JPH0689448B2 - 薄膜形成用パレットと基板着脱方法 - Google Patents
薄膜形成用パレットと基板着脱方法Info
- Publication number
- JPH0689448B2 JPH0689448B2 JP63171257A JP17125788A JPH0689448B2 JP H0689448 B2 JPH0689448 B2 JP H0689448B2 JP 63171257 A JP63171257 A JP 63171257A JP 17125788 A JP17125788 A JP 17125788A JP H0689448 B2 JPH0689448 B2 JP H0689448B2
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- pallet
- flat substrate
- film forming
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は薄膜形成用パレットと基板着脱方法。
従来の技術 従来、平面基板の片面に薄膜を形成する場合、同時に多
数形成し量産するために薄膜形成部を対称に配置した両
側同時薄膜形成装置が使用されていた。この中で装置が
小型化でき、また、どんな形状の平面基板にも薄膜形成
が容易であるパレットを用いた装置がある。
数形成し量産するために薄膜形成部を対称に配置した両
側同時薄膜形成装置が使用されていた。この中で装置が
小型化でき、また、どんな形状の平面基板にも薄膜形成
が容易であるパレットを用いた装置がある。
スパッタ装置の場合の従来例を第６図に示す。第６図お
いて、16はチャンバであり真空ポンプでこのチャンバ16
内は高真空になっている。チャンバ16内にはパレット11
があり、パレット11には平行に掘られた溝に平面基板12
が装着されている。又、パレット11には平行に位置する
２枚の平面基板12の間に防着壁13があり、平面基板12上
にある穴から裏面へのまわり込みによる薄膜付着を防止
している。15はターゲットであって、チャンバ16との間
で高電圧を印加してプラズマを発生させる。そしてキャ
リアガスをイオン化し加速してターゲット15をスパッタ
することにより平面基板12上に薄膜を形成する。ターゲ
ツト15の周囲には防着カバー14があり他部への薄膜付着
を防止している。
いて、16はチャンバであり真空ポンプでこのチャンバ16
内は高真空になっている。チャンバ16内にはパレット11
があり、パレット11には平行に掘られた溝に平面基板12
が装着されている。又、パレット11には平行に位置する
２枚の平面基板12の間に防着壁13があり、平面基板12上
にある穴から裏面へのまわり込みによる薄膜付着を防止
している。15はターゲットであって、チャンバ16との間
で高電圧を印加してプラズマを発生させる。そしてキャ
リアガスをイオン化し加速してターゲット15をスパッタ
することにより平面基板12上に薄膜を形成する。ターゲ
ツト15の周囲には防着カバー14があり他部への薄膜付着
を防止している。
発明が解決しようとする課題 従来のように防着壁を有するパレットを使用する場合、
平面基板をパレットに装着するためにはパレットに対し
て両側から別々に行なうか、あるいはパレットの片面か
ら平面基板を装着後、パレットを180度回転させて再度
平面基板を装着する必要があった。また、パレットに設
けられた防着壁は薄膜が付着して堆積するが、この堆積
速度はパレット上で最も速い。この結果、堆積薄膜が防
着壁から剥離しやすくパレットの連続使用回数がこの防
着壁への薄膜の堆積量で制限されてしまう課題があっ
だ。
平面基板をパレットに装着するためにはパレットに対し
て両側から別々に行なうか、あるいはパレットの片面か
ら平面基板を装着後、パレットを180度回転させて再度
平面基板を装着する必要があった。また、パレットに設
けられた防着壁は薄膜が付着して堆積するが、この堆積
速度はパレット上で最も速い。この結果、堆積薄膜が防
着壁から剥離しやすくパレットの連続使用回数がこの防
着壁への薄膜の堆積量で制限されてしまう課題があっ
だ。
本発明はかかる課題を鑑みて、平面基板のパレットへの
着脱を一方向からのみで行なえ、かつ、パレットの防着
壁の着脱を容易にしたパレットを提供するものである。
着脱を一方向からのみで行なえ、かつ、パレットの防着
壁の着脱を容易にしたパレットを提供するものである。
課題を解決するための手段 本発明は上記課題を解決するため、内壁を一周する平行
な３本の溝を設けた穴部を有するパレットと前記パレッ
トの溝に装入する平面基板と同形でかつ穴を有しない防
着板とを有し、前記防着板をパレットに設けた３本の溝
の中間に装入するものである。
な３本の溝を設けた穴部を有するパレットと前記パレッ
トの溝に装入する平面基板と同形でかつ穴を有しない防
