JPH07112667B2 - 光学素子研磨機のワ−ク支持装置 - Google Patents
光学素子研磨機のワ−ク支持装置Info
- Publication number
- JPH07112667B2 JPH07112667B2 JP25964786A JP25964786A JPH07112667B2 JP H07112667 B2 JPH07112667 B2 JP H07112667B2 JP 25964786 A JP25964786 A JP 25964786A JP 25964786 A JP25964786 A JP 25964786A JP H07112667 B2 JPH07112667 B2 JP H07112667B2
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- Japan
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- polishing
- axis
- work
- point
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/54—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only
- B23Q1/5406—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only a single rotating pair followed perpendicularly by a single rotating pair
- B23Q1/5412—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only a single rotating pair followed perpendicularly by a single rotating pair followed perpendicularly by a single rotating pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、光学素子研磨機のワーク支持装置に関する。
［従来の技術］ 従来技術を「光学素子加工技術‘85 Ｉ−２研削・研
磨」（昭和60年９月10日，光学工業技術協会発行）第11
3〜116頁に記載された内容に基づき説明する。
磨」（昭和60年９月10日，光学工業技術協会発行）第11
3〜116頁に記載された内容に基づき説明する。
一般に、光学素子研磨機のワーク支持装置は、光学レン
ズの加工（凹面みがき）を例示する第８図に示すように
構成されている。第８図において、101は上部を凸面と
した研磨皿で軸を中心として回転可能に設けられてい
る。研磨皿101の上方には、かんざし102が円，円弧，楕
円，直線等の揺動運動自在に設けられている。かんざし
102の下端にはかんざし球102aが形成されており、この
かんざし球102aには貼付皿103がスイベル運動自在に取
付けられている。また、貼付皿103の下面には、レンズ1
04が被研磨面を下向きにして貼付けらている。
ズの加工（凹面みがき）を例示する第８図に示すように
構成されている。第８図において、101は上部を凸面と
した研磨皿で軸を中心として回転可能に設けられてい
る。研磨皿101の上方には、かんざし102が円，円弧，楕
円，直線等の揺動運動自在に設けられている。かんざし
102の下端にはかんざし球102aが形成されており、この
かんざし球102aには貼付皿103がスイベル運動自在に取
付けられている。また、貼付皿103の下面には、レンズ1
04が被研磨面を下向きにして貼付けらている。
上記構成の装置によれば、かんざし102のかんざし球102
aの球心Ｑを支持点としてレンズ104を研磨皿101に押圧
せしめるとともに、かんざし102を揺動運動させ、また
研磨皿101を回転運動させることにより、レンズ104の被
研磨面を研磨加工するものである。
aの球心Ｑを支持点としてレンズ104を研磨皿101に押圧
