JPH07107560B2

JPH07107560B2 - 有機溶媒の洗浄方法およびそれを用いた装置

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Publication number: JPH07107560B2
Application number: JP4269486A
Authority: JP
Inventors: 直人植竹; 春男橋本; 家継関根; 哲生深沢
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1986-02-27
Filing date: 1986-02-27
Publication date: 1995-11-15
Anticipated expiration: 2010-11-15
Also published as: JPS62200298A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は有機溶媒の洗浄方法およびそれを用いた洗浄装
置に係り、特に核燃料の抽出に用いる抽出有機溶媒中の
分解生成物および金属イオンの洗浄除去に好適な有機溶
媒の洗浄方法およびそれを用いた装置に関する。

〔従来の技術〕

使用済核燃料の抽出溶媒には、リン酸トリブチル等の有
機リン酸化合物が多く用いられている。使用済核燃料の
再処理に用いる抽出溶媒であるリン酸トリブチル（TB
P）は、脂肪族炭化水素の希釈剤で20〜30vol％に希釈し
て用いられる。従来はこのTBPで使用済核燃料を抽出し
た後硝酸で逆抽出をおこなつていた。

しかし、上記抽出溶媒は、放射線分解または化学分解に
より一部が分解し、使用済核燃料中の金属イオンと錯体
を形成して、核燃料の正常な抽出操作が妨害されてい
た。つまり特に問題になるのは、使用済核燃料の再処理
に用いるリン酸トリブチルの場合であり、この場合には
使用済核燃料中に含まれる核分裂生成物からの放射線に
より放射線分解が生じ、リン酸ジブチル（DBP）が多量
に生じる。一方希釈剤も同様にして分解され、有機酸等
の分解生成物となる。

リン酸ジブチルは特にジルコニウム、ウラン、プルトニ
ウムおよびルテニウムと強固な錯体を形成し、有機溶媒
中にこれら金属を強く保持させることになる。その結果
核燃料の抽出の分配比等が狂うことにより正常な抽出操
作が妨害される。特に、最近核燃料の高燃焼度化が進む
傾向にあり、また従来の軽水炉よりも飛躍的に燃焼度が
高い高速増殖炉の場合には放射線量が大きくなり、これ
まで以上に高濃度の分解生成物が生ずる恐れがある。

１度使用された抽出溶媒は放射性廃棄物低減の要請から
再使用されている。このため、有機溶媒再生工程におい
て、当該有機溶媒を洗浄剤により洗浄し、有機溶媒中の
分解生成物および金属イオンを除去する必要がある。な
お、上記分解生成物と金属イオンは錯体を形成してお
り、特にジルコニウムは強固な錯体を形成しているた
め、その除去が難しいものである。

そこで、これらの分解生成物および金属イオンを除去し
て、有機溶媒を再使用するために、従来より炭酸ナトリ
ウム溶液による液−液抽出を主とする洗浄が実施されて
きた。これは、逆抽出後抽出溶媒と硝酸溶液を分離し、
当該有機溶媒を炭酸ナトリウムで洗浄するものである。
しかし、これらの炭酸ナトリウム溶液からなる洗浄剤
は、固体廃棄物となり、たとえば核燃料１トンを処理す
るごとに約100Kgのナトリウム化合物の廃棄物が発生す
る。この廃棄物は核燃料再処理から発生する廃棄物総量
の大きな部分を含めることになり、その廃棄物の低減を
図る上で大きな問題となつている。そのうえ、アルカリ
金属塩は水溶性が高いなど化学的に不安定で取扱いが難
しいという問題がある。

