JPH07106667A - 炭酸ガスレーザ装置 - Google Patents
炭酸ガスレーザ装置Info
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- JPH07106667A JPH07106667A JP24681393A JP24681393A JPH07106667A JP H07106667 A JPH07106667 A JP H07106667A JP 24681393 A JP24681393 A JP 24681393A JP 24681393 A JP24681393 A JP 24681393A JP H07106667 A JPH07106667 A JP H07106667A
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- Japan
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- carbon dioxide
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- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 28
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 14
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 239000003230 hygroscopic agent Substances 0.000 claims description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 8
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- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract 1
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 炭酸ガスレーザ装置において、吸湿剤による
共振器の反射鏡，出力鏡の汚れをなくし、速やかにレー
ザ媒質循環経路内の水分を除去する。 【構成】 炭酸ガスレーザ装置の気密容器１内に、レー
ザ媒質循環経路への開口８を有する別室７を設け、この
別室７内に、吸湿剤を入れた通気性容器９を設置する。
容器９は別室７内に設置されていて、レーザ媒質の高速
の気流が直接当らないので、吸湿剤が砕けて粉末状にな
ってもこの粉末がレーザ媒質の気流にのって循環し、反
射鏡３，出力鏡４を汚すことがない。別室７はレーザ媒
質循環経路に開口しているので、速やかにレーザ媒質循
環経路内の水分が除去できる。
共振器の反射鏡，出力鏡の汚れをなくし、速やかにレー
ザ媒質循環経路内の水分を除去する。 【構成】 炭酸ガスレーザ装置の気密容器１内に、レー
ザ媒質循環経路への開口８を有する別室７を設け、この
別室７内に、吸湿剤を入れた通気性容器９を設置する。
容器９は別室７内に設置されていて、レーザ媒質の高速
の気流が直接当らないので、吸湿剤が砕けて粉末状にな
ってもこの粉末がレーザ媒質の気流にのって循環し、反
射鏡３，出力鏡４を汚すことがない。別室７はレーザ媒
質循環経路に開口しているので、速やかにレーザ媒質循
環経路内の水分が除去できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、炭酸ガスレーザ装置に
関し、特にその気密容器内の水分の除去に関するもので
ある。
関し、特にその気密容器内の水分の除去に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、気密容器内でＣＯ2 ガスを含むレ
ーザ媒質を循環させながらグロー放電を行い、レーザ光
を発生させる炭酸ガスレーザ装置において、装置内にレ
ーザ媒質を充填した際の水分、或は装置使用中に装置壁
面や装置内構成物から発生する水分により、レーザ出力
の経時減少をひきおこすことが知られている。
ーザ媒質を循環させながらグロー放電を行い、レーザ光
を発生させる炭酸ガスレーザ装置において、装置内にレ
ーザ媒質を充填した際の水分、或は装置使用中に装置壁
面や装置内構成物から発生する水分により、レーザ出力
の経時減少をひきおこすことが知られている。
【０００３】このレーザ出力の経時減少に対処するた
め、特公昭５８−３９３９７号公報記載の発明では、気
密容器内のレーザ媒質循環経路に吸湿剤を配置してお
り、また特開昭６３−２２９８７８号公報記載の発明で
は、気密容器内のレーザ循環経路外に吸湿剤を配置して
いる。
め、特公昭５８−３９３９７号公報記載の発明では、気
密容器内のレーザ媒質循環経路に吸湿剤を配置してお
り、また特開昭６３−２２９８７８号公報記載の発明で
