JPH07101500B2 - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPH07101500B2 JPH07101500B2 JP61043151A JP4315186A JPH07101500B2 JP H07101500 B2 JPH07101500 B2 JP H07101500B2 JP 61043151 A JP61043151 A JP 61043151A JP 4315186 A JP4315186 A JP 4315186A JP H07101500 B2 JPH07101500 B2 JP H07101500B2
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- JP
- Japan
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- linear expansion
- film
- recording medium
- polymer film
- magnetic recording
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、高分子フィルム基板上にCo−Cr系強磁性合金
層が被着形成されてなる垂直磁気記録媒体に係り、特に
磁気ヘッドタッチや走行性等へ悪影響をおよぼすカー
ル、しわ等の発生を防止した垂直磁気記録媒体に関す
る。
層が被着形成されてなる垂直磁気記録媒体に係り、特に
磁気ヘッドタッチや走行性等へ悪影響をおよぼすカー
ル、しわ等の発生を防止した垂直磁気記録媒体に関す
る。
（従来の技術） 近年、磁気記録媒体の媒体面に垂直な方向の残留磁化を
利用して磁気記録を行う垂直磁気記録方式が原理的に高
密度記録に適する方式として注目されている。
利用して磁気記録を行う垂直磁気記録方式が原理的に高
密度記録に適する方式として注目されている。
この垂直磁気記録に用いる垂直磁気記録媒体の代表的な
ものとしては、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する
Co−Cr系強磁性合金層を高分子フィルム上にスパッタリ
ングや蒸着により形成して磁性層としたものが知られて
いる。
ものとしては、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する
Co−Cr系強磁性合金層を高分子フィルム上にスパッタリ
ングや蒸着により形成して磁性層としたものが知られて
いる。
このような垂直磁気記録媒体は、第１図に示すように、
ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、芳香族ポリ
アミド等の耐熱性高分子フィルムからなる基板１と、こ
の基板１の少くとも一方の表面にCo−Cr系合金などから
なる強磁性合金層２を形成し、この強磁性合金層２上に
保護膜３および潤滑層４を順に設けて構成されており、
磁気テープやフロッピーディスクへの使用が考えられて
いる。
ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、芳香族ポリ
アミド等の耐熱性高分子フィルムからなる基板１と、こ
の基板１の少くとも一方の表面にCo−Cr系合金などから
なる強磁性合金層２を形成し、この強磁性合金層２上に
保護膜３および潤滑層４を順に設けて構成されており、
磁気テープやフロッピーディスクへの使用が考えられて
いる。
上記Co−Cr系強磁性合金層は一般にアルゴン雰囲気中で
通常のコンベンショナル・スパッタリング法あるいはマ
グネトロン・スパッタリング法で形成されている。そし
てこのようにして形成されたCo−Cr系強磁性合金層はＣ
軸に配向された柱状構成となり、磁気特性は主としてCo
−Cr系強磁性合金層の組成によって決まる飽和磁化Msの
他に膜面に垂直な磁気異方性エネルギーKu、膜面に垂直
方向の保持力Hc1がそれぞれ大きく高密度記録が可能と
なる条件を備えている。
通常のコンベンショナル・スパッタリング法あるいはマ
グネトロン・スパッタリング法で形成されている。そし
