JPH0699359A - 平面研磨装置用定盤 - Google Patents
平面研磨装置用定盤Info
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- JPH0699359A JPH0699359A JP27658492A JP27658492A JPH0699359A JP H0699359 A JPH0699359 A JP H0699359A JP 27658492 A JP27658492 A JP 27658492A JP 27658492 A JP27658492 A JP 27658492A JP H0699359 A JPH0699359 A JP H0699359A
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims abstract description 65
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 32
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 6
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 定盤の内周側と外周側とにおける同じ幅の円
環状領域内に位置するペレットの数（面積）の差を、各
ペレット間の間隔を広げ過ぎることなく可及的に小さく
すること。 【構成】 定盤本体１０における円環状の加工面に、同
一形状及び同一大きさを有する複数の研磨用ペレット１
１を、定盤と中心Ｏを共有する複数の同心円ｍと定盤の
中心からほぼ等角度で放射状に延びる複数の放射線ｎと
の交点において、各同心円上のペレット数が互いに同数
であると共に、隣接する放射線上のペレットが交互に異
なる同心円上に位置するように取り付け、各同心円間の
間隔ａをペレットの直径ｄよりは小さいが半径２／ｄよ
りは大きい一定の大きさとした。 【効果】 内周側と外周側とにおける同じ幅の円環状領
域内に位置するペレット数の差が小さく、しかも、一つ
の同心円上における隣接するペレットの間に、その前後
の同心円上に位置するペレットが部分的に入り込む形に
なるため、円周が長い定盤の外周部においても各ペレッ
ト間の間隔が広がり過ぎることがない。
環状領域内に位置するペレットの数（面積）の差を、各
ペレット間の間隔を広げ過ぎることなく可及的に小さく
すること。 【構成】 定盤本体１０における円環状の加工面に、同
一形状及び同一大きさを有する複数の研磨用ペレット１
１を、定盤と中心Ｏを共有する複数の同心円ｍと定盤の
中心からほぼ等角度で放射状に延びる複数の放射線ｎと
の交点において、各同心円上のペレット数が互いに同数
であると共に、隣接する放射線上のペレットが交互に異
なる同心円上に位置するように取り付け、各同心円間の
間隔ａをペレットの直径ｄよりは小さいが半径２／ｄよ
りは大きい一定の大きさとした。 【効果】 内周側と外周側とにおける同じ幅の円環状領
域内に位置するペレット数の差が小さく、しかも、一つ
の同心円上における隣接するペレットの間に、その前後
の同心円上に位置するペレットが部分的に入り込む形に
なるため、円周が長い定盤の外周部においても各ペレッ
ト間の間隔が広がり過ぎることがない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体、ガラス、セラ
ミック、金属等の板状又はブロック状のワークを研磨加
工するラップ盤等の平面研磨装置において、上記ワーク
ピースの研磨に使用される定盤に関するものである。
ミック、金属等の板状又はブロック状のワークを研磨加
工するラップ盤等の平面研磨装置において、上記ワーク
ピースの研磨に使用される定盤に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ラップ盤等の平面研磨装置に使用される
定盤として、従来、実開昭５２−１７１７９１号公報や
特開昭５８−１０４５５号公報等に開示されているよう
に、円環状の加工面にダイヤモンド砥石等からなる多数
の研磨用ペレットを取り付けたものが知られている。か
かる定盤においては、一般に、加工面の円周が外周側に
おいて内周側よりも長いため、外周側に数多くのペレッ
トを取り付けたり、外周側のペレットの面積を大きくす
ることにより、ペレット間の隙間が加工面全体として均
一になるように工夫している。
定盤として、従来、実開昭５２−１７１７９１号公報や
特開昭５８−１０４５５号公報等に開示されているよう
に、円環状の加工面にダイヤモンド砥石等からなる多数
の研磨用ペレットを取り付けたものが知られている。か
かる定盤においては、一般に、加工面の円周が外周側に
おいて内周側よりも長いため、外周側に数多くのペレッ
トを取り付けたり、外周側のペレットの面積を大きくす
ることにより、ペレット間の隙間が加工面全体として均
一になるように工夫している。
【０００３】ところが、このように、定盤の外周部と内
周部とにおいて隙間が均一になるようにペレットを取り
付けると、外周側のペレット数（面積）が内周側に比べ
て多くなるため、ワークの研磨加工時に、上下の定盤間
にワークを挟持して定盤を回転させると共にワークを自
転及び公転させた場合、定盤及びワークの各部における
相互の摺接長さが不均一になり、この結果、ワークの外
周部が内周部より多く削られて外周部がダレるとか、定
