JPH07105651A - 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドスライダ及びその製造方法Info
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- JPH07105651A JPH07105651A JP24696493A JP24696493A JPH07105651A JP H07105651 A JPH07105651 A JP H07105651A JP 24696493 A JP24696493 A JP 24696493A JP 24696493 A JP24696493 A JP 24696493A JP H07105651 A JPH07105651 A JP H07105651A
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Links
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 強磁性金属薄膜を含む薄膜体が非磁性材に挟
持されてなる磁気コア半体構成部材を備えた磁気ヘッド
スライダにおいて、トラック幅を小さくしても磁束伝達
効率が低下せず、該磁気ヘッドスライダの磁気ディスク
からの浮上が開始または終了する過渡期における衝撃に
も耐えられるような構成を明らかにする。 【構成】 該磁気ヘッドスライダの記録媒体対向面側
に、周知の空気ベアリング部と、前記薄膜体上で周囲か
ら突出し空気ベアリング部と同じ高さを有するトラック
部と、前記非磁性体上で周囲から突出し空気ベアリング
部及びトラック部から離れて空気ベアリング部と同じ高
さを有する緩衝突起部とを形成する。
持されてなる磁気コア半体構成部材を備えた磁気ヘッド
スライダにおいて、トラック幅を小さくしても磁束伝達
効率が低下せず、該磁気ヘッドスライダの磁気ディスク
からの浮上が開始または終了する過渡期における衝撃に
も耐えられるような構成を明らかにする。 【構成】 該磁気ヘッドスライダの記録媒体対向面側
に、周知の空気ベアリング部と、前記薄膜体上で周囲か
ら突出し空気ベアリング部と同じ高さを有するトラック
部と、前記非磁性体上で周囲から突出し空気ベアリング
部及びトラック部から離れて空気ベアリング部と同じ高
さを有する緩衝突起部とを形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータの外部記
憶装置としてのＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）
等に用いられる磁気ヘッドスライダに関する。
憶装置としてのＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）
等に用いられる磁気ヘッドスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータの外部記憶装置としてのＨ
ＤＤシステムにおいては記録密度の向上が進められてお
り、それに使用される磁気ヘッドスライダにも、システ
ムの小型化に対応できるような低浮上量での安定走行特
性、高抗磁力の記録媒体に対応できるような優れた記録
再生特性、高周波信号に対応できるような低インダクタ
ンス特性等が要求されるようになってきている。
ＤＤシステムにおいては記録密度の向上が進められてお
り、それに使用される磁気ヘッドスライダにも、システ
ムの小型化に対応できるような低浮上量での安定走行特
性、高抗磁力の記録媒体に対応できるような優れた記録
再生特性、高周波信号に対応できるような低インダクタ
ンス特性等が要求されるようになってきている。
【０００３】このような動向に沿った磁気ヘッドスライ
ダの一例として、図１２に示すような構成のものが知ら
れている。この磁気ヘッドスライダは、強磁性金属薄膜
２と非導電性薄膜３とを交互に積層した薄膜体４が非磁
性材７に挾持されてなる一対の磁気コア半体構成部材６
ａ、６ｂを備え、該一対の磁気コア半体構成部材がギャ
ップスペーサ１０を介して突き合わせ接合されたもので
あり、その記録媒体対向面側には磁気ディスクから浮上
