JPH07111785A - ワイヤレスアクチュエータ - Google Patents
ワイヤレスアクチュエータInfo
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- JPH07111785A JPH07111785A JP5255576A JP25557693A JPH07111785A JP H07111785 A JPH07111785 A JP H07111785A JP 5255576 A JP5255576 A JP 5255576A JP 25557693 A JP25557693 A JP 25557693A JP H07111785 A JPH07111785 A JP H07111785A
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- light
- straining
- closed container
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明のワイヤレスアクチュエータは、外部
からの電源供給を必要としないようにしている。 【構成】 密閉容器4の一面は圧電素子(PZT)5に
より構成されている。圧電素子5の内外両面には電極
6,7が形成されている。また、密閉容器4の内部に
は、熱膨脹・収縮性物質として例えばフロン8と、光・
熱変換素子としてのグラスファイバ9とが封入され、集
光レンズ11と密閉容器4内のグラスファイバ9とは光
導入手段としての光ファイバ12により接続されてい
る。これらにより圧電素子歪手段14が構成されてい
る。そして、圧電素子5の出力は降圧用の変圧器16を
介してアクチュエータ本体であるカメラ2の電気回路が
接続されている。
からの電源供給を必要としないようにしている。 【構成】 密閉容器4の一面は圧電素子(PZT)5に
より構成されている。圧電素子5の内外両面には電極
6,7が形成されている。また、密閉容器4の内部に
は、熱膨脹・収縮性物質として例えばフロン8と、光・
熱変換素子としてのグラスファイバ9とが封入され、集
光レンズ11と密閉容器4内のグラスファイバ9とは光
導入手段としての光ファイバ12により接続されてい
る。これらにより圧電素子歪手段14が構成されてい
る。そして、圧電素子5の出力は降圧用の変圧器16を
介してアクチュエータ本体であるカメラ2の電気回路が
接続されている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アクチュエータ本体を
電源線無しで作動させるワイヤレスアクチュエータに関
する。
電源線無しで作動させるワイヤレスアクチュエータに関
する。
【0002】
【従来の技術】従来より、人が作業しにくい部分、例え
ば配管の内部とか、機器内部の複雑な微小箇所におい
て、検査あるいは掃除等を行なうことがある。
ば配管の内部とか、機器内部の複雑な微小箇所におい
て、検査あるいは掃除等を行なうことがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した配
管の内部とか、機器内部の複雑な微小箇所においては、
電源が取れないような状況もあり得る。この場合、電源
供給ができなくてこれら検査動作あるいは掃除動作がで
きないことがあった。
管の内部とか、機器内部の複雑な微小箇所においては、
電源が取れないような状況もあり得る。この場合、電源
供給ができなくてこれら検査動作あるいは掃除動作がで
きないことがあった。
【0004】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、外部からの電源供給を必要としない
ワイヤレスアクチュエータを提供するにある。
あり、その目的は、外部からの電源供給を必要としない
ワイヤレスアクチュエータを提供するにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明のワイヤレスアク
チュエータは、歪により電圧が発生する両面に電極が施
された圧電素子と、この圧電素子を歪ませる圧電素子歪
手段と、この圧電素子歪手段にて圧電素子を歪ませるこ
とにより発生する電流あるいは電圧に基づいて動作する
アクチュエータ本体とを含んで構成される(請求項1の
発明)。
チュエータは、歪により電圧が発生する両面に電極が施
された圧電素子と、この圧電素子を歪ませる圧電素子歪
手段と、この圧電素子歪手段にて圧電素子を歪ませるこ
とにより発生する電流あるいは電圧に基づいて動作する
アクチュエータ本体とを含んで構成される(請求項1の
発明)。
【0006】この場合、圧電素子歪手段は、圧電素子の
電極の両側に圧力差を生じさせる構成としても良い(請
求項2の発明)。
電極の両側に圧力差を生じさせる構成としても良い(請
求項2の発明)。
【0007】さらに、圧電素子歪手段は、少なくとも一
面が圧電素子で構成され内部に熱膨脹・収縮性物質およ