盤の内周側の数の少ないペレットが外周側の数の多いペ
レットよりも早く摩耗し、定盤断面が全体として凹形に
なり易いという欠点がある。
周部とにおいて隙間が均一になるようにペレットを取り
付けると、外周側のペレット数（面積）が内周側に比べ
て多くなるため、ワークの研磨加工時に、上下の定盤間
にワークを挟持して定盤を回転させると共にワークを自
転及び公転させた場合、定盤及びワークの各部における
相互の摺接長さが不均一になり、この結果、ワークの外
周部が内周部より多く削られて外周部がダレるとか、定
盤の内周側の数の少ないペレットが外周側の数の多いペ
レットよりも早く摩耗し、定盤断面が全体として凹形に
なり易いという欠点がある。
【０００４】従って、定盤にペレットを取り付ける場
合、内周側と外周側とにおけるペレット数（面積）の差
をできるだけ小さくすることが望ましいが、例えば特開
昭６０−１５５３６７号公報に開示されているように、
定盤の中心を各々の中心とする複数の同心円と、定盤の
中心からほぼ等角度で放射状に延びる複数の放射線との
交点に、隣接する放射線上のペレットが交互に異なる同
心円上に位置するように複数のペレットを取り付けるよ
うにすると、各同心円上のペレット数を同数にすること
はできても、定盤の外周側ほどペレット間の間隔が広く
なるため、加工中のワークがその間隔を通過するときに
ペレットの側面に衝突し、該ワークの角部が丸くなって
加工精度が低下し易いばかりでなく、小さいワークの場
合は間隙内に落下し易いという問題が生じる。
合、内周側と外周側とにおけるペレット数（面積）の差
をできるだけ小さくすることが望ましいが、例えば特開
昭６０−１５５３６７号公報に開示されているように、
定盤の中心を各々の中心とする複数の同心円と、定盤の
中心からほぼ等角度で放射状に延びる複数の放射線との
交点に、隣接する放射線上のペレットが交互に異なる同
心円上に位置するように複数のペレットを取り付けるよ
うにすると、各同心円上のペレット数を同数にすること
はできても、定盤の外周側ほどペレット間の間隔が広く
なるため、加工中のワークがその間隔を通過するときに
ペレットの側面に衝突し、該ワークの角部が丸くなって
加工精度が低下し易いばかりでなく、小さいワークの場
合は間隙内に落下し易いという問題が生じる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、定盤
の内周側と外周側とにおける同じ幅の円環状領域内に位
置するペレットの数（面積）の差を、各ペレット間の間
隔を広げ過ぎることなく可及的に小さくすることにあ
る。
の内周側と外周側とにおける同じ幅の円環状領域内に位
置するペレットの数（面積）の差を、各ペレット間の間
隔を広げ過ぎることなく可及的に小さくすることにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の定盤は、定盤本体における円環状の加工面
に、同一形状及び同一大きさを有する複数の研磨用ペレ
ットを、定盤と中心を共有する複数の同心円と定盤の中
心からほぼ等角度で放射状に延びる複数の放射線との交
点において、各同心円上のペレット数が互いに同数であ
ると共に、隣接する放射線上のペレットが交互に異なる
同心円上に位置するように取り付け、各同心円間の間隔
を、ペレットの直径よりは小さいが半径よりは大きい範
囲内において所定の大きさに設定したことを特徴とする
ものである。
め、本発明の定盤は、定盤本体における円環状の加工面
に、同一形状及び同一大きさを有する複数の研磨用ペレ
ットを、定盤と中心を共有する複数の同心円と定盤の中
心からほぼ等角度で放射状に延びる複数の放射線との交
点において、各同心円上のペレット数が互いに同数であ
ると共に、隣接する放射線上のペレットが交互に異なる
同心円上に位置するように取り付け、各同心円間の間隔
を、ペレットの直径よりは小さいが半径よりは大きい範
囲内において所定の大きさに設定したことを特徴とする
ものである。
【０００７】
【作用】かくして構成された定盤は、内周側と外周側と
における同じ幅の円環状領域内に位置するペレット数の
差が小さく、しかも、各同心円間の間隔をペレットの直
径よりも小さくしたことにより、一つの同心円上におけ
る隣接するペレットの間に、その前後の同心円上に位置
するペレットが部分的に入り込む形になるため、円周が
長い定盤の外周部においても各ペレット間の間隔が広が
り過ぎるということがない。
における同じ幅の円環状領域内に位置するペレット数の
差が小さく、しかも、各同心円間の間隔をペレットの直
径よりも小さくしたことにより、一つの同心円上におけ
る隣接するペレットの間に、その前後の同心円上に位置
するペレットが部分的に入り込む形になるため、円周が
長い定盤の外周部においても各ペレット間の間隔が広が
り過ぎるということがない。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
詳細に説明するに、図１及び図２において、定盤１は、
金属製の定盤本体１０における円環状の加工面に、同一
形状及び同一大きさを有する複数の研磨用ペレット１１
を、定盤の中心Ｏを各々の中心とする複数の同心円ｍ
と、定盤の中心Ｏからほぼ等角度で放射状に延びる複数
の放射線ｎとの交点Ｐにおいて、各同心円ｍ上のペレッ
ト数が互いに同数であると共に、隣接する放射線ｎ，ｎ
上のペレット１１が交互に異なる同心円ｍ，ｍ上に位置
