JPH0694797A - Icテストシステム - Google Patents
IcテストシステムInfo
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- JPH0694797A JPH0694797A JP4269413A JP26941392A JPH0694797A JP H0694797 A JPH0694797 A JP H0694797A JP 4269413 A JP4269413 A JP 4269413A JP 26941392 A JP26941392 A JP 26941392A JP H0694797 A JPH0694797 A JP H0694797A
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- Japan
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- output
- input
- voltage
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被試験ICを駆動するドライバと、被試験I
Cの出力を基準値と比較するコンパレータとのオフセッ
ト調整を自動的に行いうるようにする。 【構成】 ICを駆動するレベルの電圧を与える入力デ
ータレベル電源1aとドライバ7との間、およびICの
出力電圧の基準値を与える出力データレベル電源(図示
なし)とコンパレータ8a、8bとの間にオフセット自
動補正回路3を配置する。ドライバ7、コンパレータ8
a、8bの入力電圧を0Vとし、そのときのオフセット
電圧を電圧計10で測定し、コンピュータ2はこのオフ
セット電圧を0にするための補正値を算出し、その値を
レジスタ4にロードする。この補正値をD/Aコンバー
タ5を介して増幅器6に入力することによりオフセット
を調整する。
Cの出力を基準値と比較するコンパレータとのオフセッ
ト調整を自動的に行いうるようにする。 【構成】 ICを駆動するレベルの電圧を与える入力デ
ータレベル電源1aとドライバ7との間、およびICの
出力電圧の基準値を与える出力データレベル電源(図示
なし)とコンパレータ8a、8bとの間にオフセット自
動補正回路3を配置する。ドライバ7、コンパレータ8
a、8bの入力電圧を0Vとし、そのときのオフセット
電圧を電圧計10で測定し、コンピュータ2はこのオフ
セット電圧を0にするための補正値を算出し、その値を
レジスタ4にロードする。この補正値をD/Aコンバー
タ5を介して増幅器6に入力することによりオフセット
を調整する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ICテストシステムに
関し、特に、多ピンデバイスをテストするVLSI用の
テストシステムに関する。
関し、特に、多ピンデバイスをテストするVLSI用の
テストシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】図3は、この種従来のICテストシステ
ムの1ピン分のブロック図である。同図において、1a
は入力データレベル電源、1bは出力データレベル電
源、7は被試験ICに入力信号を与えるドライバ、8
a、8bは、被試験ICの出力信号と出力データレベル
電源の出力する基準電圧とを比較するコンパレータ、9
はアナログスイッチ、10は、ドライバ7、コンパレー
タ8a、8bの出力電圧を測定する内部電圧計、11は
パターンジェネレータの発生するテストパターンが入力
される制御入力端子(この端子に入力されるレベルに応
じてドライバ7はHまたはLレベルの信号を出力す
る)、12は、被試験ICのピンに接続される入出力端
子、13はコンパレータの出力端子、14はオフセット
調整用可変抵抗器、SW1 〜SW3 はスイッチである。
ムの1ピン分のブロック図である。同図において、1a
は入力データレベル電源、1bは出力データレベル電
源、7は被試験ICに入力信号を与えるドライバ、8
a、8bは、被試験ICの出力信号と出力データレベル
電源の出力する基準電圧とを比較するコンパレータ、9
はアナログスイッチ、10は、ドライバ7、コンパレー
タ8a、8bの出力電圧を測定する内部電圧計、11は
パターンジェネレータの発生するテストパターンが入力
される制御入力端子(この端子に入力されるレベルに応
じてドライバ7はHまたはLレベルの信号を出力す
