JPH068763B2 - 差圧伝送器 - Google Patents
差圧伝送器Info
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- JPH068763B2 JPH068763B2 JP1973285A JP1973285A JPH068763B2 JP H068763 B2 JPH068763 B2 JP H068763B2 JP 1973285 A JP1973285 A JP 1973285A JP 1973285 A JP1973285 A JP 1973285A JP H068763 B2 JPH068763 B2 JP H068763B2
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- electrode
- pressure
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜関連する技術分野＞ 本発明は、プロセス制御装置に用いられるベローズ又は
ダイヤフラムなどの受圧要素と静電容量変化を用いた差
圧伝送器に関する。
ダイヤフラムなどの受圧要素と静電容量変化を用いた差
圧伝送器に関する。
＜従来技術＞ 第１図は静電容量変化を用いた差圧伝送器の一例を示す
構成図である。１は一室構造の差圧伝送器の本体断面を
示し、一方の端面には測定すべき差圧ΔＰの一方の圧力
P1を受ける受圧ダイヤフラム２が、他方の端面には測定
すべき差圧ΔＰの他方の圧力P2を受けるダイヤフラム３
がその周縁を本体に溶接されて配置されており、本体に
形成された貫通穴1a,1bと上記ダイヤフラム２，３で囲
まれた中空室内及び中空室中央部に形成された電極室1c
内にはシリコン油等の封入液４が満たされている。5a,5
bは電極室内において本体内壁に対向して支持された絶
縁材、6a,6bはこの絶縁材上に対向して接着された固定
電極である。７は絶縁材5a,5bに挾持された金属リン
グ、８はこの金属リングに支持された板バネ、９はこの
板バネに支持された移動電極であり、この移動電極と各
固定電極6a,6b間で静電容量C1,C2が形成される。Tcは金
属リング、板バネを介して移動電極９に接続された移動
電極端子、T1，T2は固定電極6a，6bに接続された固定電
極端子である。10は移動電極９と受圧ダイヤフラム２を
連結するロッドで、受圧ダイヤフラム２で受けた、圧力
Ｐと有効面積Ａとの積P・Aの力を移動電極９を介して板
バネ８に伝える。板バネ８は上記力P・Aと平衡するまで
たわみ、この変位により移動電極９が中央位置より微小
変位し、対向する固定電極6a,6b間の静電容量C1,C2が差
動的に変化する。移動電極の変位をΔｘとし、移動電極
９と各固定電極6a,6b間の初期ギャップをdo、封入液の
誘電率ε、空気中での初期容量をCoとするとき、 となる。
構成図である。１は一室構造の差圧伝送器の本体断面を
示し、一方の端面には測定すべき差圧ΔＰの一方の圧力
P1を受ける受圧ダイヤフラム２が、他方の端面には測定
すべき差圧ΔＰの他方の圧力P2を受けるダイヤフラム３
がその周縁を本体に溶接されて配置されており、本体に
形成された貫通穴1a,1bと上記ダイヤフラム２，３で囲
まれた中空室内及び中空室中央部に形成された電極室1c
内にはシリコン油等の封入液４が満たされている。5a,5
bは電極室内において本体内壁に対向して支持された絶
縁材、6a,6bはこの絶縁材上に対向して接着された固定
電極である。７は絶縁材5a,5bに挾持された金属リン
グ、８はこの金属リングに支持された板バネ、９はこの
板バネに支持された移動電極であり、この移動電極と各
固定電極6a,6b間で静電容量C1,C2が形成される。Tcは金
属リング、板バネを介して移動電極９に接続された移動
電極端子、T1，T2は固定電極6a，6bに接続された固定電
極端子である。10は移動電極９と受圧ダイヤフラム２を
連結するロッドで、受圧ダイヤフラム２で受けた、圧力
Ｐと有効面積Ａとの積P・Aの力を移動電極９を介して板
バネ８に伝える。板バネ８は上記力P・Aと平衡するまで
たわみ、この変位により移動電極９が中央位置より微小
変位し、対向する固定電極6a,6b間の静電容量C1,C2が差
動的に変化する。移動電極の変位をΔｘとし、移動電極
９と各固定電極6a,6b間の初期ギャップをdo、封入液の
誘電率ε、空気中での初期容量をCoとするとき、 となる。
このようにして検出された、変位Δｘに関連した容量
C1,C2は演算回路11に導かれ、(C1-C2)／(C1+C2)の演算
が実行され、その出力Voは、Vo＝εCo・Δｘとなり、Δ
ｘに比例した信号を得ることができる。12はこの信号Vo
を４〜20mAのスパンを有する電流信号Ioに変換して遠隔
点の負荷Rlに伝送する出力回路である。Ebは遠隔点に設
けられた直流電源である。
C1,C2は演算回路11に導かれ、(C1-C2)／(C1+C2)の演算
が実行され、その出力Voは、Vo＝εCo・Δｘとなり、Δ
ｘに比例した信号を得ることができる。12はこの信号Vo
を４〜20mAのスパンを有する電流信号Ioに変換して遠隔
点の負荷Rlに伝送する出力回路である。Ebは遠隔点に設
けられた直流電源である。
このような構成の差圧伝送器では次の点に問題があっ
た。
た。
(1)受圧ダイヤフラム２，３の有効面積Ａや板バネの定
数の変化で測定誤差が出る。
数の変化で測定誤差が出る。
(2)移動電極の変位は微小ではあるが可動部であり姿勢
による影響を受ける。
による影響を受ける。
(3)板バネ、移動電極、ロッド等電極室内の構造が複雑
でかつ精密加工を要するため、製造コストがかさむ。
でかつ精密加工を要するため、製造コストがかさむ。
＜発明の目的＞ 本発明は封入液の誘電率が圧力によって変化することに
着目し、可動部を有せず、構造が極めて簡素な差圧伝送
器を実現することを目的とする。
着目し、可動部を有せず、構造が極めて簡素な差圧伝送
器を実現することを目的とする。
＜発明の概要＞ 本発明の構成上の特徴は、夫々が温度及び圧力が変化す
るとその誘電率が変化する封入液を間にした一対の固定
電極で形成され、互いに近接配置された２個の容量手段
の一方の封入液に対して第１の測定圧力を導くと共に他
方の封入液に対して第２の測定圧力を導き、これ等の測
定圧力に基づく２個の容量の誘電率変化を検出し、これ
ら検出手段の出力の差を演算して温度変動を補償した差
圧信号を出力するようにした点にある。
るとその誘電率が変化する封入液を間にした一対の固定
電極で形成され、互いに近接配置された２個の容量手段
の一方の封入液に対して第１の測定圧力を導くと共に他
方の封入液に対して第２の測定圧力を導き、これ等の測
定圧力に基づく２個の容量の誘電率変化を検出し、これ
ら検出手段の出力の差を演算して温度変動を補償した差
圧信号を出力するようにした点にある。
＜実施例＞ 第２図は本発明差圧伝送器の一実施例を示すもので、第
１図と同一要素には同一記号を付し説明を省略する。本
体１の内部は隔壁1dにより圧力p1を受ける電極室1eと圧
力P2を受ける電極室1fとに２分されている。5c,5dは電
極室1e内において対向配置された絶縁材、6d,6cはこの
絶縁材に固定され、封入液4aを介して対向配置された固
定電極である。5e,5fは電極室1f内において対向配置さ
れた絶縁材、6e,6fはこの絶縁材に固定され、封入液4b
を介して対向配置された固定電極である。固定電極6cは
電極端子T1へ、固定電極6eは電極端子T2へ、固定電極
6d,6fは共通接続され電極端子Tcに導かれ、TcとT1間よ
り固定電極6c,6dにより形成される静電容量C1が、TcとT
2間より固定電極6e,6fにより形成される静電容量C2が検
出され、演算回路11に導かれる。
１図と同一要素には同一記号を付し説明を省略する。本
体１の内部は隔壁1dにより圧力p1を受ける電極室1eと圧
力P2を受ける電極室1fとに２分されている。5c,5dは電
極室1e内において対向配置された絶縁材、6d,6cはこの