するように取り付けたもので、各同心円ｍ，ｍ間の間隔
ａを、ペレット１１の直径ｄよりは小さいが半径ｄ／２
よりは大きい一定の大きさに設定している。
詳細に説明するに、図１及び図２において、定盤１は、
金属製の定盤本体１０における円環状の加工面に、同一
形状及び同一大きさを有する複数の研磨用ペレット１１
を、定盤の中心Ｏを各々の中心とする複数の同心円ｍ
と、定盤の中心Ｏからほぼ等角度で放射状に延びる複数
の放射線ｎとの交点Ｐにおいて、各同心円ｍ上のペレッ
ト数が互いに同数であると共に、隣接する放射線ｎ，ｎ
上のペレット１１が交互に異なる同心円ｍ，ｍ上に位置
するように取り付けたもので、各同心円ｍ，ｍ間の間隔
ａを、ペレット１１の直径ｄよりは小さいが半径ｄ／２
よりは大きい一定の大きさに設定している。
【０００９】この場合、最も内周側の同心円ｍ0 上に位
置するペレット１１は、図示したように、隣接するもの
同士が互いに接するように密に取り付けておくことが望
ましいが、若干の隙間をおいて取り付けても良く、この
ように間隔をおいて取り付けた場合には、同心円間の間
隔ａを更に小さくすることができる。
置するペレット１１は、図示したように、隣接するもの
同士が互いに接するように密に取り付けておくことが望
ましいが、若干の隙間をおいて取り付けても良く、この
ように間隔をおいて取り付けた場合には、同心円間の間
隔ａを更に小さくすることができる。
【００１０】かくして形成された定盤１は、その内周側
と外周側とにおける同じ幅の円環状領域内に位置するペ
レット１１の数が同数であり、しかも、各同心円ｍ間の
間隔ａをペレット１１の直径ｄより小さくしたことによ
り、一つの同心円上における隣接するペレット１１，１
１の間に、その前後の同心円上に位置するペレット１１
が部分的に入り込む形になるため、円周が長い定盤の外
周部においても各ペレット間の間隔が広がり過ぎるとい
うことがない。
と外周側とにおける同じ幅の円環状領域内に位置するペ
レット１１の数が同数であり、しかも、各同心円ｍ間の
間隔ａをペレット１１の直径ｄより小さくしたことによ
り、一つの同心円上における隣接するペレット１１，１
１の間に、その前後の同心円上に位置するペレット１１
が部分的に入り込む形になるため、円周が長い定盤の外
周部においても各ペレット間の間隔が広がり過ぎるとい
うことがない。
【００１１】上記ペレット１１は、ダイヤモンド等の砥
粒を粘土等の結合剤により固めたもので、例えば直径２
０ｍｍ、高さ３〜５ｍｍ程の円板形に形成されるが、砥
粒や結合剤の種類、ペレットの形状や大きさ等は任意で
あって、研磨対象や定盤の大きさ等によってそれらに適
合するものが選択される。また、上記各ペレット１１，
１１間の隙間には、合成樹脂を充填しておくこともでき
る。
粒を粘土等の結合剤により固めたもので、例えば直径２
０ｍｍ、高さ３〜５ｍｍ程の円板形に形成されるが、砥
粒や結合剤の種類、ペレットの形状や大きさ等は任意で
あって、研磨対象や定盤の大きさ等によってそれらに適
合するものが選択される。また、上記各ペレット１１，
１１間の隙間には、合成樹脂を充填しておくこともでき
る。
【００１２】上記構成を有する定盤１は、ラップ盤等の
平面研磨装置に取り付けられ、公知の方法による板状又
はブロック状のワークの研磨に使用されるが、上述した
ように、定盤の外周側と内周側とにおけるペレットの数
が同数であるため、加工時における定盤及びワークの相
互の摺接長さが各部においてほぼ均一化し、従来のよう
なワーク外周のダレや定盤の内外周におけるペレットの
偏摩耗等が生じない。また、各ペレット間の間隔が広過
ぎるということがないため、ワークの角部がペレットの
側面に衝突してダレたり、小さいワークが隙間内に落下
するといった不都合も生じない。
平面研磨装置に取り付けられ、公知の方法による板状又
はブロック状のワークの研磨に使用されるが、上述した
ように、定盤の外周側と内周側とにおけるペレットの数
が同数であるため、加工時における定盤及びワークの相
互の摺接長さが各部においてほぼ均一化し、従来のよう
なワーク外周のダレや定盤の内外周におけるペレットの
偏摩耗等が生じない。また、各ペレット間の間隔が広過
ぎるということがないため、ワークの角部がペレットの
側面に衝突してダレたり、小さいワークが隙間内に落下
するといった不都合も生じない。
【００１３】上記実施例においては、同心円ｍ，ｍ間の
間隔ａを一定の大きさに形成しているが、ペレットの直
径ｄより小さいが半径ｄ／２よりは大きい範囲内におい
て、定盤の外周側にいくにしたがって次第に狭くなるよ
うに形成しても良い。この場合、定盤の内周側と外周側
とにおける同じ幅の円環状領域内のペレットの数（面
積）は完全に同じではなく、同心円の間隔が狭くなって
いる分だけ外周側のペレット数は多くなるが、同心円の
間隔が最も狭い部分でもペレットの半径よりは大きいた
め、ペレット数は内周側の２倍未満であり、外周側に内
周側と同じ間隔で数多くのペレットが取り付けられてい
たり、外周側のペレットの面積が大きい従来のものに比
べると、内外周のペレット数の差は著しく小さくなって
おり、このため、加工時における定盤及びワークの各部
の摺接長さの不均一化は大幅に改善されることになる。
間隔ａを一定の大きさに形成しているが、ペレットの直
径ｄより小さいが半径ｄ／２よりは大きい範囲内におい
て、定盤の外周側にいくにしたがって次第に狭くなるよ
うに形成しても良い。この場合、定盤の内周側と外周側
