JPH0798951A - 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁性材からなり空気ベアリング部及び巻線溝
部を有するスライダ本体と、磁性材からなりギャップス
ペーサを介してスライダ本体に突き合わせ接合された主
ヨークと、非磁性材からなり主ヨークの側面及びスライ
ダ本体の主ヨークとの接合部の側面を連続的に覆う補強
ヨークとを備える磁気ヘッドスライダに関して、磁気デ
ィスクとの定常相対走行時における浮上特性が安定し、
磁気ディスクからの浮上が開始または終了する過渡期に
おける衝撃も緩和されるような構成を明らかにする。 【構成】 該磁気ヘッドスライダの記録媒体との対向面
側に、スライダ本体上からギャップスペーサをまたいで
主ヨーク上に延び周囲から突出して空気ベアリング部と
同じ高さを有するトラック部と、補強ヨーク上で周囲か
ら突出し空気ベアリング部及びトラック部から離れて空
気ベアリング部及びトラック部と実質的に同じ高さを有
する緩衝突起部とを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータの外部記
憶装置としてのＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）
等に用いられる磁気ヘッドスライダに関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータの外部記憶装置としてのＨ
ＤＤシステムにおいては記録密度の向上が進められてお
り、それに使用される磁気ヘッドスライダにも、システ
ムの小型化に対応できるような低浮上量での安定走行特
性、高抗磁力の記録媒体に対応できるような優れた記録
再生特性、高周波信号に対応できるような低インダクタ
ンス特性等が要求されるようになってきている。

【０００３】このような動向に沿って、特開平２−１５
６４１１号には図１４に示すような磁気ヘッドスライダ
が開示されている。この磁気ヘッドスライダは、磁性材
からなり空気ベアリング部１９及び巻線溝部１８を有す
るスライダ本体１０に、ギャップスペーサ４を介して磁
性材からなるヨーク２０が突き合わせ接合され、該ヨ−
クに巻線８が施されて構成される。この磁気ヘッドスラ
イダのギャップスペーサ４の近傍部は、磁性材の記録媒
体対向面が所定のトラック幅となるように切削整形さ
れ、その側面にガラス５が配されている。

【０００４】また本願出願人は、特願平４−１１１４２
３号において図１５に示すような磁気ヘッドスライダを
提案した。この磁気ヘッドスライダにおいては、磁性材
からなり空気ベアリング部１９及び巻線溝部１８を有す
るスライダ本体１０にギャップスペーサ４を介して磁性
材からなるヨーク２０が突き合わせ接合され、該ヨ−ク
の側面及びそれに続くスライダ本体の切り欠き部に補強
用ガラス５６が配され、記録媒体対向面のギャップ近傍
に設けられた凹部６によってトラック幅が規制されてい
る。

【０００５】ここで補強用ガラス５６は、ギャップ突き
合わせ部におけるスライダ本体とヨークとの接合を補強
するとともに、低インダクタンス化を目的としてヨーク
の厚さｔを薄くしても該ヨーク部の機械的強度が損なわ
れないようにするために形成されたものである。

【０００６】図１５の磁気ヘッドスライダの構成につい
てさらに詳しく説明するため、該磁気ヘッドスライダの
電磁変換に寄与する主要部（図１５のＺ部）を拡大して
図１６に示す。図１６においては図１５の各部と対応す
る部分に同一の符号を付けている。

【０００７】この磁気ヘッドスライダの電磁変換に寄与
する主要部は、高密度磁気記録用の高抗磁力媒体に対応
するため、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の強磁性酸化物から
なるスライダ本体１０及びヨ−ク２０の主構成部材のギ
ャップ突き合わせ面にセンダスト（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系
合金）等、高飽和磁束密度の強磁性金属薄膜１０２、２
０２が形成されたＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）構
造となっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述のような磁気ヘッ
ドスライダは、狭トラック幅、低インダクタンスのＨＤ
Ｄ用磁気ヘッドスライダとして優れたものであるが、以
下の点で改善の余地がある。

