JPH068100Y2 - ウエハ移し替え突き上げ装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、半導体装置の製造に用いるウエハ移し替え
突き上げ装置に関するものである。

従来の技術 キャリヤ内のウエハを他の容器に移し替える場合には、
ウエハを下方から押し上げる所謂突き上げ作業が行なわ
れる。

この突き上げ作業には、第３図に示す様なウエハ移し替
え突き上げ装置が用いられている。

この装置は、エアシリンダ１により突き上げ板２を上方
に移動させて、図示しないキャリヤ内のウエハの下端に
接触させ、ウエハを押し上げると共に、エアシリンダ１
にピストン４の位置を検出するセンサ５を設け、突き上
げ板２が突き上げられているか否かを検知している。

考案が解決しようとする問題点 従来例のウエハ移し替え突き上げ装置では、突き上げ板
２は、一枚のアルミニウム板やステンレス板などで形成
され、その両側縁は、エッジ加工され、そして、その両
側縁には、ガイドローラ６が設けられている。

しかし、突き上げ板２には、「反り」が生じるため、突
き上げ板２が上下動する度にガイドローラ６との間に大
きな摩擦が起きるのでゴミが発生し、ウエハに付着す
る。

又、突き上げ板２を複数、例えば、２５枚配列する場合
には、各突き上げ板２５に対応するガイドローラ６を配
設するが、この作業は、手作業で行なわれているので、
多くの時間を必要とする上、正確な位置に配設するのが
困難である。

そのため、突き上げ板２が、正しい位置にないので、ウ
エハホルダ３が所定位置にならないことがある。更に、
ガイドローラ６には、遊び所謂「ガタ」があるため突き
上げ板２が垂直に上下動しないことがあると共に、摩擦
によるゴミが発生する。

この考案は、上記事情に鑑み、ゴミの発生を防止すると
共に、ウエハホルダを所定個所に正確に位置せしめるこ
とを目的とする。

問題点を解決するための手段 この考案は、軸穴２３を有する複数のサイドブロック２
０、２１を並列に配設し、該軸穴２３にガイドベアリン
グ２４を介して上下軸２２を挿着し、該上下軸２３の上
端をウエハホルダ１８の軸溝１７に挿着し、その下端を
上下動可能な支持板１４に固定したウエハ移し替え突き
上げ装置であって、前記並列する各サイドブロック２
０、２１毎の軸穴２３及び並列する各ウエハホルダ毎１
８の軸溝１７が各々その長手方向に対して互い違いに形
成されていることを特徴とするウエハ移し替え突き上げ
装置により前記目的を達成せんとするものである。

作用 エアシリンダの駆動により支持板が上方に移動すると、
上下軸も、サイドブロックの軸穴に内蔵したガイドベア
リングに案内されながら、同時に同方向に移動する。そ
して、ウエハホルダが、キャリヤ内のウエハの下端に接
触し、ウエハを上方に突き上げる。その後、エアシリン
ダを駆動して、支持板を元の位置まで下降させる。

又、サイドブロックの各軸穴は、正確な位置に機械加工
されているので、各上下軸の上端に設けた各ウエハホル
ダは、所定個所に正確に位置する。

実施例 この考案の一実施例を添附図面により説明すると、第１
図において、１０はピストン１１の位置を検出するため
のセンサ１２を備えたエアシリンダ、１３は排気ファ
ン、１４は着脱自在な上板１４ａと下板１４ｂとからな
る支持板で、上板１４ａには、軸溝１５が形成されてい
る。

１６は連絡部材で、その下部には、軸溝１７が形成さ
れ、その上部には、ウエハホルダ１８の下部と嵌合する
嵌合溝１９が形成されている。

２０，２１は、上下軸２２を支持するサイドブロック
で、垂直方向に間隔をあけて互に平行に設けられてい
る。このサイドブロック２０，２１には、第１図，第２
図に示す様に軸穴２３が、長手方向（横方向）に間隔
をあけて複数形成されている。この間隔は、ウエハピ
ッチの大きさに合わせられている。