てこのようにして形成されたCo−Cr系強磁性合金層はＣ
軸に配向された柱状構成となり、磁気特性は主としてCo
−Cr系強磁性合金層の組成によって決まる飽和磁化Msの
他に膜面に垂直な磁気異方性エネルギーKu、膜面に垂直
方向の保持力Hc1がそれぞれ大きく高密度記録が可能と
なる条件を備えている。
しかしながら上述した製造方法によって所望の磁気特性
を有するCo−Cr系強磁性合金層を形成する場合、基板で
ある高分子フィルムを真空中で80〜200℃に加熱する必
要があり、このため第２図（ａ）、（ｂ）に示したよう
な、高分子フィルム５と強磁性合金層６の熱膨脹係数の
違いに由来するカールを生じ、特に熱膨脹係数があまり
違いすぎるとしわが発生するようになる。このようなカ
ールやしわは磁気記録媒体と使用する際の磁気ヘッドタ
ッチや走行性等を悪くするという問題を引き起す。この
カール現象では、膜厚5000ÅのCo−Cr系強磁性合金層を
75μｍ厚の異なる線膨脹係数を有する高分子フィルムに
形成した場合、すなわち、高分子フィルムの片面のみに
磁性層を形成した場合、Co−Cr系強磁性合金層より線膨
脹係数の大きいフィルムは強磁性合金層６が外側になる
アウターカールを生じ、逆に線膨脹係数が小さい耐熱性
フィルムは強磁性合金層６が内側になるインナーカール
を生じる。Co−Cr強磁性合金層の形成は、通常、量産性
を考慮して、第３図に示すようなロール式連続スパッタ
リング装置を用いてCo−Crターゲット7a、7bと対向した
円筒状ロール8a、8bの周側面に沿って前後の供給ロール
９および巻取りロール10を用いて張力をかけながら高分
子フィルム12を走行させ、円筒状ロール8a、8bによって
高分子フィルム温度を制御しながら行われる。第３図中
の符号13a、13b、13cはフィルム転送のための補助ロー
ラである。この場合、80〜200℃という強磁性合金層の
成膜時の高い温度から成膜後室温にまで温度が変化する
際のCo−Cr合金層と高分子フィルムの収縮量が異なるた
め片面媒体の場合、Co−Cr系強磁性合金層（線膨脹係数
約11×10-6/℃）より線膨脹係数の大きい高分子フィル
ムでは、アウターカールを生じ、逆に線膨脹係数が小さ
いフィルムではインナーカールを生じることになる。
を有するCo−Cr系強磁性合金層を形成する場合、基板で
ある高分子フィルムを真空中で80〜200℃に加熱する必
要があり、このため第２図（ａ）、（ｂ）に示したよう
な、高分子フィルム５と強磁性合金層６の熱膨脹係数の
違いに由来するカールを生じ、特に熱膨脹係数があまり
違いすぎるとしわが発生するようになる。このようなカ
ールやしわは磁気記録媒体と使用する際の磁気ヘッドタ
ッチや走行性等を悪くするという問題を引き起す。この
カール現象では、膜厚5000ÅのCo−Cr系強磁性合金層を
75μｍ厚の異なる線膨脹係数を有する高分子フィルムに
形成した場合、すなわち、高分子フィルムの片面のみに
磁性層を形成した場合、Co−Cr系強磁性合金層より線膨
脹係数の大きいフィルムは強磁性合金層６が外側になる
アウターカールを生じ、逆に線膨脹係数が小さい耐熱性
フィルムは強磁性合金層６が内側になるインナーカール
を生じる。Co−Cr強磁性合金層の形成は、通常、量産性
を考慮して、第３図に示すようなロール式連続スパッタ
リング装置を用いてCo−Crターゲット7a、7bと対向した
円筒状ロール8a、8bの周側面に沿って前後の供給ロール
９および巻取りロール10を用いて張力をかけながら高分
子フィルム12を走行させ、円筒状ロール8a、8bによって
高分子フィルム温度を制御しながら行われる。第３図中
の符号13a、13b、13cはフィルム転送のための補助ロー
ラである。この場合、80〜200℃という強磁性合金層の
成膜時の高い温度から成膜後室温にまで温度が変化する
際のCo−Cr合金層と高分子フィルムの収縮量が異なるた
め片面媒体の場合、Co−Cr系強磁性合金層（線膨脹係数
約11×10-6/℃）より線膨脹係数の大きい高分子フィル
ムでは、アウターカールを生じ、逆に線膨脹係数が小さ
いフィルムではインナーカールを生じることになる。
したがってカールのない媒体を作る方法として以下のよ
うな方法が考えられる。
うな方法が考えられる。
