JPH07101193B2 - 自己診断機能付差圧式リークテスタ - Google Patents
自己診断機能付差圧式リークテスタInfo
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- JPH07101193B2 JPH07101193B2 JP40596990A JP40596990A JPH07101193B2 JP H07101193 B2 JPH07101193 B2 JP H07101193B2 JP 40596990 A JP40596990 A JP 40596990A JP 40596990 A JP40596990 A JP 40596990A JP H07101193 B2 JPH07101193 B2 JP H07101193B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は差圧式リークテスタに
自己診断機能を付加した自己診断機能付差圧式リークテ
スタに関する。
自己診断機能を付加した自己診断機能付差圧式リークテ
スタに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来の差圧式リークテスタの概略
の構造を示す。図中１は空圧源を示す。この空圧源１に
蓄えられた空気圧は圧力調整弁２によって一定圧力とな
るように取出されて第１電磁弁ＳＶ１に与える。第１電
磁弁ＳＶ１はＡ，Ｂ，Ｃの三つの接続口を有し、非通電
時は接続口Ａ−Ｂ間が遮断、Ｂ−Ｃ間が連通され、通電
時は接続口Ａ−Ｂ間が連通され、Ｂ−Ｃ間が遮断され
る。
の構造を示す。図中１は空圧源を示す。この空圧源１に
蓄えられた空気圧は圧力調整弁２によって一定圧力とな
るように取出されて第１電磁弁ＳＶ１に与える。第１電
磁弁ＳＶ１はＡ，Ｂ，Ｃの三つの接続口を有し、非通電
時は接続口Ａ−Ｂ間が遮断、Ｂ−Ｃ間が連通され、通電
時は接続口Ａ−Ｂ間が連通され、Ｂ−Ｃ間が遮断され
る。
【０００３】接続口Ｃは大気に開放され、接続口Ｂに分
岐管３が接続される。分岐管３の一方の分岐口と、他方
の分岐口には、第２電磁弁ＳＶ２を通じて被検体４と、
第３電磁弁ＳＶ３を通じて内容積が被検体４と同等で洩
れのない基準器５が接続される。被検体４と基準器５に
連通する流路６及び７の間に差圧検出器８を接続し、差
圧検出器８の検出信号は増幅器９とＡＤ変換器１１を通
じて制御器１２に入力され、制御器１２で演算処理され
て警報器１３に与えられる。
岐管３が接続される。分岐管３の一方の分岐口と、他方
の分岐口には、第２電磁弁ＳＶ２を通じて被検体４と、
第３電磁弁ＳＶ３を通じて内容積が被検体４と同等で洩
れのない基準器５が接続される。被検体４と基準器５に
連通する流路６及び７の間に差圧検出器８を接続し、差
圧検出器８の検出信号は増幅器９とＡＤ変換器１１を通
じて制御器１２に入力され、制御器１２で演算処理され
て警報器１３に与えられる。
【０００４】つまり制御器１２はマイクロコンピュータ
によって構成することができる。マイクロコンピュータ
は周知のように中央演算処理装置１２Ａと、プログラム
等を収納したＲＯＭ１２Ｂと、データを一時記憶するＲ
ＡＭ１２Ｃと、入力ポート１２Ｄ、出力ポート１２Ｅに
よって構成される。差圧検出器８の検出信号は増幅器９
で増幅され、ＡＤ変換器１１でディジタル信号に変換さ
れる。ディジタル信号に変換された差圧検出信号は入力
ポート１２Ｄを通じて中央演算処理装置１２Ａに取込ま
れ、予め設定した値と比較され、設定値を越えたとき出
力ポート１２Ｅから警報信号が出力され警報器１３が起
動されて被検体４の不良を知らせる警報が発せられる。
によって構成することができる。マイクロコンピュータ
は周知のように中央演算処理装置１２Ａと、プログラム
等を収納したＲＯＭ１２Ｂと、データを一時記憶するＲ
ＡＭ１２Ｃと、入力ポート１２Ｄ、出力ポート１２Ｅに
よって構成される。差圧検出器８の検出信号は増幅器９
で増幅され、ＡＤ変換器１１でディジタル信号に変換さ
れる。ディジタル信号に変換された差圧検出信号は入力
ポート１２Ｄを通じて中央演算処理装置１２Ａに取込ま