は、気密容器内のレーザ循環経路外に吸湿剤を配置して
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記特
公昭５８−３９３９７号公報記載の発明では、吸湿剤が
気密容器内の秒速数１０ｍのレーザ媒質の気流にさらさ
れる状態になっているので、吸湿剤が砕けて粉状になっ
たものがレーザ媒質の気流にのって気密容器内を循環
し、共振器の反射鏡や出力鏡を汚す虞れがある。そして
反射鏡，出力鏡が汚れると、レーザ出力の低下，ビーム
品質の劣化，反射鏡・出力鏡の寿命の低下といった問題
が起きる。
公昭５８−３９３９７号公報記載の発明では、吸湿剤が
気密容器内の秒速数１０ｍのレーザ媒質の気流にさらさ
れる状態になっているので、吸湿剤が砕けて粉状になっ
たものがレーザ媒質の気流にのって気密容器内を循環
し、共振器の反射鏡や出力鏡を汚す虞れがある。そして
反射鏡，出力鏡が汚れると、レーザ出力の低下，ビーム
品質の劣化，反射鏡・出力鏡の寿命の低下といった問題
が起きる。
【０００５】一方、前記特開昭６３−２２９８７８号公
報記載の発明では、吸湿剤が気密容器内のレーザ媒質循
環経路外に配置されているので、吸湿剤が砕けて粉状に
なったものがレーザ媒質の気流にのって気密容器内を循
環し、反射鏡，出力鏡を汚すおそれは少ないものの、そ
の配置によっては、出力特性に直接影響を与える、レー
ザ媒質循環経路の水分を除去するのに時間がかかるとい
った問題がある。
報記載の発明では、吸湿剤が気密容器内のレーザ媒質循
環経路外に配置されているので、吸湿剤が砕けて粉状に
なったものがレーザ媒質の気流にのって気密容器内を循
環し、反射鏡，出力鏡を汚すおそれは少ないものの、そ
の配置によっては、出力特性に直接影響を与える、レー
ザ媒質循環経路の水分を除去するのに時間がかかるとい
った問題がある。
【０００６】本発明は、このような問題を解消するため
なされたもので、吸湿剤によって共振器の反射鏡，出力
鏡を汚すことがなく、また速やかにレーザ媒質循環経路
内の水分を除去することができる炭酸ガスレーザ装置を
提供することを目的とするものである。
なされたもので、吸湿剤によって共振器の反射鏡，出力
鏡を汚すことがなく、また速やかにレーザ媒質循環経路
内の水分を除去することができる炭酸ガスレーザ装置を
提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、炭酸ガスレーザ装置を次の（１），
（２）の通りに構成する。
め、本発明では、炭酸ガスレーザ装置を次の（１），
（２）の通りに構成する。
【０００８】（１）気密容器内でＣＯ2 ガスを含むレー
ザ媒質を循環させながらグロー放電を行い、レーザ光を
発生させる炭酸ガスレーザ装置であって、前記気密容器
内のレーザ媒質循環経路へ開口する別室を設け、この別
室内に、吸湿剤を入れた通気性容器を設置した炭酸ガス
レーザ装置。
ザ媒質を循環させながらグロー放電を行い、レーザ光を
発生させる炭酸ガスレーザ装置であって、前記気密容器
内のレーザ媒質循環経路へ開口する別室を設け、この別
室内に、吸湿剤を入れた通気性容器を設置した炭酸ガス
レーザ装置。
【０００９】（２）通気性容器は、金属メッシュとパン
チングメタルの２重構造のものである前記（１）記載の
炭酸ガスレーザ装置。
チングメタルの２重構造のものである前記（１）記載の
炭酸ガスレーザ装置。
【００１０】
【作用】前記（１），（２）の構成により、レーザ媒質
の気流は別室によってさえぎられるので、吸湿剤の粉末
が飛び散り反射鏡，出力鏡を汚すことがなく、また別室
は開口によりレーザ媒質循環径路につながっているの
で、レーザ媒質循環径路の水分は速やかに吸湿剤に吸着
される。
の気流は別室によってさえぎられるので、吸湿剤の粉末
が飛び散り反射鏡，出力鏡を汚すことがなく、また別室
は開口によりレーザ媒質循環径路につながっているの
で、レーザ媒質循環径路の水分は速やかに吸湿剤に吸着
される。
【００１１】
【実施例】以下本発明を実施例により詳しく説明する。
【００１２】（実施例１）図１は実施例１である“炭酸
ガスレーザ装置”の構成を示す図であり、図２は図１に
おける矢Ａの方向から見た構成を示す図である。なお図
１，図２では説明の便宜上、機密容器が透明であるかの
ように表現している。
ガスレーザ装置”の構成を示す図であり、図２は図１に
おける矢Ａの方向から見た構成を示す図である。なお図
１，図２では説明の便宜上、機密容器が透明であるかの
ように表現している。
【００１３】図１，図２において、１は炭酸ガスレーザ
装置の気密容器であり、この内部にＣＯ2 ガスを含むレ
ーザ媒質が充填されている。２はグロー放電を行う放電
部、３は反射鏡、４は出力鏡である。５はレーザ媒質を
秒速数１０ｍで機密容器１内に循環させる送風機、６は
このレーザ媒質循環経路１０に配置され、レーザ媒質の
温度を調整する熱交換器である。このようにして、放電
部２，反射鏡３，出力鏡４，レーザ媒質循環経路１０等