して相対走行するための空気ベアリング部６７、６７’
が形成されている。なお、同図において５は薄膜体４と
非磁性材７とを接合するためのガラス、８は巻線孔、９
は巻線孔の一部に充填されてギャップ突き合わせ接合を
補強するガラスである。
ダの一例として、図１２に示すような構成のものが知ら
れている。この磁気ヘッドスライダは、強磁性金属薄膜
２と非導電性薄膜３とを交互に積層した薄膜体４が非磁
性材７に挾持されてなる一対の磁気コア半体構成部材６
ａ、６ｂを備え、該一対の磁気コア半体構成部材がギャ
ップスペーサ１０を介して突き合わせ接合されたもので
あり、その記録媒体対向面側には磁気ディスクから浮上
して相対走行するための空気ベアリング部６７、６７’
が形成されている。なお、同図において５は薄膜体４と
非磁性材７とを接合するためのガラス、８は巻線孔、９
は巻線孔の一部に充填されてギャップ突き合わせ接合を
補強するガラスである。
【０００４】図１２に示したような積層コア型の磁気ヘ
ッドスライダは、特開平５−２１７１１２号公報等に開
示されている。
ッドスライダは、特開平５−２１７１１２号公報等に開
示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のような磁気ヘッ
ドスライダは、低インダクタンスのＨＤＤ用磁気ヘッド
スライダとして優れたものであるが、以下の点で改善の
余地がある。
ドスライダは、低インダクタンスのＨＤＤ用磁気ヘッド
スライダとして優れたものであるが、以下の点で改善の
余地がある。
【０００６】すなわち、該磁気ヘッドスライダのトラッ
ク幅は前記薄膜体の膜厚に相当し、高密度磁気記録実現
のためにトラック幅の狭小化を図ろうとすると該薄膜体
の膜厚を小さくせざるをえず、該薄膜体によって構成さ
れる磁気回路の磁気抵抗が大きくなって磁束伝達効率が
低下し、該磁気ヘッドスライダの記録再生特性が劣化す
るという問題が生じる。
ク幅は前記薄膜体の膜厚に相当し、高密度磁気記録実現
のためにトラック幅の狭小化を図ろうとすると該薄膜体
の膜厚を小さくせざるをえず、該薄膜体によって構成さ
れる磁気回路の磁気抵抗が大きくなって磁束伝達効率が
低下し、該磁気ヘッドスライダの記録再生特性が劣化す
るという問題が生じる。
【０００７】本発明は、薄膜体が非磁性材に挟持されて
なる磁気コア半体構成部材を備えた磁気ヘッドスライダ
において、トラック幅を小さくしても磁束伝達効率が低
下せず、該磁気ヘッドスライダの磁気ディスクからの浮
上が開始または終了する過渡期における衝撃にも耐えら
れような構成を明らかにするものである。
なる磁気コア半体構成部材を備えた磁気ヘッドスライダ
において、トラック幅を小さくしても磁束伝達効率が低
下せず、該磁気ヘッドスライダの磁気ディスクからの浮
上が開始または終了する過渡期における衝撃にも耐えら
れような構成を明らかにするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の局面に従
った磁気ヘッドスライダは、強磁性金属薄膜を含む第１
の薄膜体が第１の非磁性材に挾持されてなり空気ベアリ
ング部及び巻線溝部を有するスライダ本体と、強磁性金
属薄膜を含む第２の薄膜体が第２の非磁性材に挾持され
てなるヨークとを備え、前記第１と第２の薄膜体がギャ
ップスペーサを介して対向するようにスライダ本体とヨ
ークとが突き合わせ接合された磁気ヘッドスライダにお
いて、該磁気ヘッドスライダの記録媒体との対向面側
に、前記第１の薄膜体上からギャップスペーサをまたい
で前記第２の薄膜体上に延び、周囲から突出して空気ベ
アリング部と同じ高さを有するトラック部が形成されて
いることを特徴とするものである．また、本発明の第２
の局面に従った磁気ヘッドスライダは、上記第１の局面
に従った磁気ヘッドスライダの特徴に加えて、該磁気ヘ
ッドスライダの記録媒体との対向面側に、前記第２の非
磁性体上または前記第１及び第２の非磁性体上で周囲か
ら突出し空気ベアリング部及びトラック部から離れて空
気ベアリング部と同じ高さを有する緩衝突起部が形成さ
れていることを特徴とするものである。
った磁気ヘッドスライダは、強磁性金属薄膜を含む第１
の薄膜体が第１の非磁性材に挾持されてなり空気ベアリ