せしめるとともに、かんざし102を揺動運動させ、また
研磨皿101を回転運動させることにより、レンズ104の被
研磨面を研磨加工するものである。
ここに、レンズ104の外周辺上の一点をＰ、Ｐ点におけ
る接線をPNとしたとき、∠QPN＝θ１を研磨角と呼び、
研磨角θ１が充分に小さければ安定した研磨ができ、高
い面精度を得ることができる。
る接線をPNとしたとき、∠QPN＝θ１を研磨角と呼び、
研磨角θ１が充分に小さければ安定した研磨ができ、高
い面精度を得ることができる。
ところが、第９図に示すように、レンズ104の曲率が大
きくなって被研磨面が平面に近くなると、研磨角θ２が
必然的に大きくなってしまう。この場合、Ｑ点を支点を
とした力のモーメントにおいて、かんざし102からの水
平方向の力（揺動力＝研磨抵抗）をＦ、荷重をＷ、被研
磨面からＱ点までの高さをｈ、レンズ104の半径をｒと
すると、Fh＞Wrとなり、レンズ104が研磨皿101上を滑ら
ずに倒れてしまい、加工ができなくなる。
きくなって被研磨面が平面に近くなると、研磨角θ２が
必然的に大きくなってしまう。この場合、Ｑ点を支点を
とした力のモーメントにおいて、かんざし102からの水
平方向の力（揺動力＝研磨抵抗）をＦ、荷重をＷ、被研
磨面からＱ点までの高さをｈ、レンズ104の半径をｒと
すると、Fh＞Wrとなり、レンズ104が研磨皿101上を滑ら
ずに倒れてしまい、加工ができなくなる。
そこで、従来は、第10図に示すように、複数個のレンズ
104を貼付皿101に貼付ける（多数ばり）ことにより、研
磨角θ３を実質的に小さくする手段をとっている。
104を貼付皿101に貼付ける（多数ばり）ことにより、研
磨角θ３を実質的に小さくする手段をとっている。
一方、凸面みがきの場合には、第11図に示すように、研
磨角θ４が大きくなって加工できなくなる。
磨角θ４が大きくなって加工できなくなる。
そこで、従来は、多数ばりにするか、又は第12図に示す
ように、研磨皿101と貼付皿103及びレンズ104との位置
を逆転させ、研磨皿101をかんざし102にスイベル運動自
在に取付け、貼付皿103を下側に設けて回転自在として
いた。これによれば、研磨角θ５は充分に小さくなり、
加工を行なうことができる。
ように、研磨皿101と貼付皿103及びレンズ104との位置
を逆転させ、研磨皿101をかんざし102にスイベル運動自
在に取付け、貼付皿103を下側に設けて回転自在として
いた。これによれば、研磨角θ５は充分に小さくなり、
加工を行なうことができる。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、研磨角を小さくするために多数ばりを行
うには、１個のレンズ104を研磨する場合であっても複
数個のレンズ104を必要とし、材料費が高く、段取りが
面倒であって作業効率が悪かった。
うには、１個のレンズ104を研磨する場合であっても複
数個のレンズ104を必要とし、材料費が高く、段取りが
面倒であって作業効率が悪かった。
また、凸面みがきにおいて、第12図に示すような場合に
は、研磨皿101の径を第11図に示す場合の研磨皿101の径
よりも小さくしなければ、球面精度の良い加工を行うこ
とができない。しかし、研磨皿101の径を小さくする
と、研磨皿101の球面の変化が速くなり、レンズ104を多
く加工する場合に曲率の安定が困難になってしまう。ま
た、第12図に示す場合、貼付皿103の軸下端部は螺合又
はテーパ嵌合によって回転駆動装置に連結される構成で
あるので、レンズ毎の貼付皿103の交換作業が煩雑で、
特にテーパ嵌合の場合にはくい込んでしまうこともあっ
た。
は、研磨皿101の径を第11図に示す場合の研磨皿101の径
よりも小さくしなければ、球面精度の良い加工を行うこ
とができない。しかし、研磨皿101の径を小さくする
と、研磨皿101の球面の変化が速くなり、レンズ104を多
く加工する場合に曲率の安定が困難になってしまう。ま
た、第12図に示す場合、貼付皿103の軸下端部は螺合又
はテーパ嵌合によって回転駆動装置に連結される構成で
あるので、レンズ毎の貼付皿103の交換作業が煩雑で、
特にテーパ嵌合の場合にはくい込んでしまうこともあっ