により３軸直交形レーザが形成されている。
装置の気密容器であり、この内部にＣＯ2 ガスを含むレ
ーザ媒質が充填されている。２はグロー放電を行う放電
部、３は反射鏡、４は出力鏡である。５はレーザ媒質を
秒速数１０ｍで機密容器１内に循環させる送風機、６は
このレーザ媒質循環経路１０に配置され、レーザ媒質の
温度を調整する熱交換器である。このようにして、放電
部２，反射鏡３，出力鏡４，レーザ媒質循環経路１０等
により３軸直交形レーザが形成されている。
【００１４】７は、レーザ媒質の気流が直接当らない側
に、レーザ媒質循環経路１０への開口８を設けた別室で
あり、この別室内に吸湿剤を入れた通気性容器９が設置
されている。通気性容器９は、粒状の吸湿剤が外へ出な
いように、金属メッシュとパンチングメタルの２重構造
となっている。吸湿剤としては、商品名ゼオラム・モレ
キュラシーブ３Ａで市販されているものが好適であり、
この吸湿剤は化学式（Ｋ2 Ｏ・Ｎａ2 Ｏ）・Ａｌ2 Ｏ3
・２ＳｉＯ2 ・ＸＨ2 Ｏで表される、粒径１〜２mmの球
形のものである。
に、レーザ媒質循環経路１０への開口８を設けた別室で
あり、この別室内に吸湿剤を入れた通気性容器９が設置
されている。通気性容器９は、粒状の吸湿剤が外へ出な
いように、金属メッシュとパンチングメタルの２重構造
となっている。吸湿剤としては、商品名ゼオラム・モレ
キュラシーブ３Ａで市販されているものが好適であり、
この吸湿剤は化学式（Ｋ2 Ｏ・Ｎａ2 Ｏ）・Ａｌ2 Ｏ3
・２ＳｉＯ2 ・ＸＨ2 Ｏで表される、粒径１〜２mmの球
形のものである。
【００１５】本実施例で前述のように構成されているの
で、レーザ媒質の気流が直接通気性容器９に当ることが
ないので、容器９内の吸湿剤が砕けて粉状になっても、
これがレーザ媒質にのってレーザ媒質循環経路１０を循
環し、共振器の反射鏡３，出力鏡４に付着し汚すことが
少ない。
で、レーザ媒質の気流が直接通気性容器９に当ることが
ないので、容器９内の吸湿剤が砕けて粉状になっても、
これがレーザ媒質にのってレーザ媒質循環経路１０を循
環し、共振器の反射鏡３，出力鏡４に付着し汚すことが
少ない。
【００１６】したがって、吸湿剤による反射鏡，出力鏡
の汚れによって、レーザ出力の低下，ビーム品質の劣
化，反射鏡・出力鏡の寿命の低下は少ない。
の汚れによって、レーザ出力の低下，ビーム品質の劣
化，反射鏡・出力鏡の寿命の低下は少ない。
【００１７】（実施例２）図３は本実施例の構成を示す
図である。図において、図１，図２と同一符号部分は同
一構成部分を示す。３１は機密容器、３７は機密容器３
１に外付けされた別室である。別室３７にはレーザ媒質
循環経路への開口３８が設けられている。
図である。図において、図１，図２と同一符号部分は同
一構成部分を示す。３１は機密容器、３７は機密容器３
１に外付けされた別室である。別室３７にはレーザ媒質
循環経路への開口３８が設けられている。
【００１８】本実施例では、別室が気密容器に外付けさ
れる構造となっているので、吸湿剤の交換が容易に行え
る。
れる構造となっているので、吸湿剤の交換が容易に行え
る。
【００１９】（実施例３）図４は本実施例の構成を示す
図である。図において、図１，図２と同一符号部分は同
一構成部分を示す。４１は機密容器、４７は機密容器４
１内に設けた別室である。別室４７には、レーザ媒質の
気流が直接当らない側に、レーザ媒質循環経路への開口
４８が設けられ、更にこの開口４８には、送風機５の停
止時にのみ開く蓋１１が設けられている。
図である。図において、図１，図２と同一符号部分は同
一構成部分を示す。４１は機密容器、４７は機密容器４
１内に設けた別室である。別室４７には、レーザ媒質の
気流が直接当らない側に、レーザ媒質循環経路への開口
４８が設けられ、更にこの開口４８には、送風機５の停
止時にのみ開く蓋１１が設けられている。
【００２０】本実施例では、送風機５の動作中は、別室
３７の開口４８は閉じられているので、吸湿剤の粉末が
レーザ媒質の気流にのって循環し、反射鏡３，出力鏡４
を汚すことがない。
３７の開口４８は閉じられているので、吸湿剤の粉末が
レーザ媒質の気流にのって循環し、反射鏡３，出力鏡４
を汚すことがない。
【００２１】なお開口４８は、送風機５の動作中は閉じ
られているので、レーザ媒質の気流が直接当る側に設け
ることもできる。
られているので、レーザ媒質の気流が直接当る側に設け
ることもできる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
気密容器内のレーザ媒質循環経路へ開口する別室を設
け、この別室内に吸湿剤を入れた通気性容器を設置した
ので、吸湿剤が砕けて粉末状になっても、この粉末がレ
ーザ媒質の気流にのって、共振器の反射鏡，出力鏡を汚
すことが少なく、また速やかにレーザ媒質循環経路の水
分を除去することができる。また吸湿剤による反射鏡，
出力鏡の汚れは少ないので、レーザ出力の低下，ビーム