る)、12は、被試験ICのピンに接続される入出力端
子、13はコンパレータの出力端子、14はオフセット
調整用可変抵抗器、SW1 〜SW3 はスイッチである。
【0003】次に、このシステムのオフセット調整動作
について説明する。図4は、ドライバ7のオフセット電
圧補正過程を示すフローチャートである。まず、スイッ
チSW1 、SW3 を閉、スイッチSW2 を開とし、制御
入力端子11からドライバ7がH側出力状態となる信号
を入力する。この状態で、入力データレベル電源の出力
電圧VIH、VILを共に0Vにし(ステップ41)、
このときのドライバ7の出力電圧を内部電圧計10で測
定する(ステップ42)。ドライバ7の出力電圧が0に
なるようにH側の可変抵抗器14を調整する(ステップ
43)。次に、制御入力端子11から、ドライバの出力
状態がLレベルの信号を出力する状態になる信号を入力
し、上記のステップを繰り返えす。
について説明する。図4は、ドライバ7のオフセット電
圧補正過程を示すフローチャートである。まず、スイッ
チSW1 、SW3 を閉、スイッチSW2 を開とし、制御
入力端子11からドライバ7がH側出力状態となる信号
を入力する。この状態で、入力データレベル電源の出力
電圧VIH、VILを共に0Vにし(ステップ41)、
このときのドライバ7の出力電圧を内部電圧計10で測
定する(ステップ42)。ドライバ7の出力電圧が0に
なるようにH側の可変抵抗器14を調整する(ステップ
43)。次に、制御入力端子11から、ドライバの出力
状態がLレベルの信号を出力する状態になる信号を入力
し、上記のステップを繰り返えす。
【0004】次に、コンパレータのオフセット調整を行
う。まず、スイッチSW1 、SW3を開とし、スイッチ
SW2 を閉じ、図示のない配線によりH側のコンパレー
タ8aの出力端子13を内部電圧計10に接続する。入
出力端子12から0Vを入力するとともに、出力データ
レベル電源1bの出力電圧VOHを0V近傍で振らせ、
コンパレータ8aの出力がLレベルからHレベルに変化
するときのVOHが0Vとなるように、コンパレータ8
aの可変抵抗器14を調整する。H側のコンパレータ8
aの調整が終了したらL側のコンパレータ8bの出力端
子13を内部電圧計10に接続して、L側コンパレータ
の可変抵抗器14について同様の調整を行う。
う。まず、スイッチSW1 、SW3を開とし、スイッチ
SW2 を閉じ、図示のない配線によりH側のコンパレー
タ8aの出力端子13を内部電圧計10に接続する。入
出力端子12から0Vを入力するとともに、出力データ
レベル電源1bの出力電圧VOHを0V近傍で振らせ、
コンパレータ8aの出力がLレベルからHレベルに変化
するときのVOHが0Vとなるように、コンパレータ8
aの可変抵抗器14を調整する。H側のコンパレータ8
aの調整が終了したらL側のコンパレータ8bの出力端
子13を内部電圧計10に接続して、L側コンパレータ
の可変抵抗器14について同様の調整を行う。
【0005】次に、ICのテスト方法について説明す
る。今、入出力端子12には被試験ICの入力ピンが接
続されているものとする。この場合にはスイッチSW1
を閉じ、スイッチSW2 を開成する。被試験ICの種類
(ECL型、CMOS型等)に応じて、ドライバ7には
アナログスイッチ9によりいずれかの入力データレベル
電源1aの信号が選択されて入力される。制御入力端子
11にはパターンジェネレータからテストパターンが入
力される。ドライバ7は、入力されたテストパターンに
従って、HまたはLレベルの信号を出力する。
る。今、入出力端子12には被試験ICの入力ピンが接
続されているものとする。この場合にはスイッチSW1
を閉じ、スイッチSW2 を開成する。被試験ICの種類
(ECL型、CMOS型等)に応じて、ドライバ7には
アナログスイッチ9によりいずれかの入力データレベル
電源1aの信号が選択されて入力される。制御入力端子
11にはパターンジェネレータからテストパターンが入
力される。ドライバ7は、入力されたテストパターンに
従って、HまたはLレベルの信号を出力する。
【0006】入出力端子12に接続される被試験ICの
ピンが出力ピンであるときはスイッチSW1 を開、スイ
ッチSW2 を閉とする。被試験ICの種類に応じて、ア
ナログスイッチ9によりいずれかの出力データレベル電
源1bの出力が選択されてコンパレータ8a、8bに入
力される。出力データレベル電源1bからはVOHとし