複数の軸穴２３は、機械加工により精度よく穿設されて
いるが、この軸穴２３ａ，２３ｃと軸穴２３ｂ，２３ｄ
は、互い違いに形成され、互いに異なる直線上に位置す
る。

夫々の軸穴２３ａ〜２３ｄを通る縦方向の直線上には、
夫々複数の軸穴が穿設されている。この軸穴２３には、
ガイドベアリング２４が内蔵されている。

上下軸２２は、円柱状に形成され、該軸２２は、ブロッ
ク２０，２１の軸穴２３に、ガイドベアリング２４を介
して挿入され、その下端は、上板１４ａの軸溝１５に着
脱自在に嵌着され、又、その上端は、連結部材１６の軸
溝１７に着脱自在に嵌着されている。

なお、支持板１４は、各ウエハホルダ１８に対応して個
別に設けられており、夫々独立して駆動される。

次に、この実施例の作動につき説明すると、下板１４ｂ
に上板１４ａを重ねて支持板１４を形成し、該上板１４
ａの軸溝１５に、サイドブロック２０，２１の軸穴２３
に挿入した上下軸２２の下端を嵌着し、又、その上端を
連結部材１６の軸溝１７に嵌着する。そして、連結部材
１６の嵌合溝１９にウエハホルダ１８を差し込む。

次に、排気ファン１３を駆動し、ステージ２６上のキャ
リヤ２７付近にゴミが舞い上がるのを防止すると共に、
エアシリンダ１０を駆動して支持板１４を、キャリヤ２
７に向って上昇させる。

支持板１４が上昇すると、上下軸２２は、ガイドベアリ
ング２４に案内されながらスライドし、ウエハホルダ１
８を上昇させ、該ホルダ１８を第１図の実線で示す様に
ウエハ２８に接触させる。

そして、該ホルダ１８は更に上昇して、鎖線で示す状態
２８Ａとなり、該ウエハ２８は、図示しないウエハチャ
ックにより挟持されて、他の容器に移し替えられる。

次に、移し替えが終わりキャリヤ２７にウエハ２８がな
くなると、エアシリンダ１０が作動して支持板１４を元
の位置まで下降させる。

なお、センサ１２は、ピストン１１の位置を検出し、ウ
エハホルダ１８が突き上げられているか否かを検知して
いる。

考案の効果 この考案は以上の様に構成したもので、ウエハホルダを
所定箇所に正確に位置せしめることができるとともに上
下軸を介して行われるその上下動もゴミを発生させるこ
となく、円滑に行うことができる。

又、並列する各サイドブロック毎の軸穴及び並列する各
ウエハホルダ毎の軸溝が各々その長手方向に対して互い
違いに形成されているので、キャリヤ内に収容されてい
る隣り合うウエハ間のピッチが狭く、例えば4.7625mmで
もこのピッチに併せて上下軸を配設しウエハホルダを並
列させることができる。

【図面の簡単な説明】 第１図，第２図はこの考案の実施例を示す図で、第１図
は、一部断面平面図、第２図は、サイドブロックの平面
図、第３図は、従来例を示す平面図である。 １４……支持板、１８……ウエハホルダ、２０，２１…
…サイドブロック、２２……上下軸、２３……軸穴、２
４……ガイドベアリング

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】軸穴（２３）を有する複数のサイドブロッ
   ク（２０、２１）を並列に配設し、該軸穴（２３）にガ
   イドベアリング（２４）を介して上下軸（２２）を挿着
   し、該上下軸（２３）の上端をウエハホルダ（１８）の
   軸溝（１７）に挿着し、その下端を上下動可能な支持板
   （１４）に固定したウエハ移し替え突き上げ装置であっ
   て、 前記並列する各サイドブロック（２０、２１）毎の軸穴
   （２３）及び並列する各ウエハホルダ（１８）毎の軸溝
   （１７）が各々その長手方向に対して互い違いに形成さ
   れていることを特徴とするウエハ移し替え突き上げ装
   置。