JPH071019A - 圧延機 - Google Patents
圧延機Info
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- JPH071019A JPH071019A JP34345491A JP34345491A JPH071019A JP H071019 A JPH071019 A JP H071019A JP 34345491 A JP34345491 A JP 34345491A JP 34345491 A JP34345491 A JP 34345491A JP H071019 A JPH071019 A JP H071019A
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- JP
- Japan
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- roll
- universal joint
- output shaft
- electric motor
- work rolls
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 作業ロールを水平面内で相互に傾斜させて圧
延材の形状制御を行うようにした圧延機において、ロー
ル駆動系の寿命を向上させる。 【構成】水平面内において相互に傾斜される上下一対の
作業ロール１，２を駆動する回転駆動手段として、２つ
電動機３４，３５と、電動機３４の出力軸３４Ａに設け
られた自在継手２７にその一端が係合し、作業ロールの
一方と連結された自在継手２６にその他端が係合された
連結軸３１と、電動機３５の出力軸３５Ａに設けられた
自在継手２７ａにその一端が係合し、作業ロールの他方
と連結された自在継手にその他端が係合された連結軸と
を有し、電動機３４とその出力軸３４Ａは電動機３５と
その出力軸３５Ａに対して水平面内で互いに逆方向に傾
斜して配置されている。
延材の形状制御を行うようにした圧延機において、ロー
ル駆動系の寿命を向上させる。 【構成】水平面内において相互に傾斜される上下一対の
作業ロール１，２を駆動する回転駆動手段として、２つ
電動機３４，３５と、電動機３４の出力軸３４Ａに設け
られた自在継手２７にその一端が係合し、作業ロールの
一方と連結された自在継手２６にその他端が係合された
連結軸３１と、電動機３５の出力軸３５Ａに設けられた
自在継手２７ａにその一端が係合し、作業ロールの他方
と連結された自在継手にその他端が係合された連結軸と
を有し、電動機３４とその出力軸３４Ａは電動機３５と
その出力軸３５Ａに対して水平面内で互いに逆方向に傾
斜して配置されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、作業ロールを水平面内
で相互に傾斜させて圧延材の形状制御を行うようにした
圧延機に関する。
で相互に傾斜させて圧延材の形状制御を行うようにした
圧延機に関する。
【０００２】
【従来の技術】作業ロールを水平面内で相互に傾斜させ
て圧延材の形状制御を行うようにした従来の圧延機にお
いて、作業ロールを駆動するロール駆動系は、電動機
と、電動機からの駆動力を伝達する相互に噛合う上下ピ
ニオン及び平行な上下出力軸を有するピニオンスタンド
と、ピニオンスタンドの該上下出力軸に設けられた第１
の自在継手にその一端が係合し、前記各作業ロールと連
結された第２の自在継手にその他端が係合された連結軸
とを備え、ピニオンスタンドの上下ピニオン及び上下出
力軸は共に垂直方向に整合して位置する構成となってい
る。
て圧延材の形状制御を行うようにした従来の圧延機にお
いて、作業ロールを駆動するロール駆動系は、電動機
と、電動機からの駆動力を伝達する相互に噛合う上下ピ
ニオン及び平行な上下出力軸を有するピニオンスタンド
と、ピニオンスタンドの該上下出力軸に設けられた第１
の自在継手にその一端が係合し、前記各作業ロールと連
結された第２の自在継手にその他端が係合された連結軸
とを備え、ピニオンスタンドの上下ピニオン及び上下出
力軸は共に垂直方向に整合して位置する構成となってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に、作
業ロールの径は圧延による摩耗及びロール研削により変
化する。このためロール駆動系を構成するスピンドル及
び自在継手のカップリングは、径の変化に応じて垂直面
内において傾く。この傾き角は、スピンドルを長くする
