JPS61175427A - 空気清浄装置 - Google Patents
空気清浄装置Info
- Publication number
- JPS61175427A JPS61175427A JP1790285A JP1790285A JPS61175427A JP S61175427 A JPS61175427 A JP S61175427A JP 1790285 A JP1790285 A JP 1790285A JP 1790285 A JP1790285 A JP 1790285A JP S61175427 A JPS61175427 A JP S61175427A
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- JP
- Japan
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- air
- fan
- noise
- blowing
- filter
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体の製造等に必要となる清浄な作業空間を
作り出すだめの空気清浄装置に関するものである。
作り出すだめの空気清浄装置に関するものである。
従来の技術
従来、この種の空気清浄装置は、第２図に示すように構
成されている。すなわち作業台１の三方側面を枠２が囲
んでおり、この枠２の上部には高性能フィルター３（以
下ＨＥＰＡフィルターと呼ぶ）とこのフィルター３の全
体に風を供給するためのプレナムチャンバー６が設けら
れている。このプレナムチャンバー６を介してＨＥＰＡ
フィルター３に空気を供給するだめのファン６がプレナ
ムチャンバー５と連結されており、ファンの吸入側には
プレフィルタ−４が設けられている。そして作業台１の
上に清浄作業空間を形成させ、この清浄作業空間７とＨ
ＥＰＡフィルター３との間に清浄作業空間Ｔ内を照らす
照明手段８を設け・この照明手段８の照明が直接作業者
の目に入らないように透光性の散光板９を照明手段８の
下方に設けている◇この散光板９の上面には透光性の空
気流通抵抗体１０を設け、この空気流通抵抗体の一側端
部に１１はエアカーテン吹出口を形成しているＯ 以上のように構成された空気清浄装置は、ファン６が運
転されると、空気１２はプレフィルタ−４を通り、プレ
ナムチャンバー５に入りＨＥＰＡフィルター３に供給さ
れる。ＨＥＰＡフィルター５を通過することにより得ら
れる清浄空気の大部分は、空気流通抵抗体１ｏ、散光板
９を通り、清浄作業空間７に供給されるが、ＨＥＰＡフ
ィルター３を通過することによシ得られる清浄空気の一
部は、空気流通抵抗体１ｏのないエアカーテン吹出口１
１よシ、空気流通抵抗体１０を通る清浄空気よシ速く吹
き出され、清浄作業空間７と通路側、あるいは非作業空
間との間にエアカーテンを形成し、この二つの空間を分
離する。
成されている。すなわち作業台１の三方側面を枠２が囲
んでおり、この枠２の上部には高性能フィルター３（以
下ＨＥＰＡフィルターと呼ぶ）とこのフィルター３の全
体に風を供給するためのプレナムチャンバー６が設けら
れている。このプレナムチャンバー６を介してＨＥＰＡ
フィルター３に空気を供給するだめのファン６がプレナ
ムチャンバー５と連結されており、ファンの吸入側には
プレフィルタ−４が設けられている。そして作業台１の
上に清浄作業空間を形成させ、この清浄作業空間７とＨ
ＥＰＡフィルター３との間に清浄作業空間Ｔ内を照らす
照明手段８を設け・この照明手段８の照明が直接作業者
の目に入らないように透光性の散光板９を照明手段８の
下方に設けている◇この散光板９の上面には透光性の空
気流通抵抗体１０を設け、この空気流通抵抗体の一側端
部に１１はエアカーテン吹出口を形成しているＯ 以上のように構成された空気清浄装置は、ファン６が運
転されると、空気１２はプレフィルタ−４を通り、プレ
ナムチャンバー５に入りＨＥＰＡフィルター３に供給さ
れる。ＨＥＰＡフィルター５を通過することにより得ら
れる清浄空気の大部分は、空気流通抵抗体１ｏ、散光板
９を通り、清浄作業空間７に供給されるが、ＨＥＰＡフ
ィルター３を通過することによシ得られる清浄空気の一
部は、空気流通抵抗体１ｏのないエアカーテン吹出口１
１よシ、空気流通抵抗体１０を通る清浄空気よシ速く吹
き出され、清浄作業空間７と通路側、あるいは非作業空
間との間にエアカーテンを形成し、この二つの空間を分
離する。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、従来の空気清浄装置では、ＨＥＰＡフィ
ルター３の圧力損失が大きいため、ファン６の能力も大
きいことが要求され、その結果、ファン６からの騒音が
大きくなるという問題があった。特に、作業者との関係