高分子フィルムの両面に同じ厚さの磁性層を形成す
る（両面化媒体）。
る（両面化媒体）。
磁性層と同程度の線膨脹係数を有する高分子フィル
ムを用いる。
ムを用いる。
高分子フィルムの磁性層と反対側の面に非磁性金属
層を形成する。
層を形成する。
フロッピーディスクのような記録媒体を考えた場合、記
録容量を増加させる上での両面に磁性層を形成させる
ことが望ましいが、このためには片面づつ磁性層を被着
させる必要があり、片面に磁性層がついた状態では線膨
脹係数が複合化されたり、高分子フィルムの熱覆歴、熱
収縮性等の問題により高分子フィルム自体の線膨脹係数
が異なってくるため、同じ膜厚でカールをなくすること
は難しい。またの磁性層と同じ線膨脹係数の高分子フ
ィルムを用いる方法でも、高分子フィルムの熱覆歴、熱
収縮性等の熱的特性が非直線性を示すため難しい。さら
にの方法でもの場合と同様の問題があるうえに、被
着された非磁性層はカール防止以外に何の機能も持たな
いため、機能まで考慮したトータルコストが高くなると
いう問題があった。
録容量を増加させる上での両面に磁性層を形成させる
ことが望ましいが、このためには片面づつ磁性層を被着
させる必要があり、片面に磁性層がついた状態では線膨
脹係数が複合化されたり、高分子フィルムの熱覆歴、熱
収縮性等の問題により高分子フィルム自体の線膨脹係数
が異なってくるため、同じ膜厚でカールをなくすること
は難しい。またの磁性層と同じ線膨脹係数の高分子フ
ィルムを用いる方法でも、高分子フィルムの熱覆歴、熱
収縮性等の熱的特性が非直線性を示すため難しい。さら
にの方法でもの場合と同様の問題があるうえに、被
着された非磁性層はカール防止以外に何の機能も持たな
いため、機能まで考慮したトータルコストが高くなると
いう問題があった。
また特開昭58−159243公報には基板の線膨脹係数を1.0
×10-5〜2.9×10-5/℃とし、キャン（ロール）の周側面
温度を150〜300℃とすることによりカールを防止するよ
うにした方法が開示されている。この方法では９〜26μ
ｍと薄い基板の上に片面に磁性層が形成されたものであ
り、またカールの値も４％以下とカール許容値の非常に
大きいものを対象としており、例えば3.5インチフロッ
ピーディスクの場合のように、0.6％以下でかつその等
方性も必要であるものには適用が難しい。
×10-5〜2.9×10-5/℃とし、キャン（ロール）の周側面
温度を150〜300℃とすることによりカールを防止するよ
うにした方法が開示されている。この方法では９〜26μ
ｍと薄い基板の上に片面に磁性層が形成されたものであ
り、またカールの値も４％以下とカール許容値の非常に
大きいものを対象としており、例えば3.5インチフロッ
ピーディスクの場合のように、0.6％以下でかつその等
方性も必要であるものには適用が難しい。
また基板フィルムの線膨脹係数として10×10-6〜29×10
-6/℃が示されているが、この値は蒸着時のロール温度
が150〜300℃と高く、フィルム走行速度が10m/minと速
い場合の例を示したものであって、温度範囲が80〜200
℃の通常の蒸着条件で使用される基板フイルムのものを
示したものではない。
-6/℃が示されているが、この値は蒸着時のロール温度
が150〜300℃と高く、フィルム走行速度が10m/minと速
い場合の例を示したものであって、温度範囲が80〜200
℃の通常の蒸着条件で使用される基板フイルムのものを
示したものではない。
いずれにしても磁気記録媒体においては、媒体のカール
やしわをなくすことが重要であるが、線膨脹係数の異な
る物質による複合フィルムにおけるカールやしわの発生
防止は、高分子フィルムの熱的挙動が前後の熱処理条件
で変化しやすいため非常に難しい。
やしわをなくすことが重要であるが、線膨脹係数の異な
る物質による複合フィルムにおけるカールやしわの発生
防止は、高分子フィルムの熱的挙動が前後の熱処理条件
で変化しやすいため非常に難しい。
本発明者はこのような従来の難点を解消すべく研究をす
すめたところ、高分子フィルムからなる基板上に、Co−
Cr系強磁性合金層を通常の加熱条件、すなわち温度範囲
80〜200℃で、かつロール走行速度を１〜20mm/minと遅