ング部及び巻線溝部を有するスライダ本体と、強磁性金
属薄膜を含む第２の薄膜体が第２の非磁性材に挾持され
てなるヨークとを備え、前記第１と第２の薄膜体がギャ
ップスペーサを介して対向するようにスライダ本体とヨ
ークとが突き合わせ接合された磁気ヘッドスライダにお
いて、該磁気ヘッドスライダの記録媒体との対向面側
に、前記第１の薄膜体上からギャップスペーサをまたい
で前記第２の薄膜体上に延び、周囲から突出して空気ベ
アリング部と同じ高さを有するトラック部が形成されて
いることを特徴とするものである．また、本発明の第２
の局面に従った磁気ヘッドスライダは、上記第１の局面
に従った磁気ヘッドスライダの特徴に加えて、該磁気ヘ
ッドスライダの記録媒体との対向面側に、前記第２の非
磁性体上または前記第１及び第２の非磁性体上で周囲か
ら突出し空気ベアリング部及びトラック部から離れて空
気ベアリング部と同じ高さを有する緩衝突起部が形成さ
れていることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】上記本発明の第１の局面に従った構成の磁気ヘ
ッドスライダにおいては、薄膜体の膜厚以下の範囲内で
トラック幅の寸法を自由に設定できるため、トラック幅
を小さくしても薄膜体の膜厚は小さくする必要がなく、
磁束伝達効率も低下しない。
ッドスライダにおいては、薄膜体の膜厚以下の範囲内で
トラック幅の寸法を自由に設定できるため、トラック幅
を小さくしても薄膜体の膜厚は小さくする必要がなく、
磁束伝達効率も低下しない。
【００１０】また、上記本発明の第２の局面に従った構
成における緩衝突起部は、該磁気ヘッドスライダの浮上
が開始または終了する過渡期における磁気ディスクとの
瞬間的な接触摺動、衝突等による衝撃を最も受けやすい
位置に配されることにより、該磁気ヘッドスライダの電
磁変換に寄与する主要部でありながら細幅で機械的強度
に乏しいトラック部が前記衝撃によって損傷するのを防
ぐという作用効果を奏する。
成における緩衝突起部は、該磁気ヘッドスライダの浮上
が開始または終了する過渡期における磁気ディスクとの
瞬間的な接触摺動、衝突等による衝撃を最も受けやすい
位置に配されることにより、該磁気ヘッドスライダの電
磁変換に寄与する主要部でありながら細幅で機械的強度
に乏しいトラック部が前記衝撃によって損傷するのを防
ぐという作用効果を奏する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【００１２】図１は本発明の一実施例を示す磁気ヘッド
スライダの斜視図であり、図２は図１において円Ａで囲
んだ領域近傍の平面図である。
スライダの斜視図であり、図２は図１において円Ａで囲
んだ領域近傍の平面図である。
【００１３】この磁気ヘッドスライダは、強磁性金属薄
膜２と非導電性薄膜３とを交互に積層した第１の薄膜体
４１が第１の非磁性材７１に挾持されてなり空気ベアリ
ング部６６、６６’及び巻線溝部８１を有するスライダ
本体６１と、強磁性金属薄膜２と非導電性薄膜３とを交
互に積層した第２の薄膜体４２が第２の非磁性材７２に
挾持されてなり巻線溝部８２を有するヨーク６２とを備
え、前記第１と第２の薄膜体がギャップスペーサ１０を
介して対向するようにスライダ本体とヨークとが突き合
わせ接合された磁気ヘッドスライダにおいて、該磁気ヘ
ッドスライダの記録媒体との対向面側に、前記第１の薄
膜体上からギャップスペーサをまたいで前記第２の薄膜
体上に延び、周囲から突出して空気ベアリング部と同じ
高さを有するトラック部４４と、前記第２の非磁性体上
で周囲から突出し空気ベアリング部及びトラック部から
離れて空気ベアリング部と同じ高さを有する緩衝突起部
７７が形成されていることを特徴とするものである。
膜２と非導電性薄膜３とを交互に積層した第１の薄膜体
４１が第１の非磁性材７１に挾持されてなり空気ベアリ
ング部６６、６６’及び巻線溝部８１を有するスライダ
本体６１と、強磁性金属薄膜２と非導電性薄膜３とを交
互に積層した第２の薄膜体４２が第２の非磁性材７２に
挾持されてなり巻線溝部８２を有するヨーク６２とを備
え、前記第１と第２の薄膜体がギャップスペーサ１０を
介して対向するようにスライダ本体とヨークとが突き合
