JPH07113983A - 固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子Info
- Publication number
- JPH07113983A JPH07113983A JP5281721A JP28172193A JPH07113983A JP H07113983 A JPH07113983 A JP H07113983A JP 5281721 A JP5281721 A JP 5281721A JP 28172193 A JP28172193 A JP 28172193A JP H07113983 A JPH07113983 A JP H07113983A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens element
- solid
- state image
- lens
- image pickup
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 オンチップレンズを有する固体撮像素子にお
いて実質的な開口率を高めて感度の向上を図る。 【構成】 各画素列上のレンズ素子列３、３、…が、基
部６において略一体に連なっているが、上部においてレ
ンズ素子３毎に独立して凸レンズ面を有する。
いて実質的な開口率を高めて感度の向上を図る。 【構成】 各画素列上のレンズ素子列３、３、…が、基
部６において略一体に連なっているが、上部においてレ
ンズ素子３毎に独立して凸レンズ面を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子、特にオ
ンチップレンズを有する固体撮像素子に関する。
ンチップレンズを有する固体撮像素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のオンチップレンズを有する固体撮
像素子は、図６（Ａ）乃至（Ｃ）に示すように、各画素
に対応して設けられたレンズ素子どうしが互いに独立し
て形成されていた。尚、図６の（Ａ）は平面図、（Ｂ）
は（Ａ）のオンチップレンズを示すＢ−Ｂ線視断面図、
（Ｃ）は同じくＣ−Ｃ線視断面図である。
像素子は、図６（Ａ）乃至（Ｃ）に示すように、各画素
に対応して設けられたレンズ素子どうしが互いに独立し
て形成されていた。尚、図６の（Ａ）は平面図、（Ｂ）
は（Ａ）のオンチップレンズを示すＢ−Ｂ線視断面図、
（Ｃ）は同じくＣ−Ｃ線視断面図である。
【０００３】図面において、１、１、…は画素、２、
２、…は画素１、１、…の開口、３、３、…はレンズ素
子であり、従来においては水平方向にも垂直方向にも隣
接レンズ素子１・１間にレンズ素子ギャップが設けられ
ていた。固体撮像素子においては感度の向上を図ること
が要求され、そのため、センサー開口率、即ち、画素１
の占有面積に対する開口２の占有面積の割合をできるだ
け大きくする必要があるが、それを大きくすることには
限界がある。
２、…は画素１、１、…の開口、３、３、…はレンズ素
子であり、従来においては水平方向にも垂直方向にも隣
接レンズ素子１・１間にレンズ素子ギャップが設けられ
ていた。固体撮像素子においては感度の向上を図ること
が要求され、そのため、センサー開口率、即ち、画素１
の占有面積に対する開口２の占有面積の割合をできるだ
け大きくする必要があるが、それを大きくすることには
限界がある。
【０００４】そこで、オンチップレンズにより各画素１
に入射した光の多くをレンズ素子３によりその開口２に
集光できるようにして実質的な開口率（レンズ素子によ
る集光効果を含めての開口率）を高めるようにしてい
た。
に入射した光の多くをレンズ素子３によりその開口２に
集光できるようにして実質的な開口率（レンズ素子によ
る集光効果を含めての開口率）を高めるようにしてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいてはレンズ素子３、３、…は水平方向にも垂直方向
にもレンズ素子ギャップが設けられていたので、実質的
な開口率の向上を図ることに制約があった。また、テレ
ビジョン放送方式（例えばＮＴＳＣ方式、ＰＡＬ方式）
や画素数によって矩形の画素１の縦横比が異なるが、一
般に水平方向における長さ（横幅）の方が垂直方向にお
ける長さ（縦の長さ、高さ）よりも長い長方形をしてお
り、その結果必然的に各レンズ素子１の水平方向におけ
る曲率と、垂直方向における曲率が異なり、水平方向と
垂直方向とで集光率が大きく異なる。
おいてはレンズ素子３、３、…は水平方向にも垂直方向
