JPH07103535A - エアシャワー室 - Google Patents
エアシャワー室Info
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- JPH07103535A JPH07103535A JP27308193A JP27308193A JPH07103535A JP H07103535 A JPH07103535 A JP H07103535A JP 27308193 A JP27308193 A JP 27308193A JP 27308193 A JP27308193 A JP 27308193A JP H07103535 A JPH07103535 A JP H07103535A
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 101100495270 Caenorhabditis elegans cdc-26 gene Proteins 0.000 description 1
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- Cleaning In General (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 エアシャワー室での、塵埃除去率のアップと
効率化を目的とするものである。 【構成】 （１）はエアシャワー室、（２）はクリーン
エアーの吹き出し孔、（３）は底部の塵埃を除去するた
めの粘着マット、（４）は照明用の蛍光灯、（５）はド
ア、（６）は塵埃量を測定するためのダストカウンタ、
（７）は塵埃量の表示計、（８）はクリーンエアーの供
給時間や風速、風量を設定する制御装置、（９）は人の
いる、いないを認知するセンサ、（１０）は個別に囲む
ためのしきり、（１１）は入室人数を知らせるためのス
イッチであり、円形に囲むことにより着用物、及び搬入
物の全体にクリーンエアーを当てることができ、個別に
しきる事で塵埃の飛び散りを防ぎ、エアシャワー室での
処理時間短縮を含め、効率の良い塵埃除去と塵埃除去率
のアップが可能となる。
効率化を目的とするものである。 【構成】 （１）はエアシャワー室、（２）はクリーン
エアーの吹き出し孔、（３）は底部の塵埃を除去するた
めの粘着マット、（４）は照明用の蛍光灯、（５）はド
ア、（６）は塵埃量を測定するためのダストカウンタ、
（７）は塵埃量の表示計、（８）はクリーンエアーの供
給時間や風速、風量を設定する制御装置、（９）は人の
いる、いないを認知するセンサ、（１０）は個別に囲む
ためのしきり、（１１）は入室人数を知らせるためのス
イッチであり、円形に囲むことにより着用物、及び搬入
物の全体にクリーンエアーを当てることができ、個別に
しきる事で塵埃の飛び散りを防ぎ、エアシャワー室での
処理時間短縮を含め、効率の良い塵埃除去と塵埃除去率
のアップが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造ラインにお
けるエアシャワー室に関するものである。
けるエアシャワー室に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来のエアシャワー室を示す全体
斜視図である。図において、（１）はクリーンルーム入
室の際に入室者、及び搬入物に付着している塵埃を除去
するために使用するエアシャワー室、（２）はクリーン
エアーの吹き出し孔、（３）はシューズあるいは床と接
触する底部の塵埃を除去するための粘着マット、（４）
は照明用の蛍光灯、（５）はクリーンルームに入室する
ためのドア、（６）は塵埃量を測定するためのダストカ
ウンタ、（７）はダストカウンタで測定された塵埃量の
表示計、（８）は吹き出し孔からのクリーンエアーの供
給時間や風速、風量を設定する制御装置である。このよ
うに構成されたエアシャワー室（１）は、エアーシャワ
ー室に入室すると、左右、及び上部の吹き出し孔からク
リーンエアーが供給される。
斜視図である。図において、（１）はクリーンルーム入
室の際に入室者、及び搬入物に付着している塵埃を除去
するために使用するエアシャワー室、（２）はクリーン
エアーの吹き出し孔、（３）はシューズあるいは床と接
触する底部の塵埃を除去するための粘着マット、（４）
は照明用の蛍光灯、（５）はクリーンルームに入室する
ためのドア、（６）は塵埃量を測定するためのダストカ
ウンタ、（７）はダストカウンタで測定された塵埃量の
表示計、（８）は吹き出し孔からのクリーンエアーの供
給時間や風速、風量を設定する制御装置である。このよ
うに構成されたエアシャワー室（１）は、エアーシャワ
ー室に入室すると、左右、及び上部の吹き出し孔からク
リーンエアーが供給される。
【０００３】同時にエアシャワー室（１）の下部に設置
したダストカウンタ（６）が作動し、発塵する塵埃量を
測定し、その個数が表示計７で表示される。このとき、
発塵する塵埃量がある基準値を超えた場合、制御装置
（８）が作動し、吹き出し孔（２）からクリーンエアー
が供給され続けると共に、クリーンエアーの風速が速く
なる。このように、ある一定量の塵埃量以下になるまで
クリーンエアーが供給され続けることで、クリーンルー
ム内での清浄度を維持できるようにすることを目的とす
るものであった。