品質の劣化，反射鏡・出力鏡の寿命の低下は少なくな
る。
気密容器内のレーザ媒質循環経路へ開口する別室を設
け、この別室内に吸湿剤を入れた通気性容器を設置した
ので、吸湿剤が砕けて粉末状になっても、この粉末がレ
ーザ媒質の気流にのって、共振器の反射鏡，出力鏡を汚
すことが少なく、また速やかにレーザ媒質循環経路の水
分を除去することができる。また吸湿剤による反射鏡，
出力鏡の汚れは少ないので、レーザ出力の低下，ビーム
品質の劣化，反射鏡・出力鏡の寿命の低下は少なくな
る。
【図１】 実施例１の構成を示す図
【図２】 図１の矢Ａの方向から見た構成を示す図
【図３】 実施例２の構成を示す図
【図４】 実施例３の構成を示す図
１ 気密容器 ２ 放電部 ７ 別室 ８ 開口 ９ 通気性容器
Claims (2)
- 【請求項１】 気密容器内でＣＯ2 ガスを含むレーザ媒
質を循環させながらグロー放電を行い、レーザ光を発生
させる炭酸ガスレーザ装置であって、前記気密容器内の
レーザ媒質循環経路へ開口する別室を設け、この別室内
に、吸湿剤を入れた通気性容器を設置したことを特徴と
する炭酸ガスレーザ装置。 - 【請求項２】 通気性容器は、金属メッシュとパンチン
グメタルの２重構造のものであることを特徴とする請求
項１記載の炭酸ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24681393A JPH07106667A (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | 炭酸ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24681393A JPH07106667A (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | 炭酸ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07106667A true JPH07106667A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=17154075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24681393A Pending JPH07106667A (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | 炭酸ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07106667A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999066609A3 (de) * | 1998-06-16 | 2000-01-27 | Tuilaser Ag | Lichtquelle, mit einem ein gas einschliessenden hohlraum |
| GB2541462A (en) * | 2015-08-21 | 2017-02-22 | M Squared Lasers Ltd | Purging system for a laser resonator |
-
1993
- 1993-10-01 JP JP24681393A patent/JPH07106667A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999066609A3 (de) * | 1998-06-16 | 2000-01-27 | Tuilaser Ag | Lichtquelle, mit einem ein gas einschliessenden hohlraum |
| GB2541462A (en) * | 2015-08-21 | 2017-02-22 | M Squared Lasers Ltd | Purging system for a laser resonator |
| WO2017032994A1 (en) * | 2015-08-21 | 2017-03-02 | M Squared Lasers Limited | Purging system for a laser system |
| GB2541462B (en) * | 2015-08-21 | 2019-09-11 | M Squared Lasers Ltd | Purging system for a laser resonator |
| US11165215B2 (en) | 2015-08-21 | 2021-11-02 | M Squared Lasers Limited | Purging system for a laser system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040210 |