れ、予め設定した値と比較され、設定値を越えたとき出
力ポート１２Ｅから警報信号が出力され警報器１３が起
動されて被検体４の不良を知らせる警報が発せられる。
【０００５】尚制御器１２は差圧検出信号の比較判定を
行なうことの外に、電磁弁ＳＶ１、ＳＶ２、ＳＶ３を制
御する動作も実行する。つまり検査開始時に第１電磁弁
ＳＶ１を通電状態に制御すると共に、その時点から所定
時間後に第２電磁弁ＳＶ２及び第３電磁弁ＳＶ３を通電
状態に制御し、空気圧を被検体４及び基準器５に与え
る。
行なうことの外に、電磁弁ＳＶ１、ＳＶ２、ＳＶ３を制
御する動作も実行する。つまり検査開始時に第１電磁弁
ＳＶ１を通電状態に制御すると共に、その時点から所定
時間後に第２電磁弁ＳＶ２及び第３電磁弁ＳＶ３を通電
状態に制御し、空気圧を被検体４及び基準器５に与え
る。
【０００６】つまり被検体４に洩れが有するか否かを検
査する手順は次の如くして行われる。 初期状態では
第１電磁弁ＳＶ１及び第２電磁弁ＳＶ２、第３電磁弁Ｓ
Ｖ３は共に非通電状態とされる。第２電磁弁ＳＶ２と第
３電磁弁ＳＶ３は非通電時は開に制御されている。従っ
てこの状態では被検体４と基準器５は第１電磁弁ＳＶ１
の接続口Ｃを通じて大気に開放されている。 スター
ト信号により第１電磁弁ＳＶ１が通電される。この通電
により第１電磁弁ＳＶ１は接続口Ｂ−Ｃ間が遮断され、
接続口Ａ−Ｂ間が連通されるから被検体４と基準器５に
空圧源１から空気圧が与えられる。 一定の加圧時間
（１〜２秒程度）後に第２電磁弁ＳＶ２と第３電磁弁Ｓ
Ｖ３に通電し、流路６と７を遮断する。 流路６及び
７を遮断した時点から一定時間経過後に差圧検出器８の
検出出力を電気的にゼロリセットし、そのゼロリセット
から所定時間以内に差圧値が規定値に達するか否かを制
御器１２で監視する。
査する手順は次の如くして行われる。 初期状態では
第１電磁弁ＳＶ１及び第２電磁弁ＳＶ２、第３電磁弁Ｓ
Ｖ３は共に非通電状態とされる。第２電磁弁ＳＶ２と第
３電磁弁ＳＶ３は非通電時は開に制御されている。従っ
てこの状態では被検体４と基準器５は第１電磁弁ＳＶ１
の接続口Ｃを通じて大気に開放されている。 スター
ト信号により第１電磁弁ＳＶ１が通電される。この通電
により第１電磁弁ＳＶ１は接続口Ｂ−Ｃ間が遮断され、
接続口Ａ−Ｂ間が連通されるから被検体４と基準器５に
空圧源１から空気圧が与えられる。 一定の加圧時間
（１〜２秒程度）後に第２電磁弁ＳＶ２と第３電磁弁Ｓ
Ｖ３に通電し、流路６と７を遮断する。 流路６及び
７を遮断した時点から一定時間経過後に差圧検出器８の
検出出力を電気的にゼロリセットし、そのゼロリセット
から所定時間以内に差圧値が規定値に達するか否かを制
御器１２で監視する。
【０００７】所定時間の範囲内に差圧値が所定値に達し
ない場合、被検体４は「洩れなし」と判定される。また
所定時間の範囲内に差圧値が所定値に達したとき被検体
４は「洩れ有り」と判定され、警報器１３が起動され
る。 検査終了時点で第１電磁弁ＳＶ１、第２電磁弁
ＳＶ２、第３電磁弁ＳＶ３の通電が解除され、初期状態
に戻される。
ない場合、被検体４は「洩れなし」と判定される。また
所定時間の範囲内に差圧値が所定値に達したとき被検体
４は「洩れ有り」と判定され、警報器１３が起動され
る。 検査終了時点で第１電磁弁ＳＶ１、第２電磁弁
ＳＶ２、第３電磁弁ＳＶ３の通電が解除され、初期状態
に戻される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した差圧式リーク
テスタにおいて、例えば第１電磁弁ＳＶ１が不良とな
り、通電したもにかかわらず接続口Ａ−Ｂ間が連通しな
い状態のまま検査を行なったとすると、制御器は差圧の
発生を検出しないため被検体４は洩れのない良品と判定
する欠点がある。
テスタにおいて、例えば第１電磁弁ＳＶ１が不良とな
り、通電したもにかかわらず接続口Ａ−Ｂ間が連通しな
い状態のまま検査を行なったとすると、制御器は差圧の
発生を検出しないため被検体４は洩れのない良品と判定
する欠点がある。
【０００９】また差圧検出器８が不良となり、差圧が与
えられているにもかかわらず、その差圧に対応した電気
