JPH0685350A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0685350A JPH0685350A JP23400692A JP23400692A JPH0685350A JP H0685350 A JPH0685350 A JP H0685350A JP 23400692 A JP23400692 A JP 23400692A JP 23400692 A JP23400692 A JP 23400692A JP H0685350 A JPH0685350 A JP H0685350A
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- JP
- Japan
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- laser
- gas
- discharge
- laser gas
- anode
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザガスの流速および濃度を安定にして、
安定なレーザビームを得ることが可能なガスレーザ発振
装置を提供する。 【構成】 放電電極（７ａ，７ｂ）近傍の壁面にレーザ
ガスの流れ方向に沿って複数個の空洞部を設ける。
安定なレーザビームを得ることが可能なガスレーザ発振
装置を提供する。 【構成】 放電電極（７ａ，７ｂ）近傍の壁面にレーザ
ガスの流れ方向に沿って複数個の空洞部を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、安定なレーザビームを
得ることができるガスレーザ発振装置に関する。
得ることができるガスレーザ発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在知られている従来のガスレーザ発振
装置について図３、図４を参照して説明する。図３はガ
スレーザ発振装置１の断面図を示すもので、気密容器２
には、レーザ発振に係るレーザガス３が封入されるが、
この気密容器２内には、容器壁２ａに沿って周方向に順
に、送風機４、冷却器５ａ、空隙６を介して対向する放
電電極の陰極７ａ、陽極７ｂおよび冷却器５ｂが設置さ
れている。
装置について図３、図４を参照して説明する。図３はガ
スレーザ発振装置１の断面図を示すもので、気密容器２
には、レーザ発振に係るレーザガス３が封入されるが、
この気密容器２内には、容器壁２ａに沿って周方向に順
に、送風機４、冷却器５ａ、空隙６を介して対向する放
電電極の陰極７ａ、陽極７ｂおよび冷却器５ｂが設置さ
れている。
【０００３】また、気密容器２内には、さらに送風機４
に駆動装置８が設置されている。放電電極７ａ，７ｂは
電極支持盤９ａを介して気密容器２外の高圧電源（図示
せず）と接続されており、又、７ｂは電極支持盤９ｂに
取付けられている。
に駆動装置８が設置されている。放電電極７ａ，７ｂは
電極支持盤９ａを介して気密容器２外の高圧電源（図示
せず）と接続されており、又、７ｂは電極支持盤９ｂに
取付けられている。
【０００４】このような構成のガスレーザ発振器１を運
転すると、まず駆動装置８が稼働し、その動力は送風機
に伝えられ、レーザガス３は、送風機４により冷却器５
ａを通過して放電電極の陰極７ａ、陽極７ｂ間の空隙
（放電領域）６に導かれる。すると、高電圧電源（図示
せず）から給電された放電電極の陰極７ａ、陽極７ｂ
は、空隙６にパルス状のグロー放電を生じさせ、流れ込
んだレーザガス３を励起させてレーザ発振させる。レー
ザ発振によって生じたレーザビーム（図示せず）は気密
容器２の外に取り出される。
転すると、まず駆動装置８が稼働し、その動力は送風機
に伝えられ、レーザガス３は、送風機４により冷却器５
ａを通過して放電電極の陰極７ａ、陽極７ｂ間の空隙
（放電領域）６に導かれる。すると、高電圧電源（図示
せず）から給電された放電電極の陰極７ａ、陽極７ｂ
は、空隙６にパルス状のグロー放電を生じさせ、流れ込
んだレーザガス３を励起させてレーザ発振させる。レー
ザ発振によって生じたレーザビーム（図示せず）は気密
容器２の外に取り出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】一方、グロー放電に係
るエネルギーの９０％以上は、レーザガス３の加熱によ
り消費される。するとレーザガス３はこの加熱によって
膨脹し、膨脹速度が音速をこえると図４に示すように衝
撃波１０ａが放電電極の陰極７ａ、陽極７ｂ間の空隙６
に発生する。この衝撃波１０ａは発生後、１０ｂ，１０
ｃと進んで行く。しかし、陽極７ｂや電極取付け板１１
に反射して１０ｄにように陰極側に進む。このように電
極間を反射して衝撃波が残存して、放電の安定は、放電
電極の陰極７ａ、陽極７ｂの間の空隙６を流れるレーザ
ガス３の流速と濃度の安定に大きく依存する。
るエネルギーの９０％以上は、レーザガス３の加熱によ
り消費される。するとレーザガス３はこの加熱によって
膨脹し、膨脹速度が音速をこえると図４に示すように衝
撃波１０ａが放電電極の陰極７ａ、陽極７ｂ間の空隙６
に発生する。この衝撃波１０ａは発生後、１０ｂ，１０
ｃと進んで行く。しかし、陽極７ｂや電極取付け板１１
に反射して１０ｄにように陰極側に進む。このように電
極間を反射して衝撃波が残存して、放電の安定は、放電
電極の陰極７ａ、陽極７ｂの間の空隙６を流れるレーザ
ガス３の流速と濃度の安定に大きく依存する。
【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、レーザガス３の流速および濃度を安定にして、
安定なレーザビームを得ることができるガスレーザ発振
装置を提供することを目的とする。
であり、レーザガス３の流速および濃度を安定にして、
安定なレーザビームを得ることができるガスレーザ発振
装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明のガスレーザ発振装置は、放電電極の陽極及び、
陰極近傍の壁面にレーザガスの流れ方向に沿って複数個
の空洞部を設け、衝撃波の反射した残存衝撃波を吸収す
ることを特徴としている。
本発明のガスレーザ発振装置は、放電電極の陽極及び、
陰極近傍の壁面にレーザガスの流れ方向に沿って複数個
の空洞部を設け、衝撃波の反射した残存衝撃波を吸収す
ることを特徴としている。
【０００８】
【作用】本発明のガスレーザ発振装置においては、陽極
及び陰極より発生した衝撃波を、陽極及び陰極近傍に設
けた空洞部の内部まで導くことにより、衝撃波の反射波
を吸収又は、緩和して放電電極間の空隙にあるレーザガ
スの粗密を低減することができる。
及び陰極より発生した衝撃波を、陽極及び陰極近傍に設
けた空洞部の内部まで導くことにより、衝撃波の反射波
を吸収又は、緩和して放電電極間の空隙にあるレーザガ
スの粗密を低減することができる。
【０００９】
【実施例】以下図１、図２を参照して本発明の一実施例
を説明する。図１は、本発明の一実施例に係るガスレー
ザ発振装置１の放電部の要部構成図である。又、図２
は、図１の斜視図を示すものである。本実施例に係る放
電部の基本構成は、図３に示したものと実質には異なら
ないので、対応する箇所には同一の符号を付して詳しい
説明は省略する。
を説明する。図１は、本発明の一実施例に係るガスレー
ザ発振装置１の放電部の要部構成図である。又、図２
は、図１の斜視図を示すものである。本実施例に係る放
電部の基本構成は、図３に示したものと実質には異なら
ないので、対応する箇所には同一の符号を付して詳しい
説明は省略する。
【００１０】この放電部において、陽極７ｂ、陰極７ａ
を取付けている電極取付盤１２ａ，１２ｂの陽極７ｂ、
陰極７ａ近傍に凹部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを
設ける。これらの凹部１３ａ（１３ｃ），１３ｂ（１３
ｄ）の幅Ｗａ，Ｗｂはともに電極幅Ｗｃに対して、 Ｗａ＝０．５〜３．０×Ｗｃ Ｗｂ＝０．５〜３．０×Ｗｃ となるようにする。又、凹部１３ａ（１３ｃ），１３ｂ
（１３ｄ）の部さＨａ，Ｈｂの寸法は Ｈａ＝１．０〜３．０×Ｗａ Ｈｂ＝１．０〜３．０×Ｗｂ となるようにする。又、凹部１３ａ（１３ｃ），１３ｂ
（１３ｄ）の幅Ｌａ，Ｌｂは電極幅Ｗｃに対して、 Ｌａ＝０．１〜１．０×Ｗｃ Ｌｂ＝０．１〜１．０×Ｗｃ となるようにする。又、凹部１３ａ（１３ｃ），１３ｂ
（１３ｄ）のピッチＭａ，Ｍｂの寸法は Ｍａ＝０．１〜０．５×Ｌａ Ｍｂ＝０．１〜０．５×Ｌｂ となるようにする。レーザガスは、図３と同様に電極７
ａ，７ｂ間を左から右に流れる。
を取付けている電極取付盤１２ａ，１２ｂの陽極７ｂ、
陰極７ａ近傍に凹部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを
設ける。これらの凹部１３ａ（１３ｃ），１３ｂ（１３
ｄ）の幅Ｗａ，Ｗｂはともに電極幅Ｗｃに対して、 Ｗａ＝０．５〜３．０×Ｗｃ Ｗｂ＝０．５〜３．０×Ｗｃ となるようにする。又、凹部１３ａ（１３ｃ），１３ｂ
（１３ｄ）の部さＨａ，Ｈｂの寸法は Ｈａ＝１．０〜３．０×Ｗａ Ｈｂ＝１．０〜３．０×Ｗｂ となるようにする。又、凹部１３ａ（１３ｃ），１３ｂ
（１３ｄ）の幅Ｌａ，Ｌｂは電極幅Ｗｃに対して、 Ｌａ＝０．１〜１．０×Ｗｃ Ｌｂ＝０．１〜１．０×Ｗｃ となるようにする。又、凹部１３ａ（１３ｃ），１３ｂ
（１３ｄ）のピッチＭａ，Ｍｂの寸法は Ｍａ＝０．１〜０．５×Ｌａ Ｍｂ＝０．１〜０．５×Ｌｂ となるようにする。レーザガスは、図３と同様に電極７
ａ，７ｂ間を左から右に流れる。
【００１１】この様にすると図１において、図４に示す
反射衝撃波１０ｃ，１０ｄは、それぞれ１０ｅ，１０ｆ
のようになり、凹部１３ａ，１３ｂ部の衝撃波が消減、
または、緩和する。これにより放電電極の陰極７ａ、陽
極７ｂ間にあるレーザガスの粗密が減少し放電が安定に
なる。放電の安定は、この放電によりレーザガスが励起
されることにより発振するレーザ光も安定する。凹部１
３ａ（１３ｃ），１３ｂ（１３ｄ）は陽極７ｂ、陰極７
ａ側のいずれか一方にだけ設けるようにしても両方同様
な効果が得られる。
反射衝撃波１０ｃ，１０ｄは、それぞれ１０ｅ，１０ｆ
のようになり、凹部１３ａ，１３ｂ部の衝撃波が消減、
または、緩和する。これにより放電電極の陰極７ａ、陽
極７ｂ間にあるレーザガスの粗密が減少し放電が安定に
なる。放電の安定は、この放電によりレーザガスが励起
されることにより発振するレーザ光も安定する。凹部１
３ａ（１３ｃ），１３ｂ（１３ｄ）は陽極７ｂ、陰極７
ａ側のいずれか一方にだけ設けるようにしても両方同様
な効果が得られる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明のように、本発明のガスレーザ
発振装置によれば、放電電極間に発生する衝撃波の残存
する反射衝撃波を減少させることができ、これによるレ
ーザガスの粗密を少なくなり安定したレーザビームを得
ることができる。
発振装置によれば、放電電極間に発生する衝撃波の残存
する反射衝撃波を減少させることができ、これによるレ
ーザガスの粗密を少なくなり安定したレーザビームを得
ることができる。
【図１】本発明の一実施例に係る放電部の要部構成図。
【図２】図１の陽極部の斜視図。
【図３】従来のガスレーザ発振装置の断面図。
【図４】図３の放電部の断面図。
２…気密容器、 ３…レーザガス、４…送風
機、 ５ａ，５ｂ…冷却器、７ａ，７ｂ…放
電電極。
機、 ５ａ，５ｂ…冷却器、７ａ，７ｂ…放
電電極。
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザガスが封入されたガスレーザ本体
と、このガスレーザ本体内部にレーザガスを循環させる
送風手段と、循環されるレーザガスを冷却する冷却手段
と、前記レーザガスの循環流路に設けられ且つ放電が行
われる部分を残して基盤に埋設された陽極と陰極とから
なる一対の放電電極と、該放電電極へのレーザガス流入
口の直前に設けられた縮流路と、前記放電電極からのレ
ーザガス流出口に設けられた拡大路を有する放電部とを
具備したガスレーザ発振器において、放電電極近傍の壁
面にレーザガスの流れ方向に沿って複数個の空洞部を設
けたことを特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23400692A JPH0685350A (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23400692A JPH0685350A (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0685350A true JPH0685350A (ja) | 1994-03-25 |
Family
ID=16964080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23400692A Pending JPH0685350A (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0685350A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0883945A (ja) * | 1994-09-12 | 1996-03-26 | Toshiba Corp | エキシマレーザ発振装置 |
| JPH08167748A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Hitachi Ltd | パルスレーザ発振装置 |
| JP2003060270A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-28 | Gigaphoton Inc | パルス発振ガスレーザ装置 |
| EP1051780A4 (en) * | 1998-10-09 | 2006-02-01 | Cymer Inc | LASER CHAMBER WITH SHOCK WAVE DISSIPATION |
| JP2006229136A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Komatsu Ltd | パルス発振型放電励起レーザ装置 |
| WO2017022105A1 (ja) * | 2015-08-05 | 2017-02-09 | ギガフォトン株式会社 | レーザチャンバ |
-
1992
- 1992-09-02 JP JP23400692A patent/JPH0685350A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0883945A (ja) * | 1994-09-12 | 1996-03-26 | Toshiba Corp | エキシマレーザ発振装置 |
| JPH08167748A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Hitachi Ltd | パルスレーザ発振装置 |
| EP1051780A4 (en) * | 1998-10-09 | 2006-02-01 | Cymer Inc | LASER CHAMBER WITH SHOCK WAVE DISSIPATION |
| JP2003060270A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-28 | Gigaphoton Inc | パルス発振ガスレーザ装置 |
| JP2006229136A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Komatsu Ltd | パルス発振型放電励起レーザ装置 |
| WO2017022105A1 (ja) * | 2015-08-05 | 2017-02-09 | ギガフォトン株式会社 | レーザチャンバ |
| JPWO2017022105A1 (ja) * | 2015-08-05 | 2018-05-24 | ギガフォトン株式会社 | レーザチャンバ |
| US10965085B2 (en) | 2015-08-05 | 2021-03-30 | Gigaphoton Inc. | Laser chamber with metal damper member |
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