JPH07106403A - 板状体搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置の大型化やピッチ誤差を招くことなく無
段階のピッチ変換を行なえる構造を備えた板状体搬送装
置を提供すること。 【構成】 基準位置から等距離の高さ位置に配置される
一対のアーム４２、４４、４６、４８と、一対のアーム
４２、４４、４６、４８が軸方向に沿って相反する方向
に移動可能に支持され、かつ、基準位置からの高さが異
なる位置に上記一対のアーム４２、４４、４６、４８を
配置されている複数組の支持部材９４、９６と、を備
え、上記一対のアーム同士４２、４４、４６、４８が基
準位置からの高さを異ならせた状態で各支持部材９４、
９６上で移動するようになっている。このため、単一軸
上に複数のリード部を形成する場合に比べて軸長を短く
することができるので、装置の高さ方向での大きさを小
さくすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、搬送装置に関し、特
に、半導体ウェハ等の板状体を搬送するための装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、半導体ウェハ等の板状体
の処理装置においては、処理部に対してロード／アンロ
ードされる板状体をカセット等の収容部に搬送する機構
が設けられている。

【０００３】このような搬送機構を用いる処理装置のひ
とつに熱処理装置がある。この熱処理装置は、酸化、拡
散、アニールや成膜に用いられる。そして、この装置で
は複数の板状体、例えば、上記した半導体ウェハをカセ
ットからボートに移し換えてボートを熱処理炉にロード
したり、あるいは、この逆にアンロードされた半導体ウ
ェハをボートからカセットに移し換える操作が行なわれ
る。

【０００４】このため、熱処理装置のロード／アンロー
ド部には、カセットとボートとの間で半導体ウェハを受
渡し、所謂、移載するための搬送装置が装備されてい
る。

【０００５】ところで、この搬送装置には、複数の半導
体ウェハ等の板状体を一括して搬送することにより、半
導体製造工程でのスループットを改善することのできる
構造が提案されている。

【０００６】図１４は、上記構造の一例を示しており、
この構造は、回転、昇降および進退可能なアーム機構１
０を備え、このアーム機構１０は、アーム先端にたとえ
ば５段の半導体ウェハ載置部を備えている。そして、ア
ーム機構１０は、キャリア１２とボート１４との間で半
導体ウェハの移載を行なうようになっている。

【０００７】一方、移載する場合の半導体ウェハの配列
ピッチは常に一定したものではなく、ユーザー毎あるい
は熱処理等の処理内容によって変更しなければならない
場合がある。

【０００８】そこで、従来では、ピッチ変換機構とし
て、例えば、実開昭６４ー３５７４６号公報に記載され
た構成が提案されている。

【０００９】この公報には、同一軸上で送りネジのピッ
チが異なるリード部を複数箇所に形成し、各リード部に
嵌合するナットを設けると共に、このナットには、半導
体ウェハの載置部を設けた構成が記載されている。

【００１０】従って、単一軸に異なるピッチを有するリ
ード部を設けることで、その軸を駆動することにより、
このネジに嵌合するナットの移動量を異ならせてピッチ
変換をすることができる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構造では、単一軸に複数のネジ部を設けることで軸
方向の長さが長くなる。従って、この軸を支持している
空間部の大きさも高さ方向で大きくなることにより、装
置自体が大型化してしまう虞れがある。

【００１２】しかも、リード部が多くなるほどピッチ誤
差が大きくなる。このことはアームの数、所謂、段数に
よって影響されるので、一括搬送される板状体の枚数を
増加した場合には、ピッチを変更した際の誤差が大きく
なりやすい。そこで、この誤差を少なくしようとする
と、加工精度を上げなければならず、この結果、コスト
アップを招くことになる。