わせ接合された磁気ヘッドスライダにおいて、該磁気ヘ
ッドスライダの記録媒体との対向面側に、前記第１の薄
膜体上からギャップスペーサをまたいで前記第２の薄膜
体上に延び、周囲から突出して空気ベアリング部と同じ
高さを有するトラック部４４と、前記第２の非磁性体上
で周囲から突出し空気ベアリング部及びトラック部から
離れて空気ベアリング部と同じ高さを有する緩衝突起部
７７が形成されていることを特徴とするものである。
【００１４】上記構成において薄膜体４１、４２を非磁
性材７１、７２で挾持するに当っては、非磁性材上に薄
膜体を成膜することによって一方の側面の接合が保た
れ、薄膜体と非磁性材との間に接合ガラス層５を介在さ
せることによって他方の側面の接合が保たれている。
性材７１、７２で挾持するに当っては、非磁性材上に薄
膜体を成膜することによって一方の側面の接合が保た
れ、薄膜体と非磁性材との間に接合ガラス層５を介在さ
せることによって他方の側面の接合が保たれている。
【００１５】また、スライダ本体とヨークとのギャップ
突き合わせ接合は、巻線孔の一部に充填されたガラス９
によって補強され、トラック部４４及び緩衝突起部７７
の周囲は、空気ベアリング部６６と同じ高さの面からギ
ャップデプスよりも深く凹んだ面となっている。
突き合わせ接合は、巻線孔の一部に充填されたガラス９
によって補強され、トラック部４４及び緩衝突起部７７
の周囲は、空気ベアリング部６６と同じ高さの面からギ
ャップデプスよりも深く凹んだ面となっている。
【００１６】なお、上記構成における強磁性金属薄膜２
の典型的な材料としてはセンダスト（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ
系合金）等が挙げられ、非導電性薄膜３やギャップスペ
ーサ１０のの典型的な材料としてはＳｉＯ2等が挙げら
れ、第１、第２の磁性材７１、７２の典型的な材料とし
てはＭｎ０−ＮｉＯ系セラミクスやＬｉ2Ｏ−ＳｉＯ2系
結晶化ガラス等が挙げられ、ギャップ突き合わせ接合補
強用ガラス９の典型的な材料としてはＰｂＯ−ＳｉＯ2
系ガラス等が挙げられる。
の典型的な材料としてはセンダスト（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ
系合金）等が挙げられ、非導電性薄膜３やギャップスペ
ーサ１０のの典型的な材料としてはＳｉＯ2等が挙げら
れ、第１、第２の磁性材７１、７２の典型的な材料とし
てはＭｎ０−ＮｉＯ系セラミクスやＬｉ2Ｏ−ＳｉＯ2系
結晶化ガラス等が挙げられ、ギャップ突き合わせ接合補
強用ガラス９の典型的な材料としてはＰｂＯ−ＳｉＯ2
系ガラス等が挙げられる。
【００１７】本発明の他の実施例としては、前記第１及
び第２の薄膜体が強磁性金属薄膜のみからなる単層膜で
あってもよいし、該第１及び第２の薄膜体がトラック部
から遠い方の空気ベアリング部６６’の付近には形成さ
れていなくてもよいし、ヨーク側の巻線溝部８２が形成
されていてもよい。
び第２の薄膜体が強磁性金属薄膜のみからなる単層膜で
あってもよいし、該第１及び第２の薄膜体がトラック部
から遠い方の空気ベアリング部６６’の付近には形成さ
れていなくてもよいし、ヨーク側の巻線溝部８２が形成
されていてもよい。
【００１８】図１及び図２に示した磁気ヘッドスライダ
の製造工程においては、強磁性金属薄膜と非導電性薄膜
とを交互に積層した第１の薄膜体が第１の非磁性材に挾
持されてなり空気ベアリング部及び巻線溝部を有するス
ライダ本体と、強磁性金属薄膜と非導電性薄膜とを交互
に積層した第２の薄膜体が第２の非磁性材に挾持されて
なり巻線溝部を有するヨークとを備え、第１の薄膜体と
第２の薄膜体とがギャップスペーサを介して対向するよ
うにスライダ本体とヨークとが突き合わせ接合された磁
気ヘッドスライダ構成部材の記録媒体対向面を研摩し
て、スライダ本体の空気ベアリング部となるべき凸部と
ヨーク記録媒体対向面とを同じ高さとした後、スライダ
本体上に空気ベアリング部として残るべき部分と、第１
の薄膜体上から第２の薄膜体上にわたってトラック部と
して残るべき部分と、第２の非磁性材上に緩衝突起部と
して残る部分をレジストにて覆い、周知のイオンビーム
エッチング法等によりギャップデプス以上の深さに達す