で、作業環境としての騒音として問題があった。また、
ＨＥＰＡフィルター３に供給される空気の速度が非常に
大きいだめプレナムチャンバー６だけでは、ＨＥＰＡフ
ィルター３からの吹出し風速の均一化が不十分であると
いう問題点もあった。
ルター３の圧力損失が大きいため、ファン６の能力も大
きいことが要求され、その結果、ファン６からの騒音が
大きくなるという問題があった。特に、作業者との関係
で、作業環境としての騒音として問題があった。また、
ＨＥＰＡフィルター３に供給される空気の速度が非常に
大きいだめプレナムチャンバー６だけでは、ＨＥＰＡフ
ィルター３からの吹出し風速の均一化が不十分であると
いう問題点もあった。
本発明は上記従来の問題に留意し、ファンからの騒音を
低減し、静かな作業環境を作り出すことができ、またＨ
ＥＰＡフィルターからの清浄空気の吹出し風速の均一化
を達成できる空気清浄装置の提供を目的としている。
低減し、静かな作業環境を作り出すことができ、またＨ
ＥＰＡフィルターからの清浄空気の吹出し風速の均一化
を達成できる空気清浄装置の提供を目的としている。
問題点を解決するための手段
この問題を解決するために、本発明はフィルターと、前
記フィルターの一次側に設けられたプレナムチャンバー
と、前記プレナムチャンバーを介して前記フィルターに
空気を供給するだめのファンと、前記ファンの二次側で
かつプレナムチャンバー内に設けられた空気の拡散板を
設けたものである。
記フィルターの一次側に設けられたプレナムチャンバー
と、前記プレナムチャンバーを介して前記フィルターに
空気を供給するだめのファンと、前記ファンの二次側で
かつプレナムチャンバー内に設けられた空気の拡散板を
設けたものである。
作 用
以上の構成によって、ファンから発生する騒音は、ファ
ンから吹出される空気がプレナムチャンバー内に設けら
れた拡散板に衝突することによって低減化されると同時
に拡散板によりＨＥＰＡフィルターに供給される空気の
速度も均一化され、結果としてＨＥＰＡフィルターから
の清浄空気の吹出風速が均一化される。
ンから吹出される空気がプレナムチャンバー内に設けら
れた拡散板に衝突することによって低減化されると同時
に拡散板によりＨＥＰＡフィルターに供給される空気の
速度も均一化され、結果としてＨＥＰＡフィルターから
の清浄空気の吹出風速が均一化される。
実施例
以下本発明の一実施例を第１図面に基づいて説明する。
第１図において、従来と同一の構成要素については同一
符号を用い、その説明を省略する。
符号を用い、その説明を省略する。
この実施例の特徴的な構成はファン６から吹出す風をプ
レナムチャンバー５に導く鉄板製の吹出ガイドを設ける
とともに、ファン６の二次側でかつプレナムチャンバー
６内の一部に突出した空気の拡散板１４を設だ構成にあ
る。なお、この拡散板１４は１．６簡厚のアルミ板で構
成され消音材１６で覆われている。またプレナムチャン
バー５の内壁および吹出ガイドも消音材６で覆われてい
る。
レナムチャンバー５に導く鉄板製の吹出ガイドを設ける
とともに、ファン６の二次側でかつプレナムチャンバー
６内の一部に突出した空気の拡散板１４を設だ構成にあ
る。なお、この拡散板１４は１．６簡厚のアルミ板で構
成され消音材１６で覆われている。またプレナムチャン
バー５の内壁および吹出ガイドも消音材６で覆われてい
る。
この消音材１５は、２６ｒｍｓ厚、密度３２匂／ｍ３の
グラスウールである。
グラスウールである。
上記構成によれば、ファン６から発生した騒音は、吹出
ガイド１３で衝突してプレナムチャンバー５に入る。プ
レナムチャンバー６内では、拡散板１４によって更に衝
突し、消音材により減少する。騒音をＡレンジで実測比
較すると、従来例ではｅｏｄＢ、本発明の一実施例で、
拡散板のみ付加では５７ｄＢ、本発明の他の実施例で、
拡散板に消音材を付加すると５６ ｄＢとなり、従来例
に比べ、３〜ａｄＢ騒音の低減化が達成できた。
ガイド１３で衝突してプレナムチャンバー５に入る。プ
レナムチャンバー６内では、拡散板１４によって更に衝
突し、消音材により減少する。騒音をＡレンジで実測比
較すると、従来例ではｅｏｄＢ、本発明の一実施例で、
拡散板のみ付加では５７ｄＢ、本発明の他の実施例で、
拡散板に消音材を付加すると５６ ｄＢとなり、従来例
に比べ、３〜ａｄＢ騒音の低減化が達成できた。
また拡散板１４を設けることにより、プレナムチャンバ
ー６内でのファン６から送られる空気の速度が均一化さ
れるため、ＨＥＰＡフィルター３からの清浄空気の吹出
風速も均一化される。実測すると、従来例では、ＨＥＰ
Ａフィルター吹出直下１０ｃｒｎでの吹出風速は、平均
±２０％以内であったが、本発明の一実施例では平均±
１０％以内に収まり、清浄空気の吹出風速の均一化が達
成できた。
ー６内でのファン６から送られる空気の速度が均一化さ
