JPH07114591A - パターンデータの編集処理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ストリームフォーマットのパターンデータの
任意の領域を頂点配列データのまま反転処理して、蓄積
された設計資源を有効に活用して設計作業効率を向上さ
せる。 【構成】 ソースファイル記憶部１は、閉図形データか
らなるパターンデータを記憶する。パターンデータは、
複数のレイヤで構成され、各々の閉図形データは、頂点
の配列で表現されると共に頂点の配列順序から内外領域
を識別できる。入力部２及び変換パラメータ設定処理部
４は、ソースファイル記憶部１に記憶されたパターンデ
ータに対し、変換すべきレイヤ、領域及び反転の有無等
の変換パラメータを設定する。反転処理部５は、変換パ
ラメータ設定処理部４で設定された変換パラメータに基
づいて変換すべきレイヤの指定領域内の閉図形データの
頂点の配列順序を反転させて閉図形データの内外領域を
反転させる。レイヤ合成処理部６は、指定されたレイヤ
をＯＲ処理して合成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、頂点の配列で表現され
た閉図形データからなるパターンデータの内外領域を反
転・合成処理するパターンデータの編集処理システムに
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＣＡＤデータから電子線描画（Ｅ
Ｂ）装置へデータを転送してＩＣパターンを作成する等
の用途においては、ＣＡＤデータをＧＤＳIIストリーム
フォーマット等の中間フォーマットを介してＥＢ装置へ
転送することがなされている。ストリームフォーマット
は、基本的には図形を頂点配列からなる閉図形で定義
し、頂点の配列順序に沿った追跡方向に対する一方の側
を内側と定義することにより、閉図形の内外領域を区別
するベクトルデータである。一般にＩＣパターンを作成
する場合、同一パターンを一方ではポジティブパター
ン、他方ではネガティブパターンとして定義したいこと
がある。従来、このようなパターン反転処理を実行する
場合、頂点配列の順序を反転させることにより追跡方向
を逆転させて内外区別を反転させるようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のパターン反転処理方式では、ストリームフォ
ーマット自体には正負の判別データを持たないため、Ｅ
Ｂ装置側で反転、非反転の指示を行っている。このた
め、パターン全体を反転させることは可能であるが、パ
ターンの一部だけを取り出して反転させたり、それを合
成して新たなパターンを生成するといった柔軟な編集処
理が困難であるという問題点がある。

【０００４】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたもので、既に生成済みのストリームフォーマ
ットで定義されたパターンデータから任意のパターンを
簡単に生成することができ、蓄積された設計資源を有効
に活用して設計作業効率を向上させることが可能なパタ
ーンデータの編集処理システムを提供することを目的と
する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明に係るパターンデ
ータの編集処理システムは、頂点の配列で表現されると
共に頂点の配列順序から内外領域を識別できる閉図形デ
ータからなるパターンデータを記憶するパターンデータ
記憶手段と、このパターンデータ記憶手段に記憶された
パターンデータに対し変換すべき領域及び反転の有無等
の変換パラメータを設定する変換パラメータ設定手段
と、この変換パラメータ設定手段で設定された変換パラ
メータに基づいて前記変換すべき領域を規定する境界の
頂点及び前記変換すべき領域の内部の閉図形データの頂
点を変換すべき閉図形データの頂点とし、当該頂点の配
列順序を反転させる反転処理手段とを備えたことを特徴
とする。

【０００６】また、本発明は、好ましくは、前記反転処
理手段が、それぞれに独立に変換パラメータが設定され
た複数のレイヤに対し、それぞれの変換パラメータに基
づいて反転処理を実行するものであり、前記反転処理手
段で処理された複数のレイヤを合成するレイヤ合成手段
を更に備えたことを特徴とする。

【０００７】

【作用】本発明によれば、変換パラメータ設定手段で変
換すべき領域を設定すると、反転処理手段が、前記変換
パラメータに基づいて、変換すべき領域を規定する境界
の頂点と変換すべき領域内の閉図形データの頂点とを変
換すべき閉図形データの頂点として当該頂点の配列順序
を反転させるようにしているので、任意の指定領域の内
部のみを、頂点配列データの形で不都合なく反転処理す
ることができる。このため、既に作成されているパター
ンデータの必要な部分のみを利用して合成することによ
り、新たなパターンデータの作成が容易になり、設計作
業効率も向上する。

【０００８】なお、パターンデータが複数のレイヤから
構成されている場合には、各レイヤに対して独立に変換
すべき領域及び変換の有無を指定し、変換処理後に合成
することにより、更に柔軟な反転パターンの生成処理を
実現することができる。これにより、任意のパターンデ
ータを様々な作成済みパターンデータを用いて容易に作
成することができ、設計の作業効率が更に増すことにな
る。