上記炭酸ナトリウム溶液による液−液抽出を主とする洗
浄剤では、充分な洗浄能力がないために、また少しでも
沈澱の生成を避ける必要性から３〜４段で別々の洗浄剤
（たとえば第１段に0.2N炭酸ナトリウム、第２段に0.1N
硝酸、第３段に0.1N水酸化ナトリウム）を用いて有機溶
媒の洗浄、再生操作がおこなわれていた。このような炭
酸ナトリウムを用いた洗浄方法に代わるものとして、ヒ
ドラジンを主成分とする洗浄剤を使用し、これを分解処
理することにより固体廃棄物の発生量を低減する従来例
が存在する（たとえば米国特許No.4059671）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、上記ヒドラジン系の化合物を用いた従来技術で
は、核燃料の高燃焼度化がすすみ高分解生成物が生ずる
濃度では、充分な洗浄能力を示さない問題があることが
わかつた。

このほか、ヒドラジン系の化合物は、常温でも分解する
ため、保存がしにくいことおよび爆発の恐れがあり取扱
い上注意を必要とする問題がある。この結果、ヒドラジ
ンを主成分とする洗浄剤を用いて、核燃料抽出有機溶媒
を再生する（洗浄する）操作は、特別の注意を必要とす
る問題があつた。

本発明は、上記問題点を解決するために、固体廃棄物の
発生量が少く、しかも洗浄され、再生される有機溶媒中
に高濃度の除去されるべき物質が含まれていても高い洗
浄能力を示す有機溶媒の洗浄方法およびその方法を用い
た装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

固体廃棄物の低減化のため、有機溶媒の洗浄剤は水素、
チツ素、酸素および炭素だけからなる化合物である必要
がある。これらの各元素が酸化分解，熱分解が可能だか
らである。

洗浄剤は分解生成物（DBP等）を除去する必要性からア
ルカリ性を示し（DBPは酸性である）、同時に水溶性で
なければならない。アルカリ性と同時に水溶性を示すこ
とは有機溶媒から不純物を水溶液中に洗浄除去するうえ
で重要である。

水素、チツ素、酸素および炭素だけからなる化合物は有
機溶媒とみなされ、アルカリ性、水溶性を示す化合物は
限定されたものとなる。

チツ素は電気陰性度が酸素より小さく、したがつて生成
するイオンの正電荷をより吸収しやすく、チツ素の周り
の水素が配位した化合物は比較的強い塩基性を示す。水
素たとえば電子放出性のアルキル基で置換することより
塩基性が強くなる。このような化合物はアミンと呼ば
れ、前記アルカリ性等の性質を備えている。しかし、ア
ミンの多くは極性の低い溶媒にも溶けるのでより高い極
性のものを得る必要がある。アミンのアルキル化をすす
め、第４級アンモニウム塩とすると非常に強い極性を示
すことが予想される。この化合物は４個の有機置換基が
チツ素に共有結合しており、この第４級アンモニウム塩
ではアンモニウムの正電荷とは、陰イオンの負電荷でつ
り合つている。この陰イオンが水酸化イオンであると
き、水溶液は強いアルカリ性を示す。たとえば水酸化テ
トラアルキルアンモニウムの塩基性は、水酸化ナトリウ
ムや水酸化カリウムのそれに相当するかまたはそれ以上
である。そのほか係るアンモニウム塩は安定であるため
室温でヒドラジンのように分解の恐れがなくして貯蔵す
ることができる。

本発明は、下記の構造式（Ｒはアルキル基を示す）で示
す水酸化テトラアルキルアンモニウム塩等の水酸化第４
級チツ素化合物の上記した性質に基づきなされたもので
ある。

本願第１の発明は、水酸化第４級チツ素化合物を含む溶
液からなる洗浄剤を有機溶媒と液−液接触させ、当該液
−液接触後前記洗浄剤と前記有機溶媒とを分離すること
を特徴とする有機溶媒の洗浄方法である。

一方、本願第２の発明は、有機溶媒を貯留する有機溶媒
貯留容器と、水酸化第４級チツ素化合物を含む溶液から
なる洗浄剤を貯留する洗浄剤貯留容器と、前記有機溶媒
貯留タンク内の有機溶媒と前記洗浄剤貯留容器内の洗浄
剤とを混合、撹拌する撹拌装置と、当該撹拌溶液を洗浄
剤と有機溶媒とに分離する分離装置とを備えてなること
を特徴とする有機溶媒の洗浄装置である。