ことにより小さくできるけれども、駆動系の戻り振動の
固有振動数が低下するという問題があり、実用上は制約
される。ところが、駆動ロールを水平面内において傾斜
させるタイプの圧延機においては、更にスピンドリカッ
プリングを水平面内においてもロールの傾きに応じて傾
けざるを得ない。従って、このようなタイプの圧延機に
おいては、垂直面内及び水平面内の両方でスピンドルカ
ップリングが傾くのでその傾き方は大きくなる。
業ロールの径は圧延による摩耗及びロール研削により変
化する。このためロール駆動系を構成するスピンドル及
び自在継手のカップリングは、径の変化に応じて垂直面
内において傾く。この傾き角は、スピンドルを長くする
ことにより小さくできるけれども、駆動系の戻り振動の
固有振動数が低下するという問題があり、実用上は制約
される。ところが、駆動ロールを水平面内において傾斜
させるタイプの圧延機においては、更にスピンドリカッ
プリングを水平面内においてもロールの傾きに応じて傾
けざるを得ない。従って、このようなタイプの圧延機に
おいては、垂直面内及び水平面内の両方でスピンドルカ
ップリングが傾くのでその傾き方は大きくなる。
【０００４】このような大きな傾き角は、自在継手の型
式により種々の問題を引き起こす。ギヤータイプ及びス
リッパータイプの自在継手の場合は、摩耗が激しく、寿
命が大巾に低下する。又、クロス型スピンドル及びスリ
ッパータイプスピンドルを使用する自在継手の場合、十
字型カップリングを使用するので駆動軸とロール軸が平
行でなくなり、ロール回転速度に周期的な速度変動が発
生する。このような速度変動は、圧延材先後端の上ぞり
や下ぞり、タンデム圧延時におけるテンション変動及び
高速圧延時における加減速トルクの増大による駆動系の
寿命低下を招来する。
式により種々の問題を引き起こす。ギヤータイプ及びス
リッパータイプの自在継手の場合は、摩耗が激しく、寿
命が大巾に低下する。又、クロス型スピンドル及びスリ
ッパータイプスピンドルを使用する自在継手の場合、十
字型カップリングを使用するので駆動軸とロール軸が平
行でなくなり、ロール回転速度に周期的な速度変動が発
生する。このような速度変動は、圧延材先後端の上ぞり
や下ぞり、タンデム圧延時におけるテンション変動及び
高速圧延時における加減速トルクの増大による駆動系の
寿命低下を招来する。
【０００５】本発明の目的は、作業ロールを水平面内で
相互に傾斜させて圧延材の形状制御を行うようにした圧
延機において、ロール駆動系の寿命を向上し得るものを
提供することである。
相互に傾斜させて圧延材の形状制御を行うようにした圧
延機において、ロール駆動系の寿命を向上し得るものを
提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、水平面内において相互に傾斜される上
下一対の作業ロールと、前記各作業ロールを駆動する回
転駆動手段とを備えた圧延機において、前記回転駆動手
段は、第１の電動機と、該第１の電動機の出力軸に設け
られた自在継手にその一端が係合し、前記上下一対の作
業ロールの一方と連結された自在継手にその他端が係合
された第１の連結軸と、第２の電動機と、該第２の電動
機の出力軸に設けられた自在継手にその一端が係合し、
前記上下一対の作業ロールの他方と連結された自在継手
にその他端が係合された第２の連結軸とを有し、前記第
１の電動機およびその出力軸と第２の電動機およびその
出力軸を水平面内で逆方向に傾斜して配置したものであ
る。
め、本発明では、水平面内において相互に傾斜される上
下一対の作業ロールと、前記各作業ロールを駆動する回
転駆動手段とを備えた圧延機において、前記回転駆動手
段は、第１の電動機と、該第１の電動機の出力軸に設け
られた自在継手にその一端が係合し、前記上下一対の作
業ロールの一方と連結された自在継手にその他端が係合
された第１の連結軸と、第２の電動機と、該第２の電動
機の出力軸に設けられた自在継手にその一端が係合し、
前記上下一対の作業ロールの他方と連結された自在継手
にその他端が係合された第２の連結軸とを有し、前記第
１の電動機およびその出力軸と第２の電動機およびその
出力軸を水平面内で逆方向に傾斜して配置したものであ
る。
【０００７】
【作用】第１の電動機およびその出力軸と第２の電動機
およびその出力軸を水平面内で逆方向に傾斜して配置す
ることにより、形状制御のため上下作業ロールを水平面
内で傾斜させても回転駆動手段の自在継手での水平面内
における交差角が著しく小さくなると共に、ロール軸線
と電動機の出力軸とのなす角度も小さくなる。このた
