JPH0691031B2 - 拡散炉装置 - Google Patents
拡散炉装置Info
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- JPH0691031B2 JPH0691031B2 JP61279967A JP27996786A JPH0691031B2 JP H0691031 B2 JPH0691031 B2 JP H0691031B2 JP 61279967 A JP61279967 A JP 61279967A JP 27996786 A JP27996786 A JP 27996786A JP H0691031 B2 JPH0691031 B2 JP H0691031B2
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims description 13
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims description 22
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 13
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は拡散炉装置に関するものである。
［従来の技術］ 従来、この種の拡散炉装置は第２図に示すように炉芯管
３に外装する均熱管２の外周にヒータ部１を配設し、均
熱管２とヒータ部１との間に、冷却媒体を均熱管２の長
さ方向に流動させる冷却通路８を形成し、均熱管２の一
方の管端2aから冷却通路８内にブロワ５により冷却ガス
又は冷却空気６の給送し、他方の管端2bから排気して炉
体を冷却する構造になっている。排気されたガス又は空
気は冷却器７により冷却されて排出される。
３に外装する均熱管２の外周にヒータ部１を配設し、均
熱管２とヒータ部１との間に、冷却媒体を均熱管２の長
さ方向に流動させる冷却通路８を形成し、均熱管２の一
方の管端2aから冷却通路８内にブロワ５により冷却ガス
又は冷却空気６の給送し、他方の管端2bから排気して炉
体を冷却する構造になっている。排気されたガス又は空
気は冷却器７により冷却されて排出される。
［発明が解決しようとする問題点］ 上述した従来の拡散炉装置においては第２図に示すよう
に炉体の一方の管端2aから中央部2cを経て他方の管端2b
側に向けて冷却ガスを流動させるために、例えば均熱管
２などは中央部2cより管端2a側が急激に冷却されてしま
い、中央部2cと管端2aとの間にはますます温度勾配が生
じ、均熱管２などが熱応力によるダメージを受け破損す
る原因となっていた。
に炉体の一方の管端2aから中央部2cを経て他方の管端2b
側に向けて冷却ガスを流動させるために、例えば均熱管
２などは中央部2cより管端2a側が急激に冷却されてしま
い、中央部2cと管端2aとの間にはますます温度勾配が生
じ、均熱管２などが熱応力によるダメージを受け破損す
る原因となっていた。
本発明の目的は炉体の中央部と管端との温度勾配を小さ
く抑えて該炉体の冷却を行うようにした拡散炉装置を提
供することにある。
く抑えて該炉体の冷却を行うようにした拡散炉装置を提
供することにある。
［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明による拡散炉装置にお
いては、均熱管と、ヒータ部と、冷却通路とを有する拡
散炉装置であって、 均熱管とヒータ部とは、管状をなし、内外二重構造に組
合わされて炉体を構成するものであり、 均熱管は、炉芯管を収容するものであり、 ヒータ部は、均熱管の長手方向の全長にわたって周面を
加熱するものであり、 冷却通路は、均熱管とヒータ部との間の隙間に形成さ
れ、中央部位に冷媒の吹出口が開口され、内部に吹き出
された冷媒を中央から両管端に分岐させて流動させる冷
媒の流路となるものである。
いては、均熱管と、ヒータ部と、冷却通路とを有する拡
散炉装置であって、 均熱管とヒータ部とは、管状をなし、内外二重構造に組
合わされて炉体を構成するものであり、 均熱管は、炉芯管を収容するものであり、 ヒータ部は、均熱管の長手方向の全長にわたって周面を
加熱するものであり、 冷却通路は、均熱管とヒータ部との間の隙間に形成さ
れ、中央部位に冷媒の吹出口が開口され、内部に吹き出
された冷媒を中央から両管端に分岐させて流動させる冷
媒の流路となるものである。
［実施例］ 次に本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明に係る拡散炉を示す縦断面図である。第
１図において、ヒータ１内には均熱管２が収まり、その
中に炉芯管３が収納される。半導体基板（ウエハー）４
は炉芯管３内で熱処理されるようになっている。均熱管
２とヒータ部１は、管状体であり、内外に組合されて炉
体を形成するものである。又、ヒータ１と均熱管２との
間には隙間が有り、本発明はこの隙間を冷媒６を炉体の
長さ方向に流動される冷却通路８として利用し、均熱管
２の中央位置に対応する冷却通路８内にブロワ（冷却
源）５の冷媒吹出孔5aを開口したものである。吹き出さ