【０００９】すなわち、該磁気ヘッドスライダの空気ベ
アリング部やトラック部の記録媒体対向面は補強用ガラ
スとともに研摩されて所定の高さに仕上げられるが、前
記研摩が施されたままの状態でガラスが記録媒体対向面
に露出していると、該ガラスと空気ベアリング部やトラ
ック部を構成する磁性材との境界部に被研摩性の違いに
起因する段差が生じ、該磁気ヘッドスライダを磁気ディ
スクと組み合わせて記録再生を行う際に浮上特性が不安
定になることがある。

【００１０】この不安定さには、１個の磁気ヘッドスラ
イダに注目したときに浮上姿勢がふらつくというような
不安定さのみならず、多数の磁気ヘッドスライダを製造
したときに、前記被研摩性の違いに起因する段差量が各
磁気ヘッドスライダごとにばらつき、浮上量の絶対値が
各磁気ヘッドスライダごとにばらつくというような不安
定さも含まれる。

【００１１】本発明は、ヨークの側面にガラス等の非磁
性材が配された磁気ヘッドスライダに関して、磁気ディ
スクとの定常相対走行時における浮上特性が安定し、磁
気ディスクからの浮上が開始または終了する過渡期にお
ける衝撃も緩和されるような構成を明らかにするもので
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明による磁気ヘッド
スライダは、磁性材からなり空気ベアリング部及び巻線
溝部を有するスライダ本体と、磁性材からなりギャップ
スペーサを介してスライダ本体に突き合わせ接合された
主ヨークと、非磁性材からなり主ヨークの側面及びスラ
イダ本体の主ヨークとの接合部の側面を連続的に覆う補
強ヨークとを備える磁気ヘッドスライダにおいて、該磁
気ヘッドスライダの記録媒体との対向面側に、スライダ
本体上からギャップスペーサをまたいで主ヨーク上に延
び周囲から突出して空気ベアリング部と同じ高さを有す
るトラック部と、補強ヨーク上で周囲から突出し空気ベ
アリング部及びトラック部から離れて空気ベアリング部
及びトラック部と実質的に同じ高さを有する緩衝突起部
とが形成されていることを特徴とするものである。

【００１３】

【作用】上記構成の磁気ヘッドスライダにおいては、ス
ライダ本体及び主ヨークを構成する磁性材と補強ヨーク
を構成するガラスとの境界部が空気ベアリング面と同じ
高さの面から十分に凹んでいるので、前述のような被研
摩性の違いに起因する段差が該境界部に生じても磁気ヘ
ッドスライダの浮上特性に悪影響を及ぼすようなことが
ない。

【００１４】また、上記構成における緩衝突起部は、該
磁気ヘッドスライダの浮上が開始または終了する過渡期
における磁気ディスクとの瞬間的な接触摺動、衝突等に
よる衝撃を最も受けやすい位置に配されているため、該
磁気ヘッドスライダの電磁変換に寄与する主要部であり
ながら細幅で機械的強度に乏しいトラック部が前記衝撃
によって損傷するのを防ぐという作用効果を奏する。

【００１５】さらに該緩衝突起部は、空気ベアリング部
及びトラック部の高さから前記被研摩性の違いに起因す
る段差に相当する分だけ凹んでいるものの、空気ベアリ
ング部及びトラック部から離れて配置されているため、
空気ベアリング部及びトラック部と実質的に同じ高さを
有するものと見なされ、浮上特性に悪影響を及ぼすよう
なことがない。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。

【００１７】図１は本発明による磁気ヘッドスライダの
斜視図であり、図２はその主要部（図１において円Ａで
囲んだ領域の中心部）の斜視図である。

【００１８】この磁気ヘッドスライダは、磁性材からな
り空気ベアリング部１９及び巻線溝部１８を有するスラ
イダ本体１と、磁性材からなりギャップスペーサ４を介
してスライダ本体に突き合わせ接合された主ヨーク２
と、非磁性材からなり主ヨークの側面及びスライダ本体
の主ヨークとの接合部の側面を連続的に覆う補強ヨーク
３とを備える磁気ヘッドスライダにおいて、該磁気ヘッ
ドスライダの記録媒体との対向面側には、スライダ本体
上からギャップスペーサをまたいで主ヨーク上に延び、
周囲から突出して空気ベアリング部と同じ高さを有する
トラック部９と、補強ヨーク上で周囲から突出し、空気
ベアリング部及びトラック部から離れて空気ベアリング
部及びトラック部と実質的に同じ高さを有する緩衝突起
部７とが形成されていることを特徴とするものである。
なお、トラック部９及び緩衝突起部７の周囲は、空気ベ
アリング部１９と同じ高さの面からギャップデプスｄよ
りも深く凹んだ面となっている。