にもレンズ素子ギャップが設けられていたので、実質的
な開口率の向上を図ることに制約があった。また、テレ
ビジョン放送方式（例えばＮＴＳＣ方式、ＰＡＬ方式）
や画素数によって矩形の画素１の縦横比が異なるが、一
般に水平方向における長さ（横幅）の方が垂直方向にお
ける長さ（縦の長さ、高さ）よりも長い長方形をしてお
り、その結果必然的に各レンズ素子１の水平方向におけ
る曲率と、垂直方向における曲率が異なり、水平方向と
垂直方向とで集光率が大きく異なる。
【０００６】図７（Ａ）乃至（Ｃ）はその問題点を説明
するためのもので、（Ａ）は水平方向の集光を説明する
断面図、（Ｂ）は垂直方向の集光を説明する断面図、
（Ｃ）は集光を説明する平面図である。この図から明ら
かなように、集光領域４は画素２に対して水平方向には
食み出していないが垂直方向には食み出しており、レン
ズ素子３に入射した光のすべてを開口２に集光すること
ができなかった。このことも実質的な開口率の向上を図
るうえでの大きな制約となった。特に、この傾向は画素
の縦に対する横の長さの比が大きい程激しかった。
するためのもので、（Ａ）は水平方向の集光を説明する
断面図、（Ｂ）は垂直方向の集光を説明する断面図、
（Ｃ）は集光を説明する平面図である。この図から明ら
かなように、集光領域４は画素２に対して水平方向には
食み出していないが垂直方向には食み出しており、レン
ズ素子３に入射した光のすべてを開口２に集光すること
ができなかった。このことも実質的な開口率の向上を図
るうえでの大きな制約となった。特に、この傾向は画素
の縦に対する横の長さの比が大きい程激しかった。
【０００７】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、オンチップレンズを有する固体撮像
素子において実質的な開口率を高めて感度の向上を図る
ことを目的とする。
されたものであり、オンチップレンズを有する固体撮像
素子において実質的な開口率を高めて感度の向上を図る
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の固体撮像素子
は、各画素列上のレンズ素子列が、基部において一体に
連っているが、上部においてレンズ素子毎に独立して凸
レンズ面を有することを特徴とする。請求項２の固体撮
像素子は、各画素列上のレンズ素子列が、各レンズ素子
間毎に両側に切込みが形成されて基部において一体に連
なっているが、上部においてレンズ素子毎に独立して凸
レンズ面を有することを特徴とする。
は、各画素列上のレンズ素子列が、基部において一体に
連っているが、上部においてレンズ素子毎に独立して凸
レンズ面を有することを特徴とする。請求項２の固体撮
像素子は、各画素列上のレンズ素子列が、各レンズ素子
間毎に両側に切込みが形成されて基部において一体に連
なっているが、上部においてレンズ素子毎に独立して凸
レンズ面を有することを特徴とする。
【０００９】請求項３の固体撮像素子は、請求項２記載
の固体撮像素子において、切込みが上から視て三角形又
は弧状であることを特徴とする。請求項４の固体撮像素
子は、請求項２又は３記載の固体撮像素子において、切
込みの形状、大きさ及び／又は間隔を、有効撮像領域の
中央部と周辺部とで異ならせてなることを特徴とする。
の固体撮像素子において、切込みが上から視て三角形又
は弧状であることを特徴とする。請求項４の固体撮像素
子は、請求項２又は３記載の固体撮像素子において、切
込みの形状、大きさ及び／又は間隔を、有効撮像領域の
中央部と周辺部とで異ならせてなることを特徴とする。
【００１０】
【作用】請求項１の固体撮像素子によれば、レンズ素子
列が基部において連っており、その列方向においてレン
ズ素子ギャップがないので、レンズ素子が形成されてい
ない領域の面積が小さくなり、先ずそのレンズ素子が形
成されていない領域分実質的な開口率が高くなる。そし
て、レンズ素子列方向におけるレンズ素子ギャップをな
くすことによってレンズ素子のその列方向におけるレン
ズ面の曲率を調整することができ、延いてはそのレンズ
素子列方向における集光率を高めることができる。従っ
て、実質的な開口率を更に高くすることができる。
列が基部において連っており、その列方向においてレン
ズ素子ギャップがないので、レンズ素子が形成されてい
ない領域の面積が小さくなり、先ずそのレンズ素子が形
成されていない領域分実質的な開口率が高くなる。そし
て、レンズ素子列方向におけるレンズ素子ギャップをな
くすことによってレンズ素子のその列方向におけるレン
ズ面の曲率を調整することができ、延いてはそのレンズ
素子列方向における集光率を高めることができる。従っ