くしてロール温度とフィルム温度とをほぼ一致した状態
でスパッタまたは蒸着させる際に、高分子フィルムとし
てその線膨脹係数が4.5×10-6〜9.5×10-6/℃で、かつ
前記線膨脹係数が基板平面に関してほぼ等方的であるも
のを用いた場合に、直径85mmの円板状媒体としたときカ
ールの高さが2mm以下［（l0−ｌ）/l0では0.6％以下。
ただし、l0:カールのない場合の媒体直径（85mm）（第
４図ａを参照）、l:カールを生じた場合の最短媒体直径
（第４図ｂを参照）。以下同じ］となり、カールやしわ
が事実上解消することを見出した。
すめたところ、高分子フィルムからなる基板上に、Co−
Cr系強磁性合金層を通常の加熱条件、すなわち温度範囲
80〜200℃で、かつロール走行速度を１〜20mm/minと遅
くしてロール温度とフィルム温度とをほぼ一致した状態
でスパッタまたは蒸着させる際に、高分子フィルムとし
てその線膨脹係数が4.5×10-6〜9.5×10-6/℃で、かつ
前記線膨脹係数が基板平面に関してほぼ等方的であるも
のを用いた場合に、直径85mmの円板状媒体としたときカ
ールの高さが2mm以下［（l0−ｌ）/l0では0.6％以下。
ただし、l0:カールのない場合の媒体直径（85mm）（第
４図ａを参照）、l:カールを生じた場合の最短媒体直径
（第４図ｂを参照）。以下同じ］となり、カールやしわ
が事実上解消することを見出した。
本発明はこのような従来の難点を解消すべくなされたも
ので、カールやしわの発生がなく磁気ヘッドタッチおよ
び走行性のよい垂直磁気記録媒体を提供することを目的
とする。
ので、カールやしわの発生がなく磁気ヘッドタッチおよ
び走行性のよい垂直磁気記録媒体を提供することを目的
とする。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明の垂直磁気記録媒体は、高分子フィルムからなる
基板上に、強磁性合金層を被着形成させてなる垂直磁気
記録媒体において、前記基板の線膨脹係数が4.5×10-6
〜9.5×10-6/℃で、かつ前記線膨脹係数が基板平面に関
して等方的であることを特徴としている。
基板上に、強磁性合金層を被着形成させてなる垂直磁気
記録媒体において、前記基板の線膨脹係数が4.5×10-6
〜9.5×10-6/℃で、かつ前記線膨脹係数が基板平面に関
して等方的であることを特徴としている。
本発明に使用される高分子フィルムとしては、ポリイミ
ド、ポリエチレンテレフタレート、芳香族ポリアミド等
の耐熱性高分子フィルムが適している。そして本発明に
はこれらの高分子フィルムのうち線膨脹係数が4.5〜9.5
×10-6/℃のものが使用される。このような線膨脹係数
を有する高分子フィルムは構成ポリマー分子の骨格調
整、共重合化及びその比率調整、合成時の反応方法、分
子量の調整、延伸率の調整、熱処理等により得ることが
できる。なおフロッピーディスクのような円板状で使用
される場合もあり、カール状態も等方的に無いことが望
まれるので、線膨脹係数は基板平面内で等方的なものが
使用される。
ド、ポリエチレンテレフタレート、芳香族ポリアミド等
の耐熱性高分子フィルムが適している。そして本発明に
はこれらの高分子フィルムのうち線膨脹係数が4.5〜9.5
×10-6/℃のものが使用される。このような線膨脹係数
を有する高分子フィルムは構成ポリマー分子の骨格調
整、共重合化及びその比率調整、合成時の反応方法、分
子量の調整、延伸率の調整、熱処理等により得ることが
できる。なおフロッピーディスクのような円板状で使用
される場合もあり、カール状態も等方的に無いことが望
まれるので、線膨脹係数は基板平面内で等方的なものが
使用される。
また本発明の強磁性合金層に使用される強磁性合金とし
ては、Co−Cr系強磁性合金が適しており、特にCrの含有
率が10〜30原子％のCo−Cr系強磁性合金が適している。
なお磁性層を例えばNi−Fe（原子％約80:20）軟磁性層
とCo−Cr強磁性層のような二層構造としたものでも、下
地層の線膨脹係数がCo−Cr強磁性層と著しく異ならない
場合には（Ni−Fe（80:20）の線膨脹係数は約12×10-6/