め、回転駆動手段の自在継手を、十字形カップリングを
使用するクロス型スピンドルおよびスリッパタイプスピ
ンドルとした場合には、自在継手での交差角が小さくな
ることにより自在継手の寿命が向上するだけでなく、ロ
ール軸線と電動機の出力軸とのなす角度が小さくなるこ
とによりロール回転速度に生じる周期的な速度変動が小
さくなって安定した圧延が可能となる。回転駆動手段の
自在継手をギヤータイプとした場合には、ロール回転速
度に周期的な速度変動が生じることが防止され、かつ上
記のように自在継手での交差角は著しく小さくなるの
で、自在継手の寿命を大幅に向上できる。
およびその出力軸を水平面内で逆方向に傾斜して配置す
ることにより、形状制御のため上下作業ロールを水平面
内で傾斜させても回転駆動手段の自在継手での水平面内
における交差角が著しく小さくなると共に、ロール軸線
と電動機の出力軸とのなす角度も小さくなる。このた
め、回転駆動手段の自在継手を、十字形カップリングを
使用するクロス型スピンドルおよびスリッパタイプスピ
ンドルとした場合には、自在継手での交差角が小さくな
ることにより自在継手の寿命が向上するだけでなく、ロ
ール軸線と電動機の出力軸とのなす角度が小さくなるこ
とによりロール回転速度に生じる周期的な速度変動が小
さくなって安定した圧延が可能となる。回転駆動手段の
自在継手をギヤータイプとした場合には、ロール回転速
度に周期的な速度変動が生じることが防止され、かつ上
記のように自在継手での交差角は著しく小さくなるの
で、自在継手の寿命を大幅に向上できる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
する。図１は、本発明を実施したロール傾斜式の圧延機
の側面図、図２は図１におけるＩ−Ｉ線矢視図である。
上下作業ロール１，２のメタルチョック５，６とハウジ
ング１７，１８との間にはテーパーライナー７〜１０が
設けてあり、傾斜移動装置１１〜１４によりロールが水
平面内で傾斜されるようになっている。作業ロールベン
ダ装置の油圧ジャッキ１５〜１６は圧延スタンド１７，
１８に装架され、圧延材３はロール１，２間を通過す
る。上メタルチョック５は、ガイドブロック２１を介し
てハウジング１７，１８上部に装架された圧下ネジ、メ
ネジ１９，２０により支持される。上チョックがロール
傾斜により移動し、ハウジング中心よりずれるが、この
場合の圧下ネジにかかる過大な曲げモーメントを避ける
ため、ガイドブロック２１はハウジング１７，１８に案
内されて、上下摺動可能となっている。
する。図１は、本発明を実施したロール傾斜式の圧延機
の側面図、図２は図１におけるＩ−Ｉ線矢視図である。
上下作業ロール１，２のメタルチョック５，６とハウジ
ング１７，１８との間にはテーパーライナー７〜１０が
設けてあり、傾斜移動装置１１〜１４によりロールが水
平面内で傾斜されるようになっている。作業ロールベン
ダ装置の油圧ジャッキ１５〜１６は圧延スタンド１７，
１８に装架され、圧延材３はロール１，２間を通過す
る。上メタルチョック５は、ガイドブロック２１を介し
てハウジング１７，１８上部に装架された圧下ネジ、メ
ネジ１９，２０により支持される。上チョックがロール
傾斜により移動し、ハウジング中心よりずれるが、この
場合の圧下ネジにかかる過大な曲げモーメントを避ける
ため、ガイドブロック２１はハウジング１７，１８に案
内されて、上下摺動可能となっている。
【０００９】一方のメタルチョック５，６には、回転支
点２２を中心に回転するようレバー２３を設けてあり、
更にこのレバーはキーパープレート２４，２５を介して
上下及び圧延方向に摺動可能にハウジングに設けてあ
る。これにより、ロール１，２のセンターＣは、ロール
を傾斜させてもその位置がずれることはない。
点２２を中心に回転するようレバー２３を設けてあり、
更にこのレバーはキーパープレート２４，２５を介して
上下及び圧延方向に摺動可能にハウジングに設けてあ
る。これにより、ロール１，２のセンターＣは、ロール
を傾斜させてもその位置がずれることはない。
【００１０】図３は、ロールの駆動装置を示す平面図で
ある。 上作業ロール１は、ロール側カップリング２
６、スピンドル３１、駆動機側カップリング２７を介し
て電動機３４により駆動される。駆動側カップリング２
７は電動機３４の出力軸３４Ａに連結されている。図示
しないが、下作業ロール２も同様に、ロール側カップリ
ング及びスピンドル（図示せず）、駆動機側カップリン
グ２７ａを介して電動機３５により駆動され、駆動側カ
ップリング２７ａは電動機３５の出力軸３５Ａに連結さ