【００１３】そこで、本発明の目的は、装置の大型化や
ピッチ誤差を招くことなく無段階のピッチ変換を行なえ
る構造を備えた板状体搬送装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、基準位置から等距離の高さ
位置に配置される一対のアームが複数組設けられ、これ
ら各組のアームが軸方向に沿って相反する方向に移動可
能に支持されている摺動案内部材を備えた板状体搬送装
置において、上記摺動案内部材は、上記複数組のアーム
同士を等ピッチにて摺動案内することを特徴としてい
る。

【００１５】請求項２記載の発明は、請求項１におい
て、上記摺動案内部材は、同一駆動源によって回転駆動
される回転軸によって構成され、軸方向に沿って基準位
置を境にして上下方向で相反する方向にネジのリードを
形成され、かつ、上記同一駆動源に対する回転比を各組
でそれぞれ異ならせてあることを特徴としている。

【００１６】請求項３記載の発明は、請求項１におい
て、上記一対のアームのうち、基準位置から最も離れた
位置の一対のアームにそれぞれ検知部および被検知部を
設けたことを特徴としている。

【００１７】

【作用】本発明では、複数組設けられた一対のアームが
それぞれ等ピッチを以て摺動案内される。このため、複
数組設けられた一対のアームの摺動案内部材として単一
部材を用いる場合に比べ、摺動案内部材の長さを短くす
ることができる。しかも、各組の一対のアームは、摺動
案内部材上で等ピッチ移動することができる。

【００１８】また本発明では、複数組の摺動案内部材の
回転比を異ならせることで各組でのアームの等ピッチ移
動を同一駆動源により駆動することができる。しかも、
摺動部材は、軸方向に沿って基準位置を境にして上下方
向で相反する方向にネジのリードを設定されているの
で、複数組の摺動案内部材は、その摺動案内部の構造を
同じものとすることができる。

【００１９】さらに本発明では、アームのピッチ変換を
行なう場合のアーム同士の初期位置の検出を容易に行な
うことができる。つまり、基準位置から片側のアームを
対象としていうと、内側に位置するアームとの間での等
ピッチを設定する場合、内側のアームの移動量に見合う
移動量をさらに加えることで外側のアームが内側のアー
ムと等ピッチを設定される。従って、最も多い移動量を
設定されているアームの相対移動を利用することで、極
小移動量より大きい移動量を対象として初期位置復帰の
検出が行なえるので、検出精度を上げた状態で容易に検
出することができる。

【００２０】

【実施例】以下、図１乃至図１３に示す実施例によって
本発明の詳細を説明する。

【００２１】図１には、本発明による板状体搬送装置が
適用される装置の一例である縦型熱処理装置における移
載部が示されている。なお、図１に示した板状体搬送装
置は、複数枚の板状体を搬送する一括搬送と一枚の板状
体を搬送する枚葉搬送とを行なえる構造を備えている。

【００２２】すなわち、上記移載部は、縦型熱処理炉の
下方に位置している。そして、移載部には、処理用容器
の一例である石英製のボート３０と、このボート３０を
熱処理炉（図示されず）とボート３０とにわたって昇降
可能に駆動するボートエレベータ３２と、複数枚の半導
体ウェハ等の板状体（以下、半導体ウェハを対象として
説明する）を収容したカセット３４を格納するための移
載ステージ３６が設けられている。そして、ボート３０
と移載ステージ３６との間には、本発明による板状体搬
送装置４０が配置されている。

【００２３】板状体搬送装置４０は、進退可能であると
共に昇降および旋回が可能な構造を備えている。そし
て、この板状体搬送装置４０は、ボート３０とカセット
３４との間で、半導体ウェハを１枚あるいは複数枚同時
に移載することができるものである。

【００２４】上記板状体搬送装置４０は、上記したよう
に、一枚の半導体ウェハを搬送する枚葉搬送と複数枚の
半導体ウェハを同時に搬送する一括搬送との両方を行な
えるようになっており、その詳細な構造は図２以下に示
されている。

【００２５】図２には、板状体搬送装置４０の外観が示
されており、板状体搬送装置４０は、一例として、５枚
からなる奇数枚の半導体ウェハを一括搬送することを前
提としている。