信号を出力しない場合も「洩れなし」とする誤った判定
を下す欠点がある。更に制御器１２及び警報器１３が不
良となり、差圧検出器８から規定値以上に達する差圧信
号が与えられているにもかかわらず、不動作状態を続け
ると全ての被検体は「洩れなし」と判定される。
えられているにもかかわらず、その差圧に対応した電気
信号を出力しない場合も「洩れなし」とする誤った判定
を下す欠点がある。更に制御器１２及び警報器１３が不
良となり、差圧検出器８から規定値以上に達する差圧信
号が与えられているにもかかわらず、不動作状態を続け
ると全ての被検体は「洩れなし」と判定される。
【００１０】従ってこれらの不都合が発生しないように
従来は定期的に各部の動作を個別にチェックしている。
然し乍ら被検体４は流れ作業により多量に検査するもの
であるから検査中に上述したようなリークテスタの不良
が発生した場合には、その不良が発生した時点から以後
に検査して良品と判定した被検体に洩れのある不良品が
混入することになり、検査の信頼性を著しく低下させ
る。
従来は定期的に各部の動作を個別にチェックしている。
然し乍ら被検体４は流れ作業により多量に検査するもの
であるから検査中に上述したようなリークテスタの不良
が発生した場合には、その不良が発生した時点から以後
に検査して良品と判定した被検体に洩れのある不良品が
混入することになり、検査の信頼性を著しく低下させ
る。
【００１１】この発明は被検体の各１個毎にリークテス
タが正常か否かを自動的に自己診断し、リークテスタが
不良になった場合は直ちにその状態を警報できるように
した自己診断機能付差圧式リークテスタを提供するもの
である。
タが正常か否かを自動的に自己診断し、リークテスタが
不良になった場合は直ちにその状態を警報できるように
した自己診断機能付差圧式リークテスタを提供するもの
である。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明では一定の圧力
値に調整された空圧源の圧力を取出す第１電磁弁と、こ
の第１電磁弁によって取出される空気圧を２分岐する分
岐管と、この分岐管で分岐された二つの流路に設けられ
た第２電磁弁及び第３電磁弁と、この第２電磁弁及び第
３電磁弁を通じて取出される空気圧が与えられる被検体
及び洩れのない基準器と、被検体に与えられた空気圧と
基準器に与えられた圧力の変化を検出する差圧検出器
と、この差圧検出器の検出出力が所定値以上に達したこ
とを検出し警報を出力する警報器とによって構成される
差圧式リークテスタにおいて、検査の開始時に第２電磁
弁と第３電磁弁の何れか一方を閉じた状態で第１電磁弁
を開く制御を行なう制御手段と、この制御手段により第
２電磁弁と第３電磁弁の何れか一方が閉に制御されてい
る状態で警報器が作動するか否かを判定する判定手段と
を設け、この判定手段が警報動作を検出することにより
差圧式リークテスタが正常であると判定するように構成
したものである。
値に調整された空圧源の圧力を取出す第１電磁弁と、こ
の第１電磁弁によって取出される空気圧を２分岐する分
岐管と、この分岐管で分岐された二つの流路に設けられ
た第２電磁弁及び第３電磁弁と、この第２電磁弁及び第
３電磁弁を通じて取出される空気圧が与えられる被検体
及び洩れのない基準器と、被検体に与えられた空気圧と
基準器に与えられた圧力の変化を検出する差圧検出器
と、この差圧検出器の検出出力が所定値以上に達したこ
とを検出し警報を出力する警報器とによって構成される
差圧式リークテスタにおいて、検査の開始時に第２電磁
弁と第３電磁弁の何れか一方を閉じた状態で第１電磁弁
を開く制御を行なう制御手段と、この制御手段により第
２電磁弁と第３電磁弁の何れか一方が閉に制御されてい
る状態で警報器が作動するか否かを判定する判定手段と
を設け、この判定手段が警報動作を検出することにより
差圧式リークテスタが正常であると判定するように構成
したものである。
【００１３】このように検査開始時のわずかな時間、第
２電磁弁と第３電磁弁の何れか一方を閉に制御している
状態で第１電磁弁を開に制御したとき警報器が作動すれ