着板とを有し、前記防着板をパレットに設けた３本の溝
の中間に装入するものである。
作用 本発明は上記構成によりパレット上の防着板が容易に装
着離脱できるため、この防着板に付着した薄膜が剥離し
て本来薄膜を形成する平面基板に悪影響を及ぼす恐れが
ない。また、パレットに平面基板、防着板、平面基板の
順に一方向から装着離脱が行なえるため、平面基板のパ
レットへの装入あるいはパレットからの離脱を行う装置
が簡便になる。
着離脱できるため、この防着板に付着した薄膜が剥離し
て本来薄膜を形成する平面基板に悪影響を及ぼす恐れが
ない。また、パレットに平面基板、防着板、平面基板の
順に一方向から装着離脱が行なえるため、平面基板のパ
レットへの装入あるいはパレットからの離脱を行う装置
が簡便になる。
実施例 第１図（ａ），（ｂ）は本発明の薄膜形成用パレットの
第１の実施例を示す構成図である。第１図において、１
はパレットであって平面基板２を装入する穴を有する。
この穴部には内壁を一周する３本の平行に形成された溝
が存在する。この穴の形状は平面基板２より僅かに大き
く、従って、パレット１に設けた溝に平面基板２を装入
できる。３は防着板であり、外部形状は平面基板２と同
じである。従って、この防着板３も平面基板２と同様に
パレット１に装入できる。第２図は、薄膜材料が飛ぶ範
囲を示す断面図である。片側の場合のみを示している。
平面基板２の中央部等に穴があっても、薄膜形成時はこ
の穴部を通った薄膜材料は防着板３に付着し、他方の平
面基板２の裏面に付着する恐れはない。一方パレット１
の穴部は平面基板２および防着板３の外形状より大きい
ため隙間が生じるが、２枚の平面基板２の間には防着板
３があり、かつ、距離も隔てているため平面基板２の裏
面へこの隙間を薄膜材料が通過して付着する恐れもな
い。さらに、パレット１への装入あるいはパレット１か
らの離脱が、平面基板２および防着板３の外形状が同じ
で、かつ、パレット１上に設けられた穴形状の方が大き
いので、一方向から可能である。第１図では平面基板３
の外形状が円形である場合を示したが、任意の形状でよ
い。しかし、平面基板２の外形状が円形の場合、パレッ
ト１を軸を中心に回転させると、パレット１に装着され
た平面基板２が自然に自転するので平面基板上に形成さ
れた薄膜の膜厚分布が良好になる。
第１の実施例を示す構成図である。第１図において、１
はパレットであって平面基板２を装入する穴を有する。
この穴部には内壁を一周する３本の平行に形成された溝
が存在する。この穴の形状は平面基板２より僅かに大き
く、従って、パレット１に設けた溝に平面基板２を装入
できる。３は防着板であり、外部形状は平面基板２と同
じである。従って、この防着板３も平面基板２と同様に
パレット１に装入できる。第２図は、薄膜材料が飛ぶ範
囲を示す断面図である。片側の場合のみを示している。
平面基板２の中央部等に穴があっても、薄膜形成時はこ
の穴部を通った薄膜材料は防着板３に付着し、他方の平
面基板２の裏面に付着する恐れはない。一方パレット１
の穴部は平面基板２および防着板３の外形状より大きい
ため隙間が生じるが、２枚の平面基板２の間には防着板
３があり、かつ、距離も隔てているため平面基板２の裏
面へこの隙間を薄膜材料が通過して付着する恐れもな
い。さらに、パレット１への装入あるいはパレット１か
らの離脱が、平面基板２および防着板３の外形状が同じ
で、かつ、パレット１上に設けられた穴形状の方が大き
いので、一方向から可能である。第１図では平面基板３
の外形状が円形である場合を示したが、任意の形状でよ
い。しかし、平面基板２の外形状が円形の場合、パレッ
ト１を軸を中心に回転させると、パレット１に装着され
た平面基板２が自然に自転するので平面基板上に形成さ
れた薄膜の膜厚分布が良好になる。
第３図は（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の薄膜形成用
パレットの第２の実施例を示す図であり、第３図
（ａ），（ｂ）はパレット上に形成した溝径と平面基板
および防着板の外径の関係を示す図、第３図（ｃ）は第
２の実施例の場合の薄膜材料が飛ぶ範囲を示す断面図で
あり片側のみ示している。本実施例では溝径は全て同じ
d1であり、平面基板２の外径がD1、防着板３の外径がD2
である。平面基板２と防着板３はパレット１と溝の１点
で点接触している。この位置が滑らないと仮定すると、
パレット１が１回転する間に平面基板２および防着板３
の回転数は円周の長さの逆比になり、それぞれd1／D1，
d1／D2回転する。平面基板２と防着板３とは相異なる外
径を有しているから回転の位相がずれることになる。そ
の結果、平面基板２に設けられた穴部を通過してくる薄
膜が防着板３に付着する位置が常に変わる。しかし、平
面板２および防着板３と溝が接している部分は同位置で
