JPH0697268A - ウエハへの粘着テープ貼付け装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハ搬入装填機構および搬出機構を構造簡
単なものにして、ウエハをリングフレームの粘着フィル
ム上に均一に貼付けられるようにする。 【構成】 下面に粘着フィルム４を張り付けたリングフ
レーム５を、そのフィルム粘着面が上向きになる姿勢で
テーブル３上に載置固定するウエハ保持機構と、パター
ン面を上向きにした姿勢のウエハＷを支持部材９で係止
保持して供給してリングフレーム５の粘着フィルム４上
に落し込み装填するウエハ装填機構と、粘着フィルム４
上に載置されたウエハＷの上面をウエハ押え１５によっ
て押え込み支持するウエハ支持機構と、粘着フィルム４
の下面のウエハ載置領域全体を弾性材１８を介してロー
ラ２３で軽く押圧走査する弾性押圧機構とを、排気可能
な減圧室２に内装してある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、リングフレームに貼着
された粘着フィルムに、半導体ウエハ等の薄板（以下、
ウエハという）を貼付ける装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、上記装置としては、特公平２−３
４１７５号公報に示されるように、パターン面を下向き
にした姿勢で保持されたウエハの上に、粘着フィルムを
貼着したリングフレームを、そのフィルム粘着面が下向
きになる姿勢で接近配置した後、これらを収納した減圧
室を減圧してフィルム粘着面とウエハとを軽く粘着さ
せ、次に粘着フィルムの上面をローラで押圧走査してウ
エハを全体的に粘着させるように構成したものが知られ
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来装置は、ウエ
ハ貼付け処理を減圧室内で行うために、ウエハ貼付け面
に気泡を巻き込むことなく均一良好に貼付け処理を行う
ことができるものであるが、一般にウエハはそのパター
ン面を上向きにした姿勢で各処理を受けるので、前処理
行程を経たウエハを表裏反転して貼付け装置にセット
し、かつ、貼付け処理後のリングフレームを表裏反転し
て次の処理行程に送り込む必要があり、このためにウエ
ハ搬入装填手段および搬出手段が複雑になるものであっ
た。また、ウエハを表裏反転させる際に、吸着ミス等が
発生してウエハを脱落させる可能性もあった。

【０００４】本発明は、このような点に着目してなされ
たものであって、ウエハ搬入装填および搬出に際しての
上記不具合をもたらすことなく、ウエハに粘着テープを
均一良好に貼付けることができる装置を提供することを
目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のウエハへの粘着テープ貼付け装置はつぎの
ような構成をとる。すなわち、下面に粘着フィルムを張
り付けたリングフレームを、そのフィルム粘着面が上向
きになる姿勢で保持するフレーム支持手段と、パターン
面を上向きにした姿勢のウエハを前記フレーム支持手段
で支持されたリングフレームの粘着フィルム上に落し込
み装填するウエハ装填手段と、粘着フィルムの下面の少
なくともウエハ載置領域全体を弾性材を介して軽く押圧
走査する弾性押圧手段と、を排気可能かつ開放可能な減
圧室に内装した構成とする。

【０００６】

【作用】本発明によると、ウエハは前処理行程と同様に
パターン面を上向きにした姿勢で、例えば係止部材など
に周部を載置してパターン面に触れることなく装填セッ
トすることができる。減圧状態でウエハを粘着フィルム
上に供給載置することで、貼付け面に気泡が介在されな
い状態でウエハは軽く粘着され、この状態で粘着フィル
ム下面から弾性的な押圧走査を加えることで、ウエハは
均一に粘着フィルムに貼付けられる。

【０００７】

【実施例】図１ないし図３に第１の実施例が示されてい
る。このウエハ貼付け装置は、固定された下部ハウジン
グ１ａと、これに対して開閉自在な上部ハウジング１ｂ
とで構成される減圧室２内にウエハ貼付けのための各種
手段を装備した構造となっている。

【０００８】下部ハウジング１ａの上部にはリング状の
テーブル３が固定され、このテーブル３上に、粘着フィ
ルム４を下面に張りつけたリングフレーム５を所定の位
置決め状態で載置してクランプ６で固定するようして、
フレーム支持手段が構成されている。