絶縁材に固定され、封入液4aを介して対向配置された固
定電極である。5e,5fは電極室1f内において対向配置さ
れた絶縁材、6e,6fはこの絶縁材に固定され、封入液4b
を介して対向配置された固定電極である。固定電極6cは
電極端子T1へ、固定電極6eは電極端子T2へ、固定電極
6d,6fは共通接続され電極端子Tcに導かれ、TcとT1間よ
り固定電極6c,6dにより形成される静電容量C1が、TcとT
2間より固定電極6e,6fにより形成される静電容量C2が検
出され、演算回路11に導かれる。
第３図は本発明の他の実施例を示すもので、第２図との
相違点は、第２図の隔壁1dに代えて、Ｏリング13でシー
ルされた絶縁材5gを中空室1cの中空部に固定し、この絶
縁材5gの両側面に固定電極6dと6fを固定したことを特徴
としている。
相違点は、第２図の隔壁1dに代えて、Ｏリング13でシー
ルされた絶縁材5gを中空室1cの中空部に固定し、この絶
縁材5gの両側面に固定電極6dと6fを固定したことを特徴
としている。
第２図，第３図の構成によいてダイヤフラム２，３は第
１図の場合のごとく圧力p1,p2に比例した力を発生する
要素としての作用でなく、圧力p1,p2を封入液4a,4bに伝
達するシールダイヤフラムとして作用する。
１図の場合のごとく圧力p1,p2に比例した力を発生する
要素としての作用でなく、圧力p1,p2を封入液4a,4bに伝
達するシールダイヤフラムとして作用する。
静電容量C1,C2は圧力p1,p2がシールダイヤフラム2,3を
介して封入液4a,4bを圧縮するとその誘導率が変化する
ことで可変する。しかし誘電率εは温度でも変化する。
一般に室温状態（Δｔ＝０）でｐ＝０のときの誘電率を
εoとするとき、温度Δｔ，圧力ｐに対し誘電率εは、
α，βを定数とするとき、 ε＝εo(1-αΔt＋βp) (1) で表わされる。従って、C1,C2は、Δｔ＝０，ｐ＝０の
ときの容量をＣ10とするとき、 Ｃ1＝Ｃ10・εo(1-αΔt＋βp1) (2) と表わされる。一方Ｃ2はΔｔ＝０，ｐ＝０のときの容
量をＣ20とするとき、 Ｃ2＝Ｃ20・εo(1-αΔt＋βp2) (3) で表わされる。
介して封入液4a,4bを圧縮するとその誘導率が変化する
ことで可変する。しかし誘電率εは温度でも変化する。
一般に室温状態（Δｔ＝０）でｐ＝０のときの誘電率を
εoとするとき、温度Δｔ，圧力ｐに対し誘電率εは、
α，βを定数とするとき、 ε＝εo(1-αΔt＋βp) (1) で表わされる。従って、C1,C2は、Δｔ＝０，ｐ＝０の
ときの容量をＣ10とするとき、 Ｃ1＝Ｃ10・εo(1-αΔt＋βp1) (2) と表わされる。一方Ｃ2はΔｔ＝０，ｐ＝０のときの容
量をＣ20とするとき、 Ｃ2＝Ｃ20・εo(1-αΔt＋βp2) (3) で表わされる。
次に第４図により、演算回路11及び出力回路12の実施例
を説明する。14は一定電圧ＶＳで振幅Ｅと周波数ωが一
定に制御された交流発振器であり、その出力eoの一端が
電極端子Tcに、他端は回路の共通電位点COMに接続され
る。電極端子T1とCOM間にはダイオードD1のアノード・
カソード回路及び電流検出抵抗R1の直列回路が、又電極
端子T1とCOM間にはダイオードD2のアノード・カソード
回路及び電流検出抵抗R2の直列回路が接続される。Ｃ′
1，Ｃ′2は抵抗R1,R2に並列接続された平滑用コンデン
サである。このような構成によって、発振器14よりの交
流信号eoの半サイクルにおいて、C1,C2に比例した電流
がR1,R2を流れ、平滑された直流電圧信号V1,V2が共通電
位点COMと抵抗R1,R2の両端間に発生する。ダイオード
D3,D4は電極端子T1,T2と共通電位点COM間に接続され交
流信号eoの負の半サイクルが流れる。C1,C2に比例した
信号V1,V2は入力抵抗R3,R4を介して増幅器15の非反転及
び反転入力端子に導かれる。16は増幅器15で制御される
出力トランジスタで、出力端子17,18を流れる電流Ioを
調節する。Rfは共通電位点COMと出力端子の一方18間に