【００２６】そして、板状体搬送装置４０は、縦方向に
て等ピッチを設定されて配列された５枚の搬送アーム４
２、４４、４６、４８、５０を備えている。これら各搬
送アームのうち、中央に位置する搬送アーム５０は、単
独で進退駆動されるようになっている。つまり、図３に
おいて、板状体搬送装置４０の下部に位置する筐体部に
は、搬送アームの進退方向に平行する軸方向を設定され
た一対のボールスプライン軸５２、５４がその軸方向両
端が支持されて設けられており、一方のボールスプライ
ン軸５２に、上記中央に位置する搬送アーム５０を支持
するための摺動ブロック５６が嵌合している。この摺動
ブロック５６は、一方のボールスプライン軸５２によっ
て回転を阻止された状態で嵌合していて、上記搬送アー
ム５０を支持するための支持アーム５８が片持ち梁状に
設けられている。そして、摺動ブロック５６は、ボール
スプライン軸５２上を摺動できるようになっており、こ
のための駆動は、第１の駆動源である第１のステッピン
グモータ６０の駆動力を伝達されるタイミングベルト６
２を介して行なわれる。

【００２７】つまり、タイミングベルト６２の一部は、
図４に示すように、摺動ブロック５６に一体化された固
定ブロック６４の上面とこの上部に位置する上記支持ア
ーム５８の底面とで挟持されることによって中央に位置
する搬送アーム５０側と一体化されている。このため、
タイミングベルト６２が掛け回されている第１の駆動プ
ーリ６６を回転駆動する第１の駆動源であるステッピン
グモータ６０の回転方向および回転量を設定することで
この回転がタイミングベルト６２を介して摺動ブロック
５６に伝達され、摺動ブロック５６の移動に連動して中
央に位置する搬送アーム５０が進退駆動される。

【００２８】一方、図３において、他の搬送アーム４
２、４４、４６、４８を支持している摺動ブロック６８
は、一方の摺動ブロック５６の場合と同様に、ボールス
プライン軸５４に対して回転を阻止された状態で嵌合し
ていて、上記各搬送アーム４２、４４、４６、４８を支
持するための支持アーム７０が片持ち梁状に設けられて
いる。そして、摺動ブロック６８は、ボールスプライン
軸５４上を摺動できるようになっており、このための駆
動は、第２の駆動源である第２のステッピングモータ７
２の駆動力を伝達されるタイミングベルト７４を介して
行なわれる。

【００２９】つまり、タイミングベルト７４の一部は、
図５に示すように、摺動ブロック６８に一体化された固
定ブロック７６の上面とこの上部に位置する上記支持ア
ーム７０の底面とで挟持されることによって中央以外に
位置する搬送アーム４２、４４、４６、４８側と一体化
されている。このため、タイミングベルト７４が掛け回
されている第２の駆動プーリ７８を回転駆動する上記第
２の駆動源であるステッピングモータ７２の回転方向お
よび回転量を設定することでこの回転がタイミングベル
ト７４を介して摺動ブロック６８に伝達され、この摺動
ブロック６８の移動に連動して中央以外に位置する搬送
アーム４２、４４、４６、４８が進退駆動される。

【００３０】本発明による板状体搬送装置４０は、等ピ
ッチにて縦方向に配列された搬送アームの駆動方式とし
て、図６（Ａ）に示す方式が用いられる。つまり、搬送
アームは、一括搬送される枚数、本実施例では、５枚に
相当する数が設けられており、その中央に位置する搬送
アーム５０とこれ以外の上下に配置された搬送アーム４
２、４４、４６、４８を纏めたアーム群とがそれぞれの
駆動源、つまり、第１のステッピングモータ６０および
第２のステッピングモータ７２によって駆動されるよう
になっている。そして、これら駆動源により、枚葉搬送
の場合には、第１のステッピングモータ６０を駆動する
ことにより実施され、また、一括搬送の場合には、第１
および第２のステッピングモータ６０および７２を同時
に駆動することにより実施される。図６（Ａ）に示す状
態は、枚葉搬送の場合である。このため、第１、第２の
駆動源である各ステッピングモータ６０、７２は、図７
に示す制御部８０によって動作態位を設定されるように
なっている。