【０００９】上部ハウジング１ｂの対向する周壁部位に
は、スライド軸７を介して水平進退自在な可動枠８が装
着されるとともに、各可動枠８の下端にウエハＷの周部
対角部位を載置支持する支持部材９が前記テーブル３上
に近接して備えられている。また、各可動枠８のスライ
ド軸７の外端に固定された連結部材１０が、上部ハウジ
ング１ｂの上壁中央に縦軸心Ｐ周りに回動可能かつエア
シリンダ１１で回動駆動可能に装備した回動アーム１２
の両端にロッド１３を介してそれぞれ連係接続されてお
り、回動アーム１２をエアシリンダ１１で回動して両可
動枠８を互いに後退させることで、両支持部材１０に載
置されているウエハＷをリングフレーム５の粘着フィル
ム４上に落とし込み装填するウエハ装填手段が構成され
ている。

【００１０】上部ハウジング１ｂの上壁中央には、前記
回動アーム１２の回動軸心Ｐと同心にエアシリンダ１４
が装備され、減圧室２内に突入されたピストンロッド１
４ａの下端にリング状のウエハ押え１５を備えたディス
ク１６が連結されており、エアシリンダ１４の伸長作動
によって下降されたウエハ押え１５で、粘着フィルム４
上のウエハＷの上面周辺部を支持して、後述する下方か
らの貼付け押圧作用でウエハＷが押し上げられるのを阻
止している。

【００１１】下部ハウジング１ａの上部には、一端を固
定されて片持ち状に支持された薄いバネ板１７が配備さ
れるとともに、このバネ板１７の上面にウエハＷより大
径に形成した柔軟なゴムあるいはスポンジ状の弾性材１
８が貼付けられている。また、このバネ板１７の下方に
は、ガイド軸１９を介して水平移動可能に支持されると
ともにエアシリンダ２０で往復駆動される可動ブラケッ
ト２１が配備され、この可動ブラケット２１に支点Ｑ周
りに回動可能な一対のアーム２２を介してバネ板最大幅
と同等の長さのローラ２３が水平に軸支されている。前
記アーム２２の下端には、下部ハウジング１ａの底面に
設けたカムレール２４に作用するカムフォロア２５が備
えられており、図１に示すように、ローラ２３がバネ板
１７の基端側に後退している状態では、カムフォロア２
５がカムレール２４の低部に落ち込んでローラ２３がバ
ネ板１７から離反下降した姿勢にあり、ローラ２３が前
進するとカムフォロア２５がカムレール２４の高部に乗
り上がってローラ２３がバネ板１７を押し上げて、弾性
材１８を粘着フィルム４の下面に押圧作用させるように
弾性押圧手段が構成されている。

【００１２】本発明の第１実施例に係る貼付け装置は以
上のように構成されており、次にその作動を説明する。
先ず、上部ハウジング１ｂが開放された状態でフレーム
支持手段のテーブル３上に粘着テープ４を下面に張りつ
けたリングフレーム５を位置決め載置して固定する。ま
た、両支持部材９上にパターン面を上向きにしたウエハ
Ｗを位置決め載置する。この際、ウエハ支持手段のウエ
ハ押え１５は上昇復帰位置に、かつ、弾性押圧手段のロ
ーラ２３も後退復帰位置に待機されている。

【００１３】次に、上部ハウジング１ｂを下部ハウジン
グ１ａに接合して、下部ハウジング１ａの排気口２６か
ら室内空気を図外真空ポンプで吸引排気し、減圧室２を
所定の真空圧まで減圧する。

【００１４】次に、両支持部材９を後退作動させてウエ
ハＷを粘着テープ４の上面、つまり粘着面の上に落とし
込み装填するとともに、ウエハ押え１５を下降させて粘
着テープ４上に載置されたウエハＷの上面周辺部を支持
する。

【００１５】その後、ローラ２３を前進させることで、
弾性材１８を粘着テープ４の下面に押し当て、ローラ２
３の移動に伴う押圧走査によって粘着テープ４をウエハ
Ｗの下面（裏面）に均一に貼付けてゆき、図６に示すよ
うに、リングフレーム５に粘着テープ４を介してウエハ
Ｗをマウントしたワークが得られ、姿勢反転などの処置
を要することなく、そのままの姿勢で以降の処理行程に
供給することができる。