ばリークテスタが正常であると判定することができる。
つまり第２電磁弁と第３電磁弁の何れか一方を閉じてい
る状態で第１電磁弁を開に制御すると第１電磁弁が正常
に動作していれば被検体又は基準器だけに空気が与えら
れる。
２電磁弁と第３電磁弁の何れか一方を閉に制御している
状態で第１電磁弁を開に制御したとき警報器が作動すれ
ばリークテスタが正常であると判定することができる。
つまり第２電磁弁と第３電磁弁の何れか一方を閉じてい
る状態で第１電磁弁を開に制御すると第１電磁弁が正常
に動作していれば被検体又は基準器だけに空気が与えら
れる。
【００１４】よってこの状態で差圧検出器が正常で、然
も制御器及び警報器が正常であれば警報器が作動する。
従ってこの警報器が作動しなければ３者の中の何れかが
不良になっていると判断することができる。
も制御器及び警報器が正常であれば警報器が作動する。
従ってこの警報器が作動しなければ３者の中の何れかが
不良になっていると判断することができる。
【００１５】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す。図１にお
いて図３と対応する部分には同一符号を付して示す。こ
の発明においては検査の開始時点で第２電磁弁ＳＶ２と
第３電磁弁ＳＶ３の何れか一方を閉の状態に制御して第
１電磁弁ＳＶ１を開に制御する手段と、この状態で警報
器１３が作動するか否かを判定する判定手段を設ける。
いて図３と対応する部分には同一符号を付して示す。こ
の発明においては検査の開始時点で第２電磁弁ＳＶ２と
第３電磁弁ＳＶ３の何れか一方を閉の状態に制御して第
１電磁弁ＳＶ１を開に制御する手段と、この状態で警報
器１３が作動するか否かを判定する判定手段を設ける。
【００１６】検査開始時点で第２電磁弁ＳＶ２又は第３
電磁弁ＳＶ３の何れか一方を閉に制御し、この状態で第
１電磁弁ＳＶ１を開に制御する手段は制御器１２によっ
て構成することができる。つまり、制御器１２を構成す
るマイクロコンピュータのＲＯＭ１２Ｂに収納したプロ
グラムに、検査開始のタイミングで例えば第２電磁弁Ｓ
Ｖ２をわずかな時間、閉に制御するステップと、警報器
１３に起動信号が出力されるか否かを判定するステップ
とを付加する。
電磁弁ＳＶ３の何れか一方を閉に制御し、この状態で第
１電磁弁ＳＶ１を開に制御する手段は制御器１２によっ
て構成することができる。つまり、制御器１２を構成す
るマイクロコンピュータのＲＯＭ１２Ｂに収納したプロ
グラムに、検査開始のタイミングで例えば第２電磁弁Ｓ
Ｖ２をわずかな時間、閉に制御するステップと、警報器
１３に起動信号が出力されるか否かを判定するステップ
とを付加する。
【００１７】警報器１３に対して起動信号が発信されな
い場合は別に設けた警報器１４に起動信号を発信し、こ
の警報器１４の起動によって差圧式リークテスタの異常
を表示させる。図２はこの発明の他の実施例を示す。こ
の実施例では被検体４及び基準器５の容積が大きい場合
の差圧式リークテスタにこの発明を適用した場合を示
す。
い場合は別に設けた警報器１４に起動信号を発信し、こ
の警報器１４の起動によって差圧式リークテスタの異常
を表示させる。図２はこの発明の他の実施例を示す。こ
の実施例では被検体４及び基準器５の容積が大きい場合
の差圧式リークテスタにこの発明を適用した場合を示
す。
【００１８】つまりこの実施例では第２電磁弁ＳＶ２と
被検体４との間に第４電磁弁ＳＶ４を配置すると共に、
第３電磁弁ＳＶ３と基準器５との間に第５電磁弁ＳＶ５
を配置する。これら第４電磁弁ＳＶ４と第５電磁弁ＳＶ
５はそれぞれ三方弁を用い三方弁の接続口Ｃを第１電磁
弁ＳＶ１の一つの接続口Ｂに接続する。第１電磁弁ＳＶ
１の他方の接続口Ａは調整弁２の出力側に接続し、調整
弁２と分岐管３との間に直接接続する。
被検体４との間に第４電磁弁ＳＶ４を配置すると共に、
第３電磁弁ＳＶ３と基準器５との間に第５電磁弁ＳＶ５
を配置する。これら第４電磁弁ＳＶ４と第５電磁弁ＳＶ
５はそれぞれ三方弁を用い三方弁の接続口Ｃを第１電磁
弁ＳＶ１の一つの接続口Ｂに接続する。第１電磁弁ＳＶ
１の他方の接続口Ａは調整弁２の出力側に接続し、調整