接続された帰還抵抗で、Ioに比例した電圧を発生し、ス
パン調整用ポテンショメータVR1を含む抵抗回路網を介
して帰還電圧Vfとして抵抗R5を介して増幅器の非反転入
力端子に帰還される。出力端子の他方17と共通電位点CO
M間には定電流回路CC1とツェナーダイオードD5の直列回
路よりなる定電圧発生回路が接続され、定電圧Vzにより
増幅器15，発振器14が駆動され、更に一定電圧Vsの電源
として用いられる。VR2はこの一定電圧Vzを分圧して零
点調整電圧Vrを抵抗R6を介して増幅器15の反転入力端子
に供給するためのポテンショメータである。
を説明する。14は一定電圧ＶＳで振幅Ｅと周波数ωが一
定に制御された交流発振器であり、その出力eoの一端が
電極端子Tcに、他端は回路の共通電位点COMに接続され
る。電極端子T1とCOM間にはダイオードD1のアノード・
カソード回路及び電流検出抵抗R1の直列回路が、又電極
端子T1とCOM間にはダイオードD2のアノード・カソード
回路及び電流検出抵抗R2の直列回路が接続される。Ｃ′
1，Ｃ′2は抵抗R1,R2に並列接続された平滑用コンデン
サである。このような構成によって、発振器14よりの交
流信号eoの半サイクルにおいて、C1,C2に比例した電流
がR1,R2を流れ、平滑された直流電圧信号V1,V2が共通電
位点COMと抵抗R1,R2の両端間に発生する。ダイオード
D3,D4は電極端子T1,T2と共通電位点COM間に接続され交
流信号eoの負の半サイクルが流れる。C1,C2に比例した
信号V1,V2は入力抵抗R3,R4を介して増幅器15の非反転及
び反転入力端子に導かれる。16は増幅器15で制御される
出力トランジスタで、出力端子17,18を流れる電流Ioを
調節する。Rfは共通電位点COMと出力端子の一方18間に
接続された帰還抵抗で、Ioに比例した電圧を発生し、ス
パン調整用ポテンショメータVR1を含む抵抗回路網を介
して帰還電圧Vfとして抵抗R5を介して増幅器の非反転入
力端子に帰還される。出力端子の他方17と共通電位点CO
M間には定電流回路CC1とツェナーダイオードD5の直列回
路よりなる定電圧発生回路が接続され、定電圧Vzにより
増幅器15，発振器14が駆動され、更に一定電圧Vsの電源
として用いられる。VR2はこの一定電圧Vzを分圧して零
点調整電圧Vrを抵抗R6を介して増幅器15の反転入力端子
に供給するためのポテンショメータである。
このような構成において、増幅器15はV1とV2の差を増幅
し、この増幅器出力Voにより出力トランジスタ16を介し
てIoが制御される。(2)，(3)式より、V1,V2は、 V1＝Ｅ・ω・C1・R1 (4) V2＝Ｅ・ω・C2・R2 (5) (4)，(5)式よりVoは、R1＝R2＝Ｒとすると、 Vo＝V1−V2＝Ｅ・ω・R(C1-C2) となる。ここでＥ・ω・Ｒ＝ｋとおけるので、 Vo＝K(C1-C2) (6) となる。C10＝C20＝Coとするとき、(2)，(3)式を(6)式
に代入し、 Vo＝Ｋ・Co・εo・β(P1-P2) (7) となる。従って出力電流Ioは、 Io≠K・Co・εo・β・(P1-P2) (8) となり、Δｐに比例する。
し、この増幅器出力Voにより出力トランジスタ16を介し
てIoが制御される。(2)，(3)式より、V1,V2は、 V1＝Ｅ・ω・C1・R1 (4) V2＝Ｅ・ω・C2・R2 (5) (4)，(5)式よりVoは、R1＝R2＝Ｒとすると、 Vo＝V1−V2＝Ｅ・ω・R(C1-C2) となる。ここでＥ・ω・Ｒ＝ｋとおけるので、 Vo＝K(C1-C2) (6) となる。C10＝C20＝Coとするとき、(2)，(3)式を(6)式
に代入し、 Vo＝Ｋ・Co・εo・β(P1-P2) (7) となる。従って出力電流Ioは、 Io≠K・Co・εo・β・(P1-P2) (8) となり、Δｐに比例する。
次にC10≠C20つまりC1とC2の初期容量にわずかの差があ