℃）、本発明を適用することができる。
ては、Co−Cr系強磁性合金が適しており、特にCrの含有
率が10〜30原子％のCo−Cr系強磁性合金が適している。
なお磁性層を例えばNi−Fe（原子％約80:20）軟磁性層
とCo−Cr強磁性層のような二層構造としたものでも、下
地層の線膨脹係数がCo−Cr強磁性層と著しく異ならない
場合には（Ni−Fe（80:20）の線膨脹係数は約12×10-6/
℃）、本発明を適用することができる。
ここで満足しうるカールとしては上記高さが2mm以下で
あり、（l0−ｌ）/l0では0.6％以下に相当する。
あり、（l0−ｌ）/l0では0.6％以下に相当する。
また、この発明において線膨脹係数が基板平面に関して
実質的に等方的であるとは、線膨脹係数が基板平面に関
して等しい、もしくはカールの高さが各所で2mm以下で
ある、または（l0−ｌ）/l0では0.6％以下に設定される
ものを意味する。上表に示した結果はCo−Cr合金層の厚
さを2000Åから7500Åまで、またフィルム厚を30μｍか
ら100μｍまで変化させてもほぼ同じであった。この場
合のロール温度はフィルムがロールと接触している時間
およびロール走行速度が１〜20mm/minと遅いことからほ
ぼフィルム温度と一致している。
実質的に等方的であるとは、線膨脹係数が基板平面に関
して等しい、もしくはカールの高さが各所で2mm以下で
ある、または（l0−ｌ）/l0では0.6％以下に設定される
ものを意味する。上表に示した結果はCo−Cr合金層の厚
さを2000Åから7500Åまで、またフィルム厚を30μｍか
ら100μｍまで変化させてもほぼ同じであった。この場
合のロール温度はフィルムがロールと接触している時間
およびロール走行速度が１〜20mm/minと遅いことからほ
ぼフィルム温度と一致している。
また高分子フィルムを成膜前に一度10-5torrよりよい真
空中で100〜300℃の温度で５分〜１時間加熱処理するこ
とによってさらにカール防止の安定性を向上させること
ができる。この熱処理によって、熱覆歴性、熱収縮性な
どが解除され、次に熱を加える時の線膨脹特性が安定な
ものとなる。
空中で100〜300℃の温度で５分〜１時間加熱処理するこ
とによってさらにカール防止の安定性を向上させること
ができる。この熱処理によって、熱覆歴性、熱収縮性な
どが解除され、次に熱を加える時の線膨脹特性が安定な
ものとなる。
（作 用） 本発明によってカールの発生がなくなることの理由は必
ずしも明確ではないが、磁性膜と高分子フィルムの厚
さ、ヤング率の違い、磁性膜の内部応力、高分子フィル
ムの熱膨脹特性の非直線性、高分子フィルムの熱変形
性、磁性膜との線膨脹係数の差等の影響を加味したと
き、通常のスパッタまたは蒸着条件である温度範囲80〜
200℃で磁性膜を形成する場合に、たまたまこの範囲で
カールの生じない［カールの高さが2mm以下［（l0−
ｌ）/l0では0.6％以下］条件が現れたものと考えられ
る。なおカール防止の安定性は高分子フィルムを成膜前
に一度10-5torr以下の真空中で100〜300℃の温度で５分
〜１時間加熱処理することによってさらに向上させるこ
とができる。これは高分子フィルムの熱履歴の除去によ
る効果である。
ずしも明確ではないが、磁性膜と高分子フィルムの厚
さ、ヤング率の違い、磁性膜の内部応力、高分子フィル
ムの熱膨脹特性の非直線性、高分子フィルムの熱変形
性、磁性膜との線膨脹係数の差等の影響を加味したと
き、通常のスパッタまたは蒸着条件である温度範囲80〜
200℃で磁性膜を形成する場合に、たまたまこの範囲で
カールの生じない［カールの高さが2mm以下［（l0−
ｌ）/l0では0.6％以下］条件が現れたものと考えられ
る。なおカール防止の安定性は高分子フィルムを成膜前
に一度10-5torr以下の真空中で100〜300℃の温度で５分
〜１時間加熱処理することによってさらに向上させるこ
とができる。これは高分子フィルムの熱履歴の除去によ
る効果である。
すなわち、高分子フィルムの両面にCo−Cr系強磁性層を
温度範囲80〜200℃で形成される場合、従来例のような
磁性層と同等もしくはそれより大きな線膨脹係数の高分
