑回路１２で平滑
して平均ギャップ電圧Ｖｇを求め、電極運動制御装置６
に該電圧Ｖｇが入力されている点は図１に示す第１の実
施例と同一である。

【００１９】そして、この第２の実施例は、加工工具電
極２を位置Ｐ１を中心に揺動させて、被加工物１に対す
る加工工具電極のギャップ（間隙）を周期的に不均一に
することによって放電の集中を防止し、かつ放電の集中
が、上記揺動周期を短くして集中放電を解除するように
している。

【００２０】次に本実施例の動作を電極運動制御装置６
のプロセッサが所定周期Ｔｃ毎実施する処理の図４に示
すフローチヤートと共に説明する。なお、加工工具電極
２の移動速度を決める目標電圧Ｖｓ，揺動の振幅Ｂ，揺
動の周期Ｔｐは予め設定しておき、放電加工を開始させ
る。

【００２１】放電が開始されると、従来と同様に、放電
加工用電源装置５は断続的に電圧を加工工具電極２と被
加工物１の間に印加し、放電加工が開始される。一方、
電流センサ７，７´で導線１０，１０´に流れる電流ｉ
１，ｉ２を検出し平滑回路８，８´で平滑されて得られ
た信号Ｉ１，Ｉ２は電極運動制御装置６に入力され、Ａ
／Ｄ変換される。また、平滑回路１２から出力される平
均ギャップ電圧Ｖｇも電極運動制御装置６に入力されＡ
／Ｄ変換される。そこで、電極運動制御装置６のプロセ
ッサは、入力されている平均ギャップ電圧Ｖｇを読取
り、該平均ギャップ電圧Ｖｇから設定設定された目標電
圧Ｖｓを減じた値に、電圧差から加工工具電極２，２´
の移動量に変換するフィードバックゲインＫｇを乗じて
移動量を算出し、この移動量を現在の加工工具電極２の
指令位置Ｚを記憶するレジスタに加算して新たな移動指
令位置Ｚを求める。すなわち、上記１式の演算を行って
移動指令位置Ｚを求める（ステップＱ１）。次に、放電
の集中が生じているか否か判断する（ステップＱ２）。
この集中放電が生じているか否かの判断は、上述した２
式の判断によって行う。

【００２２】放電が生じている位置が導線１０が加工工
具電極２に接続されている位置Ｐ３に近く、導線１０´
が接続されている位置Ｐ４に遠いときには、位置Ｐ３と
放電位置間の加工工具電極２による抵抗は、位置Ｐ４と
放電位置間の抵抗より小さい。そのため、導線１０に流
れる電流ｉ１は導線１０´に流れる電流ｉ２より大きく
なる。同様に、位置Ｐ３より位置Ｐ４に近い位置で放電
が生じると電流ｉ１より電流ｉ２の方が大きくなる。そ
のため、上記電流ｉ１，ｉ２を電流センサ７，７´で検
出しその検出信号を平滑回路８，８´で平滑した信号Ｉ
１，Ｉ２は、集中放電が発生し、放電発生箇所が一定の
位置になると、信号Ｉ１，Ｉ２の一方の信号が大きくな
り他方の信号が小さくなるそのため、上記２式より集中
放電が生じているか否かを判断することができる。

【００２３】こうして集中放電か否かが判断され、集中
放電が生じていないと判断されたときには、タイマの値
と設定揺動周期Ｔｐの値を比較する（ステップＱ３）。
なお、このタイマは電源が投入されたときのイニシャラ
イズによって「０」に設定されている。

【００２４】タイマの値が設定された揺動周期Ｔｐの値
を越えてないと、タイマをインクリメントし（ステップ
Ｑ４）、レジスタに記憶されたステップＱ１で求めた位
置Ｚの位置になるようサーボモータ３を駆動すると共に
レジスタＷに記憶されたサーボモータ３´の移動位置に
なるようにサーボモータ３´を駆動する（ステップＱ
９）。なお、上記レジスタＷには、初期設定によって揺
動振幅Ｂが設定されている。その結果、加工工具電極２
はサーボモータ３，３´の駆動によって、位置Ｐ１より
位置Ｐ２の方が被加工物１に近い状態に傾いた姿勢とな
る。