したダストカウンタ（６）が作動し、発塵する塵埃量を
測定し、その個数が表示計７で表示される。このとき、
発塵する塵埃量がある基準値を超えた場合、制御装置
（８）が作動し、吹き出し孔（２）からクリーンエアー
が供給され続けると共に、クリーンエアーの風速が速く
なる。このように、ある一定量の塵埃量以下になるまで
クリーンエアーが供給され続けることで、クリーンルー
ム内での清浄度を維持できるようにすることを目的とす
るものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のエアシャワー室
（１）は以上のように、左右、及び上部から吹き出すク
リーンエアーだけでは、塵埃の除去率が悪く、また、複
数の人が入室した場合、塵埃の飛び散りも多く、ダスト
カウンタで測定する値が基準値以下になるには、人が増
えるにつれて時間が掛かり、効率の面で問題があった。
（１）は以上のように、左右、及び上部から吹き出すク
リーンエアーだけでは、塵埃の除去率が悪く、また、複
数の人が入室した場合、塵埃の飛び散りも多く、ダスト
カウンタで測定する値が基準値以下になるには、人が増
えるにつれて時間が掛かり、効率の面で問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記のような問
題点を解決するためのもので、クリーンルーム入室者の
着用物、及び搬入物にクリーンエアーを吹き付け、付着
した塵埃を除去する際に、個別に円形に囲みクリーンエ
アーを吹き付ける手段と、塵埃量を測定する測定手段
と、その測定塵埃量によりクリーンエアーの風速、風量
を制御する制御手段と、測定塵埃量を表示する表示手段
とを備えたエアシャワー室である。
題点を解決するためのもので、クリーンルーム入室者の
着用物、及び搬入物にクリーンエアーを吹き付け、付着
した塵埃を除去する際に、個別に円形に囲みクリーンエ
アーを吹き付ける手段と、塵埃量を測定する測定手段
と、その測定塵埃量によりクリーンエアーの風速、風量
を制御する制御手段と、測定塵埃量を表示する表示手段
とを備えたエアシャワー室である。
【０００６】
【作用】本発明においては、円形に囲む事で人の全体に
クリーンエアーを当て、個別にしきることで塵埃の飛び
散りを防ぎ、塵埃除去率のアップと効率化を図ることが
できるものである。
クリーンエアーを当て、個別にしきることで塵埃の飛び
散りを防ぎ、塵埃除去率のアップと効率化を図ることが
できるものである。
【０００７】
【実施例】図１は、本発明の一実施例のエアシャワー室
を示した全体斜視図である。図において、（１）はクリ
ーンルーム入室の際に入室者、及び搬入物に付着してい
る塵埃を除去するために使用するエアシャワー室、
（２）はクリーンエアーの吹き出し孔、（３）はシュー
ズあるいは床と接触する底部の塵埃を除去するための粘
着マット、（４）は照明用の蛍光灯、（５）はクリーン
ルームに入室するためのドア、（６）は塵埃量を測定す
るためのダストカウンタ、（７）はダストカウンタで測
定された塵埃量の表示計、（８）は吹き出し孔からのク
リーンエアーの供給時間や風速、風量を設定する制御装
置であり、（１）〜（８）は従来例のものと同様であ
る。（９）は人のいる、いないを認知するセンサ、（１
０）は個別に囲むためのしきり、（１１）は入室人数を
知らせるためのスイッチである。
を示した全体斜視図である。図において、（１）はクリ
ーンルーム入室の際に入室者、及び搬入物に付着してい
る塵埃を除去するために使用するエアシャワー室、
（２）はクリーンエアーの吹き出し孔、（３）はシュー
ズあるいは床と接触する底部の塵埃を除去するための粘
着マット、（４）は照明用の蛍光灯、（５）はクリーン
ルームに入室するためのドア、（６）は塵埃量を測定す
るためのダストカウンタ、（７）はダストカウンタで測
定された塵埃量の表示計、（８）は吹き出し孔からのク
リーンエアーの供給時間や風速、風量を設定する制御装
置であり、（１）〜（８）は従来例のものと同様であ
る。（９）は人のいる、いないを認知するセンサ、（１
０）は個別に囲むためのしきり、（１１）は入室人数を
知らせるためのスイッチである。
【０００８】このように構成されたエアシャワー室
（１）は、入口左にある入室人数スイッチ（１１）を押
し入室すると、制御装置（８）が人数を認知し、人数分
のセンサが作動するのを待ち、作動した時点でセンサの
作動箇所のみ、しきり（１０）が真中まで移動し閉じ
る。閉じた時点でダストカウンタ（６）が作動し、個々
の初期塵埃量を測定し、それにあわせて個々のクリーン
エアーの風速、風量を変えて、個々の塵埃量を同じ時間
で、決められた基準値以下になるようにフィードバック
制御していく。このとき、しきりの閉じていない箇所の
クリーンエアーは放出されない。
（１）は、入口左にある入室人数スイッチ（１１）を押
し入室すると、制御装置（８）が人数を認知し、人数分
のセンサが作動するのを待ち、作動した時点でセンサの
作動箇所のみ、しきり（１０）が真中まで移動し閉じ
る。閉じた時点でダストカウンタ（６）が作動し、個々
の初期塵埃量を測定し、それにあわせて個々のクリーン
エアーの風速、風量を変えて、個々の塵埃量を同じ時間
で、決められた基準値以下になるようにフィードバック
制御していく。このとき、しきりの閉じていない箇所の
クリーンエアーは放出されない。
【０００９】例えば、洗濯後の無塵服からの発塵は、静