子フィルムを用いるのではなく、本発明のような磁性層
の線膨脹係数よりわずかに小さい線膨脹係数の高分子フ
ィルムを用いることによってカールを抑制した磁気記録
媒体を得ることができる。
温度範囲80〜200℃で形成される場合、従来例のような
磁性層と同等もしくはそれより大きな線膨脹係数の高分
子フィルムを用いるのではなく、本発明のような磁性層
の線膨脹係数よりわずかに小さい線膨脹係数の高分子フ
ィルムを用いることによってカールを抑制した磁気記録
媒体を得ることができる。
なお本発明はCo−Cr合金層の厚さを2000Åから7500Åま
で、またフィルム厚を30μｍから100μｍまで変化させ
ても同様の効果が得られる。
で、またフィルム厚を30μｍから100μｍまで変化させ
ても同様の効果が得られる。
さらに本発明では、線膨脹係数が基板平面内でほぼ等方
的とされているので、わずかに生ずるカールも磁気記録
媒体の特性に影響をおよぼすようなことがほとんどな
く、特にフロッピーディスクのような円板状で使用する
場合に有利である。
的とされているので、わずかに生ずるカールも磁気記録
媒体の特性に影響をおよぼすようなことがほとんどな
く、特にフロッピーディスクのような円板状で使用する
場合に有利である。
（実施例） ［実験例］ まず第３図に示したロール式連続スパッタリング装置を
用いて、75μｍ厚さの高分子フィルムを10-5torrより低
い真空度の中で温度100〜300℃で５分間〜１時間加熱処
理した後、アルゴン雰囲気中でCo−Cr強磁性合金層を基
板の両面に5000Åの厚さに形成した。そして3.5インチ
のフロッピーディスク状に打ち抜き反り側を上にして平
坦なガラス板の上にのせ最外周部におけるガラス板から
離れている高さを測定することによりカール状態を評価
した。以上の方法を異なる線膨脹係数を有する高分子フ
ィルムに対してロール温度も変えて適用した結果を次表
に示す。
用いて、75μｍ厚さの高分子フィルムを10-5torrより低
い真空度の中で温度100〜300℃で５分間〜１時間加熱処
理した後、アルゴン雰囲気中でCo−Cr強磁性合金層を基
板の両面に5000Åの厚さに形成した。そして3.5インチ
のフロッピーディスク状に打ち抜き反り側を上にして平
坦なガラス板の上にのせ最外周部におけるガラス板から
離れている高さを測定することによりカール状態を評価
した。以上の方法を異なる線膨脹係数を有する高分子フ
ィルムに対してロール温度も変えて適用した結果を次表
に示す。
なお上表の線膨脹係数の値は一旦200℃程度に加熱した
後、室温まで冷却し、再度室温から200℃まで昇温させ
たときの平均線膨脹係数を示している。この測定は熱機
械分析装置を用いて乾燥窒素雰囲気中で昇温速度５℃/m
inで行った結果である。
後、室温まで冷却し、再度室温から200℃まで昇温させ
たときの平均線膨脹係数を示している。この測定は熱機
械分析装置を用いて乾燥窒素雰囲気中で昇温速度５℃/m
inで行った結果である。
なおこの実験においては、ロールと接触している時間お
よびロール走行速度が１〜20mm/minと遅いことからフィ
ルム温度はほぼロール温度と一致している。
よびロール走行速度が１〜20mm/minと遅いことからフィ
ルム温度はほぼロール温度と一致している。
上表の結果からCo−Cr合金層の磁気特性を確保するのに
必要なロール温度80〜200℃の磁性層形成温度範囲にお
いて、高分子フィルムの線膨脹係数を4.5〜9.5×10-6/
℃にすることによってカールおよびしわのない媒体が得
られることがわかる。
必要なロール温度80〜200℃の磁性層形成温度範囲にお
いて、高分子フィルムの線膨脹係数を4.5〜9.5×10-6/
℃にすることによってカールおよびしわのない媒体が得
られることがわかる。
なおこの実験では、Co−Cr強磁性合金層の厚さを2000Å
から7500Åまで、またフィルム厚を30μｍから100μｍ
まで変化させても同様の効果が得られた。
から7500Åまで、またフィルム厚を30μｍから100μｍ
まで変化させても同様の効果が得られた。
またカール防止の安定性は高分子フィルムを成膜前に一
度10-5torrより良い真空中で100〜300℃の温度で５分〜