【００３１】つまり、制御部８０は、例えば、マイクロ
コンピュータによって主要部を構成されており、その入
力側には、枚葉搬送を選択するための枚葉スイッチ８２
および一括搬送を選択するための一括スイッチ８４が、
そして出力側には、第１の駆動源である第１のステッピ
ングモータ６０および第２の駆動源である第２のステッ
ピングモータ７２が図示しないＩ／Ｏインターフェース
を介してそれぞれ接続されている。制御部８０では、枚
葉スイッチ８２あるいは一括スイッチ８４の投入状態に
応じて第１、第２の駆動源の駆動設定を行なうようにな
っている。つまり、枚葉スイッチ８２が投入された場合
には第１の駆動源である第１のステッピングモータ６０
を駆動させ、また、一括スイッチ７２が投入された場合
には第１および第２の駆動源である第１、第２のステッ
ピングモータ６０、７２の両方を駆動する。なお、上記
した枚葉スイッチ８２および一括スイッチ８４の投入は
手動で行なうだけでなく、例えば、カセットボート間の
ウエハ移載においてあらかじめカウンタ（図示せず）に
より検知されているカセット内のウエハの位置と枚数に
より自動的にシーケンスプログラム上、オン・オフ設定
される。

【００３２】一方、中央に位置する搬送アーム５０を境
にして上下に位置する残りの搬送アーム４２、４４、４
６、４８は、縦方向での平行移動によりピッチ変換が行
なわれるようになっている。このため、上記残りの搬送
アームの支持アーム７０には、ピッチ変換機構９０が設
けられている。

【００３３】すなわち、ピッチ変換機構９０は、本実施
例の特徴となる部分であり、図８に示すように、支持ア
ーム７０の上面に設けられている筐体９２内に配置され
ている。そして、ピッチ変換機構９０は、支持アーム７
０と筐体９２の天井部とにより軸方向両端をそれぞれ回
転可能に支持されている一対の駆動ネジ軸９４、９６を
備えている。これら駆動ネジ軸９４、９６は、アームの
支持を兼ねてピッチ変換を行なうためのものであり、軸
方向のほぼ中央を境にして互いに逆方向のリードを設定
された等ピッチのネジが形成されている。そして、これ
ら駆動ネジ軸９４、９６のネジ部には、それぞれボール
ナット９８、１００が上下に噛み合っており、これらボ
ールナット９８および１００は、駆動ネジ軸９４、９６
の回転に連動して軸方向で相反する方向に移動すること
ができるようになっている。

【００３４】一方の駆動ネジ軸９４に取付けられている
ボールナット９８および１００には、スリーブ１０２が
固定され、このスリーブ１０２には、中央に位置する搬
送アーム５０に隣り合う搬送アーム４４、４６を取付け
るための取付け台４４Ａ、４６Ａが支持されている。

【００３５】また、他方の駆動ネジ９６に取り付けられ
ているボールナット９８および１００には、各々同様に
スリーブ１０４が固定され、このスリーブ１０４には、
搬送アーム４４、４６の外側に位置する搬送アーム４
２、４８を取付けるための取付け台４２Ａ、４８Ａが支
持されている。

【００３６】上記した搬送アームの取付け台４２Ａ、４
４Ａ、４６Ａ、４８Ａは、図８および図９に示すよう
に、搬送アームを取付ける側と反対側の基部を直角に折
り曲げられ、その基部が段違い状に重畳されている。そ
して、この基部は、これに対向するスリーブに対してそ
れぞれネジ止めされるようになっている。このため、図
９に示すように、重畳されている基部の一方をスリーブ
に取付けた場合、次に取付ける取付け台の取付け位置、
つまり、ネジ止め位置が露呈しているので、同じ側から
の取付けが可能になる。しかも、基部が折り曲げられて
いることにより、搬送アームの取付けに必要な板厚を設
定しないでよいので、搬送アーム間での間隔を小さくす
ることができる。