弁２と分岐管３との間に直接接続する。
【００１９】ここで第１電磁弁ＳＶ１を通る流路１５乃
至１７は一般にバイパスと呼ばれ他の流路に用いるパイ
プの径より太い径のパイプを用いる。検査の開始時には
第１電磁弁ＳＶ１を接続口Ａ−Ｂ間を連通させ流路１
５，１６，１７を通じて被検体４と基準器５に空気圧を
与える。このようにして太い径の流路を用いて被検体４
と基準器５に短時間に多量の空気を流し込み被検体４と
基準器５の内部の圧力を高める。
至１７は一般にバイパスと呼ばれ他の流路に用いるパイ
プの径より太い径のパイプを用いる。検査の開始時には
第１電磁弁ＳＶ１を接続口Ａ−Ｂ間を連通させ流路１
５，１６，１７を通じて被検体４と基準器５に空気圧を
与える。このようにして太い径の流路を用いて被検体４
と基準器５に短時間に多量の空気を流し込み被検体４と
基準器５の内部の圧力を高める。
【００２０】被検体４と基準器５の内圧が所定の圧力に
高まった時点で第４電磁弁ＳＶ４、第５電磁弁ＳＶ５を
接続口Ａ−Ｂ間が通電する状態に切替る。このとき第２
電磁弁ＳＶ２と第３電磁弁ＳＶ３は開のままの状態にな
っているからこの状態では第２電磁弁ＳＶ２と第３電磁
弁ＳＶ３を通じて被検体４と基準器５に空気圧が送り込
まれる。
高まった時点で第４電磁弁ＳＶ４、第５電磁弁ＳＶ５を
接続口Ａ−Ｂ間が通電する状態に切替る。このとき第２
電磁弁ＳＶ２と第３電磁弁ＳＶ３は開のままの状態にな
っているからこの状態では第２電磁弁ＳＶ２と第３電磁
弁ＳＶ３を通じて被検体４と基準器５に空気圧が送り込
まれる。
【００２１】被検体４と基準器５に所定の空気圧が蓄積
されたタイミングで第２電磁弁ＳＶ２とＳＶ３を閉じ、
この状態で差圧が発生するか否かを監視する。差圧の発
生が無い場合は被検体４は洩れのない良品と判定する。
ここでこの発明においてはバイパスを通じて空気圧を被
検体４、基準器５に送り込んでいる状態から第２電磁弁
ＳＶ２と第３電磁弁ＳＶ３を通じて空気を送り込む状態
に切替る際に、例えば第２電磁弁ＳＶ２をわずかな時
間、閉に切替え、被検体４に送り込む空気を一時遮断す
る。
されたタイミングで第２電磁弁ＳＶ２とＳＶ３を閉じ、
この状態で差圧が発生するか否かを監視する。差圧の発
生が無い場合は被検体４は洩れのない良品と判定する。
ここでこの発明においてはバイパスを通じて空気圧を被
検体４、基準器５に送り込んでいる状態から第２電磁弁
ＳＶ２と第３電磁弁ＳＶ３を通じて空気を送り込む状態
に切替る際に、例えば第２電磁弁ＳＶ２をわずかな時
間、閉に切替え、被検体４に送り込む空気を一時遮断す
る。
【００２２】この遮断によって差圧が発生するから、差
圧検出器８が正常であれば差圧信号を出力する。一方制
御器１２が正常に動作していれば警報器１３に起動信号
を出力する。よって警報器１３に対して起動信号が出力
されたことを制御器１２自身が検出することによって検
査装置は正常に動作していると判定し、検査を続ける。
圧検出器８が正常であれば差圧信号を出力する。一方制
御器１２が正常に動作していれば警報器１３に起動信号
を出力する。よって警報器１３に対して起動信号が出力
されたことを制御器１２自身が検出することによって検
査装置は正常に動作していると判定し、検査を続ける。
【００２３】検査終了時点では第４電磁弁ＳＶ４と第５
電磁弁ＳＶ５及び第１電磁弁ＳＶ１は接続口Ｂ−Ｃ間を
連通する状態に切替られる。従って被検体４と基準器５
に蓄積された空気はバイパスを通じて大気に放出され
る。つまり短時間に大気に放出することができる。また
この実施例のようにバイパスを用いることにより、特に
検査終了時に被検体４及び基準器５から出力される排気
が差圧検出器８を含む部分を通過しない。よって被検体
４に水、油等を含む場合でも水、油等が差圧検出器８に
流入することがないから被検体４が洗浄工程直後の工程
のものでも検査することができる。
電磁弁ＳＶ５及び第１電磁弁ＳＶ１は接続口Ｂ−Ｃ間を
連通する状態に切替られる。従って被検体４と基準器５
に蓄積された空気はバイパスを通じて大気に放出され
る。つまり短時間に大気に放出することができる。また
この実施例のようにバイパスを用いることにより、特に