り、C10＝（１＋γ）C20＝Coとおける場合は、 Vo＝V1−V2＝Ｅω(C1R1−Ｃ2R2) ここで と設計すると、上式は、 Vo＝Ｅ・ω{C1Ro-C2(1+γ)Ro}＝K・Co・εo・β・(P1-P2)(9) となり、差圧Δｐに比例する。
り、C10＝（１＋γ）C20＝Coとおける場合は、 Vo＝V1−V2＝Ｅω(C1R1−Ｃ2R2) ここで と設計すると、上式は、 Vo＝Ｅ・ω{C1Ro-C2(1+γ)Ro}＝K・Co・εo・β・(P1-P2)(9) となり、差圧Δｐに比例する。
上記R1＝R2／（１＋γ）Roは、R2を可変抵抗にして、Δ
ｐ＝０，Δｔ＝０で出力Voがゼロになるように調整する
ことにより実現できる。又抵抗R2をポテンショメータと
し、V1を分圧して取出すようにしても同様に実現でき
る。
ｐ＝０，Δｔ＝０で出力Voがゼロになるように調整する
ことにより実現できる。又抵抗R2をポテンショメータと
し、V1を分圧して取出すようにしても同様に実現でき
る。
第５図は（C1-C2）に比例した電圧Voを得る他の実施例
である。電極端子Tcの電圧は増幅器を形成するC-MOSイ
ンバータG1,G2の直列接続回路の入力に与えられ、G2の
出力は同様のインバータG3を介して切換スイッチを形成
するC-MOSナンドゲートの一方の入力端子に供給され、
これらナンドゲートG4,G5の出力は電極端子T1,T2に導か
れると共にC-MOSナンドゲートG6の入力端子に導かれ
る。G6の出力は双方向特性の定電流素子CC2を介して電
極端子Tcに接続される。C3は電極端子Tcと共通電位点CO
Mに接続された一定容量のコンデンサで、定電流素子CC2
の一定電流をC1又はC2に流れる電流の差で充放電され
る。ＣＴはG2の出力をカウントするC-MOSのカウンタで
ｎ個のパルスをカウントする毎にその出力を反転させ、
その出力は切換スイッチを形成するナンドゲートG5の他
方の入力端子に、又はインバータG7を介してナンドゲー
トG4の他方の入力端子に供給される。
である。電極端子Tcの電圧は増幅器を形成するC-MOSイ
ンバータG1,G2の直列接続回路の入力に与えられ、G2の
出力は同様のインバータG3を介して切換スイッチを形成
するC-MOSナンドゲートの一方の入力端子に供給され、
これらナンドゲートG4,G5の出力は電極端子T1,T2に導か
れると共にC-MOSナンドゲートG6の入力端子に導かれ
る。G6の出力は双方向特性の定電流素子CC2を介して電
極端子Tcに接続される。C3は電極端子Tcと共通電位点CO
Mに接続された一定容量のコンデンサで、定電流素子CC2
の一定電流をC1又はC2に流れる電流の差で充放電され
る。ＣＴはG2の出力をカウントするC-MOSのカウンタで
ｎ個のパルスをカウントする毎にその出力を反転させ、
その出力は切換スイッチを形成するナンドゲートG5の他
方の入力端子に、又はインバータG7を介してナンドゲー
トG4の他方の入力端子に供給される。
このような構成において、回路はC1又はC2に逆比例した
周波数f1又はf2の自己発振回路を形成し、f1の発振パル
スをｎ個のカウントするとf2の発振に切換わり、f2の発
振パルスをｎ個カウントすると元に戻る動作を継続す
る。従ってカウンタＣＴの出力点及びインバーガG7の
出力点の波形は、第６図，に示すごとく、パルス
幅がC1及びC2に比例するの信号の繰返し波形となる。単
安定回路19、20は夫々点点の信号を受け、これに同
期してパルス幅がCoに対応した信号を点，点に発生
する。第６図，にこの波形を示す。SW1，SW2は，
点の信号で，の信号をサンプルするスイッチであ
り、SW1のサンプル出力は抵抗R7,R8，コンデンサC4より
なるボールド回路でサンプルホールドされ、同様にSW2
のサンプル出力は抵抗R9，R10，コンデンサC5よりなる
ホールド回路でサンプルホールドされる。SW1によるサ
ンプルホールド出力をV1、SW2によるサンプルホールド
出力をV2とすると、V1,V2は夫々 となる。
周波数f1又はf2の自己発振回路を形成し、f1の発振パル
スをｎ個のカウントするとf2の発振に切換わり、f2の発
振パルスをｎ個カウントすると元に戻る動作を継続す