上記本発明に用いられる水酸化第４級チツ素化合物に
は、水酸化テトラアルキルアミンの他、他の複素環化合
物、例えばピロール、オキサゾール、チアゾール、イミ
ダゾール、ピリジン、ピリミジンキノリン、キノキサン
リン、プリン、プテリジン、カルバゾール、アクリジ
ン、フエナジンの水酸化第４級（チツ素）化合物も含
む。

〔作用〕

上記本発明の構成において、水酸化第４級チツ素化合物
が強塩基性であることは、従来のヒドラジンを主成分と
する洗浄剤と比較して有機溶媒中の分解生成物または分
解生成物と金属イオンとの錯体の除去に非常に有効なも
のである。即ち、水酸化第４級チッソ化合物例えば水酸
化テトラアルキルアンモニウム（R4NOH）は強アルカリ
性を示し、ほとんど解離して水酸化イオンを放出する。
この水酸化イオンはほとんどが酸の形態をとる有機溶媒
の分解生成物（HD）と反応して次式に示すようにイオン
化解離をもたらす。

HD＋OH^-→H₂O＋D^- D^-は水溶性のため有機溶媒から洗浄剤中に移行し除去さ
れる。また、有機溶媒中では水酸化テトラアルキルアン
モニウムは分解生成物との間に錯体を形成している金属
イオンに対してもに水溶性の錯体を形成し洗浄剤中に移
行して除去される。したがつて、炭酸ナトリウムの洗浄
剤のように水酸化物沈澱の形成に伴い液−液抽出が第３
層の形成などにより妨害される恐れがない。金属イオン
はアルカリ性雰囲気中では水酸化物沈澱となりやすいた
め、金属イオンが水酸化テトラアルキルアンモニウムに
より錯体となるようによつて係る水酸化物沈澱の形成を
防止することができる。

一般に水酸ナトリウム等のアルカリは、このような金属
イオンとの間で錯体を形成する性質をもたないため、陰
イオンとして、金属イオンと錯体を形成するものを添加
してやる必要がある。このような陰イオンは、酸として
の性質をもち、洗浄剤のアルカリ性を低下させることに
なる。この点、強アルカリ性でありながら、同時にアミ
ンとしての性質をもつチツ素の周囲に置換基が４個結合
した化合物では、洗浄剤の強アルカリ性と金属イオンに
対する錯体能力の両方の性質を併せもつている。金属イ
オンとの錯体形成は、金属の陰イオン錯体との間で生じ
ると考えられるので、この性質が洗浄剤としてのアルカ
リ性を損うことはないものである。

一例としてジルコニウムが核燃料再処理における逆抽出
液である硝酸溶液中に存在している場合に、この硝酸溶
液を水酸化テトラアルキルアンモニウムイオンが含まれ
る洗浄剤で洗浄した場合の推定される反応について説明
する。

ZrO₂＋4NO₃＋2RN₄→〔ZrO（NO₃）_４〕^2-2R₄N……（１）（R₄Nテトラアルキルアンモニウムイオン）上記反応は、プルトニウム、ウラン、ルテニウム等の問
題となる他の金属イオンに対しても生ずると考えられ
る。このとき、水酸化テトラアルキルアンモニウムは水
溶性が高く、この錯体も同様であるため強アルカリ性下
でもこれらの金属イオンは沈澱を生じることなく、安定
な錯体として水相（洗浄剤相）へ移行する。なお、DBP
とZrO₂が錯体を形成していた場合、水酸化テトラアルキ
ルアンモニウムで洗浄すると、DBPとZrO₂の錯体が破壊
され、Zrと水酸化テトラアルキルアンモニウムとの錯体
が生ずるものである。