るまでエッチング加工を施すことにより、空気ベアリン
グ部、トラック部及び緩衝突起部が形成される。
の製造工程においては、強磁性金属薄膜と非導電性薄膜
とを交互に積層した第１の薄膜体が第１の非磁性材に挾
持されてなり空気ベアリング部及び巻線溝部を有するス
ライダ本体と、強磁性金属薄膜と非導電性薄膜とを交互
に積層した第２の薄膜体が第２の非磁性材に挾持されて
なり巻線溝部を有するヨークとを備え、第１の薄膜体と
第２の薄膜体とがギャップスペーサを介して対向するよ
うにスライダ本体とヨークとが突き合わせ接合された磁
気ヘッドスライダ構成部材の記録媒体対向面を研摩し
て、スライダ本体の空気ベアリング部となるべき凸部と
ヨーク記録媒体対向面とを同じ高さとした後、スライダ
本体上に空気ベアリング部として残るべき部分と、第１
の薄膜体上から第２の薄膜体上にわたってトラック部と
して残るべき部分と、第２の非磁性材上に緩衝突起部と
して残る部分をレジストにて覆い、周知のイオンビーム
エッチング法等によりギャップデプス以上の深さに達す
るまでエッチング加工を施すことにより、空気ベアリン
グ部、トラック部及び緩衝突起部が形成される。
【００１９】上記製法によって得られる上記構成の磁気
ヘッドスライダにおいては、第１及び第２の薄膜体の膜
厚以下の範囲内でトラック部の幅を自由に設定できるた
め、トラック部の幅を狭くしても薄膜体の膜厚を薄くす
る必要がなく、磁束伝達効率も低下しない。
ヘッドスライダにおいては、第１及び第２の薄膜体の膜
厚以下の範囲内でトラック部の幅を自由に設定できるた
め、トラック部の幅を狭くしても薄膜体の膜厚を薄くす
る必要がなく、磁束伝達効率も低下しない。
【００２０】また、上記構成における緩衝突起部は、該
磁気ヘッドスライダの浮上が開始または終了する過渡期
における磁気ディスクとの瞬間的な接触摺動、衝突等に
よる衝撃を最も受けやすい位置に配されているため、該
磁気ヘッドスライダの電磁変換に寄与する主要部であり
ながら細幅で機械的強度に乏しいトラック部が前記衝撃
によって損傷するのを防ぐという作用効果を奏する。
磁気ヘッドスライダの浮上が開始または終了する過渡期
における磁気ディスクとの瞬間的な接触摺動、衝突等に
よる衝撃を最も受けやすい位置に配されているため、該
磁気ヘッドスライダの電磁変換に寄与する主要部であり
ながら細幅で機械的強度に乏しいトラック部が前記衝撃
によって損傷するのを防ぐという作用効果を奏する。
【００２１】本発明を適用した磁気ヘッドスライダにお
ける空気ベアリング部、トラック部、緩衝突起部の形
状、配置に関しては、図３〜図１１に示すような変形が
考えられる。図３〜図１１は、前記図２と同様な領域の
各種変形を示す平面図であり、図２の各部と対応する部
分に同一の符号を付けている。なお図２〜図１１には、
実用時に該磁気ヘッドスライダが対向する磁気ディスク
の径方向外周側を指向する矢印Ｐ、回転方向前方側を指
向する矢印Ｑが示されている。以下、図２に示した構成
を標準型と考えて、図５〜図１１の構成について説明す
る。
ける空気ベアリング部、トラック部、緩衝突起部の形
状、配置に関しては、図３〜図１１に示すような変形が
考えられる。図３〜図１１は、前記図２と同様な領域の
各種変形を示す平面図であり、図２の各部と対応する部
分に同一の符号を付けている。なお図２〜図１１には、
実用時に該磁気ヘッドスライダが対向する磁気ディスク
の径方向外周側を指向する矢印Ｐ、回転方向前方側を指
向する矢印Ｑが示されている。以下、図２に示した構成
を標準型と考えて、図５〜図１１の構成について説明す
る。
【００２２】標準型の図２においては緩衝突起部７７が
長円形状を有し、トラック部４４の位置に比べて前記矢
印Ｐ、Ｑの向き寄りに配置されている。そして、図３は
緩衝突起部７７が円形状を有する例、図４は緩衝突起部
７７が矢印Ｑの方向に長く延びた形状を有する例、図５
は緩衝突起部７７が三角形状を有する例、図６は緩衝突
起部７７が矢印Ｑの方向に離れて２個配置された例、図
７は緩衝突起部７７が矢印Ｐの方向に離れて２個配置さ
れた例を示すものであるが、ここまで図２〜図７の構成
は、いずれも本発明の好ましい実施例である。
長円形状を有し、トラック部４４の位置に比べて前記矢