び光・熱変換素子が封入された密閉容器と、この密閉容
器外部から内部へ光を導入させる光導入手段とを備え、
前記密閉容器内への光の導入を制御することにより、圧
電素子の電極の両側に圧力差を生じさせる構成としても
良い(請求項3の発明)。
面が圧電素子で構成され内部に熱膨脹・収縮性物質およ
び光・熱変換素子が封入された密閉容器と、この密閉容
器外部から内部へ光を導入させる光導入手段とを備え、
前記密閉容器内への光の導入を制御することにより、圧
電素子の電極の両側に圧力差を生じさせる構成としても
良い(請求項3の発明)。
【0008】また、圧電素子歪手段は、内部を圧電素子
により二分され各々の内部に熱膨張・収縮性物質および
光・熱変換素子が封入された密閉容器と、この密閉容器
外部から夫々の内部へ光を導入させる光導入手段とを備
え、夫々の内部への光の導入を交互に制御することによ
り、前記圧電素子の電極の両側に圧力差を生じさせる構
成としても良い(請求項4の発明)。
により二分され各々の内部に熱膨張・収縮性物質および
光・熱変換素子が封入された密閉容器と、この密閉容器
外部から夫々の内部へ光を導入させる光導入手段とを備
え、夫々の内部への光の導入を交互に制御することによ
り、前記圧電素子の電極の両側に圧力差を生じさせる構
成としても良い(請求項4の発明)。
【0009】さらにまた、圧電素子歪手段は、圧電素子
の一方の面側と他方の面側とにそれぞれ通風路を形成す
る導風管と、圧電素子の一方の面の風上側部分に設けら
れた風路抵抗部材とを備え、前記導風管内に風を通すこ
とにより圧電素子の電極の両側に圧力差を生じさせる構
成としても良い(請求項5の発明)。
の一方の面側と他方の面側とにそれぞれ通風路を形成す
る導風管と、圧電素子の一方の面の風上側部分に設けら
れた風路抵抗部材とを備え、前記導風管内に風を通すこ
とにより圧電素子の電極の両側に圧力差を生じさせる構
成としても良い(請求項5の発明)。
【0010】
【作用】請求項1の発明においては、圧電素子歪手段で
圧電素子を歪ませることで、この圧電素子に電流あるい
は電圧が発生する。この電流あるいは電圧に基づいてア
クチュエータ本体が動作するから、外部電源を要さずに
アクチュエータ本体を動作させることが可能となる。
圧電素子を歪ませることで、この圧電素子に電流あるい
は電圧が発生する。この電流あるいは電圧に基づいてア
クチュエータ本体が動作するから、外部電源を要さずに
アクチュエータ本体を動作させることが可能となる。
【0011】請求項2の発明においては、圧電素子の電
極の両側に圧力差を生じさせるから、圧電素子を効果的
に歪ませることができて、電流あるいは電圧を有効に発
生させることができる。
極の両側に圧力差を生じさせるから、圧電素子を効果的
に歪ませることができて、電流あるいは電圧を有効に発
生させることができる。
【0012】請求項3の発明においては、密閉容器内へ
の光の導入を制御することで圧電素子の電極の両側に圧
力差を生じさせるから、光の制御によりアクチュエータ
本体の電源を得ることが可能となる。
の光の導入を制御することで圧電素子の電極の両側に圧
力差を生じさせるから、光の制御によりアクチュエータ
本体の電源を得ることが可能となる。
【0013】請求項4の発明においては、圧電素子によ
り二分された密閉容器の内部への光の導入を交互に制御
することにより、前記圧電素子の電極の両側に圧力差を
生じさせるから、交流電流を取り出すことが可能とな
る。
り二分された密閉容器の内部への光の導入を交互に制御
することにより、前記圧電素子の電極の両側に圧力差を
生じさせるから、交流電流を取り出すことが可能とな
る。
【0014】請求項5の発明においては、導風管内へ風
を通すことで圧電素子の電極の両側に圧力差を生じさせ
るから、送風よりアクチュエータ本体の電源を得ること
が可能となる。
を通すことで圧電素子の電極の両側に圧力差を生じさせ
るから、送風よりアクチュエータ本体の電源を得ること
が可能となる。
【0015】
【実施例】以下、本発明の第1の実施例につき図1を参
照しながら説明する。この図1においては、微細な配管
1内の検査をするためのアクチュエータを拡大して示し
ている。アクチュエータ本体であるカメラ2は、カメラ
本体2aと回路基板2bと駆動部2cとを有して構成さ
れている。このカメラ2には、制御部3から電源が与え
られるようになっている。
照しながら説明する。この図1においては、微細な配管
1内の検査をするためのアクチュエータを拡大して示し
ている。アクチュエータ本体であるカメラ2は、カメラ
本体2aと回路基板2bと駆動部2cとを有して構成さ
れている。このカメラ2には、制御部3から電源が与え
られるようになっている。
【0016】この制御部3は、次のように構成されてい
る。すなわち、ケース3aの内部には、密閉容器4が設
けられており、この密閉容器4の一面は圧電素子(PZ
T)5により構成されている。この密閉容器4において