【００２５】以下、集中放電が検出されない限り、各処
理周期Ｔｃ毎ステップＱ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４，Ｑ９の
処理を実行し、ステップＱ３でタイマの値が設定揺動周
期の値Ｔｐ以上になると、タイマを「０」にリセットし
（ステップＱ５）、レジスタＷの値が正か否か判断し
（ステップＱ６）、正ならば、レジスタＷに揺動振幅Ｂ
の負の値（−Ｂ）を設定し、負ならば、揺動振幅Ｂの正
の値（＋Ｂ）を設定し（ステップＱ７，Ｑ８）、サーボ
モータ３，３´をそれぞれ、ステップＱ１で算出された
位置ＺおよびレジスタＷに記憶されている位置Ｂまたは
−Ｂの位置に移動させる。このようにして加工工具電極
２は揺動周期Ｔｐで振幅Ｂで、位置Ｐ１（サーボモータ
３で駆動される伝動機構の出力軸の接続点）を中心に揺
動しながら、放電加工が進められることになる。

【００２６】一方、ステップＱ２で集中放電と判断され
ると、ステップＱ６へ移行し、レジスタＷに記憶する振
幅の値が負であれば、正の値＋Ｂ、正であれば負の値−
ＢをレジスタＷに格納し（ステップＱ６，Ｑ７，Ｑ
８）、サーボモータ３´をこのレジスタＷに格納した値
の位置に移動させることになる（ステップＱ９）。その
結果、加工工具電極２は、この処理周期Ｔｃで揺動する
ことになり、これにより集中放電は解消されることにな
る。

【００２７】なお、上記実施例において、集中放電を上
記２式の判断によって検出するようにしたが、特に第２
の実施例においては、集中放電が位置Ｐ３とＰ４の中間
点位置で発生したとき導線１０，１０´に流れる電流ｉ
１，ｉ２はほぼ等しくなるため、上記２式では集中放電
を検出できないという現象が生じる。そこで、この集中
放電の検出をより正確に行う方法としては、導線１０，
１０´に流れる電流ｉ１，ｉ２を検出する電流センサ
７，７´からの信号を加工工具電極２と被加工物１に電
圧が印加される期間（いわゆるオン区間）、ピークホー
ルド回路に入力し、ピーク電流を求め（以下、このピー
クホールド信号を電流ｉ１に対してＩ1pとし、電流ｉ２
に対してはＩ2pとする）、割算回路によってＩ1p／Ｉ2p
を算出し、このＩ1p／Ｉ2pを微分して、さらにこの微分
信号を全波整流し、かつ平滑し、この全波整流平滑信号
をコンパレータによって基準値と比較して集中放電を検
出するようにしてもよい。すなわち、集中放電が生じて
なければ、上記割算回路からの信号Ｉ1p／Ｉ2pは常に変
化する。しかし、集中放電が生じると、信号Ｉ1p／Ｉ2p
の大きさの変化は小さくなる。そのためこの信号を微分
したときその微分されて得られる信号は、集中放電が生
じてないときは正負に大きく変動するものとなるが、集
中放電が生じているとこの微分された信号は小さなもの
となる。そのため、この微分信号を全波整流して平滑さ
れた信号は、集中放電が発生しているときには基準値以
下となり集中放電が発生していないときには上記基準値
を越えるものとなり、コンパレータによって集中放電か
否かを検出できることになる。

【００２８】上記第１の実施例では、分割された加工工
具電極２，２´を独立した２つのサーボモータ３，３´
で駆動するようにしたが、図３で示す第２の実施例で示
したような、駆動装置で分割された加工工具電極２，２
´を駆動してもよい。すなわち、一方の分割加工電極２
をサーボモータ３で伝動機構４を介して駆動し、該伝動
機構の出力軸に取り付けられたサーボモータ３´によっ
て伝動機構４´を介して他方の分割加工工具電極２´を
駆動するようにしてもよい。この場合、電極運動制御装
置６による処理は、図２において、サーボモータ３´へ
の指令としてステップＳ３で出される指令Ｚ２が「０」
となること、及びステップＳ５での指令ではＺ２＝２Ａ
となり、ステップＳ６ではＺ２＝−２Ａとなる点で相違
するのみである。