【００３７】一方、上記駆動ネジ軸９４、９６の軸方向
一端には駆動部が設けられている。つまり、駆動部は、
各駆動ネジ軸９４、９６に取付けられた従動プーリ９４
Ａ、９６Ａ、ステッピングモータ１０６、ステッピング
モータ１０６の出力軸に取付けられた駆動プーリ１０８
および各プーリに掛けられているタイミングベルト１１
０によって構成されている。上記ステッピングモータ１
０６は、図７に示す制御部８０の出力側に接続されてお
り、制御部に入力されるピッチ変更量に応じて回転量を
制御されるようになっている。

【００３８】そして、上記従動プーリ９４Ａ、９６Ａ
は、回転数比を１：２に設定されている。換言すれば、
プーリの歯数比を２：１に設定されていて、外側に位置
する搬送アーム４２および４８の方が、内側に位置する
搬送アーム４４、４６よりも１回転あたりの移動ストロ
ークが２倍になるように設定されている。従って、図１
０に示すように、ステッピングモータ１０６が回転した
場合には、タイミングベルト１１０を介して従動プーリ
９４Ａおよび９６Ａに動力が伝達され、例えば、図１０
（Ａ）に示すように、各搬送アームが重畳されている状
態から、図１０（Ｂ）に示すように、互いの搬送アーム
同士が等ピッチで離間する状態に移動することができ
る。なお、図１１は、図１０に示した各状態を機構的に
示したものである。また、上記したスリーブ１０２およ
び１０４は、その移動をガイド軸１２０によって案内さ
れるようになっている。そして、このガイド軸１２０
は、ボールスプライン軸で構成され、スリーブ側に設け
られたボールナットと嵌合できるようになっている。こ
のようなボールスプライン結合を用いることで、ガタの
発生を防止して位置決め精度を損ねないようにすること
ができる。

【００３９】ところで、本実施例では、各搬送アームが
重合される位置を設定するための構造が設けられてい
る。つまり、搬送アーム同士を離間させてピッチを拡大
させる場合には、各搬送アームが重なっていることが前
提である。このため、各搬送アームが重なり合う位置に
達した時点で駆動ネジ軸の駆動を停止する必要がある。

【００４０】そこで、本実施例では、例えば移載される
半導体ウェハの最小配列ピッチが４．８ｍｍとされ、載
置される半導体ウェハの大きさに対する搬送アームの強
度および加工誤差を考慮して各搬送アームの取付け台の
配列ピッチを４．６ｍｍとした場合には、その寸法差で
ある０．２ｍｍを限界としてその範囲内で搬送アームの
上下方向での移動を停止することにより、各搬送アーム
の取付け台を略重合させた状態に設定することができ
る。このため、単一の搬送アームの取付け台の移動量を
検出して上記寸法差が検出された時点でステッピングモ
ータ１０６の駆動を停止することが考えられる。

【００４１】しかしながら、上記した寸法差である０．
２ｍｍの移動量を検出することは現実的に困難である。
そこで、本実施例では、相対的に移動する取付け台、特
に、移動量が多い方の取付け台の移動を利用して、上記
寸法差に相当する移動量を検出するようになっている。
つまり、従動プーリ９４Ａ、９６Ａとの間で回転数、換
言すれば、取付け台の移動量が２倍に設定されている駆
動ネジ軸９６に取付けられているスリーブ１０４には、
それぞれ光学センサＳ１と遮光部材１１２がそれぞれ設
けられている。このため、駆動ネジ軸９６の回転数によ
るスリーブ１０４の移動量は、従動プーリ９４Ａ側に対
して２倍となるとともに相対的に移動することを考慮す
ると、｛０．２×２（相対量）×２（移動量）｝（ｍ
ｍ）の移動量となり、この移動ストローク（０．８ｍ
ｍ）を光学センサの検知範囲として採用する。これによ
り、極小なストロークを検知するのに比べ、移動量の検
知が容易になる。なお、図１２中、符号Ｓ２は原点セン
サを、そして、符号Ｓ３はエンドリミットセンサをそれ
ぞれ示している。

