JPH0526249B2 - - Google Patents
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- JPH0526249B2 JPH0526249B2 JP4204382A JP4204382A JPH0526249B2 JP H0526249 B2 JPH0526249 B2 JP H0526249B2 JP 4204382 A JP4204382 A JP 4204382A JP 4204382 A JP4204382 A JP 4204382A JP H0526249 B2 JPH0526249 B2 JP H0526249B2
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- Japan
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- substrate
- film
- magnetic recording
- recording medium
- magnetic
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- Expired - Lifetime
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
本発明はCoとCrを主成分とする磁性層が高分
子材料より成る基板上に形成された磁気記録媒体
の製造方法に関するものであつて、その目的とす
るところは磁気記録媒体の走行性、巻き取り性、
磁気ヘツドタツチ等に悪影響を及ぼすカールの発
生を防止する製造方法を提供するものである。 従来、磁気記録媒体としては、非磁性基板上に
磁性粉を塗布した塗布形媒体が用いられてきた。
現在、磁気記録再生装置は小型化、高密度化の傾
向にあるが、塗布形媒体では高密度化に限界があ
る。この限界を越えるものとして強磁性金属薄膜
よりなる薄膜形媒体が注目されている。 薄膜材料としてはCoを主成分としたものが、
Coのhcp構造に起因する結晶磁気異方性エネルギ
ーが大きいために、最も優れている。特にCrを
10〜30重量％含むCo−Cr膜は、短波長記録再生
特性の優れた垂直磁化膜になり得る。またCrを
10〜30重量％含むCo−Cr膜は耐食性も優れてい
る。すなわち、Crを10〜30重量％含むCo−Cr膜
を磁性層とする磁気記録媒体は実用性があり、か
つ短波長記録再生特性も非常に優れているので、
理想的な薄膜形媒体と言える。強磁性金属薄膜よ
りなる薄膜形媒体を製造する方法には、メツキ
法、スパツタリング法、および真空蒸着法等があ
るが、量産性を考慮すると真空蒸着法が最も優れ
ている。真空蒸着法にて生産性が良くかつ安定に
薄膜形媒体を形成するには、第１図に示すよう
に、円筒状キヤン２の周側面に沿わせて高分子材
料よりなる基板１を矢印Ａの方向へ移動させつつ
蒸着を行なえばよい。なお、３，４はそれぞれ基
板１の供給ロールおよび巻き取りロール、５は蒸
発源である。 しかし、上記の方法で薄膜を形成すると、一般
に第２図ａ，ｂに示す、強磁性金属薄膜６が内側
あるいは外側になるようなカールを生じ、磁気記
録媒体として使用する際に走行性、巻き取り性、
磁気ヘツドタツチ等が悪くなるという問題を生じ
る。以下第２図ａ，ｂに示す状態をそれぞれ正カ
ール及び逆カールと呼ぶ。磁気記録媒体として使
用するために、（Io−Ｉ）／Ioが４％以下になる
ことが必要である。ただし、Ｉは第２図ａ，ｂに
示されるようにカールした状態での長さであり、
Ioはカールがない状態での長さである。上記の条
件を満たすためには、第３図に示すように磁気記
録媒体において強磁性金属薄膜６と反対側に非磁
性金属薄膜６と反対側に非磁性層７を形成する
か、あるいは正カールの場合には薄膜形成後に熱
処理を施して基板１を収縮させればよいが、いず
れにしても工程が少なくとも一つ増加してしま
う。 本発明の方法は、CoとCrを主成分とする膜を
磁性層となる磁気記録媒体において、このように
工程を増加させずに、基板の線膨張係数と蒸着時
のキヤンの温度を最適に設定することにより、
（Io−Ｉ）／Ioを４％以下にすることができるも
のである。以下に本発明の説明を行う。 下の表に基板の線膨張係数α、蒸着時のキヤン
の周側面の温度Ｔを変えて、第１図に示される真
空蒸着装置にて、Crを20重量％含むCo−Cr膜を
形成した場合のカールの状態の（Io−Ｉ）／Ioの
実験結果を示す。ただし基板の厚みは15μｍ、Co
−Cr膜の厚みは2000Åとした。
子材料より成る基板上に形成された磁気記録媒体
の製造方法に関するものであつて、その目的とす
るところは磁気記録媒体の走行性、巻き取り性、
磁気ヘツドタツチ等に悪影響を及ぼすカールの発
生を防止する製造方法を提供するものである。 従来、磁気記録媒体としては、非磁性基板上に
磁性粉を塗布した塗布形媒体が用いられてきた。
現在、磁気記録再生装置は小型化、高密度化の傾
向にあるが、塗布形媒体では高密度化に限界があ
る。この限界を越えるものとして強磁性金属薄膜
よりなる薄膜形媒体が注目されている。 薄膜材料としてはCoを主成分としたものが、
Coのhcp構造に起因する結晶磁気異方性エネルギ
ーが大きいために、最も優れている。特にCrを
