JPH0681135U - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPH0681135U JPH0681135U JP2797493U JP2797493U JPH0681135U JP H0681135 U JPH0681135 U JP H0681135U JP 2797493 U JP2797493 U JP 2797493U JP 2797493 U JP2797493 U JP 2797493U JP H0681135 U JPH0681135 U JP H0681135U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- vibrating plate
- piezoelectric vibrating
- insulating substrate
- wire bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本考案の目的は、特性が良く信頼性の高い圧
電振動子を安価に製作できるようにすることである。 【構成】 圧電振動板を絶縁性基板に固着する方法に付
いては、一ヶ所のバンプにて行う。バンプは金属なので
固着については、絶縁性接着剤を用いた場合より充分強
固に固着し、導通については前記バンプを共用する箇所
もあるがワイヤーボンディングにて行い、導電接着剤よ
り確実な導通状態の接続を行うことが出来る。いずれの
場合でも、圧電振動板の固定方法は、一ヶ所のバンプに
て行われるのみなので、絶縁性基板等の応力が圧電振動
板に加わらないので圧電振動板本来の特性が素直に実現
できる。
電振動子を安価に製作できるようにすることである。 【構成】 圧電振動板を絶縁性基板に固着する方法に付
いては、一ヶ所のバンプにて行う。バンプは金属なので
固着については、絶縁性接着剤を用いた場合より充分強
固に固着し、導通については前記バンプを共用する箇所
もあるがワイヤーボンディングにて行い、導電接着剤よ
り確実な導通状態の接続を行うことが出来る。いずれの
場合でも、圧電振動板の固定方法は、一ヶ所のバンプに
て行われるのみなので、絶縁性基板等の応力が圧電振動
板に加わらないので圧電振動板本来の特性が素直に実現
できる。
Description
【０００１】
圧電振動子の支持及び電気的接続構造に関する。
【０００２】
従来より、絶縁性基板上に圧電振動板を搭載した圧電振動子においては、絶縁 性基板上に圧電振動板を固着し導通をとる方法としては、導電性接着剤を用いて 固着と導通を同時に行うのが一般的であった。 さらに固定方法も、圧電振動板の長手方向に対称的に両端を固定するのが一般 的であった。
【０００３】
従来技術では、絶縁性基板上に圧電振動板を固着し導通をとる方法としては、 導電性接着剤を用いて固着と導通を同時に行うのが一般的であったが、導電性接 着剤は重量比で７０〜８０％が導電物質であり、残り２０〜３０％しか接着剤は ない、このために接着剤の接着強度が低下するだけで無く、導電性も金属よりも 劣るという課題がある。 さらに圧電振動板の固定方法も、圧電振動板の長手方向の両端を固定する方法 は接着力の強くない導電性接着剤でも容易に固定することが可能になる反面、圧 電振動板と絶縁性基板との線膨張係数の違いや曲げその他の応力の影響を受け易 く圧電振動子の特性を悪化させるという課題がある。
【０００４】
圧電振動板を絶縁性基板に固着方法としては、一個所のバンプを用いる。圧電 振動板の電極と絶縁性基板の導体の導通については、二ヶ所の内一ヶ所は前記バ ンプを共用し、もう一ヶ所のみワイヤーボンディングを用いて導通をとる方法と 、固着はバンプ一ヶ所とし導通はワイヤーボンディング二ヶ所の構成による方法 が用いられる。 さらに圧電振動板の固定方法も、圧電振動板の一端の一ヶ所のみで固着を行う 方法を用いた。
【０００５】
実施例１ （固着のバンプを導通の一箇所に共用している例） 図１に、絶縁性基板１の上に圧電振動板２を搭載した圧電振動子において、圧 電振動板１の電極の引き出し口の一端と相対する絶縁性基板２とを一ヶ箇所のバ ンプ３にて固着導通し、他の一端の圧電振動板の電極の引き出し口の一端と相対 する絶縁性基板の導体とを一ヶ所のワイヤーボンディング４にて接続して導通を 取った実施例を示す。
【０００６】 実施例２ （固定にはバンプを使用し、導通にはワイヤーボンディングを使用 している例） 図２に、圧電振動板２の長辺の一端と相対する絶縁性基板１とを一ヶ所のバン プ３にて固着し、他の一端に圧電振動板２の電極の引き出し口と絶縁性基板１の 導通を分離して二ヶ所のワイヤーボンディング４を使用して行っている実施例を しめす。 図３に、圧電振動板２の長辺の一端と相対する絶縁性基板１とを一ヶ所のバン プ３にて固着し、同一端に圧電振動板２の電極の引き出し口と絶縁性基板１の導 通を分離して二ヶ所のワイヤーボンディング４を使用して行っている実施例を示 す。要するに、圧電振動板２の長辺の一端に固定用のバンプ３と導通用ワイヤー ボンディング４とを集中させたタイプで、固着用のバンプ３は二ヶ所のワイヤー ボンデイング４の間で圧電振動板２の電極にも絶縁性基板１の導体にも接触しな い場所にバンプ３を使用した実施例を示している。
【０００７】 図１，図２，図３では，圧電振動板の電極、絶縁性基板の導体、圧電振動子の カバーは省略している。またこれ等の手法は絶縁性基板のみに限らずセラミック ケース、金属ケース等にも用いることができる。
【０００８】
固着構造については、絶縁性基板の上に圧電振動板を搭載した圧電振動子にお いて、従来の導電性接着剤に依る固着と導通を同時に行う方法に替えて、圧電振 動板の一ヶ所のみ絶縁性基板とバンプで固着する。他の導通はワイヤーボンディ ングにて行われるので、圧電振動板には殆ど応力がかからない。このため圧電振 動板そのものの特性が素直に発揮されので、良好な特性の圧電振動子を容易につ くることができる。 またバンプやワイヤーボンディングを用いた固着や導通は、絶縁性接着剤や導 電性接着剤による固着や導通に比べて、硬化のための加熱時間が不要で作業の手 離れが良く生産性が向上するばかりでなく、いずれも金属であるから固着は強固 であり、導通は確実である。そのため圧電振動子の信頼性が向上した。
【図１】バンプとワイヤーボンディングを圧電振動板の
両端に配した状態を示す圧電振動板の正面図である。
両端に配した状態を示す圧電振動板の正面図である。
【図２】固定はバンプ，導通はワイヤーボンディングと
分離して圧電振動板の長辺の両端に配した状態を示す正
面図である。
分離して圧電振動板の長辺の両端に配した状態を示す正
面図である。
【図３】固定はバンプ，導通はワイヤーボンディングと
分離して圧電振動板の同一端に配した状態を示す正面図
である。
分離して圧電振動板の同一端に配した状態を示す正面図
である。
１ 絶縁性基板 ２ 圧電振動板 ３ バンプ ４ ワイヤーボンディング
Claims (4)