【００１９】この磁気ヘッドスライダの電磁変換に寄与
する主要部は、高密度磁気記録用の高抗磁力媒体に対応
するために、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の強磁性酸化物か
らなるスライダ本体１及び主ヨ−ク２の主構成部材のギ
ャップ突き合わせ面にセンダスト（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系
合金）等、高飽和磁束密度の強磁性金属薄膜１２、２２
が形成されたＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）構造と
なっており、そのギャップ突き合わせ部の寸法は、トラ
ック幅ｗ及びギャップデプスｄによって規定される。な
お、補強ヨークを構成する非磁性材としては、ＰｂＯ−
ＳｉＯ₂系等のガラスが用いられる。

【００２０】この磁気ヘッドスライダの製造工程におい
ては、磁性材からなり空気ベアリング部となるべき凸部
１９０及び巻線溝部１８を有するスライダ本体１と、磁
性材からなりギャップスペーサ４を介してスライダ本体
に突き合わせ接合された主ヨーク２と、非磁性材からな
り主ヨークの側面及びスライダ本体の主ヨークとの接合
部の側面を連続的に覆う補強ヨーク３とを備える図３に
示すような磁気ヘッドスライダ構成部材１０の記録媒体
対向面を研摩して、スライダ本体の空気ベアリング部と
なるべき凸部と主ヨーク及び補強ヨークの記録媒体対向
面とを実質的に同じ高さとした後、スライダ本体上に空
気ベアリング部として残るべき部分、及びスライダ本体
上から主ヨーク上にわたってトラック部として残るべき
部分、及び補強ヨーク上に緩衝突起部として残るべき部
分をレジストにて覆い、周知のイオンビームエッチング
法等によりギャップデプスｄ以上の深さに達するまでエ
ッチング加工を施すことにより、空気ベアリング部１
９、トラック部９、及び緩衝突起部７が形成される。

【００２１】上記製法によって得られる上記構成の磁気
ヘッドスライダにおいては、スライダ本体及び主ヨーク
を構成する磁性材と補強ヨークを構成するガラスとの境
界部が空気ベアリング面と同じ高さの面から十分に凹ん
でいるので、「発明が解決しようとする課題」の項で述
べたような被研摩性の違いに起因する段差が該境界部に
生じたとしても、該磁気ヘッドスライダの浮上特性に悪
影響を及ぼすようなことがない。

【００２２】また、上記構成における緩衝突起部は、該
磁気ヘッドスライダの浮上が開始または終了する過渡期
における磁気ディスクとの瞬間的な接触摺動、衝突等に
よる衝撃を最も受けやすい位置に配されているため、該
磁気ヘッドスライダの電磁変換に寄与する主要部であり
ながら細幅で機械的強度に乏しいトラック部が前記衝撃
によって損傷するのを防ぐという作用効果を奏する。

【００２３】さらに該緩衝突起部は、空気ベアリング部
及びトラック部の高さから前記被研摩性の違いに起因す
る段差に相当する分だけ凹んでいるものの、空気ベアリ
ング部及びトラック部から離れて配置されているため、
空気ベアリング部及びトラック部と実質的に同じ高さを
有するものと見なされ、浮上特性に悪影響を及ぼすよう
なことがない。