た。
すなわち、従来は、レンズ104を１個ずつ研磨加工する
に際し、研磨皿101をレンズ104の下側に配置した状態で
あらゆるレンズを安定して加工することができなかっ
た。本発明は、このような従来の問題点に着目してなさ
れたもので、凹球面，平面，凸球面を問わずあらゆる曲
率半径のワーク（レンズ等）に適用でき、多数ばりを行
わずして安定した研磨ができ、高い面精度を得ることの
できる光学素子研磨機のワーク支持装置を提供するもの
である。
に際し、研磨皿101をレンズ104の下側に配置した状態で
あらゆるレンズを安定して加工することができなかっ
た。本発明は、このような従来の問題点に着目してなさ
れたもので、凹球面，平面，凸球面を問わずあらゆる曲
率半径のワーク（レンズ等）に適用でき、多数ばりを行
わずして安定した研磨ができ、高い面精度を得ることの
できる光学素子研磨機のワーク支持装置を提供するもの
である。
［問題点を解決するための手段］ 前記従来の問題点を解決するために、本発明は、次のよ
うにワーク支持装置を構成したものである。
うにワーク支持装置を構成したものである。
第１図は本発明の概念図を示すもので、研磨機の上軸
（図示省略）には、ステー１が固設されている。このス
テー１の下端部には、コ字状の第１揺動部材２が、その
中心軸線を揺動中心として揺動できるように、回転自在
に取付けられている。また、この第１揺動部材２の両先
端部には、コ字状の第２揺動部材３の両先端部が回転自
在に取付けられており、第２揺動部材３が第１揺動部材
２の各先端部を結ぶ軸線を揺動中心として揺動できるよ
うになっている。さらに、第２揺動部材３の中心部に
は、軸先端部にて被研磨体であるワーク４を支持するワ
ーク支持軸５が、その軸線を第２揺動部材３の中心軸線
と一致させて回転自在に支承されている。
（図示省略）には、ステー１が固設されている。このス
テー１の下端部には、コ字状の第１揺動部材２が、その
中心軸線を揺動中心として揺動できるように、回転自在
に取付けられている。また、この第１揺動部材２の両先
端部には、コ字状の第２揺動部材３の両先端部が回転自
在に取付けられており、第２揺動部材３が第１揺動部材
２の各先端部を結ぶ軸線を揺動中心として揺動できるよ
うになっている。さらに、第２揺動部材３の中心部に
は、軸先端部にて被研磨体であるワーク４を支持するワ
ーク支持軸５が、その軸線を第２揺動部材３の中心軸線
と一致させて回転自在に支承されている。
ここに、第１揺動部材２の揺動中心である軸線Ｘと、第
２揺動部材３の揺動中心である軸線Ｙと、ワーク支持軸
５の回転中心である軸線Ｚとは、それぞれ交叉して一点
（（Ｏ点）で交わっており、Ｏ点はワーク４の下方に位
置している。このＯ点は、第８〜12図におけるかんざし
球102aの球心Ｑ点に相当するものである。
２揺動部材３の揺動中心である軸線Ｙと、ワーク支持軸
５の回転中心である軸線Ｚとは、それぞれ交叉して一点
（（Ｏ点）で交わっており、Ｏ点はワーク４の下方に位
置している。このＯ点は、第８〜12図におけるかんざし
球102aの球心Ｑ点に相当するものである。
なお、第１図に示すものでは、各軸線X,Y,Zを一点Ｏで
交わるように設けたが、本発明においては、第１揺動部
材２の軸線Ｘがワーク支持軸５の軸線Ｚに交叉し、かつ
第２揺動部材３の軸線Ｙが軸線Ｚに交叉していれば、各
軸X,Y,Zは、必ずしも一点で交わらなくてもよい。
交わるように設けたが、本発明においては、第１揺動部
材２の軸線Ｘがワーク支持軸５の軸線Ｚに交叉し、かつ
第２揺動部材３の軸線Ｙが軸線Ｚに交叉していれば、各
軸X,Y,Zは、必ずしも一点で交わらなくてもよい。
［作用］ かかる構成の光学素子研磨機のワーク支持装置によれ
ば、研磨角を任意に設定することができ、研磨角を充分
に小さくすることができる。第１図に示すように、第１
揺動部材2,第２揺動部材３及びワーク支持軸５の各軸線
X,Y,Zを一点で交わるようにした場合には、研磨角は０
度となる。
ば、研磨角を任意に設定することができ、研磨角を充分
に小さくすることができる。第１図に示すように、第１
揺動部材2,第２揺動部材３及びワーク支持軸５の各軸線