止の場合、０．３μｍ以上の塵埃が２０〜３０個／ｃ
ｆ．ｍｉｎであるので、０．３μｍ以上の塵埃が３０個
を基準とし、通常３０ｍ／ｍｉｎ程度の風速が、それ以
上となった場合については、基準値以下となるまで吹き
出し孔（２）からクリーンエアーが供給され続け、ま
た、風速も４０〜４５ｍ／ｍｉｎに迄速くなる。また、
円形に囲むため、クリーンエアーが打ち消し合う現象が
起こるが、これを防ぐために、クリーンエアーの吹き出
し孔（２）を回転させ、この現象を無くす。個々の塵埃
量が全て基準値以下になった時点でクリーンエアーを止
め、しきりが開き、クリーンルームへ入室するための自
動ドア（５）も開く。
止の場合、０．３μｍ以上の塵埃が２０〜３０個／ｃ
ｆ．ｍｉｎであるので、０．３μｍ以上の塵埃が３０個
を基準とし、通常３０ｍ／ｍｉｎ程度の風速が、それ以
上となった場合については、基準値以下となるまで吹き
出し孔（２）からクリーンエアーが供給され続け、ま
た、風速も４０〜４５ｍ／ｍｉｎに迄速くなる。また、
円形に囲むため、クリーンエアーが打ち消し合う現象が
起こるが、これを防ぐために、クリーンエアーの吹き出
し孔（２）を回転させ、この現象を無くす。個々の塵埃
量が全て基準値以下になった時点でクリーンエアーを止
め、しきりが開き、クリーンルームへ入室するための自
動ドア（５）も開く。
【００１０】以上のことで、着用物、及び搬入物の塵埃
量が、クリーンルームに入室して作業を行ううえで影響
を及ぼさない程度の清浄度となっているために、クリー
ンルーム内を汚染することなく入室できる。又、ダスト
カウンタ（６）により測定した塵埃量を表示計（７）を
用いて示すことにより、発塵量が一目でわかるために、
着用物、及び搬入物の劣化度を知ることができる。この
ようなエアシャワー室（１）とする事により、入室時の
着用物、及び搬入物などの清浄度を定量的に管理でき、
半導体装置を製造するうえで信頼性の向上を図ることが
できる効果がある。
量が、クリーンルームに入室して作業を行ううえで影響
を及ぼさない程度の清浄度となっているために、クリー
ンルーム内を汚染することなく入室できる。又、ダスト
カウンタ（６）により測定した塵埃量を表示計（７）を
用いて示すことにより、発塵量が一目でわかるために、
着用物、及び搬入物の劣化度を知ることができる。この
ようなエアシャワー室（１）とする事により、入室時の
着用物、及び搬入物などの清浄度を定量的に管理でき、
半導体装置を製造するうえで信頼性の向上を図ることが
できる効果がある。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、左右と
上からだけ吹き出していたクリーンエアーが、円形に囲
むことにより着用物、及び搬入物の全体にクリーンエア
ーを当てることが出来、個別にしきることで塵埃の飛び
散りを防ぎ、エアシャワー室での処理時間短縮を含め、
効率の良い塵埃除去と塵埃除去率のアップを図ることが
できるという効果がある。
上からだけ吹き出していたクリーンエアーが、円形に囲
むことにより着用物、及び搬入物の全体にクリーンエア
ーを当てることが出来、個別にしきることで塵埃の飛び
散りを防ぎ、エアシャワー室での処理時間短縮を含め、
効率の良い塵埃除去と塵埃除去率のアップを図ることが
できるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例におけるエアシャワー室の全
体斜視図。
体斜視図。
【図２】従来のエアシャワー室の全体斜視図。
１．エアシャワー室 ２．クリーンエアーの吹き出し孔 ３．粘着マット ４．蛍光灯 ５．クリーンルーム入室のためのドア ６．ダストカウンタ ７．塵埃量の表示計 ８．制御装置 ９．センサ １０．しきり １１．入室人数スイッチ
【手続補正書】
【提出日】平成６年３月２９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記のような問
題点を解決するためのもので、クリーンルーム入室者の
着用物、及び搬入物にクリーンエアーを吹き付け、付着
した塵埃を除去する際に、個別に円形に囲みクリーンエ
アーを吹き付ける手段と、塵埃量を測定する測定手段
と、その測定塵埃量によりクリーンエアーの風速、風量
を制御する制御手段と、測定塵埃量を表示する表示手段
とを備えたエアシャワー室であり、また、エアシャワー
室には、個別に囲むためのしきりが設けられ、しきりが
真中まで移動して個別に円形に囲みとするものであるこ
とを特徴とするエアシャワー室である。
題点を解決するためのもので、クリーンルーム入室者の
着用物、及び搬入物にクリーンエアーを吹き付け、付着
した塵埃を除去する際に、個別に円形に囲みクリーンエ
アーを吹き付ける手段と、塵埃量を測定する測定手段
と、その測定塵埃量によりクリーンエアーの風速、風量
を制御する制御手段と、測定塵埃量を表示する表示手段
とを備えたエアシャワー室であり、また、エアシャワー
室には、個別に囲むためのしきりが設けられ、しきりが
真中まで移動して個別に円形に囲みとするものであるこ
とを特徴とするエアシャワー室である。
Claims (1)
- 【請求項１】 クリーンルーム入室者の着用物、及び搬
入物にクリーンエアーを吹き付け、付着した塵埃を除去
する際に、個別に円形に囲みクリーンエアーを吹き付け
る手段と、塵埃量を測定する測定手段と、その測定塵埃