る。従ってカウンタＣＴの出力点及びインバーガG7の
出力点の波形は、第６図，に示すごとく、パルス
幅がC1及びC2に比例するの信号の繰返し波形となる。単
安定回路19、20は夫々点点の信号を受け、これに同
期してパルス幅がCoに対応した信号を点，点に発生
する。第６図，にこの波形を示す。SW1，SW2は，
点の信号で，の信号をサンプルするスイッチであ
り、SW1のサンプル出力は抵抗R7,R8，コンデンサC4より
なるボールド回路でサンプルホールドされ、同様にSW2
のサンプル出力は抵抗R9，R10，コンデンサC5よりなる
ホールド回路でサンプルホールドされる。SW1によるサ
ンプルホールド出力をV1、SW2によるサンプルホールド
出力をV2とすると、V1,V2は夫々 となる。
21はこれら電圧信号V1,V2の差を増幅してVoを得る増幅
器であり、R11,R12はV1,V2を非反転及び反転入力端子に
導く入力抵抗、R13は非反転入力端子と共通電位点COM間
に接続された入力抵抗、R14は増幅器21の出力端子と反
転入力端子間に接続された帰還抵抗である。
器であり、R11,R12はV1,V2を非反転及び反転入力端子に
導く入力抵抗、R13は非反転入力端子と共通電位点COM間
に接続された入力抵抗、R14は増幅器21の出力端子と反
転入力端子間に接続された帰還抵抗である。
このような構成において、C10＝C20＝Co、R11=R12＝R13
＝R14、R8／（R7+R8）＝R10／（R9+R10）＝Ｋと設計し
て(10)，(11)式よりVoを求めると、 Vo＝V1-V2＝εo・β・Δp・K (12) となり、VoはΔpに比例する。
＝R14、R8／（R7+R8）＝R10／（R9+R10）＝Ｋと設計し
て(10)，(11)式よりVoを求めると、 Vo＝V1-V2＝εo・β・Δp・K (12) となり、VoはΔpに比例する。
C10＝（１＋γ）C20＝Coのときは、R8／（R7+R8）＝
（１＋γ）・R10／（R9+R10）＝Ｋと設計してVoの演算
を行うようにすればよい。
（１＋γ）・R10／（R9+R10）＝Ｋと設計してVoの演算
を行うようにすればよい。
第７図は差圧Δｐに比例した電圧信号Voを得る更に他の
実施例であり、電極端子Tcは振幅Ｅ，周波数ｆを有する
交流発振器22の出力に接続されている。この発振器はC-
MOSゲートG8,G9よりなり、電源の負側は共通電位点COM
に、正側は定電圧Vzに接続される。24は電極端子T1を介
してC1に流れる交流電流を整流平滑して直流電圧信号V1
に変換する理想化ダイオード，平滑手段、25は同じく電
極端子T2を介してC2に流れる交流電流を整流平滑して直
流電圧信号V2に変換する理想化ダイオード，平滑手段で
ある。
実施例であり、電極端子Tcは振幅Ｅ，周波数ｆを有する
交流発振器22の出力に接続されている。この発振器はC-
MOSゲートG8,G9よりなり、電源の負側は共通電位点COM
に、正側は定電圧Vzに接続される。24は電極端子T1を介
してC1に流れる交流電流を整流平滑して直流電圧信号V1
に変換する理想化ダイオード，平滑手段、25は同じく電
極端子T2を介してC2に流れる交流電流を整流平滑して直
流電圧信号V2に変換する理想化ダイオード，平滑手段で
ある。
平滑手段２４の出力の直流電圧信号V1と平滑手段25の直
流電圧信号V2とを出力端子26,27に導いて両者の差を検
出すると、これは圧力差Δｐに比例した電圧信号Voを得
ることができる。
流電圧信号V2とを出力端子26,27に導いて両者の差を検
出すると、これは圧力差Δｐに比例した電圧信号Voを得
ることができる。
＜効果＞ このように、本発明によれば、差圧を構成する一方の圧
力及び温度により誘電率が変化する封入液を有する固定
電極構造の静電容量と、これに近接配置された差圧を構
成する他方の圧力及び温度により誘電率が変化する封入
液を有する固定電極構造の静電容量の２個の静電容量手
段を用いることにより、可動部を持たない又温度による
影響を受けない差圧伝送器を極めて簡素で安価に実現す