れている。電動機３４およびその出力軸３４Ａと電動機
３５およびその出力軸３５Ａは水平面内でロールセンタ
ーＣを通る中心線Ｘに対して逆方向にθTだけ傾斜して
配置されている。
ある。 上作業ロール１は、ロール側カップリング２
６、スピンドル３１、駆動機側カップリング２７を介し
て電動機３４により駆動される。駆動側カップリング２
７は電動機３４の出力軸３４Ａに連結されている。図示
しないが、下作業ロール２も同様に、ロール側カップリ
ング及びスピンドル（図示せず）、駆動機側カップリン
グ２７ａを介して電動機３５により駆動され、駆動側カ
ップリング２７ａは電動機３５の出力軸３５Ａに連結さ
れている。電動機３４およびその出力軸３４Ａと電動機
３５およびその出力軸３５Ａは水平面内でロールセンタ
ーＣを通る中心線Ｘに対して逆方向にθTだけ傾斜して
配置されている。
【００１１】今、作業ロール１のセンターＣとロール側
カップリング２６の回転中心間の距離をＬ、ロール側カ
ップリング２６の回転軸中心と駆動機側カップリング２
７の回転中心間の距離をｌ（小文字のエル：以下、数式
では筆記体のエルを使用する）とすると、一般にＬ＜ｌ
であるから、ロール側カップリング２６の傾き角θRが
駆動機側カップリンング２７の傾き角θM より大きくな
り、寿命の点でθR が問題となるので以下のθR につい
て検討する。ロールの傾き角をθC 、駆動機側カップリ
ング２７の垂直面内における傾き角θV とすると、次式
の関係がある。
カップリング２６の回転中心間の距離をＬ、ロール側カ
ップリング２６の回転軸中心と駆動機側カップリング２
７の回転中心間の距離をｌ（小文字のエル：以下、数式
では筆記体のエルを使用する）とすると、一般にＬ＜ｌ
であるから、ロール側カップリング２６の傾き角θRが
駆動機側カップリンング２７の傾き角θM より大きくな
り、寿命の点でθR が問題となるので以下のθR につい
て検討する。ロールの傾き角をθC 、駆動機側カップリ
ング２７の垂直面内における傾き角θV とすると、次式
の関係がある。
【００１２】δ＝（ｌ＋Ｌ）ｔａｎθT となるように電
動機側の傾斜角θT を定めれば、傾き角θR は次式とな
る。
動機側の傾斜角θT を定めれば、傾き角θR は次式とな
る。
【００１３】
【数１】
【００１４】上式でθC は微少であるので、上式は近似
的に下記となる。
的に下記となる。
【００１５】
【数２】
【００１６】θV は一定であるので、θR のθC が０か
らθCmaxの間の最大値を最も小さくするには、θT ＝
（１／２）θCmaxとすれば良いことは明らかである。す
なわち、θR は０から
らθCmaxの間の最大値を最も小さくするには、θT ＝
（１／２）θCmaxとすれば良いことは明らかである。す
なわち、θR は０から
【００１７】
【数３】
【００１８】までに変化する。一方、θT ＝０とすれ
ば、θR の最大値は
ば、θR の最大値は
【００１９】
【数４】
【００２０】となる。これは、上記のθT ＝（１／２）
θCmaxとしたときの傾斜角より大きい。例えば、θV が
小さく０の場合は、θR はθT ＝０の場合の１／２であ
る。
θCmaxとしたときの傾斜角より大きい。例えば、θV が
小さく０の場合は、θR はθT ＝０の場合の１／２であ
る。
【００２１】以上のように、本実施例では、電動機３４
およびその出力軸３４Ａと電動機３５およびその出力軸
３５Ａを水平面内で逆方向に傾斜して配置したので、形
状制御のため上下作業ロール１，２を水平面内で傾斜さ
せてもロール側カップリング２６での水平面内における
交差角が著しく小さくなる。また、２つの電動機３４，
３５を用いるので、これ等の出力軸３４Ａ，３５Ａを作
業ロール１，２のロール軸線に対して最適の角度に水平
面内で傾け、作業ロール１，２のロール軸線と電動機３
４，３５の出力軸３４Ａ，３５Ａとのなす角度も小さく
できる。
およびその出力軸３４Ａと電動機３５およびその出力軸
３５Ａを水平面内で逆方向に傾斜して配置したので、形
状制御のため上下作業ロール１，２を水平面内で傾斜さ
せてもロール側カップリング２６での水平面内における
交差角が著しく小さくなる。また、２つの電動機３４，
３５を用いるので、これ等の出力軸３４Ａ，３５Ａを作
業ロール１，２のロール軸線に対して最適の角度に水平
面内で傾け、作業ロール１，２のロール軸線と電動機３
４，３５の出力軸３４Ａ，３５Ａとのなす角度も小さく
できる。
【００２２】したがって、カップリング２６，２７を、
十字形カップリングを使用するクロス型スピンドルおよ