このような洗浄剤として高い性能をもつ水酸化第４級チ
ツ素化合物には種々のものを考えることができる。その
うち水酸化テトラアルキルアンモニウムがあり、分解し
たときの最終分解ガスの発生量が小さいことおよび水溶
性が高く溶媒への残留が少いことから、アルキル基の小
さい水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエ
チルアンモニウムが望ましい。このほかアルキル基の代
りにアルケン、アルキル等の他の置換基をもつたもので
あつてもよい。このほか第４級チツ素化合物を形成する
ことができる複素環であつてもよい。

例として水酸化テトラメチルアンモニウムを使つた場合
のジルコニウム除去率を他と洗浄剤と比較して第１図に
示す。

第１図によれば、リン酸トリブチルの０〜0.05モル％が
リン酸ジブチルになつただけの場合では、どの洗浄剤も
高い除去率を示しているが、0.1〜数モル％がリン酸ジ
ブチルになつた場合には、水酸化テトラアルキルアンモ
ニウムは、他の洗浄剤と比較して高い洗浄能力を示して
いる。このことは、たとえば水酸化テトラメチルアンモ
ニウムを核燃料再処理溶媒に用いた場合、核燃料の高燃
焼度化に充分に対応できる洗浄能力である。高速増殖炉
用燃料を再処理する場合には、多いものでは数％の分解
生成物の発生が予想され、これまでの洗浄剤では再生す
ることができなかつたが、水酸化第４級チツ素化合物か
らなる洗浄剤を用いて洗浄することにより、再処理有機
溶媒を再生することが充分可能となる。

水酸化第４級チツ素化合物からなる洗浄剤は、有機溶媒
中の分解生成物、金属イオン等の他の洗浄されるべき物
質に対して高い洗浄能力を有している。したがつて、１
段の洗浄または水洗を含めても、２段の洗浄だけで有機
溶媒を洗浄し、再生する操作を完了させることができ
る。したがつて洗浄装置の構成を簡単にすることができ
る。

〔実施例〕

次に本発明の実施例を添付図面に沿つて詳説する。

第２図は、本願第２の発明に係る有機溶媒洗浄装置の一
実施例の構成を示した構成図である。

第２図において、バルブ２を備えた配管は、劣化溶媒
（非洗浄有機溶媒）タンク１に接続されている。この劣
化溶媒タンク１は、バルブ５を備えた配管により、ミキ
サーセトラ７に接続されている。

一方、洗浄剤タンク３はバルブ６を備えた配管によりミ
キサーセトラ７に接続されている。

ミキサーセトラ７内にはミキサー部８、ミキサー部隔
壁、セトラ部11、セトラ部隔壁14、有機相貯留部15から
なつている。ミキサー部８内にはミキサー９が設けられ
ている。

有機相貯留部15は、配管を介して再生溶媒タンク16に接
続されている。再生溶媒タンク16には、バルブ17を備え
た配管が接続されている。

ミキサーセトラ７内の水相13は、配管により廃洗浄剤槽
18に配管を介して流れ込まれるようになつている。

次に本実施例の動作について説明する。

劣化溶媒は核燃料抽出分離工程から逆抽出操作終了後、
バルブ２を介して劣化溶媒タンク１に入る。

洗浄剤タンク３には、0.4N−水酸化テトラメチルアンモ
ニウム溶液が貯蔵されている。劣化溶媒はバルブ５を介
してミキサーセトラ７に送られ、洗浄剤はバルブ６を介
して同様にミキサーセトラ７に送られる。

ミキサーセトラ７のミキサー部８では、ミキサー９によ
り劣化溶媒と洗浄剤が撹拌され懸濁状態となる。懸濁液
はミキシング部隔壁10をオーバーフローし、セトラ部11
に入る。ここでは、懸濁液は有機相12と水相13に分けら
れる。有機相はセトラ部隔壁14をオーバーフローして有
機相貯留部15に入り、その後再生溶媒タンク16に送られ
る。この再生溶媒は、水酸化テトラメチルアンモニウム
により溶媒中の分解生成物および金属イオンが除去され
ているため、劣化前の有機溶媒と同等の性能を有してい
る。その結果バルブ17を介して抽出分離工程に送られ再
使用される。有機溶媒の使用量の節約を図るためであ
る。

一方、水相13は廃洗浄剤槽18に送られ、廃洗浄剤が廃棄
処理部において処理される。次に上記第２図で示した実
施例を使用して、DBPを有機溶媒に添加したときの、洗
浄剤による再生率をジルコニウムの分配比を基に求め
た。その結果を第３図に示す。なお、第３図には水酸化
テトラメチルンアンモニウム以外の他の洗浄剤を用いた
比較例について図示してある。

第３図から判るように、水酸化テトラメチルアンモニウ
ムからなる洗浄剤は、DBP濃度が１モル％以上の高濃度
であつても、100％近い再生率を示している。他の洗浄
剤ではDBP濃度が１モル％以上超えるとほとんど再生率
がなくなることが判る。この結果、水酸化テトラメチル
アンモニウムは他の洗浄剤と異なり、洗浄能力が強く１
段だけの洗浄でも充分に、有機溶媒を洗浄できる。この
洗浄の結果、有機溶媒を純粋な状態で再使用することが
できる。

次に有機溶媒洗浄装置の第２の実施例について説明す
る。本実施例では廃洗浄剤の処理装置が設けられてい
る。第４図はその構成図を示したものである。

劣化溶媒タンク１は第１洗浄器22に配管を介して接続さ
れている。同様に洗浄剤タンク３も接続されている。

純水タンク24は第２洗浄器25に配管を介して接続されて
いる。第１洗浄器22と第２洗浄器25は配管によつて接続
されている。第２洗浄器25には、抽出工程へ有機溶媒を
送るための配管51が接続されている。第１洗浄器22およ
び第２洗浄器25は、それぞれ配管によつて洗浄剤タンク
23に接続されている。洗浄剤タンク23は、配管によつて
蒸留塔26に接続されている。蒸留塔26は凝縮器27に接続
され、この凝縮器27は焼却器28に接続されている。蒸留
塔26はバルブ29を有する配管が接続されている。凝縮器
27には純水系へ純水を送る配管52が接続されている。焼
却器28には、排ガス系へ排ガスを送るための配管53が接
続されている。

次に本実施例の動作について説明する。

劣化溶媒は、劣化溶媒タンク１に貯蔵されている。洗浄
剤タンク３には、水酸化テトラメチルアンモニウムの0.
4規定溶液が貯蔵されている。この洗浄液は劣化溶媒と
ともに第１洗浄器22に送られ、混合後水相と有機相に分
離される。この際水相へ有機溶媒中の分解生成物と金属
イオンが移行する。水相は廃洗浄剤タンク23に一時貯蔵
される。

純水タンク24には純水が貯蔵されており、第１洗浄器22
から出てきた有機相とともに第２洗浄器25に送られ、混
合後水相と有機相に分離される。この操作により有機溶
媒中に残留していた水酸化テトラメチルアンモニウムが
除去される。第２洗浄器25を出た有機相は再生溶媒とし
て核燃料の抽出工程で再使用される。

第２洗浄器25から出た水相は廃洗浄剤タンク23に送られ
る。廃洗浄剤タンク23中の廃洗浄剤は、定期的に蒸留器
26に送られ、蒸留される。

蒸留器26における蒸留操作により水酸化テトラメチルア
ンモニウムは水、第３アミンおよびアルカンに分解され
る。この結果蒸留器26において、これら低沸点成分と固
体廃棄物（金属イオン等）に分離される。

蒸留器26から出た低沸点成分は、凝縮器27に送られ、水
が凝縮除去される。ここで得られた純水は純水タンク24
に、たとえば還流され、再使用される。

凝縮器27における水以外の低沸点の第３アミンおよびア
ルケンは、焼却器28に送られ酸化処理され、CO₂とNOXと
水になり、排ガス系に送られる。

蒸留器26に残留した高沸点成分は定期的にバルブ29を介
して取出して廃棄物処理系で処理される。本実施例によ
ると、固体廃棄物発生量が少くかつ高効率の有機溶媒の
洗浄，再生が可能となる。