10〜30重量％含むCo−Cr膜は、短波長記録再生
特性の優れた垂直磁化膜になり得る。またCrを
10〜30重量％含むCo−Cr膜は耐食性も優れてい
る。すなわち、Crを10〜30重量％含むCo−Cr膜
を磁性層とする磁気記録媒体は実用性があり、か
つ短波長記録再生特性も非常に優れているので、
理想的な薄膜形媒体と言える。強磁性金属薄膜よ
りなる薄膜形媒体を製造する方法には、メツキ
法、スパツタリング法、および真空蒸着法等があ
るが、量産性を考慮すると真空蒸着法が最も優れ
ている。真空蒸着法にて生産性が良くかつ安定に
薄膜形媒体を形成するには、第１図に示すよう
に、円筒状キヤン２の周側面に沿わせて高分子材
料よりなる基板１を矢印Ａの方向へ移動させつつ
蒸着を行なえばよい。なお、３，４はそれぞれ基
板１の供給ロールおよび巻き取りロール、５は蒸
発源である。 しかし、上記の方法で薄膜を形成すると、一般
に第２図ａ，ｂに示す、強磁性金属薄膜６が内側
あるいは外側になるようなカールを生じ、磁気記
録媒体として使用する際に走行性、巻き取り性、
磁気ヘツドタツチ等が悪くなるという問題を生じ
る。以下第２図ａ，ｂに示す状態をそれぞれ正カ
ール及び逆カールと呼ぶ。磁気記録媒体として使
用するために、（Io−Ｉ）／Ioが４％以下になる
ことが必要である。ただし、Ｉは第２図ａ，ｂに
示されるようにカールした状態での長さであり、
Ioはカールがない状態での長さである。上記の条
件を満たすためには、第３図に示すように磁気記
録媒体において強磁性金属薄膜６と反対側に非磁
性金属薄膜６と反対側に非磁性層７を形成する
か、あるいは正カールの場合には薄膜形成後に熱
処理を施して基板１を収縮させればよいが、いず
れにしても工程が少なくとも一つ増加してしま
う。 本発明の方法は、CoとCrを主成分とする膜を
磁性層となる磁気記録媒体において、このように
工程を増加させずに、基板の線膨張係数と蒸着時
のキヤンの温度を最適に設定することにより、
（Io−Ｉ）／Ioを４％以下にすることができるも
のである。以下に本発明の説明を行う。 下の表に基板の線膨張係数α、蒸着時のキヤン
の周側面の温度Ｔを変えて、第１図に示される真
空蒸着装置にて、Crを20重量％含むCo−Cr膜を
形成した場合のカールの状態の（Io−Ｉ）／Ioの
実験結果を示す。ただし基板の厚みは15μｍ、Co
−Cr膜の厚みは2000Åとした。
【表】
表に示した結果から基板の線膨張係数を1.0×
10-5〜2.5×10-5／℃とし、かつキヤンの周側面
の温度を150〜300℃とした場合に（Io−Ｉ）／Io
が４％以下の膜が得られることがわかる。なお
Co−Cr膜のCr組成を10〜30重量％で変化させて
も、厚み9μｍ、12μｍ、20μｍ、26μｍの基板を用
いても、またCo−Cr膜の膜厚を800〜5000Åの範
囲で変化させても上記と同様の結果が得られた。
また基板上にパーマロイ、Ti等の下地層を設け
て、その上にCo−Cr膜を形成しても上記と殆ん
ど変わらない結果が得られた。 上記条件について（Io−Ｉ）／Ioが４％以下に
なる原因は、キヤンの周側面の温度を150〜300℃
にすると、熱膨張した状態にある基板にCo−Cr
膜が付着し、キヤンを離れて温度が下がる際の基
板とCo−Cr膜の収縮量が同程度になるためだと
考えられる。 次に具体的に本発明の実施例を説明する。 第４図に示す真空蒸着装置にて、膜の垂直方向
に磁化容易軸を有するCrを20重量％含むCo−Cr
垂直磁化膜を作成した。図において８はマスクで
ある。基板１としてポリアミド系の耐熱性高分子
材料より成る膜厚12μｍのフイルムを用い、蒸着
時の基板１の走行速度を10m／分、Co−Cr膜の
膜厚を2000Åとしてキヤン２の周側面の温度230
℃にて膜を形成した。なお、このフイルムの線膨
張係数は1.6×10-5／℃である。得られた磁気記
録媒体は正カールをしており、その（Io−Ｉ）／
Ioは２％であつた。 以上のように本発明の方法は、Crを10〜30重
量％含むCoとCrを主成分とする磁性層を、円筒
状キヤンの周側面に沿つて移動している高分子材
料より成る基板上に真空蒸着法により形成する際
に、基板の線膨張係数を1.0×10-5〜2.5×10-5／
℃とし、かつキヤンの周側面の温度を150〜300℃
に設定することにより、カールのほとんどない磁
気記録媒体を得ることができる。
10-5〜2.5×10-5／℃とし、かつキヤンの周側面
の温度を150〜300℃とした場合に（Io−Ｉ）／Io
が４％以下の膜が得られることがわかる。なお
Co−Cr膜のCr組成を10〜30重量％で変化させて
も、厚み9μｍ、12μｍ、20μｍ、26μｍの基板を用
いても、またCo−Cr膜の膜厚を800〜5000Åの範
囲で変化させても上記と同様の結果が得られた。
また基板上にパーマロイ、Ti等の下地層を設け
て、その上にCo−Cr膜を形成しても上記と殆ん
ど変わらない結果が得られた。 上記条件について（Io−Ｉ）／Ioが４％以下に
なる原因は、キヤンの周側面の温度を150〜300℃
にすると、熱膨張した状態にある基板にCo−Cr
膜が付着し、キヤンを離れて温度が下がる際の基
板とCo−Cr膜の収縮量が同程度になるためだと
考えられる。 次に具体的に本発明の実施例を説明する。 第４図に示す真空蒸着装置にて、膜の垂直方向