- 【請求項１】 絶縁性基板上に圧電振動板を搭載した圧
電振動子において、該圧電振動板の主面が該絶縁性基板
の面に平行して搭載され、該圧電振動板の長辺の一端が
該絶縁性基板との間相互にバンプで一点で固着され、該
圧電振動板の電極の引き出し口と該絶縁性基板の導体相
互間の接続はワイヤーボンディングにより接続されてい
ることを特徴とする圧電振動子。 - 【請求項２】 該圧電振動板の長辺の一端に、該圧電振
動板の電極の引き出し口と該絶縁性基板の導体固着と導
通を兼ねたバンプを一点有し、該圧電振動板の長辺の他
の一端の該圧電振動板の電極の引き出し口と該絶縁性基
板の導体の為の接続をワイヤーボンディングにて行うこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の圧
電振動子。 - 【請求項３】 該圧電振動板の長辺の一端と、該圧電振
動板と該絶縁性基板との固着をバンプで行い、該圧電振
動板の長辺の他端の圧電振動板の２ヶ所に電極の引き出
し口と該絶縁性基板の導体の為の接続をワイヤーボンデ
ィングにて行うことを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第１項記載の圧電振動子。 - 【請求項４】 該圧電振動板の長辺の一端と、該圧電振
動板と該絶縁性基板との固着をバンプで行い、該圧電振
動板の長辺の同一端の該圧電振動板の２ヶ所に電極の引
き出し口と該絶縁性基板の導体の為の接続をワイヤーボ
ンディングにて行うことを特徴とする実用新案登録請求
の範囲第１項記載の圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2797493U JPH0681135U (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2797493U JPH0681135U (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0681135U true JPH0681135U (ja) | 1994-11-15 |
Family
ID=12235850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2797493U Pending JPH0681135U (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0681135U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010062973A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイス |
| JP2011244488A (ja) * | 2011-08-23 | 2011-12-01 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
| JP2015088793A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| US9344056B2 (en) | 2013-11-05 | 2016-05-17 | Seiko Epson Corporation | Resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
-
1993
- 1993-04-28 JP JP2797493U patent/JPH0681135U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010062973A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイス |
| JP2011244488A (ja) * | 2011-08-23 | 2011-12-01 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
| JP2015088793A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| US9344056B2 (en) | 2013-11-05 | 2016-05-17 | Seiko Epson Corporation | Resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6156920A (ja) | 圧電素子を用いた振動及び音波の検出器 | |
| JPH08220130A (ja) | 圧電加速度センサ | |
| JPH0681135U (ja) | 圧電振動子 | |
| EP0823782A3 (en) | Piezoelectric component | |
| JPH08204489A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH0681136U (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH0521858A (ja) | 圧電トランス | |
| JPH08251954A (ja) | 超音波振動子 | |
| JPH0993073A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP4855585B2 (ja) | 圧電トランス | |
| JPH0681137U (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS5821216Y2 (ja) | 小型圧電振動子の支持構造 | |
| JP2967562B2 (ja) | 圧電トランス及び圧電トランスの製造方法 | |
| JPH09289343A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS62189Y2 (ja) | ||
| JP4477252B2 (ja) | ピエゾポジショナー | |
| JPH0479154B2 (ja) | ||
| JP2689799B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPS5840718Y2 (ja) | 圧電発音体 | |
| JPS5930541Y2 (ja) | 圧電トランス | |
| JPH0453059Y2 (ja) | ||
| JPS6267913A (ja) | 電子部品 | |
| JPH0546059U (ja) | バイモルフ型圧電振動子 | |
| CN120883365A (zh) | 导电连接件、包括所述导电连接件的功率半导体模块和制造导电连接件的方法 | |
| JPS5854681Y2 (ja) | シ−ト状ピックアップ |