X,Y,Zを一点で交わるようにした場合には、研磨角は０
度となる。
すなわち、従来のようにかんざしを揺動させるもので
は、かんざし球の球心の位置が物理的に制限され、研磨
角を任意に設定することができないのに対し、本発明の
ワーク支持装置においては、従来のかんざし球の球心に
相当する点は架空の点であるので、物理的な制限を受け
ることがなく、例えばワーク内部や研磨皿内部等に上記
架空の点を存在させることもできるからである。
は、かんざし球の球心の位置が物理的に制限され、研磨
角を任意に設定することができないのに対し、本発明の
ワーク支持装置においては、従来のかんざし球の球心に
相当する点は架空の点であるので、物理的な制限を受け
ることがなく、例えばワーク内部や研磨皿内部等に上記
架空の点を存在させることもできるからである。
なお、研磨角は30度以内に設定するのが好ましい。
［実施例］ 以下、本発明を図に示す実施例に基づき詳細に説明す
る。
る。
（第１実施例） 第２図及び第３図は、それぞれ本発明の一実施例を示す
分解斜視図及び半截縦断正面図である。同図において、
６は上軸（図示省略）に固設されたステーで、ステー６
の下端部には孔6aが穿設されている。そして、ステー６
には、孔6aを介して略コ字状の第１揺動部材７が、その
中心軸線を揺動中心として揺動できるように、回転自在
に取付けられている。
分解斜視図及び半截縦断正面図である。同図において、
６は上軸（図示省略）に固設されたステーで、ステー６
の下端部には孔6aが穿設されている。そして、ステー６
には、孔6aを介して略コ字状の第１揺動部材７が、その
中心軸線を揺動中心として揺動できるように、回転自在
に取付けられている。
すなわち、第１揺動部材７の中心部には、ベアリング孔
7aが穿設されており、このベアリング孔7aには、カラー
８を挟むようにしてフランジ付きの一対のベアリング9,
9が挿入されている。そして、ベアリング9,9には、先端
に雄ねじ10を螺刻した軸10が挿通されている。この軸10
は、ステー６の孔6aに嵌着された受け11の雌ねじ11aに
雄ねじ10aを螺合されるとともに、ステー６に対して第
１揺動部材７の反対側から雄ねじ10aに螺合されるナッ
ト12,12によって締め付けられ、ステー６に取付けられ
ている。
7aが穿設されており、このベアリング孔7aには、カラー
８を挟むようにしてフランジ付きの一対のベアリング9,
9が挿入されている。そして、ベアリング9,9には、先端
に雄ねじ10を螺刻した軸10が挿通されている。この軸10
は、ステー６の孔6aに嵌着された受け11の雌ねじ11aに
雄ねじ10aを螺合されるとともに、ステー６に対して第
１揺動部材７の反対側から雄ねじ10aに螺合されるナッ
ト12,12によって締め付けられ、ステー６に取付けられ
ている。
また、第１揺動部材７の両先端部7b,7bには、略コ字状
の第２揺動部材13の両先端部13a,13aが、回転自在に取
付けられている。
の第２揺動部材13の両先端部13a,13aが、回転自在に取
付けられている。
すなわち、第１揺動部材７の各先端部7b,7bはそれぞれ
二股形状に形成されており、その先端部7b,7bに第２揺
動部材13の先端部13a,13aが嵌挿されている。そして、
第１揺動部材７及び第２揺動部材13の各先端部7b,7b,13
a,13aには、それぞれピン孔7c,7c,13b,13bが穿設されて
いる。第２揺動部材13は、ピン孔7c,7c,13b,13bに挿入
されたピン14,14により第１揺動部材７に回転自在に取
付けられている。15,15は、第１揺動部材７の各先端部7
b,7bに外嵌されたピン止めで、孔15a,15aを貫通して第
１揺動部材７のねじ孔7d,7dに螺入するねじ16,16により
第１揺動部材７に固設されており、ピン14,14の脱抜を
防止している。
二股形状に形成されており、その先端部7b,7bに第２揺
動部材13の先端部13a,13aが嵌挿されている。そして、
第１揺動部材７及び第２揺動部材13の各先端部7b,7b,13
a,13aには、それぞれピン孔7c,7c,13b,13bが穿設されて
いる。第２揺動部材13は、ピン孔7c,7c,13b,13bに挿入