て、実質的な開口率を更に高くすることができる。
【００１１】請求項２の固体撮像素子によれば、各レン
ズ素子間毎に両側に切込みが形成されているので、レン
ズ素子列を基部において一体に連りつつその切込みによ
り各レンズ素子間を各部にて分離することができ、上部
においてレンズ素子毎に独立して凸レンズ面が形成され
るようにできる。請求項３の固体撮像素子によれば、切
込みの形状が三角形あるいは弧状という単純な形状なの
で、切込みを形成し易い。
ズ素子間毎に両側に切込みが形成されているので、レン
ズ素子列を基部において一体に連りつつその切込みによ
り各レンズ素子間を各部にて分離することができ、上部
においてレンズ素子毎に独立して凸レンズ面が形成され
るようにできる。請求項３の固体撮像素子によれば、切
込みの形状が三角形あるいは弧状という単純な形状なの
で、切込みを形成し易い。
【００１２】請求項４の固体撮像素子によれば、有効撮
像領域の周辺部において生じる集光中心と開口中心との
ずれを、切込みの形状、大きさ及び／又は間隔を変える
ことにより補償することができ、延いては有効撮像領域
の周辺部における上記ずれによる感度低下を防止するこ
とができる。
像領域の周辺部において生じる集光中心と開口中心との
ずれを、切込みの形状、大きさ及び／又は間隔を変える
ことにより補償することができ、延いては有効撮像領域
の周辺部における上記ずれによる感度低下を防止するこ
とができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明固体撮像素子を図示実施例に従
って詳細に説明する。図１（Ａ）乃至（Ｃ）は本発明固
体撮像素子の一つの実施例を示すもので、（Ａ）は平面
図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線視断面図、（Ｃ）は
（Ａ）のＣ−Ｃ線視断面図、図２はオンチップレンズ斜
視図である。図面において、１、１、…は画素、２、
２、…は画素１、１、…の開口、３、３、…はレンズ素
子、５、５、…は垂直画素列のレンズ素子列の両側面に
設けた平面形状が三角形の切込みである。
って詳細に説明する。図１（Ａ）乃至（Ｃ）は本発明固
体撮像素子の一つの実施例を示すもので、（Ａ）は平面
図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線視断面図、（Ｃ）は
（Ａ）のＣ−Ｃ線視断面図、図２はオンチップレンズ斜
視図である。図面において、１、１、…は画素、２、
２、…は画素１、１、…の開口、３、３、…はレンズ素
子、５、５、…は垂直画素列のレンズ素子列の両側面に
設けた平面形状が三角形の切込みである。
【００１４】本固体撮像素子は、水平方向に隣接する各
レンズ素子３・３間には従来と同様にレンズ素子間ギャ
ップが設けられているが、垂直方向に隣接する各レンズ
素子３・３間にはレンズ素子間ギャップが設けられてお
らず基部６において連っている。そして、基部６、６…
において連った各垂直画素列はその両側面の各隣接画素
間３・３間にあたる部分に切込み５、５、…を有してい
る。この点でも従来の固体撮像素子と異なっている。こ
のように、各隣接画素間３・３間にあたる部分に切込み
５、５、…を形成するのは、各レンズ素子３の垂直方向
のレンズ面が形成され易くするためである。即ち、若し
切込み５、５、…を設けないと垂直方向に連ったレンズ
素子列の各レンズ素子３、３、…に垂直方向に曲率を持
たすことが難しくかまぼこ状になり垂直方向に集光する
機能を持つようにすることができないのである。
レンズ素子３・３間には従来と同様にレンズ素子間ギャ
ップが設けられているが、垂直方向に隣接する各レンズ
素子３・３間にはレンズ素子間ギャップが設けられてお
らず基部６において連っている。そして、基部６、６…
において連った各垂直画素列はその両側面の各隣接画素
間３・３間にあたる部分に切込み５、５、…を有してい
る。この点でも従来の固体撮像素子と異なっている。こ
のように、各隣接画素間３・３間にあたる部分に切込み
５、５、…を形成するのは、各レンズ素子３の垂直方向
のレンズ面が形成され易くするためである。即ち、若し
切込み５、５、…を設けないと垂直方向に連ったレンズ
素子列の各レンズ素子３、３、…に垂直方向に曲率を持
たすことが難しくかまぼこ状になり垂直方向に集光する
機能を持つようにすることができないのである。
【００１５】このような固体撮像素子は、先ず、レンズ
素子列３、３、…が基部６において連っており、その列
方向においてレンズ素子ギャップがないので、レンズ素
子が形成されていない領域の面積が小さくなり、先ずそ