検査終了時に被検体４及び基準器５から出力される排気
が差圧検出器８を含む部分を通過しない。よって被検体
４に水、油等を含む場合でも水、油等が差圧検出器８に
流入することがないから被検体４が洗浄工程直後の工程
のものでも検査することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
第１電磁弁ＳＶ１及び第２電磁弁ＳＶ２が動作不能にな
った状態、差圧検出器８が差圧を検出しない状態、警報
器１３が動作しない状態を全て検出することができ、信
頼性の高いリークテスタを提供することができる。
第１電磁弁ＳＶ１及び第２電磁弁ＳＶ２が動作不能にな
った状態、差圧検出器８が差圧を検出しない状態、警報
器１３が動作しない状態を全て検出することができ、信
頼性の高いリークテスタを提供することができる。
【００２５】然も自己診断を行なう時間は、第２電磁弁
ＳＶ２をわずかな時間０．５秒程度閉に制御するだけで
済むから、製品の検査時間が長くなってしまう程のこと
ではない。
ＳＶ２をわずかな時間０．５秒程度閉に制御するだけで
済むから、製品の検査時間が長くなってしまう程のこと
ではない。
【図１】この発明の一実施例を示す系統図。
【図２】この発明の変形実施例を示す系統図。
【図３】従来の技術を説明するための系統図。
１ 空圧源 ２ 圧力調整弁 ３ 分岐管 ４ 被検体 ５ 基準器 ６，７ 流路 ８ 差圧検出器 ９ 増幅器 １１ ＡＤ変換器 １２ 制御器 １３ 被検体用の警報器 １４ 検査装置用の警報器 １５，１６，１７ バイパス ＳＶ１ 第１電磁弁 ＳＶ２ 第２電磁弁 ＳＶ３ 第３電磁弁 ＳＶ４ 第４電磁弁 ＳＶ５ 第５電磁弁
Claims (2)
- 【請求項１】 一定の圧力値に調整された空圧源の圧力
を取出す第１電磁弁と、この第１電磁弁によって取出さ
れる空気圧を２分岐する分岐管と、この分岐管で分岐さ
れた二つの流路に設けられた第２電磁弁及び第３電磁弁
と、この第２電磁弁及び第３電磁弁を通じて取出される
空気圧が与えられる被検体及び被検体と同等の内容積を
持ち洩れのない基準器と、被検体に与えられた空気圧と
基準器に与えられた圧力の変化を検出する差圧検出器
と、この差圧検出器の検出出力が所定値以上に達したこ
とを検出し警報を出力をする警報器とを具備して構成さ
れる差圧式リークテスタにおいて、 検査の開始前に上記第２電磁弁と第３電磁弁の何れか一
方を閉に制御した状態で上記第１電磁弁を開に制御する
制御手段と、この制御手段により第２電磁弁と第３電磁
弁の何れか一方が閉に制御されている状態で上記警報器
が作動するか否かを判定する判定手段とを設け、この判
定手段が警報器の警報動作を検出することにより上記差
圧式リークテスタが正常に動作すると判定するように構
成した自己診断機能付差圧式リークテスタ。 - 【請求項２】 一定の圧力値に調整された空圧源の圧力
を取出す第１電磁弁と、上記空圧源の圧力を２分岐する
分岐管と、この分岐管で２分された二つの流路に設けら
れた第２電磁弁及び第３電磁弁と、この第２電磁弁及び
第３電磁弁を通じて上記空圧源の圧力が各一つの接続口
に与えられる第４電磁弁及び第５電磁弁と、この第４電
磁弁及び第５電磁弁を通じて上記空圧源の圧力が与えら
れる被検体及び基準器と、上記第１電磁弁を通じて上記
第４電磁弁と第５電磁弁の各一つの接続口に上記空圧源
の圧力を与えるバイパスと、上記第２電磁弁と第４電磁
弁との接続点及び第３電磁弁と第５電磁弁との接続点の
間に接続した差圧検出器とを具備し、検査の開始時に上
記第１電磁弁からバイパス及び第４電磁弁を通じて被検
体に圧力を与えると共に、上記第１電磁弁からバイパス
及び第５電磁弁を通じて基準器に圧力を与え、この状態
から第１電磁弁を閉じてバイパスを閉じ、上記第２電磁
弁及び第３電磁弁を通じて被検体及び基準器に空気圧を
与え、その後第２電磁弁及び第３電磁弁を閉じて上記差
圧検出器から差圧検出信号が出力されるか否かによって
被検体の洩れの有無を検査するように構成した差圧式リ
ークテスタにおいて、 上記被検体及び基準器にバイパスから空気圧を与えてい
る状態から上記第２電磁弁及び第３電磁弁を通じて被検