ある。従って、より長時間連続して薄膜形成しても防着
板３からの薄膜の剥離は生じにくくなる。特にD1＜D2の
とき、平面基板２とパレット１との隙間を通ってきた薄
膜材料は防着板３に当たって反対側の平面基板２に到達
しない。もちろん、パレット１の穴径より平面基板2,防
着板３の外径を小さくしてあるため、一方向から平面基
板２および防着板３をパレット１に装入でき、かつ、パ
レット１から離脱できる。従って、この操作を行う装置
が簡便になる。また、防着板３が平面基板２同様に容易
にパレット１に装着離脱できるため、防着板３に付着し
た薄膜の様子が随時確認できるので、防着板３から付着
した薄膜が剥離して平面基板２上に形成された薄膜に悪
影響を及ぼさない。
パレットの第２の実施例を示す図であり、第３図
（ａ），（ｂ）はパレット上に形成した溝径と平面基板
および防着板の外径の関係を示す図、第３図（ｃ）は第
２の実施例の場合の薄膜材料が飛ぶ範囲を示す断面図で
あり片側のみ示している。本実施例では溝径は全て同じ
d1であり、平面基板２の外径がD1、防着板３の外径がD2
である。平面基板２と防着板３はパレット１と溝の１点
で点接触している。この位置が滑らないと仮定すると、
パレット１が１回転する間に平面基板２および防着板３
の回転数は円周の長さの逆比になり、それぞれd1／D1，
d1／D2回転する。平面基板２と防着板３とは相異なる外
径を有しているから回転の位相がずれることになる。そ
の結果、平面基板２に設けられた穴部を通過してくる薄
膜が防着板３に付着する位置が常に変わる。しかし、平
面板２および防着板３と溝が接している部分は同位置で
ある。従って、より長時間連続して薄膜形成しても防着
板３からの薄膜の剥離は生じにくくなる。特にD1＜D2の
とき、平面基板２とパレット１との隙間を通ってきた薄
膜材料は防着板３に当たって反対側の平面基板２に到達
しない。もちろん、パレット１の穴径より平面基板2,防
着板３の外径を小さくしてあるため、一方向から平面基
板２および防着板３をパレット１に装入でき、かつ、パ
レット１から離脱できる。従って、この操作を行う装置
が簡便になる。また、防着板３が平面基板２同様に容易
にパレット１に装着離脱できるため、防着板３に付着し
た薄膜の様子が随時確認できるので、防着板３から付着
した薄膜が剥離して平面基板２上に形成された薄膜に悪
影響を及ぼさない。
第４図（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の薄膜形成用パ
レットの第３の実施例を示す図であり、溝径が外側と中
央の溝とで異なる。第４図（ａ），（ｂ）はパレット上
に形成した溝径と平面基板および防着板の外径の関係を
示す図、第４図（ｃ）は第３の実施例の場合の薄膜材料
が飛ぶ範囲を示す断面図であり片側のみ示している。本
実施例では平面基板２の外径がD1、防着板３の外径が
D2、それぞれが装入される溝径がd1およびd2であり、パ
レット１に設けられた穴径がｄである。第２の実施例同
様に考えて、パレット１が１回転する間に平面基板２お
よび防着板３はそれぞれd1／D1，d2／D2回転する。従っ
て、 d1≠d2＞ｄ＞D1，D2 d1／D1≠d2／D2 の関係がある場合に、平面基板２と防着板３の回転の位
相が一致しない。また D1−d1/2＜D2−ｄ2/2 の関係がある場合に平面基板２とパレット１との隙間を
通ってきた薄膜材料は防着板３に当たって反対側の平面
基板２に到達しない。また、パレット１の穴径より平面
基板2,防着板３の外径を小さくしてあるため、一方向か
ら平面基板２および防着板３をパレット１に装入でき、
かつ、パレット１から離脱できる。従って、この操作を
行う装置が簡便になる。さらに、防着板３が平面基板２
同様に容易にパレット１に装着離脱できるため、防着板
３に付着した薄膜の様子が随時確認できるので、防着板
３に付着した薄膜が剥離して平面基板２上に形成された
薄膜に悪影響を及ぼさない。
レットの第３の実施例を示す図であり、溝径が外側と中
央の溝とで異なる。第４図（ａ），（ｂ）はパレット上
に形成した溝径と平面基板および防着板の外径の関係を
示す図、第４図（ｃ）は第３の実施例の場合の薄膜材料
が飛ぶ範囲を示す断面図であり片側のみ示している。本
実施例では平面基板２の外径がD1、防着板３の外径が
D2、それぞれが装入される溝径がd1およびd2であり、パ
レット１に設けられた穴径がｄである。第２の実施例同
様に考えて、パレット１が１回転する間に平面基板２お
よび防着板３はそれぞれd1／D1，d2／D2回転する。従っ
て、 d1≠d2＞ｄ＞D1，D2 d1／D1≠d2／D2 の関係がある場合に、平面基板２と防着板３の回転の位
相が一致しない。また D1−d1/2＜D2−ｄ2/2 の関係がある場合に平面基板２とパレット１との隙間を
通ってきた薄膜材料は防着板３に当たって反対側の平面