びスリッパタイプスピンドルとした場合には、これ等カ
ップリングでの交差角が小さくなることによりカップリ
ングの寿命が向上するだけでなく、ロール軸線と電動機
の出力軸とのなす角度が小さくなることによりロール回
転速度に生じる周期的な速度変動が小さくなって安定し
た圧延が可能となる。
十字形カップリングを使用するクロス型スピンドルおよ
びスリッパタイプスピンドルとした場合には、これ等カ
ップリングでの交差角が小さくなることによりカップリ
ングの寿命が向上するだけでなく、ロール軸線と電動機
の出力軸とのなす角度が小さくなることによりロール回
転速度に生じる周期的な速度変動が小さくなって安定し
た圧延が可能となる。
【００２３】また、カップリング２６，２７をギヤータ
イプとした場合には、上記ようにカップリングでの交差
角は著しく小さくなるので、自在継手の寿命を大幅に向
上できる。即ち、ギヤータイプの場合、スピンドル交叉
角と摩耗強度の間では図４に示すような関係が成立する
ので、本実施例により交叉角を２°から１°まで下げる
ことにより寿命を約３倍向上させることができる。ま
た、ギヤータイプの自在継手はロール回転速度に周期的
な速度変動を生じないので、極めて安定した圧延が可能
となる。
イプとした場合には、上記ようにカップリングでの交差
角は著しく小さくなるので、自在継手の寿命を大幅に向
上できる。即ち、ギヤータイプの場合、スピンドル交叉
角と摩耗強度の間では図４に示すような関係が成立する
ので、本実施例により交叉角を２°から１°まで下げる
ことにより寿命を約３倍向上させることができる。ま
た、ギヤータイプの自在継手はロール回転速度に周期的
な速度変動を生じないので、極めて安定した圧延が可能
となる。
【００２４】更に本実施例によれば、次の効果もある。
すなわち、ロールを水平面内で傾斜させる方式の圧延機
においては、形状制御能力（板クラウン制御能力）Ｃ
（θC ）は板幅Ｂ、ロール径Ｒとすると次のように表わ
せる。
すなわち、ロールを水平面内で傾斜させる方式の圧延機
においては、形状制御能力（板クラウン制御能力）Ｃ
（θC ）は板幅Ｂ、ロール径Ｒとすると次のように表わ
せる。
【００２５】
【数５】
【００２６】この関係の１例を図示したものが図５であ
るが、本実施例の場合、上述した如く自在継手の寿命を
大幅に向上できるので例えば、ロールの傾き角としてθ
C ＝０〜０．５°の代わりにθC ＝０．５〜１．０°を
設定できるので、形状制御能力を約３倍も高めることが
できる。
るが、本実施例の場合、上述した如く自在継手の寿命を
大幅に向上できるので例えば、ロールの傾き角としてθ
C ＝０〜０．５°の代わりにθC ＝０．５〜１．０°を
設定できるので、形状制御能力を約３倍も高めることが
できる。
【００２７】なお、上述の実施例は、いずれも圧延ロー
ルが一対の作業ロールからなる２段形の圧延機の場合に
ついて説明したが、ロール本数は２本以上であってもよ
いことは勿論である。又、傾きθT は同じ場合について
説明したが、勿論上下でそれぞれ変えてもよい。尚、２
段形圧延機の場合は作業ロールと圧延材間に発生するス
ラスト力を大幅に（例えば圧延荷重の約５％）低減でき
る。又、簡単な構成となるためロール径や作業ロールネ
ック軸受容量を大型化でき、厚板でも噛込性の良好な圧
延機を提供できる。
ルが一対の作業ロールからなる２段形の圧延機の場合に
ついて説明したが、ロール本数は２本以上であってもよ
いことは勿論である。又、傾きθT は同じ場合について
説明したが、勿論上下でそれぞれ変えてもよい。尚、２
段形圧延機の場合は作業ロールと圧延材間に発生するス
ラスト力を大幅に（例えば圧延荷重の約５％）低減でき
る。又、簡単な構成となるためロール径や作業ロールネ
ック軸受容量を大型化でき、厚板でも噛込性の良好な圧
延機を提供できる。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、簡単な構成で作業ロー
ルの回転駆動手段の寿命を大幅に向上し得るロール傾斜
型圧延機を提供できる。又、上記寿命の制約を受けるこ
となく作業ロールの交叉角を大きくできるので、圧延機
の形状制御能力を大巾に向上しうるという効果もある。
更に、ロール回転速度に周期的な速度変動を生じない
か、その速度変動を小さくできるので、安定した圧延を
行うことができる。
ルの回転駆動手段の寿命を大幅に向上し得るロール傾斜
型圧延機を提供できる。又、上記寿命の制約を受けるこ
となく作業ロールの交叉角を大きくできるので、圧延機