【００２９】また、図３で示す実施例においても図１で
示すように独立した２つのサーボモータで加工工具電極
２を揺動させてもよい。この場合、電極運動制御装置６
による処理は、図４で示すフローチャートの内ステップ
Ｑ７，Ｑ８がそれぞれＷ＝Ｚ−Ｂ，Ｗ＝Ｚ＋Ｂと変わる
点だけである。

【００３０】さらに、上記第１の実施例では、加工工具
電極を２つに分割した例を示したが、さらに多くのもの
に分割してもよい。また、加工工具電極を分割する代わ
りに被加工物を分割して、分割加工工具電極の代わりに
分割被加工物を移動制御するようにしてもよい。また、
第１と第２の実施例を寄せ集めて、加工工具電極と被加
工物のどちらか一方を分割し、他方を揺動させて姿勢を
変えるようにしてもよい。

【００３１】

【発明の効果】本発明は、加工工具電極と被加工物の対
向面の間隙が不均一になるように加工工具電極を被加工
物に対して相対的に移動させるようにしたから、加工中
上記間隙が小さくなる点が変動するので、集中放電の発
生を防止することができる。さらに、集中放電が発生し
たときのみ、加工工具電極と被加工物の対向面の間隙を
不均一とすることによって放電位置を強制的に移動さ
せ、集中放電を解消させることができる。特に、集中放
電位置を検出して、該集中放電位置における上記間隙が
増大するようにすることによって、集中放電を解除させ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を実施するの放電加工機
の要部ブロック図である。

【図２】同第１の実施例における電極運動制御装置のプ
ロセッサが実施する処理のフローチャートである。

【図３】本発明の第２の実施例を実施するの放電加工機
の要部ブロック図である。

【図４】同第２の実施例における電極運動制御装置のプ
ロセッサが実施する処理のフローチャートである。

【符号の説明】

１ 被加工物 ２，２´ 加工工具電極 ３，３´ サーボモータ ４，４´ 伝動機構 ５ 放電加工用電源装置 ６ 電極運動制御装置 ７，７´ 電流センサ ８，８´，１２ 平滑回路

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工工具電極と被加工物を絶縁性の加工
   液を満たした微小な間隙を隔てて対向させ、両者の間に
   電圧を印加し、放電を生じせしめて被加工物を除去加工
   する放電加工方法において、加工工具電極と被加工物の
   対向面間の距離が不均一になるように、加工工具電極と
   被加工物のどちらか一方もしくは両者を周期的に移動さ
   せ放電生成位置を強制的に移動させることを特徴とする
   放電加工方法。
2. 【請求項２】 加工工具電極と被加工物を絶縁性の加工
   液を満たした微小な間隙を隔てて対向させ、両者の間に
   電圧を印加し、放電を生じせしめて被加工物を除去加工
   する放電加工方法において、集中放電が検出されると、
   加工工具電極と被加工物の対向面間の距離が不均一にな
   るように、加工工具電極と被加工物のどちらか一方もし
   くは両者を周期的に移動させ放電生成位置を強制的に移
   動させることを特徴とする放電加工方法。
3. 【請求項３】 加工工具電極と被加工物を絶縁性の加工
   液を満たした微小な間隙を隔てて対向させ、両者の間に
   電圧を印加し、放電を生じせしめて被加工物を除去加工
   する放電加工方法において、放電発生位置を検出し、放
   電が集中している位置の加工工具電極と被加工物間の距
   離を他の位置に対して相対的に大きくするように加工工
   具電極と被加工物のどちらか一方もしくは両者を移動さ
   せ放電生成位置を強制的に移動させることを特徴とする
   放電加工方法。
4. 【請求項４】 加工工具電極及び被加工物の少なくとも
   一方が複数に分割され、加工工具電極と被加工物の対向
   面間の距離が上記分割単位で不均一となるように移動さ
   せる請求項１，請求項２または請求項３記載の放電加工
   方法。
5. 【請求項５】 加工工具電極及び被加工物の少なくとも
   一方が他方に対して対向面姿勢を変化させることによっ
   て、加工工具電極と被加工物の対向面間の距離が不均一
   になるようにした請求項１，請求項２または請求項３記
   載の放電加工方法。
6. 【請求項６】 加工工具電極若しくは被加工物の一方が
   複数に分割され、該一方の部分変位と他方の対向面姿勢
   の変化により、加工工具電極と被加工物の対向面間の距
   離を不均一とするようにした請求項１，請求項２または
   請求項３記載の放電加工方法。