圧電素子5以外の壁部は該圧電素子5よりも剛性の高い
材料例えばチタンにより構成されている。前記圧電素子
5の内外両面には電極6,7が形成されている。また、
密閉容器4の内部には、熱膨脹・収縮性物質として例え
ばフロン8と、光・熱変換素子としての吸熱性の高いグ
ラスファイバ9とが封入されている。
る。すなわち、ケース3aの内部には、密閉容器4が設
けられており、この密閉容器4の一面は圧電素子(PZ
T)5により構成されている。この密閉容器4において
圧電素子5以外の壁部は該圧電素子5よりも剛性の高い
材料例えばチタンにより構成されている。前記圧電素子
5の内外両面には電極6,7が形成されている。また、
密閉容器4の内部には、熱膨脹・収縮性物質として例え
ばフロン8と、光・熱変換素子としての吸熱性の高いグ
ラスファイバ9とが封入されている。
【0017】前記ケース3aの壁部には透光部材10a
が組み込まれた窓部10が形成されており、この窓部1
0の内側には集光レンズ11が取り付けられいる。さら
にこの集光レンズ11と前記密閉容器4内のグラスファ
イバ9とは光導入手段としての光ファイバ12により接
続されている。さらに、上記窓部10への光照射量を制
御する光量制御手段13が設けられている。しかして、
密閉容器4、フロン8、グラスファイバ9、集光レンズ
11、光ファイバ12および光量制御手段13により圧
電素子歪手段14が構成されている。
が組み込まれた窓部10が形成されており、この窓部1
0の内側には集光レンズ11が取り付けられいる。さら
にこの集光レンズ11と前記密閉容器4内のグラスファ
イバ9とは光導入手段としての光ファイバ12により接
続されている。さらに、上記窓部10への光照射量を制
御する光量制御手段13が設けられている。しかして、
密閉容器4、フロン8、グラスファイバ9、集光レンズ
11、光ファイバ12および光量制御手段13により圧
電素子歪手段14が構成されている。
【0018】さらに、前記圧電素子5の各電極6,7に
接続された接続線15,15には降圧用の変圧器16の
一次側が接続され、二次側には接続線17,17を介し
てカメラ2の電気回路が接続されている。
接続された接続線15,15には降圧用の変圧器16の
一次側が接続され、二次側には接続線17,17を介し
てカメラ2の電気回路が接続されている。
【0019】さて、上記構成の作用について述べる。
今、配管1の内部に、制御部3とカメラ2とを適宜方法
により挿入し、そして、配管1の内部に光量制御手段1
3により光を強弱変化させながらもしくは断続的に照射
する。この光は集光レンズ11により集められ、光ファ
イバ12を通してグラスファイバ9に供給される。この
グラスファイバ9に光が導入されることによって熱が発
生する。この熱により低沸点流体であるフロン8が瞬時
に沸騰し気化する。
今、配管1の内部に、制御部3とカメラ2とを適宜方法
により挿入し、そして、配管1の内部に光量制御手段1
3により光を強弱変化させながらもしくは断続的に照射
する。この光は集光レンズ11により集められ、光ファ
イバ12を通してグラスファイバ9に供給される。この
グラスファイバ9に光が導入されることによって熱が発
生する。この熱により低沸点流体であるフロン8が瞬時
に沸騰し気化する。
【0020】これにより密閉容器4内の圧力が高まり、
この結果、圧電素子5が外側へ膨らむように歪む。この
ため、圧電効果により圧電素子5の両電極6,7間に電
荷が生じ、変圧器16に電流が流れる。そして、変圧器
16により低圧化される。これによってカメラ2に電流
が供給される。この場合、光量は光量制御手段13によ
り増減されているので、光量の減少により、発生する熱
量が減少し、密閉容器4内は温度低下し、フロン8は液
化状態となり、圧力低下し、圧電素子5が元の状態に復
帰する。そして、光量が増加することにより、上述した
ようにして圧電素子5が再び歪み、電流が発生する。こ
れの繰り返しにより、変圧器16の二次側には交流電流
が取り出され、この交流電力が、カメラ2に電源として
与えられる。
この結果、圧電素子5が外側へ膨らむように歪む。この
ため、圧電効果により圧電素子5の両電極6,7間に電
荷が生じ、変圧器16に電流が流れる。そして、変圧器
16により低圧化される。これによってカメラ2に電流
が供給される。この場合、光量は光量制御手段13によ
り増減されているので、光量の減少により、発生する熱
量が減少し、密閉容器4内は温度低下し、フロン8は液
化状態となり、圧力低下し、圧電素子5が元の状態に復
帰する。そして、光量が増加することにより、上述した
ようにして圧電素子5が再び歪み、電流が発生する。こ
れの繰り返しにより、変圧器16の二次側には交流電流
が取り出され、この交流電力が、カメラ2に電源として
与えられる。
【0021】ここで、上記変圧器16により降圧する理
由について述べると、圧電素子5により発生する電圧
は、電位は高いものの電流は小さい。従って、このまま