れるため、ＨＥＰＡフィルター３からの清浄空気の吹出
風速も均一化される。実測すると、従来例では、ＨＥＰ
Ａフィルター吹出直下１０ｃｒｎでの吹出風速は、平均
±２０％以内であったが、本発明の一実施例では平均±
１０％以内に収まり、清浄空気の吹出風速の均一化が達
成できた。
発明の効果
以上の実施例の説明より明らかなように本発明によれば
、プレナムチャンバー内にファンから送られる空気の拡
散板を設けることにより、低騒音化でき、更にＨＥＰＡ
フィルターからの清浄空気の吹出風速の均一化が達成で
きるものである。
、プレナムチャンバー内にファンから送られる空気の拡
散板を設けることにより、低騒音化でき、更にＨＥＰＡ
フィルターからの清浄空気の吹出風速の均一化が達成で
きるものである。
第１図は本発明の一実施例における空気清浄装置の断面
図、第２図は従来の空気清浄装置の断面図である。 ３・・・・・・ＨＥＰＡフィルター、６・・・・・・プ
レナムチャンバー、６・・・・・・ファン、１４・・・
・・・拡散板、１６・・・・・・消音材。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名３−
ＨＥＰＡフィルグー ｆ５−璃＋Ｕ
図、第２図は従来の空気清浄装置の断面図である。 ３・・・・・・ＨＥＰＡフィルター、６・・・・・・プ
レナムチャンバー、６・・・・・・ファン、１４・・・
・・・拡散板、１６・・・・・・消音材。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名３−
ＨＥＰＡフィルグー ｆ５−璃＋Ｕ
Claims (2)
- （１）フィルターと、前記フィルターの一次側に設けら
れたプレナムチャンバーと、前記プレナムチャンバーを
介して前記フィルターに空気を供給するためのファンと
、前記ファンの二次側でかつプレナムチャンバー内に設
けられた空気の拡散板からなる空気清浄装置。 - （２）拡散板は消音材を設けた特許請求の範囲第１項記
載の空気清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1790285A JPS61175427A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 空気清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1790285A JPS61175427A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 空気清浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61175427A true JPS61175427A (ja) | 1986-08-07 |
Family
ID=11956672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1790285A Pending JPS61175427A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 空気清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61175427A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100604478B1 (ko) * | 2003-12-15 | 2006-07-25 | 엘지전자 주식회사 | 창문형 공조장치 |
| US10086428B2 (en) | 2014-12-25 | 2018-10-02 | Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha | Clamping device and molding apparatus |
-
1985
- 1985-01-31 JP JP1790285A patent/JPS61175427A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100604478B1 (ko) * | 2003-12-15 | 2006-07-25 | 엘지전자 주식회사 | 창문형 공조장치 |
| US10086428B2 (en) | 2014-12-25 | 2018-10-02 | Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha | Clamping device and molding apparatus |
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