れたガス６は均熱管２に沿って中央部2cから両管端2a,2
bへと分岐して流れ、両管端より外に出され冷却器７に
よって冷やされた後、排出される。
１図において、ヒータ１内には均熱管２が収まり、その
中に炉芯管３が収納される。半導体基板（ウエハー）４
は炉芯管３内で熱処理されるようになっている。均熱管
２とヒータ部１は、管状体であり、内外に組合されて炉
体を形成するものである。又、ヒータ１と均熱管２との
間には隙間が有り、本発明はこの隙間を冷媒６を炉体の
長さ方向に流動される冷却通路８として利用し、均熱管
２の中央位置に対応する冷却通路８内にブロワ（冷却
源）５の冷媒吹出孔5aを開口したものである。吹き出さ
れたガス６は均熱管２に沿って中央部2cから両管端2a,2
bへと分岐して流れ、両管端より外に出され冷却器７に
よって冷やされた後、排出される。
本発明の拡散炉装置は温度勾配を減少させるために均熱
管２の高温となる中央部2cより冷やしていき、低温部の
管端との温度差を少なくするような構造となっている。
又、冷却用にガス（空気）を流すことにより中央部2cで
熱を奪い暖められたガスが低温部の管端2a,2bでは熱を
発散するためにさらに温度勾配は小さくなる傾向にあ
る。
管２の高温となる中央部2cより冷やしていき、低温部の
管端との温度差を少なくするような構造となっている。
又、冷却用にガス（空気）を流すことにより中央部2cで
熱を奪い暖められたガスが低温部の管端2a,2bでは熱を
発散するためにさらに温度勾配は小さくなる傾向にあ
る。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明はヒータ降温時に炉内の温度
勾配を増加させることなく、最高温部より冷却していく
ために、均熱管等が熱応力により壊損することを防止で
きる効果がある。
勾配を増加させることなく、最高温部より冷却していく
ために、均熱管等が熱応力により壊損することを防止で
きる効果がある。
第１図は本発明の拡散炉の断面図である。第２図は従来
の拡散炉の断面図である。 １……ヒータ部、２……均熱管 ３……炉芯管 ４……半導体基板（ウエハー） ５……ブロワ（冷却源）
の拡散炉の断面図である。 １……ヒータ部、２……均熱管 ３……炉芯管 ４……半導体基板（ウエハー） ５……ブロワ（冷却源）
Claims (1)
- 【請求項１】均熱管と、ヒータ部と、冷却通路とを有す
る拡散炉装置であって、 均熱管とヒータ部とは、管状をなし、内外二重構造に組
合わされて炉体を構成するものであり、 均熱管は、炉芯管を収容するものであり、 ヒータ部は、均熱管の長手方向の全長にわたって周面を
加熱するものであり、 冷却通路は、均熱管とヒータ部との間の隙間に形成さ
れ、中央部位に冷媒の吹出口が開口され、内部に吹き出
された冷媒を中央から両管端に分岐させて流動させる冷
媒の流路となるものであることを特徴とする拡散炉装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61279967A JPH0691031B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 拡散炉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61279967A JPH0691031B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 拡散炉装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63132424A JPS63132424A (ja) | 1988-06-04 |
| JPH0691031B2 true JPH0691031B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=17618427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61279967A Expired - Fee Related JPH0691031B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 拡散炉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0691031B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS638128Y2 (ja) * | 1981-03-24 | 1988-03-10 | ||
| JPS60148124A (ja) * | 1984-01-13 | 1985-08-05 | Hitachi Ltd | 熱処理装置 |
-
1986
- 1986-11-25 JP JP61279967A patent/JPH0691031B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63132424A (ja) | 1988-06-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |