JPH0682731B2 - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
- Publication number
- JPH0682731B2 JPH0682731B2 JP31091088A JP31091088A JPH0682731B2 JP H0682731 B2 JPH0682731 B2 JP H0682731B2 JP 31091088 A JP31091088 A JP 31091088A JP 31091088 A JP31091088 A JP 31091088A JP H0682731 B2 JPH0682731 B2 JP H0682731B2
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- JP
- Japan
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- axis direction
- subject image
- camera
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- package
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- Expired - Lifetime
Links
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- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Input (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は集積回路（以下、ICと略す）パッケージのリー
ド形状の外観検査を行う装置に関する。
ド形状の外観検査を行う装置に関する。
従来、この種のリード形状のデータ取り込みに関して
は、第４図のように被写体となるICパッケージD3が小さ
くカメラの撮影領域W1にすべて入る場合は問題ないが、
ICパッケージが大きい場合カメラの撮影領域にすべてを
入れようとすると分解能が低下するという問題が発生す
る。
は、第４図のように被写体となるICパッケージD3が小さ
くカメラの撮影領域W1にすべて入る場合は問題ないが、
ICパッケージが大きい場合カメラの撮影領域にすべてを
入れようとすると分解能が低下するという問題が発生す
る。
そこで分解能を維持するために、第５図のように被写体
となるICパッケージD1を固定してICパッケージD1の前半
部をカメラで撮り、次にカメラを移動させICパッケージ
D1の後半をカメラで撮るというようにカメラを移動させ
る方法、又はカメラを固定させてICパッケージD1を移動
させる方法が取られていた。
となるICパッケージD1を固定してICパッケージD1の前半
部をカメラで撮り、次にカメラを移動させICパッケージ
D1の後半をカメラで撮るというようにカメラを移動させ
る方法、又はカメラを固定させてICパッケージD1を移動
させる方法が取られていた。
上述した従来の方法では、カメラを移動させるか又はIC
パッケージを移動させるため、機械機構の複雑化及びカ
メラによる複数回データの取り込みに伴うハードウエア
の増大やデータ処理の複雑化により総合したテスト時間
の増大化、及び製作コストの増大化という欠点があっ
た。
パッケージを移動させるため、機械機構の複雑化及びカ
メラによる複数回データの取り込みに伴うハードウエア
の増大やデータ処理の複雑化により総合したテスト時間
の増大化、及び製作コストの増大化という欠点があっ
た。
本発明の目的は前記課題を解決した外観検査装置を提供
することにある。
することにある。
上述した従来のデータ取り込み方法に対し、本発明はカ
メラ又はICパッケージを機械的に移動させず、さらに分
解能を低下させずにデータ取り込みが行えるという相違
点を有する。
メラ又はICパッケージを機械的に移動させず、さらに分
解能を低下させずにデータ取り込みが行えるという相違
点を有する。
前記目的を達成するため、本発明に係る外観検査装置に
おいては、被写体となる集積回路のリード面を半透明直
角プリズムによりＸ軸方向とＹ軸方向に被写体像として
分解し、２組の直角プリズムを組合せてＹ軸方向に取り
出された被写体像をさらにＺ軸方向から−Ｙ軸方向に取
り出し、さらに直角プリズムにより−Ｙ軸方向から取り
出された被写体像を−Ｘ軸方向に取り出し、＋Ｘ軸方向
に取り出された２つの被写体像を同時にカメラで取り込
む機能を有するものである。
おいては、被写体となる集積回路のリード面を半透明直
角プリズムによりＸ軸方向とＹ軸方向に被写体像として
分解し、２組の直角プリズムを組合せてＹ軸方向に取り
出された被写体像をさらにＺ軸方向から−Ｙ軸方向に取
り出し、さらに直角プリズムにより−Ｙ軸方向から取り
出された被写体像を−Ｘ軸方向に取り出し、＋Ｘ軸方向
に取り出された２つの被写体像を同時にカメラで取り込
む機能を有するものである。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
（実施例１） 第１図は本発明の実施例１を示す構成図である。
ICパッケージを被写体H1に置き変えて動作原理を説明す
る。被写体H1を半透明直角プリズムPZM1を通して場合、
すなわち被写体像H2は＋Ｘ軸方向と＋Ｙ軸方向に分解さ