体及び基準器に空気圧を与える状態に切替た状態で上記
第２電磁弁と第３電磁弁の何れか一方を短時間閉に制御
し、上記差圧検出器に強制的に差圧を与えて自己診断す
るように構成した自己診断機能付差圧式リークテスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40596990A JPH07101193B2 (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 自己診断機能付差圧式リークテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40596990A JPH07101193B2 (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 自己診断機能付差圧式リークテスタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04221733A JPH04221733A (ja) | 1992-08-12 |
| JPH07101193B2 true JPH07101193B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=18515597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40596990A Expired - Lifetime JPH07101193B2 (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 自己診断機能付差圧式リークテスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07101193B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2246684A1 (en) | 2006-01-13 | 2010-11-03 | Cosmo Instruments Co., Ltd | Method for detecting fault in leakage inspector, leakage inspector |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005091042A (ja) | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Olympus Corp | リークテスタ |
| JP5318005B2 (ja) | 2010-03-10 | 2013-10-16 | 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ | 基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法 |
| MX340267B (es) * | 2011-09-13 | 2016-07-04 | Koninklijke Philips Nv | Prueba de fuga de gas basada en presion. |
-
1990
- 1990-12-25 JP JP40596990A patent/JPH07101193B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2246684A1 (en) | 2006-01-13 | 2010-11-03 | Cosmo Instruments Co., Ltd | Method for detecting fault in leakage inspector, leakage inspector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04221733A (ja) | 1992-08-12 |
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