１時間加熱処理することによってさらによくなる。これ
は、この熱処理によって、熱覆歴性、熱収縮性などが解
除され、次に熱をかける時の線膨脹特性が安定するため
である。
度10-5torrより良い真空中で100〜300℃の温度で５分〜
１時間加熱処理することによってさらによくなる。これ
は、この熱処理によって、熱覆歴性、熱収縮性などが解
除され、次に熱をかける時の線膨脹特性が安定するため
である。
実施例１ 基板として線膨脹係数が7.0×10-6/℃で等方的な厚さ75
μｍのポリイミド系フィルムを用いて第３図に示すよう
なロール式連続スパッタ装置でCo−Cr系強磁性合金層の
形成前に10-7torrの真空中で200℃で40分間程度の加熱
処理を行うようなフィルム走行速度でフィルムを走行さ
せた。その後Co−Cr系強磁性合金層をアルゴン雰囲気中
でスパッタリング法により5000Åずつ両面に形成した。
このときのロール温度は150℃とした。この実施例の磁
気記録媒体のカール（高さ）は1mm以下であった。
μｍのポリイミド系フィルムを用いて第３図に示すよう
なロール式連続スパッタ装置でCo−Cr系強磁性合金層の
形成前に10-7torrの真空中で200℃で40分間程度の加熱
処理を行うようなフィルム走行速度でフィルムを走行さ
せた。その後Co−Cr系強磁性合金層をアルゴン雰囲気中
でスパッタリング法により5000Åずつ両面に形成した。
このときのロール温度は150℃とした。この実施例の磁
気記録媒体のカール（高さ）は1mm以下であった。
実施例２ 基板として線膨脹係数が7.0×10-6/℃で等方的な厚さ75
μｍのポリイミド系フィルムを用いて、Co−Cr強磁性合
金層の厚さを3000Åに変えた以外は実施例１と同様の方
法で磁気記録媒体を作成した。この実施例のカールは1m
m以下であった。
μｍのポリイミド系フィルムを用いて、Co−Cr強磁性合
金層の厚さを3000Åに変えた以外は実施例１と同様の方
法で磁気記録媒体を作成した。この実施例のカールは1m
m以下であった。
実施例３ 基板として線膨脹係数が6.8×10-6/℃でかつ等方的な厚
さ45μｍのポリイミド系の耐熱性高分子フィルムを用い
た以外は、実施例１と同じ条件で磁気記録媒体を作成し
た。この実施例で作成した3.5インチ媒体のカールは1mm
以下であった。
さ45μｍのポリイミド系の耐熱性高分子フィルムを用い
た以外は、実施例１と同じ条件で磁気記録媒体を作成し
た。この実施例で作成した3.5インチ媒体のカールは1mm
以下であった。
比較例１ 基板として、線膨脹係数が22×10-6/℃で等方的でない
厚さ75μｍのポリイミド系フィルムを用いて実施例１と
同じ条件で磁気記録媒体を作成した。この比較例のカー
ルは6mmであった。
厚さ75μｍのポリイミド系フィルムを用いて実施例１と
同じ条件で磁気記録媒体を作成した。この比較例のカー
ルは6mmであった。
比較例２ 基板として線膨脹係数が44×10-6/℃で等方的でない厚
さ75μｍのポリイミド系フィルムを用いて実施例１と同
じ条件で媒体を作成した。この比較例では10mmのカール
が発生したほか著しくしわが発生した。
さ75μｍのポリイミド系フィルムを用いて実施例１と同
じ条件で媒体を作成した。この比較例では10mmのカール
が発生したほか著しくしわが発生した。
比較例３ 基板として線膨脹係数が15×10-6/℃で等方性の悪い厚
さ75μｍのポリエステルフィルムを用いて実施例１と同
じ条件で媒体を作成した。この比較例のカールは5mmで
あった。
さ75μｍのポリエステルフィルムを用いて実施例１と同
じ条件で媒体を作成した。この比較例のカールは5mmで
あった。
［発明の効果］ 以上の実施例からも明らかなように、本発明によれば、
通常のCo−Cr系強磁性合金層のスパッタまたは蒸着に用
いられる作業条件によってはカールやしわの発生がな
く、磁気ヘッドタッチ、走行性のよい垂直磁気記録媒体
を得ることができる。
通常のCo−Cr系強磁性合金層のスパッタまたは蒸着に用
いられる作業条件によってはカールやしわの発生がな
く、磁気ヘッドタッチ、走行性のよい垂直磁気記録媒体
を得ることができる。
第１図は垂直磁気記録媒体を概略的に示す断面図、第２