【００４２】本実施例は以上のような構成であるから、
ボートとカセットとの間での半導体ウェハの移載を行な
う場合には、図７に示した制御部８０に対して、枚葉ス
イッチ８２あるいは一括スイッチ８４の投入にかかわら
ず、板状体搬送装置４０における搬送アームのうちの中
央に位置する搬送アーム５０の位置を基準として、板状
体搬送装置４０の高さ方向での位置決めが行なわれる。

【００４３】そして、上記枚葉スイッチ８２が投入され
た場合には、中央に位置する搬送アーム５０が進退駆動
される。つまり、第１の駆動源であるステッピングモー
タ６０は、回転駆動のためのパルス信号を入力される
が、これに先立ち、搬送アーム５０側に位置してタイミ
ングベルト６２と一体化されている摺動ブロック５６が
移動開始位置、つまり、進出するための開始位置にある
かどうかが図示しない光学センサ（エンコーダ）（図７
中、符号８６で示す各種センサに相当）によって検知さ
れる。そして、移動開始位置に復帰している場合に限っ
て、上記進出量に相当する数の回転パルスを入力され
る。従って、図４に示したように、ステッピングモータ
６０が回転方向および回転量を設定されることで、タイ
ミングベルト６２に一体化されている支持アーム５８が
連動して搬送アーム５０が進退される。

【００４４】一方、上記一括スイッチ８４が投入された
場合には、第１の駆動源であるステッピングモータ６０
に加え、第２の駆動源であるステッピングモータ７２も
駆動される。この場合も同様に、各ステッピングモータ
が回転する前に、搬送アーム５０およびこの上下に位置
する搬送アーム４２、４４、４６、４８側に位置してタ
イミングベルト７４に一体化されている摺動ブロック６
８が移動開始位置、つまり、進出するための開始位置に
あるかどうかを判別するようになっている。

【００４５】そして、全ての搬送アームが移動開始位置
にあることを検出されると、制御部８０は、第１および
第２の駆動源であるステッピングモータ６０、７２に対
して回転のためのオン・オフ信号を出力する。従って、
上記中央に位置する搬送アーム５０とこれ以外の搬送ア
ーム４２、４４、４６、４８がともにタイミングベルト
６２、７４を介して進退動作が行なわれる。

【００４６】ところで、上記した各搬送アームの進退に
際しては、特に、一括搬送の場合には、制御部８０に入
力されるピッチ変更量に基づき、移載する半導体ウェハ
の配列ピッチに応じて各搬送アームのピッチ変換が行な
われる。つまり、図１０において、中央に位置する搬送
アーム５０が取付けられている取付け台５０Ａの位置を
中心として、上下に分割されている搬送アーム４２、４
４、４６、４８の取付け台４２Ａ、４４Ａ、４６Ａ、４
８Ａは、制御部８０によってオン・オフ設定されたステ
ッピングモータ１０６およびタイミングベルト１１０を
介した駆動ネジ軸９４、９６の回転によって軸方向に沿
って相対的に移動することができる。しかも、駆動ネジ
軸９４と９６との間の回転数比により、内側に位置する
搬送アーム４４、４６同士は勿論、これら内側の搬送ア
ーム４４、４６の外側に位置する搬送アーム４２、４８
との間でのピッチを等しくすることができる。