のレンズ素子ギャップが形成されていない領域分実質的
な開口率が高くなる。そして、レンズ素子列方向におけ
るレンズ素子ギャップをなくすことによってレンズ素子
のその列方向におけるレンズ面の曲率を調整することが
でき、延いてはそのレンズ素子列方向における集光率を
高めることができる。
素子列３、３、…が基部６において連っており、その列
方向においてレンズ素子ギャップがないので、レンズ素
子が形成されていない領域の面積が小さくなり、先ずそ
のレンズ素子ギャップが形成されていない領域分実質的
な開口率が高くなる。そして、レンズ素子列方向におけ
るレンズ素子ギャップをなくすことによってレンズ素子
のその列方向におけるレンズ面の曲率を調整することが
でき、延いてはそのレンズ素子列方向における集光率を
高めることができる。
【００１６】即ち、各垂直レンズ素子列３、３、…は基
部６が連っており、垂直方向におけるレンズ素子３・３
間ギャップがなく、その分で先ず実質的な開口率が高く
なるのみならず、各レンズ素子３の垂直方向における曲
率が弱く（曲率半径が大きく）なり、レンズ素子３の垂
直方向における曲率を水平方向における曲率に近づけ
て、図３（Ａ）乃至（Ｃ）に示すようにレンズ素子３で
集光した光の多くを開口２に入射するようにすることが
不可能でなくなる。
部６が連っており、垂直方向におけるレンズ素子３・３
間ギャップがなく、その分で先ず実質的な開口率が高く
なるのみならず、各レンズ素子３の垂直方向における曲
率が弱く（曲率半径が大きく）なり、レンズ素子３の垂
直方向における曲率を水平方向における曲率に近づけ
て、図３（Ａ）乃至（Ｃ）に示すようにレンズ素子３で
集光した光の多くを開口２に入射するようにすることが
不可能でなくなる。
【００１７】尚、図３（Ａ）乃至（Ｃ）は図１、図２に
示した実施例により得られる効果を説明するためのもの
で、（Ａ）は垂直方向の集光説明断面図、（Ｂ）は水平
方向の集光説明断面図、（Ｃ）は集光説明平面図であ
る。しかして、本固体撮像素子によれば、実質的な開口
率を著しく高めることができ、感度の向上を図ることが
できる。
示した実施例により得られる効果を説明するためのもの
で、（Ａ）は垂直方向の集光説明断面図、（Ｂ）は水平
方向の集光説明断面図、（Ｃ）は集光説明平面図であ
る。しかして、本固体撮像素子によれば、実質的な開口
率を著しく高めることができ、感度の向上を図ることが
できる。
【００１８】図４は本発明固体撮像素子の別の実施例を
示す平面図である。本実施例は、図１、図２に示した実
施例とは、切込み５の平面形状が三角形ではなく略半円
形に近い弧状になっている点でのみ相違するが、それ以
外の点では相違しない。
示す平面図である。本実施例は、図１、図２に示した実
施例とは、切込み５の平面形状が三角形ではなく略半円
形に近い弧状になっている点でのみ相違するが、それ以
外の点では相違しない。
【００１９】このように、切込み５の平面形状は図１、
図２に示した実施例のように平面形状を三角形にしても
良いし、図４に示した実施例にしても良く、そのいずれ
の形状であっても複雑な形状ではないのでレンズ素子の
形成が比較的容易である。尚、切込み５の切込み６が三
角形の場合はその三角形底辺２ｙの大きさ、高さｘある
いはその比により、また切込み６が半円形の場合はその
高さｘにより集光特性を微妙に変えることができる。例
えば、高さｘを大きくする程垂直方向の曲率を強くする
ことができる。
図２に示した実施例のように平面形状を三角形にしても
良いし、図４に示した実施例にしても良く、そのいずれ
の形状であっても複雑な形状ではないのでレンズ素子の
形成が比較的容易である。尚、切込み５の切込み６が三
角形の場合はその三角形底辺２ｙの大きさ、高さｘある
いはその比により、また切込み６が半円形の場合はその
高さｘにより集光特性を微妙に変えることができる。例
えば、高さｘを大きくする程垂直方向の曲率を強くする
ことができる。
【００２０】尚、切込み５の切込み６の形状、大きさ
を、有効撮像領域のどの部分においても同じにすること
は必ずしも必要ではなく、中央部と周辺部とで変えるよ
うにしても良い。というのは、オンチップレンズを有す
る固体撮像素子においては、図５に示す有効撮像領域７
の中央部７ａでは各画素はレンズ素子によりそのセンサ
ー開口に集光することができ、集光中心と開口中心とが
略一致するが、周辺部７ｂ、７ｂ、７ｂ、７ｂ、特にコ
ーナー部においては集光中心と開口２中心とがずれてし
まい、集光効率が悪くなる傾向にある。
を、有効撮像領域のどの部分においても同じにすること
は必ずしも必要ではなく、中央部と周辺部とで変えるよ
うにしても良い。というのは、オンチップレンズを有す
る固体撮像素子においては、図５に示す有効撮像領域７
の中央部７ａでは各画素はレンズ素子によりそのセンサ
ー開口に集光することができ、集光中心と開口中心とが
略一致するが、周辺部７ｂ、７ｂ、７ｂ、７ｂ、特にコ
ーナー部においては集光中心と開口２中心とがずれてし
まい、集光効率が悪くなる傾向にある。
【００２１】そこで、切込み５の切込み６の形状、大き
さによりレンズ素子３の集光特性を変えることができる
ことを利用して周辺部７ｂ、７ｂ、７ｂ、７ｂにおいて
集光中心を開口中心に一致させるように切込み５の切込
み６の形状、大きさを設定すれば、有効撮像領域の周辺
部における上記ずれによる感度低下を防止することがで
きる。このように、本発明は種々の態様で実施すること
ができる。
さによりレンズ素子３の集光特性を変えることができる
ことを利用して周辺部７ｂ、７ｂ、７ｂ、７ｂにおいて
集光中心を開口中心に一致させるように切込み５の切込
み６の形状、大きさを設定すれば、有効撮像領域の周辺
部における上記ずれによる感度低下を防止することがで
きる。このように、本発明は種々の態様で実施すること
ができる。
【００２２】
【発明の効果】請求項１の固体撮像素子は、各画素列上
のレンズ素子列が、基部において一体に連なっている
が、上部においてレンズ素子毎に独立して凸レンズ面を
有することを特徴とするものである。従って、請求項１
の固体撮像素子によれば、レンズ素子列が基部において
連っており、その列方向においてレンズ素子ギャップが
ないので、レンズ素子が形成されていない領域の面積が
小さくなり、先ずそのレンズ素子が形成されていない領
域分実質的な開口率が高くなる。そして、レンズ素子列
方向におけるレンズ素子ギャップをなくすことによって
レンズ素子のその列方向におけるレンズ面の曲率を調整
することができ、延いてはそのレンズ素子列方向におけ
る集光率を高めることができる。
のレンズ素子列が、基部において一体に連なっている
が、上部においてレンズ素子毎に独立して凸レンズ面を
有することを特徴とするものである。従って、請求項１
の固体撮像素子によれば、レンズ素子列が基部において
連っており、その列方向においてレンズ素子ギャップが
ないので、レンズ素子が形成されていない領域の面積が
小さくなり、先ずそのレンズ素子が形成されていない領
域分実質的な開口率が高くなる。そして、レンズ素子列
方向におけるレンズ素子ギャップをなくすことによって
レンズ素子のその列方向におけるレンズ面の曲率を調整
することができ、延いてはそのレンズ素子列方向におけ
る集光率を高めることができる。
【００２３】請求項２の固体撮像素子は、各画素列上の
レンズ素子列が、各レンズ素子間毎に両側に切込みが形
成されて基部において一体に連っているが、上部におい
てレンズ素子後とに独立して凸レンズ面を有することを
特徴とするものである。従って、請求項２の固体撮像素
子によれば、各レンズ素子間毎に両側に切込みが形成さ
れているので、レンズ素子列を基部において一体に連り
つつその切込みにより各レンズ素子間を各部にて分離す
ることができ、上部においてレンズ素子毎に独立して凸
レンズ面が形成されるようにできる。
レンズ素子列が、各レンズ素子間毎に両側に切込みが形
成されて基部において一体に連っているが、上部におい
てレンズ素子後とに独立して凸レンズ面を有することを
特徴とするものである。従って、請求項２の固体撮像素
子によれば、各レンズ素子間毎に両側に切込みが形成さ
れているので、レンズ素子列を基部において一体に連り
つつその切込みにより各レンズ素子間を各部にて分離す
ることができ、上部においてレンズ素子毎に独立して凸
レンズ面が形成されるようにできる。
【００２４】請求項３の固体撮像素子は、切込みが上か
ら視て三角形又は弧状であることを特徴とするものであ
る。従って、請求項３の固体撮像素子によれば、切込み
の形状が三角形あるいは弧状という単純な形状なので、
切込みを形成し易い。
ら視て三角形又は弧状であることを特徴とするものであ
る。従って、請求項３の固体撮像素子によれば、切込み
の形状が三角形あるいは弧状という単純な形状なので、
切込みを形成し易い。
【００２５】請求項４の固体撮像素子は、切込みの形
状、大きさ及び／又は間隔を、有効撮像領域の中央部と
周辺部とで異ならせてなることを特徴とする。従って、
請求項４の固体撮像素子によれば、有効撮像領域の周辺
部において生じる集光中心と開口中心とのずれを切込み
の形状、大きさ及び／又は間隔を変えることにより補償
することができ、延いては有効撮像領域の周辺部におけ
る上記ずれによる感度低下を防止することができる。