量によりクリーンエアーの風速、風量を制御する制御手
段と、測定塵埃量を表示する表示手段とを備えたエアシ
ャワー室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5273081A JP2671779B2 (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | エアシャワー室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5273081A JP2671779B2 (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | エアシャワー室 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07103535A true JPH07103535A (ja) | 1995-04-18 |
| JP2671779B2 JP2671779B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=17522884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5273081A Expired - Lifetime JP2671779B2 (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | エアシャワー室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2671779B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008180490A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-08-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | エアシャワー装置、エアシャワー装置を備えた建物、花粉症低減システム及び花粉症低減システムの提供方法 |
| JP2010096471A (ja) * | 2008-10-20 | 2010-04-30 | Koshinsha:Kk | エアーシャワー装置 |
| CN104190663A (zh) * | 2014-08-29 | 2014-12-10 | 深圳市高科金信净化科技有限公司 | 风淋通道 |
| CN105903723A (zh) * | 2016-06-28 | 2016-08-31 | 宁波三星医疗电气股份有限公司 | 电能表的自动除尘设备 |
| JP2018508101A (ja) * | 2015-02-25 | 2018-03-22 | イーエスジーケー カンパニー，リミテッド | 静電気除去ブース |
| JP2019052832A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 株式会社日立産機システム | エアシャワー装置 |
| JP2020076548A (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-21 | インホ ソン | 外部空気の室内供給装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62196537A (ja) * | 1986-02-21 | 1987-08-29 | Hitachi Ltd | エア−シヤワ−装置 |
| JPH0252030U (ja) * | 1988-10-03 | 1990-04-13 | ||
| JPH02120637U (ja) * | 1988-11-09 | 1990-09-28 |
-
1993
- 1993-10-05 JP JP5273081A patent/JP2671779B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62196537A (ja) * | 1986-02-21 | 1987-08-29 | Hitachi Ltd | エア−シヤワ−装置 |
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Cited By (7)
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| CN104190663A (zh) * | 2014-08-29 | 2014-12-10 | 深圳市高科金信净化科技有限公司 | 风淋通道 |
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| JP2020076548A (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-21 | インホ ソン | 外部空気の室内供給装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2671779B2 (ja) | 1997-10-29 |
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