ではアクチュエータ本体であるカメラ2を駆動するのに
は十分な電流が取り出せない。この対策として、降圧用
の変圧器16により低圧化することで電流を多くとれる
ようにしている。この電流は変圧比によって異なり、例
えば変圧比を100:1とすれば、二次側の電流は一次
側に比して100倍となる。また、この場合、圧電素子
5からの出力電流は直流の脈流であるが、変圧器16を
設けたことで交流として取り出せる利点がある。
由について述べると、圧電素子5により発生する電圧
は、電位は高いものの電流は小さい。従って、このまま
ではアクチュエータ本体であるカメラ2を駆動するのに
は十分な電流が取り出せない。この対策として、降圧用
の変圧器16により低圧化することで電流を多くとれる
ようにしている。この電流は変圧比によって異なり、例
えば変圧比を100:1とすれば、二次側の電流は一次
側に比して100倍となる。また、この場合、圧電素子
5からの出力電流は直流の脈流であるが、変圧器16を
設けたことで交流として取り出せる利点がある。
【0022】このような本実施例においては、圧電素子
歪手段14により圧電素子5を歪ませることで、この圧
電素子5に電流あるいは電圧が発生する。この電流ある
いは電圧に基づいてカメラ2が動作するから、外部電源
を要さずに該カメラ2を動作させることができる。この
結果、ワイヤ(電源線)の重量の影響が大きくなる超小
形アクチュエータにとってきわめて有効である。
歪手段14により圧電素子5を歪ませることで、この圧
電素子5に電流あるいは電圧が発生する。この電流ある
いは電圧に基づいてカメラ2が動作するから、外部電源
を要さずに該カメラ2を動作させることができる。この
結果、ワイヤ(電源線)の重量の影響が大きくなる超小
形アクチュエータにとってきわめて有効である。
【0023】特に、圧電素子5の電極6,7の両側に圧
力差を生じさせるから、該圧電素子5を効果的に歪ませ
ることができて、電流あるいは電圧を有効に発生させる
ことができる。さらに本実施例によれば、密閉容器4内
への光の導入を制御することで圧電素子5の電極6,7
の両側に圧力差を生じさせるから、光の調整により比較
的簡単にカメラ2の電源を得ることができる。また光を
エネルギー源とすることによってエネルギーコストがき
わめて低くなる。
力差を生じさせるから、該圧電素子5を効果的に歪ませ
ることができて、電流あるいは電圧を有効に発生させる
ことができる。さらに本実施例によれば、密閉容器4内
への光の導入を制御することで圧電素子5の電極6,7
の両側に圧力差を生じさせるから、光の調整により比較
的簡単にカメラ2の電源を得ることができる。また光を
エネルギー源とすることによってエネルギーコストがき
わめて低くなる。
【0024】図2は、本発明の第2の実施例を示してお
り、次の点が上記第1の実施例と異なる。すなわち、密
閉容器21の内部を二分するように圧電素子22を設
け、この圧電素子22により分けられた一方の密閉室2
1aおよび他方の密閉室21bに対応して、それぞれフ
ロン8およびグラスファイバ9が封入されていると共
に、それぞれ光ファイバ12、窓部10、集光レンズ1
1および光量制御手段13が設けられている。
り、次の点が上記第1の実施例と異なる。すなわち、密
閉容器21の内部を二分するように圧電素子22を設
け、この圧電素子22により分けられた一方の密閉室2
1aおよび他方の密閉室21bに対応して、それぞれフ
ロン8およびグラスファイバ9が封入されていると共
に、それぞれ光ファイバ12、窓部10、集光レンズ1
1および光量制御手段13が設けられている。
【0025】この実施例においては、光量制御手段1
3,13による光の強弱変化もしくは断続照射の制御を
逆パターンとして、一方の密閉室21aおよび他方の密
閉室21bの内部圧力を交互に高めることにより、圧電
素子5を両側から歪ませるようにしている。この場合、
圧電素子22から交流電流を取り出すことができる。
3,13による光の強弱変化もしくは断続照射の制御を
逆パターンとして、一方の密閉室21aおよび他方の密
閉室21bの内部圧力を交互に高めることにより、圧電
素子5を両側から歪ませるようにしている。この場合、
圧電素子22から交流電流を取り出すことができる。
【0026】図3ないし図6は、本発明の第3の実施例
を示し、圧電素子歪手段31の構成が第1の実施例と異
なる。すなわち、この圧電素子歪手段31は、風を矢印
Aで示す方向へ通す導風管32の内部に、圧電素子33
を風の流れを二分するように配設している。換言すれ
ば、導風管32により圧電素子33の一方の面側と他方
の面側とにそれぞれ通風路を形成するようにしている。
この場合、圧電素子33の一端部を軸34により導風管
32に回動自在に軸支し、また他端部を摺動軸35によ
り導風管32の長孔32aに矢印A方向およびその反対
方向へ移動自在に支持している。
を示し、圧電素子歪手段31の構成が第1の実施例と異