【００４７】本実施例によれば、高さ方向での丈を小さ
くして、コンパクトな構造とすることができる。つま
り、ピッチ変換機構においては、搬送アームのピッチを
変換するための駆動部、つまり、駆動ネジ軸を配列方向
で内側に位置する搬送アーム側と外側に位置する搬送ア
ーム側とに分けてそれぞれ設けてあるので、１本の駆動
ネジ軸においてリード長さを異ならせた構造に比べ、駆
動ネジ軸の軸方向の長さを短くすることができる。さら
に、搬送アームを進退駆動する駆動部の構造として、摺
動ブロックをボールスプライン５２、５４によって回転
防止を行ないながら摺動可能に支持し、かつ、摺動ブロ
ックの側部にタイミングベルトを駆動する第１の駆動源
および第２の駆動源を配置したので、摺動ブロックの下
面に上記第１、第２の駆動源によって駆動されるタイミ
ングベルトを配置しないようにすることができる。この
ため、摺動ブロックの下面のスペースは小さくすること
ができる。しかも、摺動ブロックの下面に、駆動部が存
在していないことにより、この部分をピッチ変換機構の
駆動源に対する配線部とすることができる。これは、摺
動案内部が上記したボールスプラインの採用によるため
である。つまり、通常摺動案内部の構造としては図１３
に示すように、摺動ブロック１３０の側面に位置して摺
動案内に必要な長さをもつリニアガイド１３２を設ける
ことが一般的である。しかしながら、この場合には、摺
動ブロックの側部に第１、第２の駆動源を設けることが
できないので、駆動源であるステッピングモータは縦置
きとされることになる。このため、タイミングベルトを
掛けられるプーリ１３４が、摺動ブロック１３０の下方
に位置することになるので、摺動ブロックの下方で配線
部を設けることが困難になる。つまり、図３に示すよう
に、摺動ブロック５６、６８の下方空間が配線用のスペ
ースとして空胴化するようにして、図１３に示す摺動ブ
ロック１３０の下方のスペースが混みいった状態となる
のを防止することができる。

【００４８】また、本実施例によれば、第１、第２の駆
動源であるステッピングモータ６０、７２を横置きとす
ることでタイミングベルトを水平に設置することができ
る。このため、支持アームが筐体部から外部に突出する
ために形成されているスリットの位置にタイミングベル
トを配置することでスリットを遮蔽することができる。
従って、筐体内での駆動源からの発塵がスリットから半
導体ウェハの載置部に向け漏洩することが防止できる。

【００４９】この発塵の漏洩を防止するための構造とし
ては、搬送アームの取付け構造がある。つまり、搬送ア
ームは基部を直角に折り曲げられた状態で取付け台にそ
れぞれ取付けられているので、ピッチ変換機構９０が内
蔵されている筐体９２の開口部を塞ぐことができる。こ
のため、ピッチ変換機構９０に用いられているベルトと
ステッピングモータ１０６の噛合部からの発塵は、搬送
アームの基部によって外部への漏洩を阻止されることに
なる。

【００５０】なお、本実施例では、駆動ネジ軸の回転数
比を異ならせてスリーブの移動量を互いの駆動ネジ軸間
で異ならせるようにしたが、この様な構造に限らず、例
えば、回転数を同じにして一方の駆動ネジ軸に体するリ
ード量を異ならせてスリーブの移動量を変化させるよう
にしてもよい。

【００５１】また本発明は、上記した板状体搬送装置
は、熱処理装置だけでなく、半導体製造装置、液晶製造
装置の各工程で活用できるものであり、ＣＶＤ装置やプ
ラズマ処理装置あるいはカセットストック装置、ボート
ストッカ装置等にも適用することが可能である。

【００５２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、一対のア
ームを一組として駆動ネジ軸よりなる複数組の支持部材
によってそれぞれ支持し、基準位置に対して異なる高さ
を以て移動させるようにしたので、単一軸からなる駆動
ネジ軸に異なるリード部を形成した構造に比べ、単一軸
の軸長を短くすることができる。このため、装置自体が
大型化するのを防止することができる。