に磁化容易軸を有するCrを20重量％含むCo−Cr
垂直磁化膜を作成した。図において８はマスクで
ある。基板１としてポリアミド系の耐熱性高分子
材料より成る膜厚12μｍのフイルムを用い、蒸着
時の基板１の走行速度を10m／分、Co−Cr膜の
膜厚を2000Åとしてキヤン２の周側面の温度230
℃にて膜を形成した。なお、このフイルムの線膨
張係数は1.6×10-5／℃である。得られた磁気記
録媒体は正カールをしており、その（Io−Ｉ）／
Ioは２％であつた。 以上のように本発明の方法は、Crを10〜30重
量％含むCoとCrを主成分とする磁性層を、円筒
状キヤンの周側面に沿つて移動している高分子材
料より成る基板上に真空蒸着法により形成する際
に、基板の線膨張係数を1.0×10-5〜2.5×10-5／
℃とし、かつキヤンの周側面の温度を150〜300℃
に設定することにより、カールのほとんどない磁
気記録媒体を得ることができる。
第１図は磁気記録媒体の製造に用いられる真空
蒸着装置の要部を示す図、第２図ａ，ｂは真空蒸
着法により得られた磁気記録媒体のカールの状態
を示す図、第３図は裏面に薄膜を形成することに
よりカールの発生を防止した磁気記録媒体を示す
図、第４図は本発明の実施例において用いられる
真空蒸着装置の要部を示す図である。 １……基板、２……キヤン、５……蒸発源、８
……マスク。
蒸着装置の要部を示す図、第２図ａ，ｂは真空蒸
着法により得られた磁気記録媒体のカールの状態
を示す図、第３図は裏面に薄膜を形成することに
よりカールの発生を防止した磁気記録媒体を示す
図、第４図は本発明の実施例において用いられる
真空蒸着装置の要部を示す図である。 １……基板、２……キヤン、５……蒸発源、８
……マスク。
Claims (1)
- １ Coを70〜90重量％を含むCoとCrを主成分と
する磁性層を高分子材料より成る基板上に直接
に、あるいは下地層を介して、上記基板を円筒状
キヤンの周側面に沿わせて走行させつつ真空蒸着
法により形成する際に、上記基板の厚みを９〜
26μｍ、線膨張係数を1.0×10-5〜2.5×10-5／℃と
し、上記磁性層の膜厚を800〜5000Åとし、かつ
上記キヤンの周側面の温度を150〜300℃とするこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57042043A JPS58159243A (ja) | 1982-03-16 | 1982-03-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US06/473,766 US4477488A (en) | 1982-03-16 | 1983-03-10 | Method of manufacturing magnetic recording medium |
| DE8383102560T DE3382296D1 (de) | 1982-03-16 | 1983-03-15 | Magnetisches aufzeichnungsmedium und verfahren zur herstellung eines magnetischen aufzeichnungsmediums. |
| EP83102560A EP0089609B1 (en) | 1982-03-16 | 1983-03-15 | Magnetic recording medium and method of manufacturing a magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57042043A JPS58159243A (ja) | 1982-03-16 | 1982-03-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58159243A JPS58159243A (ja) | 1983-09-21 |
| JPH0526249B2 true JPH0526249B2 (ja) | 1993-04-15 |
Family
ID=12625097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57042043A Granted JPS58159243A (ja) | 1982-03-16 | 1982-03-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58159243A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60150237A (ja) * | 1984-01-14 | 1985-08-07 | Sony Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1982
- 1982-03-16 JP JP57042043A patent/JPS58159243A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58159243A (ja) | 1983-09-21 |
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