なる。すなわち、この圧電素子歪手段31は、風を矢印
Aで示す方向へ通す導風管32の内部に、圧電素子33
を風の流れを二分するように配設している。換言すれ
ば、導風管32により圧電素子33の一方の面側と他方
の面側とにそれぞれ通風路を形成するようにしている。
この場合、圧電素子33の一端部を軸34により導風管
32に回動自在に軸支し、また他端部を摺動軸35によ
り導風管32の長孔32aに矢印A方向およびその反対
方向へ移動自在に支持している。
【0027】さらにこの圧電素子33の一方の面である
電極6側の面の風上側部分には、この図3の状態で下側
の通風路を閉鎖する風路抵抗部材36が取り付けられて
おり、また、他方の面である電極7側の面の風下側部分
には、通気孔37aを有する通風可能なスペーサー部材
37が取り付けられている。
電極6側の面の風上側部分には、この図3の状態で下側
の通風路を閉鎖する風路抵抗部材36が取り付けられて
おり、また、他方の面である電極7側の面の風下側部分
には、通気孔37aを有する通風可能なスペーサー部材
37が取り付けられている。
【0028】この実施例においては、導風管32に風を
矢印A方向へ示すように供給すると、図3の状態では、
風路抵抗部材36により風の流れが阻止されることによ
り、圧電素子33の上側を風が通り、このためこの上側
部分が低圧力状態となり、図5で示すように圧電素子3
3が上側へ湾曲するように歪む。この歪により、圧電素
子33自身により該圧電素子33の上側の通風路が閉鎖
される。この結果、今度は、風が圧電素子33の下側を
通るようになり、この部分の圧力が低くなる。これによ
って、図6で示すように、圧電素子33が下側へ湾曲す
るように歪む。すると、風は圧電素子33の上側を通る
ようになり、上側が低圧力状態となって、今度は、圧電
素子33が下側へ湾曲するように歪む。これの繰り返し
となり、圧電素子33から交流電流が発生する。
矢印A方向へ示すように供給すると、図3の状態では、
風路抵抗部材36により風の流れが阻止されることによ
り、圧電素子33の上側を風が通り、このためこの上側
部分が低圧力状態となり、図5で示すように圧電素子3
3が上側へ湾曲するように歪む。この歪により、圧電素
子33自身により該圧電素子33の上側の通風路が閉鎖
される。この結果、今度は、風が圧電素子33の下側を
通るようになり、この部分の圧力が低くなる。これによ
って、図6で示すように、圧電素子33が下側へ湾曲す
るように歪む。すると、風は圧電素子33の上側を通る
ようになり、上側が低圧力状態となって、今度は、圧電
素子33が下側へ湾曲するように歪む。これの繰り返し
となり、圧電素子33から交流電流が発生する。
【0029】この第3の実施例では、導風管32内へ風
を通すことで圧電素子33の電極6,7の両側に圧力差
を生じさせるから、送風よりアクチュエータ本体の電源
を得ることができる。
を通すことで圧電素子33の電極6,7の両側に圧力差
を生じさせるから、送風よりアクチュエータ本体の電源
を得ることができる。
【0030】
【発明の効果】本発明は以上の説明から明らかなよう
に、次の効果を得ることができる。請求項1の発明によ
れば、圧電素子歪手段により圧電素子を歪ませ、これに
より発生する電流あるいは電圧に基づいてアクチュエー
タ本体を動作させるから、外部からの電源供給を必要と
しない。この結果、ワイヤ(電源線)の重量の影響が大
きくなる超小形アクチュエータにとってきわめて有効で
ある。
に、次の効果を得ることができる。請求項1の発明によ
れば、圧電素子歪手段により圧電素子を歪ませ、これに
より発生する電流あるいは電圧に基づいてアクチュエー
タ本体を動作させるから、外部からの電源供給を必要と
しない。この結果、ワイヤ(電源線)の重量の影響が大
きくなる超小形アクチュエータにとってきわめて有効で
ある。
【0031】請求項2の発明によれば、圧電素子の電極
の両側に圧力差を生じさせるから、圧電素子を効果的に
歪ませることができて、電流あるいは電圧を有効に発生
させることができる。
の両側に圧力差を生じさせるから、圧電素子を効果的に
歪ませることができて、電流あるいは電圧を有効に発生
させることができる。
【0032】請求項3の発明によれば、密閉容器内への
光の導入を制御することで圧電素子の電極の両側に圧力
差を生じさせるから、光の制御によりアクチュエータ本
体の電源を得ることができる。そして、光をエネルギー
源とすることによってエネルギーコストをきわめて低く
できる。
光の導入を制御することで圧電素子の電極の両側に圧力
差を生じさせるから、光の制御によりアクチュエータ本
体の電源を得ることができる。そして、光をエネルギー
源とすることによってエネルギーコストをきわめて低く
できる。
【0033】請求項4の発明によれば、圧電素子により
二分された密閉容器の内部への光の導入を交互に制御す
ることにより、前記圧電素子の電極の両側に圧力差を生
じさせるから、交流電流を取り出すことができる。