【００２４】本発明を適用した磁気ヘッドスライダにお
ける空気ベアリング部、トラック部、緩衝突起部の形
状、配置に関しては、図４〜図１３に示すような変形が
考えられる。ここで図４は、前記図１において円Ａで囲
んだ領域近傍の平面図であり、図１または図２の各部と
対応する部分に同一の符号を付けている。また図５〜図
１３は、図４と同様な領域の各種変形を示す平面図であ
り、図４の各部と対応する部分に同一の符号を付けてい
る。さらに図４〜図１３には、実用時に該磁気ヘッドス
ライダが対向する磁気ディスクの径方向外周側を指向す
る矢印Ｐ、回転方向前方側を指向する矢印Ｑが示されて
いる。以下、図４に示した構成を標準型と考えて、図５
〜図１３の構成について説明する。

【００２５】標準型の図４においては緩衝突起部７が長
円形状を有し、トラック部９の位置に比べて前記矢印
Ｐ、Ｑの向き寄りに配置されている。そして、図５は緩
衝突起部７が円形状を有する例、図６は緩衝突起部７が
矢印Ｑの方向に長く延びた形状を有する例、図７は緩衝
突起部７が三角形状を有する例、図８は緩衝突起部７が
矢印Ｑの方向に離れて２個配置された例、図９は緩衝突
起部７が矢印Ｐの方向に離れて２個配置された例を示す
ものであるが、ここまで図４〜図９の構成は、いずれも
本発明の好ましい実施例である。

【００２６】これに対して、図１０は緩衝突起部７がト
ラック部９の位置に比べて矢印Ｐとは逆の向き寄りに配
置されている例、図１１はトラック部９の方が緩衝突起
部７よりも矢印Ｑの向き寄りの端部を有する例を示して
いるが、図１０や図１１のような態様では、緩衝突起部
によるトラック部保護という作用効果が不十分なものと
なる。

【００２７】すなわち、緩衝突起部によるトラック部保
護という作用効果を確実なものとするためには、該磁気
ヘッドスライダの浮上が開始または終了する過渡期にお
ける磁気ディスクとの瞬間的な接触摺動、衝突等による
衝撃を最も受けやすい位置に緩衝突起部を配することが
望まれ、従って該記緩衝突起部は、該磁気ヘッドスライ
ダを磁気ディスクと組み合わせて使用する際にトラック
部が対向する磁気ディスク上の位置に比べて、径方向外
周側でかつ回転方向前方側の位置と対向するような部分
を有することが望ましい。

【００２８】また、緩衝突起部によるトラック部保護と
いう作用効果をさらに確実なものとするためには、緩衝
突起部の記録媒体対向面をトラック部の記録媒体対向面
よりも大面積とすることが望ましい。

【００２９】一方、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク
との相対走行に伴うゴミ等の付着堆積という問題に注目
すると、緩衝突起部の磁気ディスクとの相対走行方向前
方側（前記矢印Ｑの逆方向側）の輪郭線は、図４〜図１
１の例のように該方向に向かって凸形状となっているこ
とが望ましく、図１２に示すように該輪郭線が該方向に
対して垂直な形状となっていたり、該輪郭線が該方向に
向かって凹形状となっていたりするのは好ましくない。

【００３０】なお、本発明による磁気ヘッドスライダの
トラック部９は、図１３に示すように空気ベアリング部
１９と同じ高さで連続していてもよい。

【００３１】また、図４〜図１３に示した磁気ヘッドス
ライダの電磁変換に寄与する主要部は、前記図２に示し
たものと同様、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の強磁性酸化物
からなるスライダ本体１及び主ヨ−ク２の主構成部材の
ギャップ突き合わせ面に、センダスト（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓ
ｉ系合金）等からなる強磁性金属薄膜１２、２２が形成
されたＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）構造となって
いるが、強磁性金属薄膜がギャップ突き合わせ面の一方
側のみに被着形成された構成や、該強磁性金属薄膜が形
成されていないような構成も、本発明の対象となること
は言うまでもない。

【００３２】

【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッドスライダの
磁気ディスクからの浮上が開始または終了する過渡期に
おける衝撃に起因するトラック部の損傷が防止されると
ともに、該磁気ヘッドスライダの磁気ディスクとの定常
相対走行時における浮上特性も安定したものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明第１実施例による磁気ヘッドスライダ
の、全体斜視図である。