て、Hレベルの基準値(最低基準値)の電圧が、またV
OLとしてLレベルの基準値(最高基準値)の電圧が出
力される。
ピンが出力ピンであるときはスイッチSW1 を開、スイ
ッチSW2 を閉とする。被試験ICの種類に応じて、ア
ナログスイッチ9によりいずれかの出力データレベル電
源1bの出力が選択されてコンパレータ8a、8bに入
力される。出力データレベル電源1bからはVOHとし
て、Hレベルの基準値(最低基準値)の電圧が、またV
OLとしてLレベルの基準値(最高基準値)の電圧が出
力される。
【0007】被試験ICの出力信号は入出力端子12を
介してコンパレータ8a、8bに入力される。いま被試
験ICがHレベルの信号を出力しているものとし、その
値がHレベルの基準値を超えているならばH側のコンパ
レータ8aはHレベルの信号を出力する。そうでないと
きはコンパレータ8aはLレベルの信号を出力する。被
試験ICの出力がLでその値が基準値以下であればL側
のコンパレータ8bはLレベルの信号を、またその値が
基準値を超えている場合にはコンパレータ8bはHレベ
ルの信号を出力する。コンパレータ8a、8bの出力す
る信号は出力端子13を介して取り出されICテスタ内
で良品が出力すべきパターンと比較される。
介してコンパレータ8a、8bに入力される。いま被試
験ICがHレベルの信号を出力しているものとし、その
値がHレベルの基準値を超えているならばH側のコンパ
レータ8aはHレベルの信号を出力する。そうでないと
きはコンパレータ8aはLレベルの信号を出力する。被
試験ICの出力がLでその値が基準値以下であればL側
のコンパレータ8bはLレベルの信号を、またその値が
基準値を超えている場合にはコンパレータ8bはHレベ
ルの信号を出力する。コンパレータ8a、8bの出力す
る信号は出力端子13を介して取り出されICテスタ内
で良品が出力すべきパターンと比較される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のICテ
ストシステムでは、ドライバとコンパレータのオフセッ
ト電圧の補正を内部電圧計の目視と可変抵抗器のマニュ
アル調整で行っていたため、特に多ピンシステムでは調
整に長時間を要するという問題点があった。
ストシステムでは、ドライバとコンパレータのオフセッ
ト電圧の補正を内部電圧計の目視と可変抵抗器のマニュ
アル調整で行っていたため、特に多ピンシステムでは調
整に長時間を要するという問題点があった。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明のICテストシス
テムは、被試験ICに入力すべきレベルの電圧を発生す
る入力データレベル電源と、前記入力データレベル電源
の出力する出力電圧を補正する入力補正回路と、前記入
力補正回路の出力信号を受けて被試験ICの駆動信号を
出力するドライバと、前記ドライバの出力オフセット電
圧を測定し、これを0にするに必要な前記入力補正回路
の補正量を求め、該補正量を前記入力補正回路に設定す
る機構と、を具備するものであり、また、被試験ICの
出力信号の基準レベル電圧を発生する出力データレベル
電源と、前記出力データレベル電源の出力する基準レベ
ル電圧を補正する出力補正回路と、前記出力補正回路の
出力電圧と被試験ICの出力信号レベルを比較するコン
パレータと、前記コンパレータの入力オフセット電圧を
測定し、前記出力データレベル電源の出力値が0Vであ
るときに前記コンパレータの出力オフセット電圧を0V
とするのに必要な前記出力補正回路の補正量を求め、該
補正量を前記出力補正回路に設定する機構と、を具備す
るものである。
テムは、被試験ICに入力すべきレベルの電圧を発生す
る入力データレベル電源と、前記入力データレベル電源
の出力する出力電圧を補正する入力補正回路と、前記入
力補正回路の出力信号を受けて被試験ICの駆動信号を
出力するドライバと、前記ドライバの出力オフセット電
圧を測定し、これを0にするに必要な前記入力補正回路
の補正量を求め、該補正量を前記入力補正回路に設定す
る機構と、を具備するものであり、また、被試験ICの
出力信号の基準レベル電圧を発生する出力データレベル
電源と、前記出力データレベル電源の出力する基準レベ
ル電圧を補正する出力補正回路と、前記出力補正回路の
出力電圧と被試験ICの出力信号レベルを比較するコン
パレータと、前記コンパレータの入力オフセット電圧を
測定し、前記出力データレベル電源の出力値が0Vであ