図は片面磁性層の場合のカール状態を示す斜視図、第３
図は磁気媒体の製造に用いられる連続スパッタ装置を概
略的に示す図、第４図はカールの値を説明するための図
である。 １、５……高分子フィルム基板 ２、６……磁性層 ３……保護層 ４……潤滑層
図は片面磁性層の場合のカール状態を示す斜視図、第３
図は磁気媒体の製造に用いられる連続スパッタ装置を概
略的に示す図、第４図はカールの値を説明するための図
である。 １、５……高分子フィルム基板 ２、６……磁性層 ３……保護層 ４……潤滑層
Claims (3)
- 【請求項１】高分子フィルムからなる基板上に、Co−Cr
系強磁性合金層を被着形成させてなる垂直磁気記録媒体
において、 前記基板の線膨脹係数は前記Co−Cr系強磁性合金層の線
膨脹係数よりも小さい4.5×10-6〜9.5×10-6/℃で、か
つ前記線膨脹係数が基板平面に関して実質的に等方的で
あることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 【請求項２】強磁性合金層は、高分子フィルムを80〜20
0℃で加熱しつつスパッタリングにより形成されたもの
である特許請求の範囲第１項記載の垂直磁気記録媒体。 - 【請求項３】Co−Cr系強磁性合金が、Crの含有率が10〜
30原子％のCo−Cr系強磁性合金である特許請求の範囲第
１項または第２項記載の垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61043151A JPH07101500B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61043151A JPH07101500B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62202315A JPS62202315A (ja) | 1987-09-07 |
| JPH07101500B2 true JPH07101500B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=12655839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61043151A Expired - Lifetime JPH07101500B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07101500B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2674655B2 (ja) * | 1988-01-28 | 1997-11-12 | 日立マクセル株式会社 | 磁気テープカートリッジ |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5945124A (ja) * | 1982-09-08 | 1984-03-13 | Toray Ind Inc | 芳香族ポリアミドフィルム複合体 |
| JPS58168655A (ja) * | 1982-03-30 | 1983-10-05 | Toray Ind Inc | 磁気記録媒体 |
| JPS60129920A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-11 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS60261027A (ja) * | 1984-06-07 | 1985-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
-
1986
- 1986-02-28 JP JP61043151A patent/JPH07101500B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62202315A (ja) | 1987-09-07 |
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