【００５３】また、本発明によれば、上記したように、
単一軸に複数のリード部を形成することがないので、ピ
ッチ誤差を低減させることが可能になる。しかも、複数
のリード部を形成することがなく、駆動ネジ軸からなる
支持部材同士を同じ加工によって得ることができるの
で、加工精度を厳格なものとすることによる加工コスト
の上昇を抑えることも可能になる。

【００５４】また、本発明によれば、相対移動する移動
量が最も大きくなる位置にあるアームによって各アーム
の移動量を検出することができるので、検出精度を厳格
にしなくてもアームの所定移動量の検出が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による板状体搬送装置が適用される一例
である熱処理装置の一部を示す斜視図である。

【図２】本発明による板状体搬送装置の外観を示す斜視
図である。

【図３】図２中、符号Ａ−Ａで示す方向の矢視断面図で
ある。

【図４】図２に示した板状体搬送装置における一の搬送
アームの駆動部の構造を示す模式的な斜視図である。

【図５】図２に示した板状体搬送装置における他の搬送
アームの駆動部の構造を示す模式的な斜視図である。

【図６】本発明による板状体搬送装置の作用と従来構造
での作用を説明するための模式図であり、（Ａ）は本発
明実施例による場合を、（Ｂ）は従来構造による場合を
それぞれ示している。

【図７】図２に示した板状体搬送装置における制御部の
構成を説明するためのブロック図である。

【図８】図２に示した板状体搬送装置におけるピッチ変
換機構を説明するための断面図である。

【図９】図２に示した板状体搬送装置における搬送アー
ムの取付け構造を説明するための模式図であり、（Ａ）
は取付けた状態を、（Ｂ）は取付け前あるいは取り外し
た状態をそれぞれ示している。

【図１０】図８に示したピッチ変換機構の作用を示す図
であり、（Ａ）はピッチ変換前の状態を、（Ｂ）はピッ
チ変換時の状態をそれぞれ示している。

【図１１】図１０に示した各状態を機構的に示した斜視
図である。

【図１２】図８に示したピッチ変換機構での位置検知構
造を説明するための模式図である。

【図１３】図２に示した板状体搬送装置における可動部
下方の従来構造を示す模式図である。

【図１４】板状体搬送装置の従来構造の一例を示す斜視
図である。

【符号の簡単な説明】

４０ 板状体搬送装置 ４２、４４、４６、４８ 他の搬送アーム ４２Ａ、４４Ａ、４６Ａ、４８Ａ 搬送アーム取付け台 ５０ 一の搬送アーム ５２、５４ ボールスプライン軸 ５６、６８ 摺動ブロック ６０ 第１の駆動源であるステッピングモータ ６２、７４ タイミングベルト ７２ 第２の駆動源であるステッピングモータ ８０ 制御部 ８２ 枚葉スイッチ ８４ 一括スイッチ ９４、９６ 駆動ネジ軸 ９４Ａ、９６Ａ 従動プーリ ９８、１００ ボールナット １０２、１０４ スリーブ １０６ ピッチ変換用の駆動源であるステッピングモー
タ １１０ タイミングベルト

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基準位置から等距離の高さ位置に配置さ
   れる一対のアームが複数組設けられ、これら各組のアー
   ムが軸方向に沿って相反する方向に移動可能に支持され
   ている摺動案内部材を備えた板上体搬送装置において、 上記摺動案内部材は、上記複数組のアーム同士を等ピッ
   チにて摺動案内することを特徴とする板状体搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 上記摺動案内部材は、同一駆動源によって回転駆動され
   る回転軸によって構成され、軸方向に沿って基準位置を
   境にして上下方向で相反する方向にネジのリードを形成
   され、かつ、上記同一駆動源に対する回転比を各組でそ
   れぞれ異ならせてあることを特徴とする板状体搬送装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１において、 上記一対のアームのうち、基準位置から最も離れた位置
   の一対のアームにそれぞれ検知部および被検知部を設け
   たことを特徴とする板状体搬送装置。