次に本願第１の発明にかかる有機溶媒の洗浄方法を、従
来の有機溶媒の再生工程（核燃料の再処理の場合）の装
置構成で、そのまま用いることのできる場合の実施例を
説明する。第５図は、その実施例の有機溶媒処理ルーチ
ンを示す構成図である。

洗浄剤タンク３は、ミキサー31に配管を介して接続され
ている。希硝酸タンク24は、ミキサー33に接続されてい
る。希水酸化ナトリウムタンク36は、ミキサー35に接続
されている。

ミキサー31はミキサー33に接続され、ミキサー33は配管
を介してミキサー35に接続されている。

劣化溶媒は、ミキサー31内に供給されるようになつてい
る。

ミキサー33には配管40が接続され、この配管40は酸回収
系へ導かれている。ミキサー35には配管41が接続され、
この配管41は再生溶媒系へ接続されている。ミキサー31
から出た配管42はミキサー35から出た配管43と接続し、
配管42は廃アルカリタンク32に接続されている。廃アル
カリタンク32から出た配管44は蒸留器37に接続されてい
る。蒸留器37には、酸回収系へ接続する配管45および廃
棄物処理系へ接続される配管46が接続されている。その
ほか蒸留器37には、硝酸廃液を供給するための配管47が
接続されている。

次に本実施例の動作について説明する。洗浄剤タンク３
中に水酸化テトラメチルアンモニウム溶液（0.2N）を貯
蔵しておく。この貯蔵は室温でよく、ヒドラジン系の洗
浄剤のように分解を防ぐための冷却設備の必要はない。
この洗浄剤をミキサーセトラ31内で劣化溶媒と接触させ
た後、水相と有機相に分離する。水相は廃アルカリ洗浄
剤タンク32に貯蔵する。有機相はこの後、従来の溶媒再
生工程と同様にミキサーセトラ33で希硝酸タンク34中の
0.1N−HNO₃と接触させた後、ミキサーセトラ35中で希水
酸化ナトリウムタンク36中の0.1N−NaOHと接触させる。
この操作終了後有機相は再生溶媒として使用される。

ミキサーセトラ33から出た水相は、希硝酸廃液として酸
回収系へ送られる。ミキサーセトラ35から出た水素は、
廃アルカリ洗浄剤タンク32中に貯蔵される。廃アルカリ
洗浄剤タンク32中の廃液は、他の系からの硝酸廃液とと
もに蒸発缶37に送られ、蒸発濃縮される。このとき加熱
と硝酸の影響で水酸化テトラメチルアンモニウムは分解
してガス化される。残りは廃棄物処理系で処理される
が、最終的に固形分となるのはNaOH洗浄によるものがほ
とんどで、廃棄物発生量は1/3程度になる。

上記本実施例によると従来のプラントで用いられている
装置構成を変更することなく、溶媒再生工程で発生する
放射性廃棄物発生量を大幅に低減することができる。

なお、蒸留操作時に洗浄剤の分解を防ぐことができれ
ば、沸点の相違により分離凝縮して、洗浄剤タンク３に
還流することによりこれを再使用することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、水酸化第４級チッ
ソ化合物は強アルカリ性を示すから酸の形態をとる有機
溶媒の分解生成物と反応して水溶性の化合物を生成し、
この水溶性の化合物は有機溶媒から洗浄剤中に移行して
高い効率で除去され、また分解生成物との間に錯体を形
成している金属イオンに対してもに水溶性の錯体を形成
し、この水溶性の錯体は有機溶媒から洗浄剤中に移行し
て高い効率で除去される。また固体廃棄物発生量が少い
ため、核燃料再処理の分野などにおいては、放射線廃棄
物の発生量を少くすることができる。

また、本発明によれば、洗浄剤である水酸化第４級チツ
素化合物は室温でも安定なため、有機溶媒の洗浄を高効
率におこなうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はDBP濃度とジルコニウム除去率との関係を示す
グラフ、第２図は本発明に係る有機溶媒の洗浄装置の一
実施例を示す工程図、第３図は第２図の実施例における
有機溶媒の洗浄率（再生率）を他の洗浄剤と比較したグ
ラフ、第４図は本発明に係る有機溶媒の洗浄装置の他の
実施例を示す工程図、第５図は本発明に係る有機溶媒の
洗浄装置を従来の装置にそのまま適用した１実施例を示
す工程図である。１……劣化溶媒タンク、３……洗浄剤タンク、７……ミ
キサーセトラ、16……再生溶媒タンク、26……蒸留塔、
28……焼却器。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者深沢哲生茨城県日立市森山町1168番地株式会社日立製作所エネルギー研究所内 (56)参考文献特開昭51−67000（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−170897（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−171704（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−45301（ＪＰ，Ａ) 米国特許4059671（ＵＳ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】水酸化第４級チツ素化合物を含む溶液から
なる洗浄剤を有機溶媒と液−液接触させ、当該液−液接
触後前記洗浄剤と前記有機溶媒とを分離することを特徴
とする有機溶媒の洗浄方法。
【請求項２】特許請求の範囲第１項において、前記第４
級チツ素化合物は水酸化テトラアルキルアンモニウムで
あることを特徴とする有機溶媒の洗浄方法。
【請求項３】特許請求の範囲第２項において、前記水酸
化テトラアルキルアンモニウムが水酸化テトラメチルア
ンモニウムまたは水酸化テトラエチルアンモニウムの少
なくともいずれか１種であることを特徴とする有機溶媒
の洗浄方法。
【請求項４】特許請求の範囲第１項ないし第３項のいず
れか１項において、前記洗浄剤と前記有機溶媒との分離
後、当該洗浄剤を真空蒸留し、該洗浄剤中の廃棄物を該
洗浄剤中から分離し、該洗浄剤を回収してこれを再使用
することを特徴とする有機溶媒の洗浄方法。
【請求項５】特許請求の範囲第１項ないし第４項のいず
れか１項において、前記有機溶媒と分離された洗浄剤を
熱分解または酸化分解することを特徴とする有機溶媒の
洗浄方法。
【請求項６】有機溶媒を貯留する有機溶媒貯留容器と、
水酸化第４級チツ素化合物を含む溶液からなる洗浄剤を
貯留する洗浄剤貯留容器と、前記有機溶媒貯留タンク内
の有機溶媒と前記洗浄剤貯留容器内の洗浄剤とを混合、
撹拌する撹拌装置と、当該撹拌溶液を洗浄剤と有機溶媒
とに分離する分離装置とを備えてなることを特徴とする
有機溶媒の洗浄装置。
【請求項７】特許請求の範囲第６項において、前記第４
級チツ素化合物は水酸化テトラアルキルアンモニウムで
あることを特徴とする有機溶媒の洗浄装置。
【請求項８】特許請求の範囲第７項において、前記水酸
化テトラアルキルアンモニウムが、水酸化テトラメチル
アンモニウムまたは水酸化テトラエチルアンモニウムの
少なくとも１種であることを特徴とする有機溶媒の洗浄
装置。
【請求項９】特許請求の範囲第６項ないし第８項のいず
れか１項において、前記分離された洗浄剤を真空蒸留し
て、該洗浄剤中から廃棄物を取除いた後、当該洗浄剤を
前記洗浄剤貯留容器まで還流する還流装置が設けられて
いることを特徴とする有機溶媒の洗浄装置。
【請求項１０】特許請求の範囲第６項ないし第９項のい
ずれか１項において、前記分離装置から分離された洗浄
剤を熱分解または酸化分解する分解装置が設けられてい
ることを特徴とする有機溶媒の洗浄装置。