基板２に到達しない。また、パレット１の穴径より平面
基板2,防着板３の外径を小さくしてあるため、一方向か
ら平面基板２および防着板３をパレット１に装入でき、
かつ、パレット１から離脱できる。従って、この操作を
行う装置が簡便になる。さらに、防着板３が平面基板２
同様に容易にパレット１に装着離脱できるため、防着板
３に付着した薄膜の様子が随時確認できるので、防着板
３に付着した薄膜が剥離して平面基板２上に形成された
薄膜に悪影響を及ぼさない。
この平面基板２および防着板３のパレット１への着脱方
法の一実施例を第５図に示す。第５図において１はパレ
ットであり、平面基板2,防着板３の順に装入し終わり平
面基板２の装入時の様子を示している。６は真空吸着治
具であって穴部のある平面基板２の表面のうち穴がなく
薄膜が形成されている必要がない部分で平面基板２を真
空吸着して支える。真空吸着治具６は長いアーム７に接
続しており、このアーム７がパレット１の軸方向に伸び
ることによってパレット１への平面基板２および防着板
３の着脱がパレット１の一方向から行われる。もちろ
ん、真空吸着治具６の代わりに機械的治具を用いてもよ
い。このように平面基板２のパレット１への装着および
パレット１からの平面基板２の離脱が一方向から可能な
ことにより平面基板２とパレット１との着脱機構が簡便
化する。また、防着板３とパレット１との着脱も平面基
板２と同時に行われるので、防着板３の交換が容易であ
り、随時防着板３への薄膜の付着の様子の確認ができる
ため、薄膜形成時に防着板３から付着した薄膜材料が剥
離する恐れはない。
法の一実施例を第５図に示す。第５図において１はパレ
ットであり、平面基板2,防着板３の順に装入し終わり平
面基板２の装入時の様子を示している。６は真空吸着治
具であって穴部のある平面基板２の表面のうち穴がなく
薄膜が形成されている必要がない部分で平面基板２を真
空吸着して支える。真空吸着治具６は長いアーム７に接
続しており、このアーム７がパレット１の軸方向に伸び
ることによってパレット１への平面基板２および防着板
３の着脱がパレット１の一方向から行われる。もちろ
ん、真空吸着治具６の代わりに機械的治具を用いてもよ
い。このように平面基板２のパレット１への装着および
パレット１からの平面基板２の離脱が一方向から可能な
ことにより平面基板２とパレット１との着脱機構が簡便
化する。また、防着板３とパレット１との着脱も平面基
板２と同時に行われるので、防着板３の交換が容易であ
り、随時防着板３への薄膜の付着の様子の確認ができる
ため、薄膜形成時に防着板３から付着した薄膜材料が剥
離する恐れはない。
発明の効果 本発明により平面基板間に配した防着板とパレットとの
着脱が容易であるため、この防着板に付着した薄膜が堆
積した結果として剥離して平面基板に悪影響を及ぼす恐
れがない。また、パレットに平面基板，防着板，平面基
板の順に一方向から着脱が行えるため、この着脱を行う
装置が簡便になる。
着脱が容易であるため、この防着板に付着した薄膜が堆
積した結果として剥離して平面基板に悪影響を及ぼす恐
れがない。また、パレットに平面基板，防着板，平面基
板の順に一方向から着脱が行えるため、この着脱を行う
装置が簡便になる。
第１図（ａ），（ｂ）は本発明の薄膜形成用パレットの
第１の実施例を示す構成図、第２図は本発明のパレット
の第１の実施例の場合の薄膜材料が飛ぶ範囲を示す断面
図、第３図（ａ），（ｂ）は本発明の薄膜形成用パレッ
トの第２の実施例の構成寸法図、第３図（ｃ）は本発明
の薄膜形成用パレットの第２の実施例の場合の薄膜材料
が飛ぶ範囲を示す断面図、第４図（ａ），（ｂ）は本発
明の薄膜形成用パレットの第３の実施例の構成寸法図、
第４図（ｃ）は本発明の薄膜形成用パレットの第３の実
施例の場合の薄膜材料が飛ぶ範囲を示す断面図、第５図
は本発明の薄膜形成用パレットへの基板の着脱方法の一
実施例を示す断面図、第６図は従来の薄膜形成用パレッ
トと薄膜形成の様子を示す断面図である。 1,11……パレット、2,12……平面基板、３……防着板、
4,14……防着カバー、5,15……ターゲット、６……真空
吸着治具、７……アーム、13……防着壁、16……チャン
バ。
第１の実施例を示す構成図、第２図は本発明のパレット
の第１の実施例の場合の薄膜材料が飛ぶ範囲を示す断面
図、第３図（ａ），（ｂ）は本発明の薄膜形成用パレッ
トの第２の実施例の構成寸法図、第３図（ｃ）は本発明
の薄膜形成用パレットの第２の実施例の場合の薄膜材料
が飛ぶ範囲を示す断面図、第４図（ａ），（ｂ）は本発
明の薄膜形成用パレットの第３の実施例の構成寸法図、
第４図（ｃ）は本発明の薄膜形成用パレットの第３の実
施例の場合の薄膜材料が飛ぶ範囲を示す断面図、第５図
は本発明の薄膜形成用パレットへの基板の着脱方法の一
実施例を示す断面図、第６図は従来の薄膜形成用パレッ