二分された密閉容器の内部への光の導入を交互に制御す
ることにより、前記圧電素子の電極の両側に圧力差を生
じさせるから、交流電流を取り出すことができる。
【0034】請求項5の発明によれば、導風管内へ風を
通すことで圧電素子の電極の両側に圧力差を生じさせる
から、送風よりアクチュエータ本体の電源を得ることが
できる。
通すことで圧電素子の電極の両側に圧力差を生じさせる
から、送風よりアクチュエータ本体の電源を得ることが
できる。
【図1】本発明の第1の実施例を示す原理的構成図
【図2】本発明の第2の実施例を示す原理的構成図
【図3】本発明の第3の実施例を示す原理的構成図
【図4】図3の矢印X−X方向から見た正面図
【図5】作用説明のための原理的構成図
【図6】作用説明のための原理的構成図
1は配管、2はカメラ(アクチュエータ本体)、3は制
御部、4は密閉容器、5は圧電素子、6,7は電極、8
はフロン(熱膨脹・収縮性物質)、9はグラスファイバ
(光・熱変換素子)、12は光ファイバ(光導入手
段)、13は光量制御手段、14は圧電素子歪手段、1
6は変圧器、21は密閉容器、22は圧電素子、31は
圧電素子歪手段、32は導風管、33は圧電素子、36
は風路抵抗部材を示す。
御部、4は密閉容器、5は圧電素子、6,7は電極、8
はフロン(熱膨脹・収縮性物質)、9はグラスファイバ
(光・熱変換素子)、12は光ファイバ(光導入手
段)、13は光量制御手段、14は圧電素子歪手段、1
6は変圧器、21は密閉容器、22は圧電素子、31は
圧電素子歪手段、32は導風管、33は圧電素子、36
は風路抵抗部材を示す。
Claims (5)
- 【請求項1】 歪により電圧が発生する両面に電極が施
された圧電素子と、この圧電素子を歪ませる圧電素子歪
手段と、この圧電素子歪手段にて前記圧電素子を歪ませ
ることにより発生する電流あるいは電圧に基づいて動作
するアクチュエータ本体とを具備してなることを特徴と
するワイヤレスアクチュエータ。 - 【請求項2】 圧電素子歪手段は、圧電素子の電極の両
側に圧力差を生じさせる構成であることを特徴とする請
求項1記載のワイヤレスアクチュエータ。 - 【請求項3】 圧電素子歪手段は、少なくとも一面が圧
電素子で構成され内部に熱膨脹・収縮性物質および光・
熱変換素子が封入された密閉容器と、この密閉容器外部
から内部へ光を導入させる光導入手段とを備え、前記密
閉容器内への光の導入を制御することにより、圧電素子
の電極の両側に圧力差を生じさせる構成となっているこ
とを特徴とする請求項2記載のワイヤレスアクチュエー
タ。 - 【請求項4】 圧電素子歪手段は、内部を圧電素子によ
り二分され各々の内部に熱膨張・収縮性物質および光・
熱変換素子が封入された密閉容器と、この密閉容器外部
から夫々の内部へ光を導入させる光導入手段とを備え、
夫々の内部への光の導入を交互に制御することにより、
前記圧電素子の電極の両側に圧力差を生じさせる構成と
なっていることを特徴とする請求項2記載のワイヤレス
アクチュエータ。 - 【請求項5】 圧電素子歪手段は、圧電素子の一方の面
側と他方の面側とにそれぞれ通風路を形成する導風管
と、圧電素子の一方の面の風上側部分に設けられた風路
抵抗部材とを備え、前記導風管内に風を通すことにより
圧電素子の電極の両側に圧力差を生じさせる構成となっ
ていることを特徴とする請求項2記載のワイヤレスアク
チュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5255576A JPH07111785A (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | ワイヤレスアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5255576A JPH07111785A (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | ワイヤレスアクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07111785A true JPH07111785A (ja) | 1995-04-25 |
Family
ID=17280642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5255576A Pending JPH07111785A (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | ワイヤレスアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07111785A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6219329B1 (en) | 1990-01-19 | 2001-04-17 | Fujitsu Limited | Fluorescent optical disk |
| WO2001063738A3 (en) * | 2000-02-23 | 2002-02-21 | Stanford Res Inst Int | Electroactive polymer thermal electric generators |
| US6768246B2 (en) | 2000-02-23 | 2004-07-27 | Sri International | Biologically powered electroactive polymer generators |
| US7034432B1 (en) | 1997-02-07 | 2006-04-25 | Sri International | Electroactive polymer generators |
| US7064472B2 (en) | 1999-07-20 | 2006-06-20 | Sri International | Electroactive polymer devices for moving fluid |
| US7320457B2 (en) | 1997-02-07 | 2008-01-22 | Sri International | Electroactive polymer devices for controlling fluid flow |
| US7537197B2 (en) | 1999-07-20 | 2009-05-26 | Sri International | Electroactive polymer devices for controlling fluid flow |
| US9195058B2 (en) | 2011-03-22 | 2015-11-24 | Parker-Hannifin Corporation | Electroactive polymer actuator lenticular system |
| US9231186B2 (en) | 2009-04-11 | 2016-01-05 | Parker-Hannifin Corporation | Electro-switchable polymer film assembly and use thereof |
| US9425383B2 (en) | 2007-06-29 | 2016-08-23 | Parker-Hannifin Corporation | Method of manufacturing electroactive polymer transducers for sensory feedback applications |
| US9553254B2 (en) | 2011-03-01 | 2017-01-24 | Parker-Hannifin Corporation | Automated manufacturing processes for producing deformable polymer devices and films |
| US9590193B2 (en) | 2012-10-24 | 2017-03-07 | Parker-Hannifin Corporation | Polymer diode |
| US9761790B2 (en) | 2012-06-18 | 2017-09-12 | Parker-Hannifin Corporation | Stretch frame for stretching process |
| US9876160B2 (en) | 2012-03-21 | 2018-01-23 | Parker-Hannifin Corporation | Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices |
-
1993
- 1993-10-13 JP JP5255576A patent/JPH07111785A/ja active Pending
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6219329B1 (en) | 1990-01-19 | 2001-04-17 | Fujitsu Limited | Fluorescent optical disk |
| US7034432B1 (en) | 1997-02-07 | 2006-04-25 | Sri International | Electroactive polymer generators |
| US7320457B2 (en) | 1997-02-07 | 2008-01-22 | Sri International | Electroactive polymer devices for controlling fluid flow |