ることができる。
力及び温度により誘電率が変化する封入液を有する固定
電極構造の静電容量と、これに近接配置された差圧を構
成する他方の圧力及び温度により誘電率が変化する封入
液を有する固定電極構造の静電容量の２個の静電容量手
段を用いることにより、可動部を持たない又温度による
影響を受けない差圧伝送器を極めて簡素で安価に実現す
ることができる。
従って従来問題とされていた板バネやダイヤフラムの誤
差や、姿勢による誤差の発生のおそれがなく、温度補償
のための感温素子や補償回路を必要としない差圧伝送器
を実現するこができる。
差や、姿勢による誤差の発生のおそれがなく、温度補償
のための感温素子や補償回路を必要としない差圧伝送器
を実現するこができる。
第１図は従来の差圧伝送器の一例を示す構成図、第２
図，第３図は本発明の一実施例を示す構成図、第４図，
第５図は本発明伝送器の演算回路，出力回路の一例を示
す回路構成図、第６図は第５図の動作説明図、第７図は
演算回路の他の実施例を示す回路構成図である。 １……本体、２……シールダイヤフラム、6c,6d……固
定電極、6f,6e……固定電極、4a,4b……封入液、11……
演算回路、12…出力回路。
図，第３図は本発明の一実施例を示す構成図、第４図，
第５図は本発明伝送器の演算回路，出力回路の一例を示
す回路構成図、第６図は第５図の動作説明図、第７図は
演算回路の他の実施例を示す回路構成図である。 １……本体、２……シールダイヤフラム、6c,6d……固
定電極、6f,6e……固定電極、4a,4b……封入液、11……
演算回路、12…出力回路。
Claims (1)
- 【請求項１】夫々が温度及び圧力が変化するとその誘導
率が変化する封入液を間にした一対の固定電極で形成さ
れ、互いに近接配置された２個の容量手段の一方の封入
液に対して第１の測定圧力を導くと共に他方の封入液に
対して第２の測定圧力を導き、これ等の測定圧力に基づ
く２個の容量の誘電率変化を検出し、これら検出手段の
出力の差を演算して温度変動を補償した差圧信号を出力
する差圧伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1973285A JPH068763B2 (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | 差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1973285A JPH068763B2 (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | 差圧伝送器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61178629A JPS61178629A (ja) | 1986-08-11 |
| JPH068763B2 true JPH068763B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=12007487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1973285A Expired - Lifetime JPH068763B2 (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | 差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH068763B2 (ja) |
-
1985
- 1985-02-04 JP JP1973285A patent/JPH068763B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61178629A (ja) | 1986-08-11 |
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