とにおける同じ幅の円環状領域内のペレットの数（面
積）は完全に同じではなく、同心円の間隔が狭くなって
いる分だけ外周側のペレット数は多くなるが、同心円の
間隔が最も狭い部分でもペレットの半径よりは大きいた
め、ペレット数は内周側の２倍未満であり、外周側に内
周側と同じ間隔で数多くのペレットが取り付けられてい
たり、外周側のペレットの面積が大きい従来のものに比
べると、内外周のペレット数の差は著しく小さくなって
おり、このため、加工時における定盤及びワークの各部
の摺接長さの不均一化は大幅に改善されることになる。
【００１４】
【発明の効果】このように本発明によれば、定盤の内周
側と外周側とにおける同じ幅の円環状領域内に位置する
ペレットの数（面積）の差を、各ペレット間の間隔を広
げ過ぎることなく可及的に小さくすることができる。
側と外周側とにおける同じ幅の円環状領域内に位置する
ペレットの数（面積）の差を、各ペレット間の間隔を広
げ過ぎることなく可及的に小さくすることができる。
【図１】本発明に係る平面研磨装置用定盤の一実施例を
ペレットの一部を省略して示す平面図である。
ペレットの一部を省略して示す平面図である。
【図２】図１の定盤の要部拡大図である。
１ 定盤 １０ 定盤本体 １１ ペレット
Claims (1)
- 【請求項１】 定盤本体における円環状の加工面に、同
一形状及び同一大きさを有する複数の研磨用ペレット
を、定盤と中心を共有する複数の同心円と定盤の中心か
らほぼ等角度で放射状に延びる複数の放射線との交点に
おいて、各同心円上のペレット数が互いに同数であると
共に、隣接する放射線上のペレットが交互に異なる同心
円上に位置するように取り付け、各同心円間の間隔を、
ペレットの直径よりは小さいが半径よりは大きい範囲内
において所定の大きさに設定したことを特徴とする平面
研磨装置用定盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27658492A JPH0699359A (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | 平面研磨装置用定盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27658492A JPH0699359A (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | 平面研磨装置用定盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0699359A true JPH0699359A (ja) | 1994-04-12 |
Family
ID=17571501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27658492A Pending JPH0699359A (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | 平面研磨装置用定盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0699359A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020189368A1 (ja) * | 2019-03-15 | 2020-09-24 | 株式会社ナノテム | 砥石 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4986495U (ja) * | 1972-11-15 | 1974-07-26 | ||
| JPS5694267U (ja) * | 1979-12-19 | 1981-07-27 | ||
| JPS60155367A (ja) * | 1984-01-26 | 1985-08-15 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | ダイヤモンドペレツト用円形定盤 |
-
1992
- 1992-09-21 JP JP27658492A patent/JPH0699359A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4986495U (ja) * | 1972-11-15 | 1974-07-26 | ||
| JPS5694267U (ja) * | 1979-12-19 | 1981-07-27 | ||
| JPS60155367A (ja) * | 1984-01-26 | 1985-08-15 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | ダイヤモンドペレツト用円形定盤 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020189368A1 (ja) * | 2019-03-15 | 2020-09-24 | 株式会社ナノテム | 砥石 |
| JPWO2020189368A1 (ja) * | 2019-03-15 | 2021-11-18 | 株式会社ナノテム | 砥石 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010605 |