【図２】本発明第１実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分斜視図である。

【図３】本発明実施例による磁気ヘッドスライダの製造
方法を説明するための、磁気ヘッドスライダ構成部材の
斜視図である

【図４】本発明第１実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。

【図５】本発明第２実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。

【図６】本発明第３実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。

【図７】本発明第４実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。

【図８】本発明第５実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。

【図９】本発明第６実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。

【図１０】本発明第７実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。

【図１１】本発明第８実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。

【図１２】本発明第９実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。

【図１３】本発明第１０実施例による磁気ヘッドスライ
ダの、部分平面図である。

【図１４】第１従来例による磁気ヘッドスライダの、全
体斜視図である。

【図１５】第２従来例による磁気ヘッドスライダの、全
体斜視図である。

【図１６】第２従来例による磁気ヘッドスライダの、部
分斜視図である。

【符号の説明】

１ スライダ本体 ２ 主ヨーク ３ 補強ヨーク ４ ギャップスペーサ ７ 緩衝突起部 ９ トラック部 １８ 巻線溝部 １９ 空気ベアリング部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大西 利夫 大阪府守口市京阪本通２丁目18番地 三洋 電機株式会社内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁性材からなり空気ベアリング部及び巻
   線溝部を有するスライダ本体と、磁性材からなりギャッ
   プスペーサを介してスライダ本体に突き合わせ接合され
   た主ヨークと、非磁性材からなり主ヨークの側面及びス
   ライダ本体の主ヨークとの接合部の側面を連続的に覆う
   補強ヨークとを備える磁気ヘッドスライダにおいて、該
   磁気ヘッドスライダの記録媒体との対向面側に、スライ
   ダ本体上からギャップスペーサをまたいで主ヨーク上に
   延び周囲から突出して空気ベアリング部と同じ高さを有
   するトラック部と、補強ヨーク上で周囲から突出し空気
   ベアリング部及びトラック部から離れて空気ベアリング
   部及びトラック部と実質的に同じ高さを有する緩衝突起
   部とが形成されていることを特徴とする磁気ヘッドスラ
   イダ。
2. 【請求項２】 スライダ本体及び主ヨ−クを構成する磁
   性材は、強磁性酸化物からなる主構成部材のギャップ突
   き合わせ面に強磁性金属薄膜が被着形成されたものであ
   り、補強ヨークを構成する非磁性材は、ガラスであるこ
   とを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
3. 【請求項３】 前記緩衝突起部は、該磁気ヘッドスライ
   ダを磁気ディスクと組み合わせて使用する際に前記トラ
   ック部が対向する磁気ディスク上の位置に比べて、径方
   向外周側でかつ回転方向前方側の位置と対向する部分を
   有することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスラ
   イダ。
4. 【請求項４】 前記緩衝突起部の記録媒体対向面は、前
   記トラック部の記録媒体対向面に比べて、大面積である
   ことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
5. 【請求項５】 前記緩衝突起部の磁気ディスクとの相対
   走行方向前方側の輪郭線は、該前方側に向かって凸形状
   となっていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッ
   ドスライダ。
6. 【請求項６】 磁性材からなり空気ベアリング部となる
   べき凸部及び巻線溝部を有するスライダ本体と、磁性材
   からなりギャップスペーサを介してスライダ本体に突き
   合わせ接合された主ヨークと、非磁性材からなり主ヨー
   クの側面及びスライダ本体の主ヨークとの接合部の側面
   を連続的に覆う補強ヨークとを備える磁気ヘッドスライ
   ダ構成部材の記録媒体対向面を研摩して、スライダ本体
   の空気ベアリング部となるべき凸部と主ヨーク及び補強
   ヨークの記録媒体対向面とを実質的に同じ高さとした
   後、スライダ本体上に空気ベアリング部として残るべき
   部分と、スライダ本体上から主ヨーク上にわたってトラ
   ック部として残るべき部分と、補強ヨーク上に緩衝突起
   部として残るべき部分とをレジストにて覆い、ギャップ
   デプス以上の深さに達するまでエッチング加工を施すこ
   とにより、空気ベアリング部、トラック部、及び緩衝突
   起部を形成することを特徴とする磁気ヘッドスライダの
   製造方法。