状、大きさ及び／又は間隔を、有効撮像領域の中央部と
周辺部とで異ならせてなることを特徴とする。従って、
請求項４の固体撮像素子によれば、有効撮像領域の周辺
部において生じる集光中心と開口中心とのずれを切込み
の形状、大きさ及び／又は間隔を変えることにより補償
することができ、延いては有効撮像領域の周辺部におけ
る上記ずれによる感度低下を防止することができる。
【図１】（Ａ）乃至（Ｃ）は本発明固体撮像素子の一つ
の実施例を示すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は
（Ａ）のＢ−Ｂ線視断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線
視断面図である。
の実施例を示すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は
（Ａ）のＢ−Ｂ線視断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線
視断面図である。
【図２】図１に示した固体撮像素子のオンチップレンズ
の斜視図である。
の斜視図である。
【図３】（Ａ）乃至（Ｃ）は図１、図２に示した固体撮
像素子の効果を説明するもので、（Ａ）は垂直方向の集
光を説明する断面図、（Ｂ）は水平方向の集光を説明す
る平面図、（Ｃ）は集光を説明する平面図である。
像素子の効果を説明するもので、（Ａ）は垂直方向の集
光を説明する断面図、（Ｂ）は水平方向の集光を説明す
る平面図、（Ｃ）は集光を説明する平面図である。
【図４】本発明固体撮像素子の別の実施例を示す平面図
である。
である。
【図５】本発明固体撮像素子の更に別の実施例を説明す
る平面図である。
る平面図である。
【図６】（Ａ）乃至（Ｃ）は固体撮像素子の従来例を示
すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線
視断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線視断面図である。
すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線
視断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線視断面図である。
【図７】（Ａ）乃至（Ｃ）は従来の固体撮像素子の問題
点を説明するもので、（Ａ）は垂直方向の集光を説明す
る断面図、（Ｂ）は水平方向の集光を説明する平面図、
（Ｃ）は集光を説明する平面図である。
点を説明するもので、（Ａ）は垂直方向の集光を説明す
る断面図、（Ｂ）は水平方向の集光を説明する平面図、
（Ｃ）は集光を説明する平面図である。
１ 画素 ２ 開口 ３ レンズ素子 ５ 切込み ７ 有効撮像領域 ７ａ 中央部 ７ｂ 周辺部
Claims (4)
- 【請求項１】 各画素列上のレンズ素子列が、基部にお
いて一体に連なっているが、上部においてレンズ素子毎
に独立して凸レンズ面を有することを特徴とする固体撮
像素子 - 【請求項２】 各画素列上のレンズ素子列が、各レンズ
素子間毎に両側に切込みが形成されて基部において一体
に連っているが、上部においてレンズ素子毎に独立して
凸レンズ面を有することを特徴とする - 【請求項３】 切込みが上から視て三角形又は弧状であ
ることを特徴とする請求項２記載の固体撮像素子 - 【請求項４】 切込みの形状、大きさ及び／又は間隔
を、有効撮像領域の中央部と周辺部とで異なっているこ
とを特徴とする請求項２又は３記載の固体撮像素子
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5281721A JPH07113983A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5281721A JPH07113983A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07113983A true JPH07113983A (ja) | 1995-05-02 |
Family
ID=17643061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5281721A Pending JPH07113983A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07113983A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005268356A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像素子 |
| US8075810B2 (en) | 2006-05-12 | 2011-12-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Process for producing microlens |
| US9362323B2 (en) | 2013-11-13 | 2016-06-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image sensor |
-
1993
- 1993-10-14 JP JP5281721A patent/JPH07113983A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005268356A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像素子 |
| US8075810B2 (en) | 2006-05-12 | 2011-12-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Process for producing microlens |
| US9362323B2 (en) | 2013-11-13 | 2016-06-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4081841A (en) | Solid state image sensor | |
| CA1050640A (en) | Solid state image sensor | |
| KR101274305B1 (ko) | 이미지 센서 및 디지털 카메라 | |
| US7227193B2 (en) | Solid-state image sensor with micro-lenses for preventing shading | |
| JPH07113983A (ja) | 固体撮像素子 | |
| EP0066767B1 (en) | Solid state image sensor | |
| US4504855A (en) | Color imaging device | |
| JPH0527196A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JPH04218965A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JP2002270811A (ja) | 固体撮像素子と、その駆動方法と、その製造方法 | |
| JP2000174244A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JP2706547B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
| JP3365159B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
| US4330188A (en) | Focusing screen | |
| JPH0645572A (ja) | マイクロレンズを備えた固体撮像素子 | |
| JPH0783134B2 (ja) | 光電変換装置 | |
| JP3539340B2 (ja) | 固体撮像装置及び固体撮像装置の製造方法 | |
| JPH06283694A (ja) | 増幅型固体撮像素子 | |
| JPH11111962A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH0832043A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JP6067993B2 (ja) | 単板カラー撮像素子 | |
| JPH04294583A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JP2830620B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
| JPH05304278A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH0628452B2 (ja) | 固体撮像装置 |