されたピン14,14により第１揺動部材７に回転自在に取
付けられている。15,15は、第１揺動部材７の各先端部7
b,7bに外嵌されたピン止めで、孔15a,15aを貫通して第
１揺動部材７のねじ孔7d,7dに螺入するねじ16,16により
第１揺動部材７に固設されており、ピン14,14の脱抜を
防止している。
一方、第２揺動部材13の中央部には、ベアリング孔13c
が穿設されており、このベアリング孔13cには、ベアリ
ング17が挿入されている。そして、このベアリング17の
下部には、押え18,18が係合され、押え18,18の孔18,18a
を貫通して第２揺動部材13のねじ孔13d,13dに螺入する
ねじ19,19により押え18,18は第２揺動部材13に固定され
ている。
が穿設されており、このベアリング孔13cには、ベアリ
ング17が挿入されている。そして、このベアリング17の
下部には、押え18,18が係合され、押え18,18の孔18,18a
を貫通して第２揺動部材13のねじ孔13d,13dに螺入する
ねじ19,19により押え18,18は第２揺動部材13に固定され
ている。
20は、孔20a,20aを貫通してステー６のねじ孔6b,6bに螺
入するねじ21,21によりステー６に取付けられたガード
で、ベアリング9,9及び軸10等を覆うようにして設けら
れている。ガード20は、加工中の研磨液の飛散からベア
リング9,9等を保護するとともに、第１揺動部材７の反
転を防止するものである。
入するねじ21,21によりステー６に取付けられたガード
で、ベアリング9,9及び軸10等を覆うようにして設けら
れている。ガード20は、加工中の研磨液の飛散からベア
リング9,9等を保護するとともに、第１揺動部材７の反
転を防止するものである。
また、第３図に示すように、第２揺動部材13に取付けた
ベアリング17には、凸レンズ22を軸先端部に取付けたワ
ーク支持軸（貼付皿）23が、下方から挿入されている。
ワーク支持軸23は、凸レンズ22を介して図示を省略した
研磨皿により下方から支持され、ベアリング17を介して
第２揺動部材13に回転自在に設けられている。
ベアリング17には、凸レンズ22を軸先端部に取付けたワ
ーク支持軸（貼付皿）23が、下方から挿入されている。
ワーク支持軸23は、凸レンズ22を介して図示を省略した
研磨皿により下方から支持され、ベアリング17を介して
第２揺動部材13に回転自在に設けられている。
ここに、第１揺動部材７の揺動中心である軸線X1と、第
２揺動部材13の揺動中心である軸線Y1と、ワーク支持軸
23の回転中心である軸線Z1とは、それぞれ交叉して一点
O1で交わっている。そして、そのO1点は、凸レンズ22の
外周辺上の一点P1における接線P1N1上に位置するように
設定されている。すなわち、研磨角は０度となている。
２揺動部材13の揺動中心である軸線Y1と、ワーク支持軸
23の回転中心である軸線Z1とは、それぞれ交叉して一点
O1で交わっている。そして、そのO1点は、凸レンズ22の
外周辺上の一点P1における接線P1N1上に位置するように
設定されている。すなわち、研磨角は０度となている。
このような構成のワーク支持装置においては、第１揺動
部材7,第２揺動部材13を揺動運動させることによりワー
ク支持軸23及び凸レンズ22を揺動させるとともに、研磨
皿（図示省略）を回転運動させることにより、凸レンズ
22の被研磨皿を研磨加工するものである。本実施例で
は、研磨角が０度に設定されているので、安定した研磨
ができ、高い面精度を得ることができる。
部材7,第２揺動部材13を揺動運動させることによりワー
ク支持軸23及び凸レンズ22を揺動させるとともに、研磨
皿（図示省略）を回転運動させることにより、凸レンズ
22の被研磨皿を研磨加工するものである。本実施例で
は、研磨角が０度に設定されているので、安定した研磨
ができ、高い面精度を得ることができる。
（第２実施例） 第４図は、本発明の第２実施例を示す半截縦断正面図
で、第１実施例とほぼ同様であるので同一部分について
は第３図と同一符号をもって示し、説明を省略する。
で、第１実施例とほぼ同様であるので同一部分について
は第３図と同一符号をもって示し、説明を省略する。
本実施例における特徴は、凹レンズ24を軸先端部に貼付
けたワーク支持軸25を用いている点である。また、第１
揺動部材７の揺動中心である軸線X2と、第２揺動部材13
の揺動中心である軸線Y2と、ワーク支持軸25の回転中心
である軸線Z2とは、それぞれ交叉して一点O2で交わって
いる。そして、そのO2点に、凹レンズ24の外周辺上の一
点P2における接線P2N2が通るように、ワーク支持軸25の
形状寸法が設定されており、研磨角は０度となってい
る。
けたワーク支持軸25を用いている点である。また、第１
揺動部材７の揺動中心である軸線X2と、第２揺動部材13
の揺動中心である軸線Y2と、ワーク支持軸25の回転中心
である軸線Z2とは、それぞれ交叉して一点O2で交わって
いる。そして、そのO2点に、凹レンズ24の外周辺上の一
点P2における接線P2N2が通るように、ワーク支持軸25の
形状寸法が設定されており、研磨角は０度となってい
る。
すなわち、第１実施例と同様のワーク支持装置によれ
ば、ワーク支持軸25の形状寸法だけを変えることによ
り、異なった形状（凹凸等）又は寸法（曲率，径等）の
レンズを安定して研磨することができる。
ば、ワーク支持軸25の形状寸法だけを変えることによ
り、異なった形状（凹凸等）又は寸法（曲率，径等）の
レンズを安定して研磨することができる。
（第３実施例） 第５図は、本発明の第３実施例を示す半截縦断面図で、
第１実施例とほぼ同様であるので同一部分については第
３図と同一符号をもって示し、説明を省略する。
第１実施例とほぼ同様であるので同一部分については第
３図と同一符号をもって示し、説明を省略する。
本実施例におけるワークス支持軸26は、上端部に螺合す
るねじ27により、ベアリング17に固定され、第２揺動部
材13に回転自在に支承されている。また、ワーク支持軸
26の下端部には凹部26aが形設されており、凹部26a内に
は緩衝部材28が固着されている。凸レンズ29は、その一
部が凹部26a内に挿入され、図示を省略した研磨皿によ
り下方から保持される。この実施例においても、第１揺
動部材７の揺動中心である軸線X3と、第２揺動部材13の
揺動中心である軸線Y3と、ワーク支持軸26の回転中心で
ある軸線Z3とはそれぞれ交叉して一点O3で交わってお
り、O3点は、凸レンズ29の外周辺上の一点P3における接
線P3N3上に位置するように設定され研磨角は０度となっ
ている。
るねじ27により、ベアリング17に固定され、第２揺動部
材13に回転自在に支承されている。また、ワーク支持軸
26の下端部には凹部26aが形設されており、凹部26a内に
は緩衝部材28が固着されている。凸レンズ29は、その一
部が凹部26a内に挿入され、図示を省略した研磨皿によ
り下方から保持される。この実施例においても、第１揺
動部材７の揺動中心である軸線X3と、第２揺動部材13の
揺動中心である軸線Y3と、ワーク支持軸26の回転中心で
ある軸線Z3とはそれぞれ交叉して一点O3で交わってお
り、O3点は、凸レンズ29の外周辺上の一点P3における接
線P3N3上に位置するように設定され研磨角は０度となっ
ている。
本実施例では、凸レンズ29は緩衝部材28に固着されてい
ないので、レンズ交換を容易に行うことができる。
ないので、レンズ交換を容易に行うことができる。
（第４実施例） 第６図は、本発明の第４実施例を示す概略斜視図で、第
１図と同一部分については同図と同一符号をもって示
し、説明を省略する。
１図と同一部分については同図と同一符号をもって示
し、説明を省略する。
本実施例では、ステー30がコ字状に形成されており、ス
テー30の両先端部には、ロ字状の第１揺動部材31が回転
自在に取付けられている。また、第１揺動部材31の揺動
中心である軸線X4と、第２揺動部材３の揺動中心である
軸線Y4と、ワーク支持軸５の回転中心である軸線Z4と
は、それぞれ交叉して一点O4で交わっており、研磨角を
任意に設定できるように構成されている。
テー30の両先端部には、ロ字状の第１揺動部材31が回転
自在に取付けられている。また、第１揺動部材31の揺動
中心である軸線X4と、第２揺動部材３の揺動中心である
軸線Y4と、ワーク支持軸５の回転中心である軸線Z4と
は、それぞれ交叉して一点O4で交わっており、研磨角を
任意に設定できるように構成されている。
本実施例によれば、第１揺動部材31をステー30によりい
わゆる両持ちする構成であるので、ワーク支持装置の強
度が向上される。
わゆる両持ちする構成であるので、ワーク支持装置の強
度が向上される。
（第５実施例） 第７図ａは、本発明の第５実施例を示す概略斜視図で、
第１図と同一部分については同図と同一符号をもって示
し、説明を省略する。
第１図と同一部分については同図と同一符号をもって示
し、説明を省略する。
本実施例では、第１揺動部材32の両先端部がそれぞれ上
方に折曲げられている点が特徴である。これにより、第
１揺動部材32の揺動中心である軸線X5がワーク支持軸５
の回転中心である軸線Z5と交叉する点O5と、第２揺動部
材３の揺動中心である軸線Y5がワーク支持軸５の回転中
心である軸線Z5と交叉する点O6とは、一致していない。
方に折曲げられている点が特徴である。これにより、第
１揺動部材32の揺動中心である軸線X5がワーク支持軸５
の回転中心である軸線Z5と交叉する点O5と、第２揺動部
材３の揺動中心である軸線Y5がワーク支持軸５の回転中
心である軸線Z5と交叉する点O6とは、一致していない。
第７図ｂはワーク（凸レンズ）４とO5,O6点との関係をY
5軸方向から見た図で、第７図ｃはワーク４とO5,O6点と
の関係をX5軸方向から見た図である。第７図ｂにおいて
は、ワーク４の外周辺上の一点P5における接線P5N5が線
分P5O5となす角が研磨角θ50となり、第７図ｃににおい
ては、ワーク４の外周辺上の一点P6における接線P6N6が
線分P6N6となす角が研磨角θ60となる。
5軸方向から見た図で、第７図ｃはワーク４とO5,O6点と
の関係をX5軸方向から見た図である。第７図ｂにおいて
は、ワーク４の外周辺上の一点P5における接線P5N5が線
分P5O5となす角が研磨角θ50となり、第７図ｃににおい
ては、ワーク４の外周辺上の一点P6における接線P6N6が
線分P6N6となす角が研磨角θ60となる。
この場合、各研磨角θ50,θ60を充分小さく（例えば30
度以内）設定すれば、安定した研磨を行うことができ
る。
度以内）設定すれば、安定した研磨を行うことができ
る。
なお、上記第１〜５実施例においては、単体レンズを研
磨する例で説明したが、本発明はかかる実施例に限定さ
れるものではなく、例えば平面のプリズム，シリコンウ
ェハ，球面金型，非球面レンズ，非球面金型等のワーク
を研磨するワーク支持装置として使用できることは勿論
である。また、本発明装置において、多数ばりを行うこ
とも可能である。
磨する例で説明したが、本発明はかかる実施例に限定さ
れるものではなく、例えば平面のプリズム，シリコンウ
ェハ，球面金型，非球面レンズ，非球面金型等のワーク
を研磨するワーク支持装置として使用できることは勿論
である。また、本発明装置において、多数ばりを行うこ
とも可能である。
［発明の効果］ 以上のように、本発明の光学素子研磨機のワーク支持装
置によれば、ワーク支持軸と第１揺動部材と第２揺動部
材とからワーク支持装置を構成し、従来のかんざし球の
球心に相当する点を架空の点として任意の位置に存在さ
せることができるので、研磨角を充分に小さくすること
ができ、あらゆる形状寸法のワークを安定して研磨でき
て高い面精度を得ることができる。
置によれば、ワーク支持軸と第１揺動部材と第２揺動部
材とからワーク支持装置を構成し、従来のかんざし球の
球心に相当する点を架空の点として任意の位置に存在さ
せることができるので、研磨角を充分に小さくすること
ができ、あらゆる形状寸法のワークを安定して研磨でき
て高い面精度を得ることができる。
第１図は本発明の概念を示す概略斜視図、第２図および
第３図はそれぞれ本発明の第１実施例を示す分解斜視図
及び一部省略の半截縦断正面図、第４図は本発明の第２
実施例を示す一部省略の半截縦断正面図、第５図は本発
明の第３実施例を示す一部省略の半截縦断正面図、第６
図は本発明の第４実施例を示す概略斜視図、第７図ａは
本発明の第５実施例を示す概略斜視図、第７図ｂ及びｃ
はそれぞれ第７図ａに示す装置における研磨角を説明す
るための側面図、第８図から第12図までの各図はそれぞ
れ従来のワーク支持装置を示す正面図である。 2,7,31,32……第１揺動部材 3,13……第２揺動部材 4,22,24,29……ワーク（レンズ） 5,23,25,26……ワーク支持軸 X,Y,Z,X1〜X5,Y1〜Y5,Z1〜Z5……軸線
第３図はそれぞれ本発明の第１実施例を示す分解斜視図
及び一部省略の半截縦断正面図、第４図は本発明の第２
実施例を示す一部省略の半截縦断正面図、第５図は本発
明の第３実施例を示す一部省略の半截縦断正面図、第６
図は本発明の第４実施例を示す概略斜視図、第７図ａは
本発明の第５実施例を示す概略斜視図、第７図ｂ及びｃ
はそれぞれ第７図ａに示す装置における研磨角を説明す
るための側面図、第８図から第12図までの各図はそれぞ
れ従来のワーク支持装置を示す正面図である。 2,7,31,32……第１揺動部材 3,13……第２揺動部材 4,22,24,29……ワーク（レンズ） 5,23,25,26……ワーク支持軸 X,Y,Z,X1〜X5,Y1〜Y5,Z1〜Z5……軸線
Claims (1)
- 【請求項１】軸先端部に２被研磨体であるワークを支持
するワーク支持軸と、このワーク支持軸の軸線と交叉す
る軸線を揺動中心としてワーク支持軸を揺動自在にする
第１揺動部材と、前記ワーク支持軸の軸線と交叉しかつ
前記第１揺動部材の揺動中心に対し交叉する軸線を揺動
中心としてワーク支持軸を揺動自在に支持する第２揺動
部材とからなることを特徴とする光学素子研磨機のワー
ク支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25964786A JPH07112667B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 光学素子研磨機のワ−ク支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25964786A JPH07112667B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 光学素子研磨機のワ−ク支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63114860A JPS63114860A (ja) | 1988-05-19 |
| JPH07112667B2 true JPH07112667B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=17336955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25964786A Expired - Lifetime JPH07112667B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 光学素子研磨機のワ−ク支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07112667B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1234118B (it) * | 1989-06-12 | 1992-04-29 | Inzerillo Giuseppe Nordio Fran | Metodo per la produzione di quadranti in vetro murrino |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP25964786A patent/JPH07112667B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63114860A (ja) | 1988-05-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |