JPH0686673B2 - めっき処理設備 - Google Patents

めっき処理設備

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JPH0686673B2
JPH0686673B2 JP63279557A JP27955788A JPH0686673B2 JP H0686673 B2 JPH0686673 B2 JP H0686673B2 JP 63279557 A JP63279557 A JP 63279557A JP 27955788 A JP27955788 A JP 27955788A JP H0686673 B2 JPH0686673 B2 JP H0686673B2
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賢吾 宮田
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昌英 京
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Mitsui High Tec Inc
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Mitsui High Tec Inc
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、たとえばIC装置に利用されるリードフレーム
等の長尺の帯状材料を連続的にめっき処理槽に供給して
めっきするめっき処理設備に関する。
〔従来の技術〕
IC装置のリードフレームの製造工程では、ワイヤボンデ
ィングやダイボンディング等を適正に行なうために、金
型製作後のパッドやインナーリード及びその他の領域の
表面に金属めっきが施される。このめっき処理のため、
製造ラインには複数のめっき浴,酸洗,水洗及び脱脂等
の処理槽が配置され、材料を処理の順にしたがってパス
させてゆく。
材料が長尺の帯状物であるとき、単品の製品を1個ずつ
めっき浴等に浸漬する方法に代えて、処理ラインをパス
させることで連続的な処理が可能である。たとえば、従
来では帯状材料の先端を処理槽の中に差し込んで通過さ
せ、ラインの終端に配置したアンコイラ等に材料の先端
を掛ける作業から始める。そして、段取りの後は材料を
連続的に一様な速度でパスさせ、めっき処理したものを
アンコイラに巻き取って次の工程に備える。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、たとえばIC装置のリードフレームの製造の場
合では、ライン長さが10mを超えるようになると、大量
のリードフレームが不良品となることが避けられない。
これは、段取り作業としてライン長さにほぼ等しい材料
をアンコイラまで掛け渡すことになるので、この段取り
過程ではめっき処理が実質的に行えないことが一つの原
因である。したがって、歩留まりの低下が著しくなるほ
か、段取りから処理開始までのセットアップにも時間が
かかるため、生産性の向上にも限界がある。
このような生産面での問題に対し、近年ではダミーフレ
ームを用いて歩留まりの向上を図ることが行われてい
る。ダミーフレームはスクラップ等を帯状としたもの
で、めっきラインの長さにほぼ等しいものをリードフレ
ームの先端に接続して使用する。このダミーフレームを
使用すれば、段取りのためにリードフレームが無駄にな
ることはなく、歩留まりの向上は可能である。
しかしながら、リードフレームとダミーフレームとの接
続及びオンコイラ等への掛け渡しが必要なので、作業者
が常にラインに従事しなければならない。また、リード
フレームを連続して処理する場合には、先行のものに後
続のフレームを接続する作業も人手を必要とする。この
ように、生産性の面からみると、従来の製造に比較して
何等改善されてない現状にある。
そこで、本発明は、歩留まりの向上に加えて生産性も向
上させることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、複数のめっき処理槽をラインに配列し、それ
ぞれのめっき処理槽への入り口前に被めっき材の送り装
置を配置し、前記被めっき材のパス方向の先端部が上流
の送り装置を抜けて下流の次の送り装置に到達したと
き、前記上流の送り装置の駆動を停止すると同時に下流
の送り装置の駆動を開始する制御系を設け、更に最終段
のめっき処理槽の出口の後側に送り装置を設け、該送り
装置を前記被めっき材が抜ける期間継続して最上流の送
り装置を前記制御系によって駆動させる系としてなるこ
とを特徴とする。
〔実施例〕
以下、図面に示す実施例により本発明の特徴を具体的に
説明する。
第1図は本発明の送り装置をリードフレームのめっきラ
インに配置した例を示す斜視図である。
図において、リードフレームAは金型によるプレス方向
が水平となるように立った姿勢で搬送され、処理槽Bに
送り込まれる。送り装置は、そのベース1によって処理
槽Bの入り口近傍に設けられ、ベース1には送り駆動ロ
ール2及びシフトロール3をリードフレームAのパスラ
インを挟んで設けている。
送り駆動ロール2はベース1に設けた駆動モータ4の出
力軸の回転をプーリ4a及びベルト4bによって伝達され、
適正な周速として図の矢印方向へ回転する。そして、送
り駆動ロール2の周面にはリードフレームAを損傷しな
いようにゴム等の弾性体を利用したカラー2aを巻き付
け、このカラー2aの周面がリードフレームAのパス面に
一致するような構造を持たせる。
一方、シフトロール3も送り駆動ロール2と同様に周面
にカラー3aを巻き付けたもので、その軸部3b周りに回転
自在である。ベース1にはシフトシリンダ5が設けら
れ、そのアクチュエータ5aの先端に設けたブロック5bに
軸部3bの下端を固定している。アクチュエータ5aのスト
ローク方向は、リードフレームAのパスラインと直交す
る向きであり、送り駆動ロール2とシフトロール3のそ
れぞれの中心はパスラインと直交する線分上に位置させ
る。このような構成によって、送り駆動ロール2とシフ
トロール3のカラー2a,3aはリードフレームAを挟みな
がらこれを搬送することができる。
リードフレームAの送りは、駆動モータ4を作動させる
と同時にシフトシリンダ5のアクチユエータ5aをパスラ
イン側に進出させ、送り駆動ロール2とシフトロール3
とによってリードフレームAを挟圧してはじめて可能と
なる。すなわち、送り駆動ロール2のカラー2aは常にリ
ードフレームAに接触しているが、リードフレームAを
押しつける作用はない。このため、送り駆動ロール2が
回転してもリードフレームAとカラー2aとの間はスリッ
プし、リードフレームAには送りは与えられない。これ
に対し、シフトシリンダ5を作動させてシフトロール3
のカラー3aをリードフレームAに突き当てると、送り駆
動ロール2がこのシフトロール3との間でリードフレー
ムAを強く挟むようになり、スリップすることなくリー
ドフレームAに送りが与えられる。
第2図はリードフレームAのめっき処理ラインの概略ブ
ロック図である。図において、脱脂からCuめっき・水洗
までが第1処理槽10によって行われ、これに続いて第2
処理槽11及び第3処理槽12によってそれぞれの処理が行
われる。
第3図は第1,第2及び第3処理槽10,11,12に対する送り
装置の配置を示す概略図である。図示のように、3連の
処理槽10〜12に対し4組の送り装置が配置され、リード
フレームAの入り側から順に第1スタンドI、第2スタ
ンドII、第3スタンドIII及び第4スタンドIVがレイア
ウトされている。これらの各スタンドI〜IVに設ける送
り装置は全て第1図に示した構造を持つ。そして、リー
ドフレームAの位置に対して各スタンドの作動を抑制す
る制御部Cによって、駆動モータ4及びシフトシリンダ
5の作動を制御する。
第3図(a)では、リードフレームAが第1処理槽10内に
入り込む過程であり、このとき第1スタンドIの送り装
置のみが作動する。すなわち、リードフレームAが第1
スタンドIの送り装置に装入されると、駆動モータ4が
作動すると同時にシフトシリンダ5のアクチュエータ5a
が進出し、リードフレームAの両面を送り駆動ロール2
とシフトロール3とが挟む。このため、送り駆動ロール
2の送りがリードフレームAに与えられ、リードフレー
ムAは第2処理槽11へ向けて搬送される。
この後、第3図(b)のようにリードフレームAの先端が
第2スタンドIIに到達すると、この送り装置が作動して
送り駆動ロール2とシフトロール3とによって送りが与
えられる。そして、これと同時に第1スタンドIではシ
フトシリンダ5のアクチュエータ5aが後退し、リードフ
レームAには送りは伝達されない。以降、リードフレー
ムAが第3処理槽12へ向かって第3スタンドIIIに達す
るとき、第2スタンドIIは送り駆動から外れると同時に
第3スタンドIIIが送り駆動に参加する。第4スタンドI
VにリードフレームAが到達したときも全く同様であ
る。つまり、リードフレームAが進んで行き、その先端
が下流のスタンドに入り込んだときにこのスタンドが送
りを与え、上流側のスタンドは送り駆動から離れる動作
を行なう。なお、このような各スタンドの作動は、リー
ドフレームAの位置を検知しながら制御部Cの制御によ
り行うことは無論である。
また、リードフレームAを送り出した後に、第3図(c)
のように新たなリードフレームAをラインに供給すると
き、図示のように第1スタンドIの送り装置が作動す
る。そして、先行のリードフレームAが第4スタンドIV
から抜け出ていない間では、第1スタンドIと第4スタ
ンドIVの送り装置が共に作動する。
このように送り装置を各処理槽の前と最終段の処理槽の
後に配置することで、リードフレームAを連続的に流し
ながらパスさせることができる。このため、従来のよう
にダミーフレーム等を用いたりする、先行するものと後
続のリードフレームAどうしを接続する等の作業が全く
不要となり、生産性の向上が可能となる。また、ダミー
フレームを用いるとめっき液に影響を与えることが避け
られないが、リードフレームAのみがパスするのでこの
ような問題も解消される。更に、めっきラインよりも短
いリードフレームAでもパスさせることができるので、
少量生産やサンプル採取等にも有利であり、歩留まりも
格段に向上する。
なお、第2処理槽11で行なうAgメッキは、他のメッキ処
理とは異なってリードフレームAを間欠送りとする必要
がある。このため、第1処理槽10と第2処理槽11との間
及び第2処理槽11と第3処理槽12との間でリードフレー
ムAにループを造って第1,第3処理槽10,12での連続送
りとの接続ができるようにする。
リードフレームAにループを造る装置としてはたとえば
第4図に示すものが採用できる。これはループチャンバ
20の中にリードフレームAをパスさせ、このパスの間に
水の噴射圧によってリードフレームAをパスラインから
外れるようにしてループを造り出すものである。ループ
チャンバ20の中には、リードフレームAのパスラインに
沿って給水パイプ21が配管され、その周壁に噴射孔21a
を開けている。また、パスラインを挟む両側には一対の
ガイド22a、22bが配置され、この中で給水パイプ21から
離れたガイド22bは図示のようにパスラインの上側で水
平となる姿勢に旋回できる構造を持たせる。そして、通
常時はこのガイド22bも他方のガイド22aに対向するよう
にパスラインを挟んだ位置にセットされているが、リー
ドフレームAにループを造るときには図示のように上側
へ退避する。また、ループチャンバ20の内部には、リー
ドフレームAのループを検知するための複数のループ検
知センサ23が設けられる。これらのループ検知23ははリ
ードフレームAまでの距離等を検出して信号を制御部C
に入力し、ループの状況を把握する。
ループチャンバ20の中では、給水パイプ21の噴射孔21a
から噴出される水の水圧によって、図示のようにリード
フレームAが弓状に反り、第2処理槽11の前後でループ
を造ることができる。そして、このループをループ検知
センサ23が検知すると、上流側及び下流側との送り速度
との間に緩衝が得られるので、第2処理槽11の上流側の
送り装置すなわち第2スタンドIIが作動してリードフレ
ームAに間欠送りを与える。
なお、実施例ではIC装置のリードフレームのめっきライ
ンについて述べたが、これ以外に長尺帯状材の処理にも
本発明の送り装置が利用できることは無論である。
〔発明の効果〕
本発明では、複数段のめっき処理槽の入り口前に設けた
送り装置に順に入り込んで来る被めっき材をその先端側
において送りを与えるながら搬送でき、しかも最終段の
出口の後側に設けた送り装置が作動しているときには必
ず上流の送り装置が後続の被めっき材の送りのために作
動する。このため、被めっき材を順にラインに供給する
だけでダミーフレームを用いたりアンコイラに掛け回す
等の操作が不要となり、歩留りの向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の送り装置の概要を示す図、第2図はめ
っき処理ラインの一例を示す概略ブロック図、第3図は
送り装置による被めっき材のパスを示し、第4図はルー
プチャンバの概略を示すものである。 1:ベース、2:送り駆動ロール 2a:カラー、3:シフトロール 3a:ベース、3b:軸部 4:駆動モータ、4a:プーリ 4b:ベルト、5:シフトシリンダ 5a:アクチュエータ、5b:ブロック 10:第1処理槽、11:第2処理槽 12:第3処理槽、20:ループチャンバ 21:給水パイプ、21a:噴射孔 22a,22B:ガイド、23:ループ検知センサ A:リードフレーム(被めっき材) B:処理槽、C:制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/50 D 9272−4M // C21D 9/56 F

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数のめっき処理槽をラインに配列し、そ
    れぞれのめっき処理槽への入り口前に被めっき材の送り
    装置を配置し、 前記被めっき材のパス方向の先端部が上流の送り装置を
    抜けて下流の次の送り装置に到達したとき、前記上流の
    送り装置の駆動を停止すると同時に下流の送り装置の駆
    動を開始する制御系を設け、 更に最終段のめっき処理槽の出口の後側に送り装置を設
    け、該送り装置を前記被めっき材が抜ける期間継続して
    最上流の送り装置を前記制御系によって駆動させる系と
    してなるめっき処理設備。
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