の形状制御能力を大巾に向上しうるという効果もある。
更に、ロール回転速度に周期的な速度変動を生じない
か、その速度変動を小さくできるので、安定した圧延を
行うことができる。
【図１】本発明の一実施例を示す圧延機の側面図であ
る。
る。
【図２】図１におけるＩ−Ｉ線矢視図である。
【図３】圧延ロール回転駆動手段を示す平面図である。
【図４】ギヤースピンドル交叉角と摩耗強度の関係を示
す図である。
す図である。
【図５】ロール傾き角と形状制御能力の関係を示す図で
ある。
ある。
１，２ ロール ２６，２７ 自在継手（カップリング） ３１ 連結軸 ３４ 電動機 ３４Ａ 出力軸 ３５ 電動機 ３５Ａ 出力軸
Claims (1)
- 【請求項１】 水平面内において相互に傾斜される上下
一対の作業ロールと、前記各作業ロールを駆動する回転
駆動手段とを備えた圧延機において、 前記回転駆動手段は、第１の電動機と、該第１の電動機
の出力軸に設けられた自在継手にその一端が係合し、前
記上下一対の作業ロールの一方と連結された自在継手に
その他端が係合された第１の連結軸と、第２の電動機
と、該第２の電動機の出力軸に設けられた自在継手にそ
の一端が係合し、前記上下一対の作業ロールの他方と連
結された自在継手にその他端が係合された第２の連結軸
とを有し、前記第１の電動機およびその出力軸と第２の
電動機およびその出力軸を水平面内で逆方向に傾斜して
配置したことを特徴とする圧延機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34345491A JPH0818055B2 (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 圧延機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34345491A JPH0818055B2 (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 圧延機 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP821082A Division JPS58125303A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | 圧延機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH071019A true JPH071019A (ja) | 1995-01-06 |
| JPH0818055B2 JPH0818055B2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=18361647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34345491A Expired - Lifetime JPH0818055B2 (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 圧延機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818055B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6617644B1 (en) | 1998-11-09 | 2003-09-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
| US9230826B2 (en) | 2010-08-26 | 2016-01-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Etching method using mixed gas and method for manufacturing semiconductor device |
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-
1991
- 1991-12-25 JP JP34345491A patent/JPH0818055B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0818055B2 (ja) | 1996-02-28 |
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