印Ｐ、Ｑの向き寄りに配置されている。そして、図３は
緩衝突起部７７が円形状を有する例、図４は緩衝突起部
７７が矢印Ｑの方向に長く延びた形状を有する例、図５
は緩衝突起部７７が三角形状を有する例、図６は緩衝突
起部７７が矢印Ｑの方向に離れて２個配置された例、図
７は緩衝突起部７７が矢印Ｐの方向に離れて２個配置さ
れた例を示すものであるが、ここまで図２〜図７の構成
は、いずれも本発明の好ましい実施例である。
【００２３】これに対して、図８は緩衝突起部７７がト
ラック部４４の位置に比べて矢印Ｐとは逆の向き寄りに
配置されている例、図９はトラック部４４の方が緩衝突
起部７７よりも矢印Ｑの向き寄りの端部を有する例を示
しているが、図８や図９のような態様では、緩衝突起部
によるトラック部保護という作用効果が不十分なものと
なる。
ラック部４４の位置に比べて矢印Ｐとは逆の向き寄りに
配置されている例、図９はトラック部４４の方が緩衝突
起部７７よりも矢印Ｑの向き寄りの端部を有する例を示
しているが、図８や図９のような態様では、緩衝突起部
によるトラック部保護という作用効果が不十分なものと
なる。
【００２４】すなわち、緩衝突起部によるトラック部保
護という作用効果を確実なものとするためには、該磁気
ヘッドスライダの浮上が開始または終了する過渡期にお
ける磁気ディスクとの瞬間的な接触摺動、衝突等による
衝撃を最も受けやすい位置に緩衝突起部を配することが
望まれ、従って該記緩衝突起部は、該磁気ヘッドスライ
ダを磁気ディスクと組み合わせて使用する際にトラック
部が対向する磁気ディスク上の位置に比べて、径方向外
周側でかつ回転方向前方側の位置と対向するような部分
を有することが望ましい。
護という作用効果を確実なものとするためには、該磁気
ヘッドスライダの浮上が開始または終了する過渡期にお
ける磁気ディスクとの瞬間的な接触摺動、衝突等による
衝撃を最も受けやすい位置に緩衝突起部を配することが
望まれ、従って該記緩衝突起部は、該磁気ヘッドスライ
ダを磁気ディスクと組み合わせて使用する際にトラック
部が対向する磁気ディスク上の位置に比べて、径方向外
周側でかつ回転方向前方側の位置と対向するような部分
を有することが望ましい。
【００２５】また、緩衝突起部によるトラック部保護と
いう作用効果をさらに確実なものとするためには、緩衝
突起部の記録媒体対向面をトラック部の記録媒体対向面
よりも大面積とすることが望ましい。
いう作用効果をさらに確実なものとするためには、緩衝
突起部の記録媒体対向面をトラック部の記録媒体対向面
よりも大面積とすることが望ましい。
【００２６】一方、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク
との相対走行に伴うゴミ等の付着堆積という問題に注目
すると、緩衝突起部７７の磁気ディスクとの相対走行方
向前方側（前記矢印Ｑの逆方向側）の輪郭線は、前記図
２〜図９の例のように該方向に向かって凸形状となって
いることが望ましく、図１０に示すように該輪郭線が該
方向に対して垂直な形状となっていたり、該輪郭線が該
方向に向かって凹形状となっていたりするのは好ましく
ない。
との相対走行に伴うゴミ等の付着堆積という問題に注目
すると、緩衝突起部７７の磁気ディスクとの相対走行方
向前方側（前記矢印Ｑの逆方向側）の輪郭線は、前記図
２〜図９の例のように該方向に向かって凸形状となって
いることが望ましく、図１０に示すように該輪郭線が該
方向に対して垂直な形状となっていたり、該輪郭線が該
方向に向かって凹形状となっていたりするのは好ましく
ない。
【００２７】なお、本発明による磁気ヘッドスライダの
トラック部４４は、図１１に示すように空気ベアリング
部６６と同じ高さで連続していてもよい。
トラック部４４は、図１１に示すように空気ベアリング
部６６と同じ高さで連続していてもよい。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、高密度磁気記録を実現
するためにトラック幅を小さくしても該磁気ヘッドスラ
イダの磁束伝達効率が低下するようなことがなく、該磁
気ヘッドスライダの磁気ディスクからの浮上が開始また
は終了する過渡期における衝撃に起因するトラック部の