れそれぞれ被写体像H9とH3を得る。次に＋Ｙ軸方向に得
られた被写体像H3は２個の直角プリズムPZM2,PZM3で構
成される光学系を通過する課程において、直角プリズム
PZM2に入射された被写体像H4は＋Ｚ軸方向から、直角プ
リズムPZM3を通し−Ｙ軸方向に被写体像H5を得る。
る。被写体H1を半透明直角プリズムPZM1を通して場合、
すなわち被写体像H2は＋Ｘ軸方向と＋Ｙ軸方向に分解さ
れそれぞれ被写体像H9とH3を得る。次に＋Ｙ軸方向に得
られた被写体像H3は２個の直角プリズムPZM2,PZM3で構
成される光学系を通過する課程において、直角プリズム
PZM2に入射された被写体像H4は＋Ｚ軸方向から、直角プ
リズムPZM3を通し−Ｙ軸方向に被写体像H5を得る。
被写体像H5は直角プリズムPZM4に被写体像H6として入射
され＋Ｘ軸方向に被写体像H7を得る。この被写体像H7は
被写体像H8として取り出すことができる。このとき、こ
こで得られた被写体像H8は、被写体像H9を180度回転さ
せた像になる。
され＋Ｘ軸方向に被写体像H7を得る。この被写体像H7は
被写体像H8として取り出すことができる。このとき、こ
こで得られた被写体像H8は、被写体像H9を180度回転さ
せた像になる。
そこで、＋Ｘ軸方向にカメラを配置すると被写体像H8と
被写体像H9がカメラの撮影領域W1に得られることにな
る。
被写体像H9がカメラの撮影領域W1に得られることにな
る。
ここで、被写体像H8とH9をICパッケージD1及びD2に置き
換えたのが第２図である。
換えたのが第２図である。
（実施例２） 第３図は本発明の実施例２を示す構成図である。動作原
理に関しては実施例１と同様であるが、実施例11と異な
る点は実施例１ではカメラの位置が＋Ｘ軸上であるのに
対し、実施例２は＋Ｙ軸上にあることである。
理に関しては実施例１と同様であるが、実施例11と異な
る点は実施例１ではカメラの位置が＋Ｘ軸上であるのに
対し、実施例２は＋Ｙ軸上にあることである。
以上説明したように本発明は分割して取り込む像を同時
にカメラの撮影領域内に配置させることにより、カメラ
又はICパッケージを機械的に移動させることなしに、ま
た単一のデータ取り込みで良いため、テスト時間の短
縮、及び製作コストの低下が実現できる効果がある。
にカメラの撮影領域内に配置させることにより、カメラ
又はICパッケージを機械的に移動させることなしに、ま
た単一のデータ取り込みで良いため、テスト時間の短
縮、及び製作コストの低下が実現できる効果がある。
第１図は本発明の実施例１を示す構成図、第２図は本発
明の実施例１における像を示す図、第３図は本発明の実
施例２を示す構成図、第４図，第５図は従来例を示す図
である。 H1……被写体、H2〜H9……被写体像 PZM1……半透明直角プリズム PZM2〜PZM4……直角プリズム W1……カメラ撮影領域、D1〜D3……ICパッケージ
明の実施例１における像を示す図、第３図は本発明の実
施例２を示す構成図、第４図，第５図は従来例を示す図
である。 H1……被写体、H2〜H9……被写体像 PZM1……半透明直角プリズム PZM2〜PZM4……直角プリズム W1……カメラ撮影領域、D1〜D3……ICパッケージ
Claims (1)
- 【請求項１】被写体となる集積回路のリード面を半透明
直角プリズムによりＸ軸方向とＹ軸方向に被写体像とし
て分解し、２組の直角プリズムを組合せてＹ軸方向に取
り出された被写体像をさらにＺ軸方向から−Ｙ軸方向に
取り出し、さらに直角プリズムにより−Ｙ軸方向から取
り出された被写体像を＋Ｘ軸方向に取り出し、＋Ｘ軸方
向に取り出された２つの被写体像を同時にカメラで取り
込む機能を有することを特徴とする外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31091088A JPH0682731B2 (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31091088A JPH0682731B2 (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | 外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02156550A JPH02156550A (ja) | 1990-06-15 |
| JPH0682731B2 true JPH0682731B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=18010860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31091088A Expired - Lifetime JPH0682731B2 (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682731B2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-08 JP JP31091088A patent/JPH0682731B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02156550A (ja) | 1990-06-15 |
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