るときに前記コンパレータの出力オフセット電圧を0V
とするのに必要な前記出力補正回路の補正量を求め、該
補正量を前記出力補正回路に設定する機構と、を具備す
るものである。
【0010】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は本発明の一実施例を示すブロック図
である。同図では、被試験ICの1ピン分の回路のみが
示されている。同図において、1aは、被試験ICに入
力すべき信号のレベルを与える入力データレベル電源、
2はコンピュータ、3は、レジスタ4、両極性出力型D
/Aコンバータ5および増幅器6から構成されるオフセ
ット自動補正回路、7は、被試験ICに該ICを駆動す
る入力信号を与えるドライバ、8a、8bは、被試験I
Cの出力信号と出力データレベル電源の出力する基準電
圧(そのオフセット自動補正回路による補正電圧)とを
比較するコンパレータ、9はアナログスイッチ、10
は、ドライバ7、コンパレータ8a、8bの出力電圧を
測定する内部電圧計、11は、パターンジェネレータの
発生するテストパターンが入力される制御入力端子(こ
の端子に入力されるレベルに応じてドライバ7はHまた
はLレベルの信号を出力する)、12は、被試験ICの
ピンに接続される入出力端子、13はコンパレータの出
力端子、SW1 〜SW3 はスイッチである。
て説明する。図1は本発明の一実施例を示すブロック図
である。同図では、被試験ICの1ピン分の回路のみが
示されている。同図において、1aは、被試験ICに入
力すべき信号のレベルを与える入力データレベル電源、
2はコンピュータ、3は、レジスタ4、両極性出力型D
/Aコンバータ5および増幅器6から構成されるオフセ
ット自動補正回路、7は、被試験ICに該ICを駆動す
る入力信号を与えるドライバ、8a、8bは、被試験I
Cの出力信号と出力データレベル電源の出力する基準電
圧(そのオフセット自動補正回路による補正電圧)とを
比較するコンパレータ、9はアナログスイッチ、10
は、ドライバ7、コンパレータ8a、8bの出力電圧を
測定する内部電圧計、11は、パターンジェネレータの
発生するテストパターンが入力される制御入力端子(こ
の端子に入力されるレベルに応じてドライバ7はHまた
はLレベルの信号を出力する)、12は、被試験ICの
ピンに接続される入出力端子、13はコンパレータの出
力端子、SW1 〜SW3 はスイッチである。
【0011】次に、図1、図2参照して本実施例のオフ
セット補正動作について説明する。図2は、本実施例の
ドライバオフセット電圧補正過程を示すフローチャート
である。ドライバ7のオフセット補正時にはスイッチS
W1 、SW3 を閉、スイッチSW2 を開としておく。制
御入力端子11からの信号によりドライバ7の出力状態
をH側としておき、入力データレベル電源1aの出力電
圧を0Vとする(ステップ21)。次に、オフセット自
動補正回路3内のD/Aコンバータ5の出力電圧を0V
にする(ステップ22)。
セット補正動作について説明する。図2は、本実施例の
ドライバオフセット電圧補正過程を示すフローチャート
である。ドライバ7のオフセット補正時にはスイッチS
W1 、SW3 を閉、スイッチSW2 を開としておく。制
御入力端子11からの信号によりドライバ7の出力状態
をH側としておき、入力データレベル電源1aの出力電
圧を0Vとする(ステップ21)。次に、オフセット自
動補正回路3内のD/Aコンバータ5の出力電圧を0V
にする(ステップ22)。
【0012】次に、ドライバ7の出力オフセット電圧を
内部電圧計10で測定し(ステップ23)、その結果を
コンピュータ2のメモリへ格納する(ステップ24)。
コンピュータ2は測定結果からオフセット補正電圧を算
出し(ステップ25)、そのデータを自動補正回路3内
のレジスタ4にロードする(ステップ26)。自動補正
回路3内のD/Aコンバータ5はレジスタ4にロードさ
れたデータをアナログ電圧値に変換し(ステップ2
7)、その値を増幅器6の一方の入力端子に印加する。
その結果、ドライバ7のHレベルの出力オフセットをキ
ャンセルするに必要な補正の加えられたHレベル入力信
号VIHがドライバ7に入力されることになる。
内部電圧計10で測定し(ステップ23)、その結果を
コンピュータ2のメモリへ格納する(ステップ24)。
コンピュータ2は測定結果からオフセット補正電圧を算
出し(ステップ25)、そのデータを自動補正回路3内
のレジスタ4にロードする(ステップ26)。自動補正
回路3内のD/Aコンバータ5はレジスタ4にロードさ
れたデータをアナログ電圧値に変換し(ステップ2
7)、その値を増幅器6の一方の入力端子に印加する。
その結果、ドライバ7のHレベルの出力オフセットをキ
ャンセルするに必要な補正の加えられたHレベル入力信
号VIHがドライバ7に入力されることになる。
【0013】次に、制御入力端子11からの信号により
ドライバ7の出力状態をL側とし、上記と同様の過程を
繰り返す。但し、データレベル電源1aのL側の出力電
圧およびL側の自動補正回路3のD/Aコンバータの出
力電圧が先の補正過程において同時0Vに設定された場
合には、ステップ23から開始すればよい。
ドライバ7の出力状態をL側とし、上記と同様の過程を
繰り返す。但し、データレベル電源1aのL側の出力電
圧およびL側の自動補正回路3のD/Aコンバータの出
力電圧が先の補正過程において同時0Vに設定された場
合には、ステップ23から開始すればよい。
【0014】ドライバ7のH側およびL側の入力電圧に
ついての補正が終了したらコンパレータ8a、8bのオ
フセット補正を行う。まず、スイッチSW1 、SW3 を
開、スイッチSW2 を閉とし、H側コンパレータ8aの
出力端子13を内部電圧計10に接続する。この状態
で、入出力端子12から0Vを入力し、H側オフセット
自動補正回路3のD/Aコンバータの出力を0Vとす
る。この状態で出力データレベル電源(図示なし)の出
力電圧VOHを0Vの近傍で振り、コンパレータ8aの
出力がHレベルからLレベルに切り替わるときのVOH
の電圧値を求める。コンピュータ2はその電圧値を記憶
するとともにその値をオフセット自動補正回路3のレジ
スタにロードする。
ついての補正が終了したらコンパレータ8a、8bのオ
フセット補正を行う。まず、スイッチSW1 、SW3 を
開、スイッチSW2 を閉とし、H側コンパレータ8aの
出力端子13を内部電圧計10に接続する。この状態
で、入出力端子12から0Vを入力し、H側オフセット
自動補正回路3のD/Aコンバータの出力を0Vとす
る。この状態で出力データレベル電源(図示なし)の出
力電圧VOHを0Vの近傍で振り、コンパレータ8aの
出力がHレベルからLレベルに切り替わるときのVOH
の電圧値を求める。コンピュータ2はその電圧値を記憶
するとともにその値をオフセット自動補正回路3のレジ
スタにロードする。
【0015】H側コンパレータ8aに関する補正が終了
したら、コンパレータ8aの出力端子13を内部電圧計
10から切り離し、代わりにL側コンパレータ8bの出
力端子を内部電圧計10に接続し、上記と同様にオフセ
ット補正を行う。
したら、コンパレータ8aの出力端子13を内部電圧計
10から切り離し、代わりにL側コンパレータ8bの出
力端子を内部電圧計10に接続し、上記と同様にオフセ
ット補正を行う。
【0016】以上の過程をオフセット自動調整プログラ
ムとしてプログラム化し、このプログラムを実行するこ
とにより、自動的にオフセット調整を行うことができ
る。
ムとしてプログラム化し、このプログラムを実行するこ
とにより、自動的にオフセット調整を行うことができ
る。
【0017】このようにして得られたオフセット補正電
圧データはディスク等の補助記憶装置に保存しておき、
システムを立ち上げる際に、オフセット自動補正回路3
のレジスタ4にロードするようにする。なお、被試験I
Cに対するテスト方法は従来例の場合と変わるところは
ないので、その説明は省略する。
圧データはディスク等の補助記憶装置に保存しておき、
システムを立ち上げる際に、オフセット自動補正回路3
のレジスタ4にロードするようにする。なお、被試験I
Cに対するテスト方法は従来例の場合と変わるところは
ないので、その説明は省略する。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のICテス
トシステムは、被試験ICを駆動するドライバと、その
出力信号を基準値と比較するコンパレータのオフセット
を自動的に補正しうる補正回路を付加したものであるの
で、本発明によれば、オフセット電圧の調整を人手によ
る電圧計の観測と可変抵抗器のマニュアル調整に頼るこ
となく実行できるようになり、テスト工数の削減が可能
となり、特に多ピンのVLSI(またはULSI)をテ
ストする場合には大幅に調整時間を短縮することができ
る。
トシステムは、被試験ICを駆動するドライバと、その
出力信号を基準値と比較するコンパレータのオフセット
を自動的に補正しうる補正回路を付加したものであるの
で、本発明によれば、オフセット電圧の調整を人手によ
る電圧計の観測と可変抵抗器のマニュアル調整に頼るこ
となく実行できるようになり、テスト工数の削減が可能
となり、特に多ピンのVLSI(またはULSI)をテ
ストする場合には大幅に調整時間を短縮することができ
る。
【図1】 本発明の一実施例のブロック図。
【図2】 図1の実施例のオフセット電圧補正過程を示
すフローチャート。
すフローチャート。
【図3】 従来例のブロック図。
【図4】 従来例のオフセット電圧補正過程を示すフロ
ーチャート。
ーチャート。
1a 入力データレベル電源 1b 出力データレベル電源 2 コンピュータ 3 オフセット自動補正回路 4 レジスタ 5 両極性出力型D/Aコンバータ 6 増幅器 7 ドライバ 8a、8b コンパレータ 9 アナログスイッチ 10 内部電圧計 11 制御入力端子 12 入出力端子 13 コンパレータの出力端子 14 オフセット調整用可変抵抗器
Claims (2)
- 【請求項1】 被試験ICに入力すべきレベルの電圧を
発生する入力データレベル電源と、 前記入力データレベル電源の出力する出力電圧を補正す
る入力補正回路と、 前記入力補正回路の出力信号を受けて被試験ICの駆動
信号を出力するドライバと、 前記ドライバの出力オフセット電圧を測定し、これを0
にするのに必要な前記入力補正回路の補正量を求め、該
補正量を前記入力補正回路に設定する機構と、を具備す
るICテストシステム。 - 【請求項2】 被試験ICの出力信号の基準レベル電圧
を発生する出力データレベル電源と、 前記出力データレベル電源の出力する基準レベル電圧を
補正する出力補正回路と、 前記出力補正回路の出力電圧と被試験ICの出力信号レ
ベルを比較するコンパレータと、 前記コンパレータの入力オフセット電圧を測定し、前記
出力データレベル電源の出力値が0Vであるときに前記
コンパレータの出力オフセット電圧を0Vとするのに必
要な前記出力補正回路の補正量を求め、該補正量を前記
出力補正回路に設定する機構と、を具備するICテスト
システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4269413A JPH0694797A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | Icテストシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4269413A JPH0694797A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | Icテストシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694797A true JPH0694797A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17472075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4269413A Pending JPH0694797A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | Icテストシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0694797A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001027651A (ja) * | 1999-07-14 | 2001-01-30 | Advantest Corp | 波形取得方法及びこの方法を用いて動作する波形取得装置 |
-
1992
- 1992-09-11 JP JP4269413A patent/JPH0694797A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001027651A (ja) * | 1999-07-14 | 2001-01-30 | Advantest Corp | 波形取得方法及びこの方法を用いて動作する波形取得装置 |
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