【００１６】図４ないし図６に、本発明の第２の実施例
が示されている。この例では、テーブル３上にリングフ
レーム５を載置固定するクランプ３０がエアシリンダ３
１で駆動可能に装備されてフレーム支持手段が構成され
ている。また、上部ハウジング１ｂの中央に装備したエ
アシリンダ３２によって昇降されるディスク３３の周部
下面にリング状のウエハ押え３３ａが装着されるととも
に、ディスク３３の周部複数箇所にＬ形アーム３４を介
して上下揺動されるクランプ３５が取り付けられ、ウエ
ハ押え３３ａとクランプ３５によってウエハＷを挟持支
持してリングフレーム５の粘着テープ４近くまで下降し
た後、クランプ３５を解除してウエハＷを粘着テープ４
上に落とし込み装填するウエハ装填手段が構成されてい
る。

【００１７】なお、クランプ駆動用のＬ形アーム３４
は、図５に示すように、ディスク３３上に同心で回動可
能に支持した回転板３６にロッド３７を介して連係され
ており、回転板３６をエアシリンダ３８で正逆回転して
各ロッド３７を押し引き操作することでクランプ３５を
揺動するように構成されている。

【００１８】また、図６に示すように、クランプ３５は
ウエハ押え３３ａよりも上方まで後退揺動可能となって
おり、この状態でウエハ押え３３ａを下降することで、
粘着テープ４上のウエハＷを押さえ込むウエハ支持手段
としても機能するように構成されている。

【００１９】下部ハウジング１ａの中央には、図示しな
い駆動機構によって昇降および回転される支軸３９が装
備され、この支軸３９の上端にウエハ径より長い列状に
ブラシ状の弾性材４０が備えられ、粘着テープ４の下面
を弾性的に押圧しながら回転走査する弾性押圧手段が構
成されている。

【００２０】本実施例によれば、ウエハＷを粘着テープ
４に落とし込んだ後、ウエハ押え３３ａでウエハＷの上
面周辺部を押さえ込み支持した状態で、弾性材４０を上
昇させて粘着テープ４の下面に軽く押圧接触させ、その
後、弾性材４０を回転駆動することにより、ウエハＷの
下面（裏面）に粘着テープ４が貼付けられる。

【００２１】なお、上述した各実施例では、粘着テープ
４の貼付け時に、ウエハＷの上面周辺部をウエハ押え１
５、３３ａで押さえ込み支持したが、ウエハＷの裏面が
平滑である場合は、必ずしもウエハ押え１５、３３ａで
ウエハＷを押さえ込み支持する必要はない。

【００２２】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明のウエハ
貼付け装置によると、減圧下で、ウエハと粘着テープと
を貼付けるので、両者の間に気泡が巻き込まれることが
軽減され、粘着テープを均一に貼付けることができる。
また、ウエハをそのパターン面を上向きにした姿勢で粘
着フィルム上に装填するので、その前処理行程でのウエ
ハ姿勢のままでウエハ貼付け装置に供給し、かつ、その
ままの姿勢で取り出して以降の行程に送り出すことがで
き、ウエハ搬入および搬出の都度、姿勢反転操作を行う
必要がなく、ウエハ搬入装填手段および搬出手段を構造
簡単なもので済ますことが可能となった。また、ウエハ
反転にともなうウエハの脱落のおそれもなく安全に処理
を行えるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウエハへの粘着テープ貼付け装置
の一実施例の縦断側面図である。

【図２】実施例装置の横断平面図である。

【図３】実施例装置の弾性押圧手段の縦断正面図であ
る。

【図４】第２実施例の縦断面図である。

【図５】第２実施例のクランプ駆動機構の平面図であ
る。

【図６】第２実施例の貼付け作動状態の要部の縦断面図
である。

【図７】貼付け処理の終了したワークの斜視図である。

【符号の説明】

２ 減圧室 ４ 粘着フィルム ５ リングフレーム １８ 弾性材 ４０ 弾性材 Ｗ ウエハ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下面に粘着フィルムを張り付けたリング
   フレームを、そのフィルム粘着面が上向きになる姿勢で
   保持するフレーム支持手段と、パターン面を上向きにし
   た姿勢のウエハを前記フレーム支持手段で支持されたリ
   ングフレームの粘着フィルム上に落し込み装填するウエ
   ハ装填手段と、粘着フィルムの下面の少なくともウエハ
   載置領域全体を弾性材を介して軽く押圧走査する弾性押
   圧手段と、を排気可能かつ開放可能な減圧室に内装して
   なることを特徴とするウエハへの粘着テープ貼り付け装
   置。