| US7537197B2 (en) | 1999-07-20 | 2009-05-26 | Sri International | Electroactive polymer devices for controlling fluid flow |
| US7971850B2 (en) | 1999-07-20 | 2011-07-05 | Sri International | Electroactive polymer devices for controlling fluid flow |
| US7064472B2 (en) | 1999-07-20 | 2006-06-20 | Sri International | Electroactive polymer devices for moving fluid |
| US7703742B2 (en) | 1999-07-20 | 2010-04-27 | Sri International | Electroactive polymer devices for controlling fluid flow |
| US7362032B2 (en) | 1999-07-20 | 2008-04-22 | Sri International | Electroactive polymer devices for moving fluid |
| US7368862B2 (en) | 1999-07-20 | 2008-05-06 | Sri International | Electroactive polymer generators |
| US7394182B2 (en) | 1999-07-20 | 2008-07-01 | Sri International | Electroactive polymer devices for moving fluid |
| WO2001063738A3 (en) * | 2000-02-23 | 2002-02-21 | Stanford Res Inst Int | Electroactive polymer thermal electric generators |
| US6628040B2 (en) | 2000-02-23 | 2003-09-30 | Sri International | Electroactive polymer thermal electric generators |
| US6768246B2 (en) | 2000-02-23 | 2004-07-27 | Sri International | Biologically powered electroactive polymer generators |
| US9425383B2 (en) | 2007-06-29 | 2016-08-23 | Parker-Hannifin Corporation | Method of manufacturing electroactive polymer transducers for sensory feedback applications |
| US9231186B2 (en) | 2009-04-11 | 2016-01-05 | Parker-Hannifin Corporation | Electro-switchable polymer film assembly and use thereof |
| US9553254B2 (en) | 2011-03-01 | 2017-01-24 | Parker-Hannifin Corporation | Automated manufacturing processes for producing deformable polymer devices and films |
| US9195058B2 (en) | 2011-03-22 | 2015-11-24 | Parker-Hannifin Corporation | Electroactive polymer actuator lenticular system |
| US9876160B2 (en) | 2012-03-21 | 2018-01-23 | Parker-Hannifin Corporation | Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices |
| US9761790B2 (en) | 2012-06-18 | 2017-09-12 | Parker-Hannifin Corporation | Stretch frame for stretching process |
| US9590193B2 (en) | 2012-10-24 | 2017-03-07 | Parker-Hannifin Corporation | Polymer diode |
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