トと薄膜形成の様子を示す断面図である。 1,11……パレット、2,12……平面基板、３……防着板、
4,14……防着カバー、5,15……ターゲット、６……真空
吸着治具、７……アーム、13……防着壁、16……チャン
バ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−230973（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−127922（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭49−42663（ＪＰ，Ｙ１)
Claims (5)
- 【請求項１】薄膜形成基板の外形状より大きい貫通穴を
複数個有し、前記穴の内壁に厚さ方向に並んだ３列の一
周する深さが同じ溝を設け、前記溝のうち中央の溝に薄
膜形成基板と同外形状で穴のない平板を装入する薄膜形
成用パレット。 - 【請求項２】円形の貫通穴を複数個有し、前記穴の内壁
に厚さ方向に並んだ３列の一周する深さが同じ溝を設
け、前記溝の外の方に薄膜形成基板を中央の方に穴のな
い平板を装入し、前記薄膜形成基板と前記平板の外径は
相異なり、かつ貫通穴内径より小さい関係を有する薄膜
形成用パレット。 - 【請求項３】薄膜形成基板の外径を穴のない平板の外径
より小さくする特許請求の範囲の第２項記載の薄膜形成
用パレット。 - 【請求項４】内径がｄなる貫通穴を複数個有し、前記穴
の内壁に厚さ方向に並んだ３列の一周する溝を設け、前
記溝の径を一方向よりd1,d2,d1,とし、外径D1なる薄膜
形成基板を外側の溝に、外径D2なる穴のない平板を中央
の溝に、それぞれ装入し、かつ d1≠d2＞ｄ＞D1,D2 D1-d1/2<D2-d2/2 d1/D1≠d2/D2 なる関係を有する薄膜形成用パレット。 - 【請求項５】特許請求の範囲の第１項，第２項，第３
項，第４項記載のパレットへの薄膜形成基板の装入およ
び離脱を一方向より行う基板着脱方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63171257A JPH0689448B2 (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | 薄膜形成用パレットと基板着脱方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63171257A JPH0689448B2 (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | 薄膜形成用パレットと基板着脱方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0222469A JPH0222469A (ja) | 1990-01-25 |
| JPH0689448B2 true JPH0689448B2 (ja) | 1994-11-09 |
Family
ID=15919969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63171257A Expired - Lifetime JPH0689448B2 (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | 薄膜形成用パレットと基板着脱方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0689448B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10372164B2 (en) | 2013-12-24 | 2019-08-06 | Flexterra, Inc. | Flexible electronic display with user interface based on sensed movements |
-
1988
- 1988-07-08 JP JP63171257A patent/JPH0689448B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10372164B2 (en) | 2013-12-24 | 2019-08-06 | Flexterra, Inc. | Flexible electronic display with user interface based on sensed movements |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0222469A (ja) | 1990-01-25 |
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