損傷も防止される。
するためにトラック幅を小さくしても該磁気ヘッドスラ
イダの磁束伝達効率が低下するようなことがなく、該磁
気ヘッドスライダの磁気ディスクからの浮上が開始また
は終了する過渡期における衝撃に起因するトラック部の
損傷も防止される。
【図１】本発明第１実施例による磁気ヘッドスライダ
の、全体斜視図である。
の、全体斜視図である。
【図２】本発明第１実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。
の、部分平面図である。
【図３】本発明第２実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。
の、部分平面図である。
【図４】本発明第３実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。
の、部分平面図である。
【図５】本発明第４実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。
の、部分平面図である。
【図６】本発明第５実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。
の、部分平面図である。
【図７】本発明第６実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。
の、部分平面図である。
【図８】本発明第７実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。
の、部分平面図である。
【図９】本発明第８実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。
の、部分平面図である。
【図１０】本発明第９実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。
の、部分平面図である。
【図１１】本発明第１０実施例による磁気ヘッドスライ
ダの、部分平面図である。
ダの、部分平面図である。
【図１２】従来例による磁気ヘッドスライダの、全体斜
視図である。
視図である。
４１ 第１の薄膜体 ４２ 第２の薄膜体 ４４ トラック部 ６１ スライダ本体 ６２ ヨーク ６６ 空気ベアリング部 ７１ 第１の非磁性材 ７２ 第２の非磁性材 ７７ 緩衝突起部 ８１ スライダ本体側の巻線溝部 ８２ ヨーク側の巻線溝部
フロントページの続き (72)発明者 大西 利夫 大阪府守口市京阪本通２丁目18番地 三洋 電機株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】 強磁性金属薄膜を含む第１の薄膜体が第
１の非磁性材に挾持されてなり空気ベアリング部及び巻
線溝部を有するスライダ本体と、強磁性金属薄膜を含む
第２の薄膜体が第２の非磁性材に挾持されてなるヨーク
とを備え、前記第１、第２の薄膜体がギャップスペーサ
を介して互いに対向するようにスライダ本体とヨークと
が突き合わせ接合された磁気ヘッドスライダにおいて、
該磁気ヘッドスライダの記録媒体との対向面側に、前記
第１の薄膜体上からギャップスペーサをまたいで前記第
２の薄膜体上に延び、周囲から突出して空気ベアリング
部と同じ高さを有するトラック部が形成されていること
を特徴とする磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項２】 請求項１記載の磁気ヘッドスライダにお
いて、該磁気ヘッドスライダの記録媒体との対向面側
に、前記第２の非磁性体上または前記第１及び第２の非
磁性体上で周囲から突出し空気ベアリング部及びトラッ
ク部から離れて空気ベアリング部と同じ高さを有する緩
衝突起部が形成されていることを特徴とする磁気ヘッド
スライダ。 - 【請求項３】 前記第１及び第２の薄膜体は、強磁性金
属薄膜が非導電性薄膜を介して複数層積層されたもので
あることを特徴とする請求項１または２記載の磁気ヘッ
ドスライダ。 - 【請求項４】 前記緩衝突起部は、該磁気ヘッドスライ
ダを磁気ディスクと組み合わせて使用する際に前記トラ
ック部が対向する磁気ディスク上の位置に比べて、径方
向外周側でかつ回転方向前方側の位置と対向する部分を
有することを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドスラ
イダ。 - 【請求項５】 前記緩衝突起部の記録媒体対向面は、前
記トラック部の記録媒体対向面に比べて大面積であるこ
とを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項６】 前記緩衝突起部の磁気ディスクとの相対
走行方向前方側の輪郭線は、該前方側に向かって凸形状
となっていることを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッ
ドスライダ。 - 【請求項７】 強磁性金属薄膜を含む第１の薄膜体が第
１の非磁性材に挾持されてなり空気ベアリング部及び巻
線溝部を有するスライダ本体と、強磁性金属薄膜を含む
第２の薄膜体が第２の非磁性材に挾持されてなるヨーク
とを備え、第１の薄膜体と第２の薄膜体とがギャップス
ペーサを介して対向するようにスライダ本体とヨークと
が突き合わせ接合された磁気ヘッドスライダ構成部材の
記録媒体対向面を研摩して、スライダ本体の空気ベアリ
ング部となるべき凸部とヨークの記録媒体対向面とを実
質的に同じ高さとした後、スライダ本体上に空気ベアリ
ング部として残るべき部分と、第１の薄膜体上から第２
の薄膜体上にわたってトラック部として残るべき部分と
をレジストにて覆い、ギャップデプス以上の深さに達す
るまでエッチング加工を施すことにより、空気ベアリン
グ部及びトラック部を形成することを特徴とする磁気ヘ
ッドスライダの製造方法。 - 【請求項８】 請求項７記載の磁気ヘッドスライダの製
造方法において、スライダ本体とヨークとが突き合わせ
接合された磁気ヘッドスライダ構成部材の記録媒体対向
面を研摩してスライダ本体の空気ベアリング部となるべ
き凸部とヨーク記録媒体対向面とを実質的に同じ高さと
した後、スライダ本体上に空気ベアリング部として残る
べき部分と、第１の薄膜体上から第２の薄膜体上にわた
ってトラック部として残るべき部分に加えて、第２の非
磁性体上または第１及び第２の非磁性体上に緩衝突起部
として残る部分をレジストにて覆い、ギャップデプス以
上の深さに達するまでエッチング加工を施すことによ
り、空気ベアリング部、トラック部及び緩衝突起部を形
成することを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24696493A JPH07105651A (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24696493A JPH07105651A (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07105651A true JPH07105651A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=17156347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24696493A Pending JPH07105651A (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07105651A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6754043B2 (en) | 1997-12-26 | 2004-06-22 | Fujitsu Limited | Head slider |
-
1993
- 1993-10-01 JP JP24696493A patent/JPH07105651A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6754043B2 (en) | 1997-12-26 | 2004-06-22 | Fujitsu Limited | Head slider |
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