【０００９】

【実施例】以下、添付の図面を参照してこの発明の実施
例に係るパターンデータの編集処理システムについて説
明する。図１はこのパターンデータの編集処理システム
の概略構成を示す機能ブロック図である。図中１はソー
スファイル記憶部で、このソースファイル記憶部１に
は、ＧＤＳIIストリームフォーマットで記述されたパタ
ーンデータからなるＣＡＤソースファイルが記憶されて
いる。１つのソースファイルは複数のレイヤＬ１〜Ｌ５
から構成され、各レイヤＬ１〜Ｌ５はそれぞれ個別に操
作が可能なものとなっている。入力部２は、上記ソース
ファイルに対する編集を指示するためのマンマシンイン
タフェースで、キーボード及びマウス等から構成されて
いる。表示部３は入力部２を使用しての各種パラメータ
の設定時のメニュー及びパターンデータを表示する。

【００１０】変換パラメータ設定処理部４は、入力部２
から入力される入力ファイル名（ソースファイル名）、
中間データファイル名（変換処理後のパターンデータを
格納するファイル名）、変換レイヤ名、変換領域指示、
未定義領域指示、定義領域の正／反指定、変換領域分割
数、レイヤ指定終了指示、変換オフセット、変換開始指
示等の変換パラメータ及びコマンドに基づいてソースフ
ァイル記憶部１から指定されたレイヤを読み込み、変換
パラメータを付加して反転処理部５にパターンデータを
渡す。

【００１１】反転処理部５は、指定されたレイヤのうち
定義領域の正／反指定で反転と指示されたレイヤの変換
領域内の図形データを内外反転させてレイヤ合成処理部
６に渡す。レイヤ合成処理部６は、指定されたレイヤを
ＯＲ処理して合成して新たなパターンデータを生成す
る。このとき反転指定されたレイヤは反転処理後のパタ
ーンが合成される。中間データファイル作成部７は、レ
イヤ合成処理部６で生成されたパターンデータを中間デ
ータファイルの形式にし、中間データファイル記憶部８
に格納する。

【００１２】次に、このシステムにおけるパターンデー
タの反転処理を簡単な例について説明する。即ち、い
ま、図２に示すような閉図形データ（ａｂｃｄ）が変換
領域ＡＢＣＤの内側に存在し、この図形（ａｂｃｄ）を
反転させる場合について考える。この例では、ａ→ｂ→
ｃ→ｄ→ａで示される頂点座標の配列順序の方向に沿っ
て左側を内側、右側を外側と定義している。したがっ
て、先ず、第１ステップで閉図形データの頂点座標の配
列順序を反転させて閉図形データ（ａｄｃｄ）とするこ
とで、内側と外側を反転させる。しかし、このままで
は、二重の閉図形となり、図形内部を識別できないた
め、ステップ２で例えば頂点ａを通る水平線で外側図形
（変換領域を定義したＡＢＣＤも図形として取り扱う）
と内側図形とを結ぶ切り込み線Ｄ´ａを入れる。そし
て、ステップ３で、各頂点において最も左の線分を選択
しながら追跡処理を実行していくことにより、１つの閉
図形データ（ＡＢＣＤＤ´ａｄｃｂＤ″）とする。この
ような操作で、反転された閉図形データを求める。

【００１３】図３は、各指定されたレイヤＬ１〜Ｌ４の
パターンデータと正反定義に基づく変換後のパターンデ
ータとの関係を示す図である。レイヤＬ１，Ｌ３は正
（ポジティブ）、レイヤＬ２，Ｌ４は反（ネガティブ）
に指定されている。ここで、１つの正反定義が他のレイ
ヤとの結合や正反定義に対して領域的に干渉しないよう
にする必要がある。これを具体的に実現する方法として
は、領域的に干渉しあうパターンの正反定義を行う際、
１つのレイヤ毎にデータの正反定義を行い、そのとき定
義対象とならないレイヤについては、未定義領域を設定
し、その領域内では正反定義を保留するという方法を用
いれば良い。この場合、未定義領域以外の部分、即ち、
定義領域が変換すべき領域となる。図３の例では、点線
で示す枠の外側を未定義領域に設定しており、この領域
内で反転処理が行われないようにしている。

【００１４】図４は、本システムの処理の流れを示すフ
ローチャートである。まず、入力部２を使用して入力フ
ァイル名、中間データファイル名、変換レイヤ名、変換
領域を指定する（Ｓ１〜Ｓ４）。変換領域は対角座標を
例えばマウス等で指示して行う。次に定義領域正／反指
定を行う（Ｓ５）。もし、正（ポジティブ）と指定した
場合には、パターンの有無をソースデータと同じ定義で
解釈する。また、反（ネガティブ）と指定した場合は、
パターンの有無をソースデータと逆に解釈する。反と指
定した場合には、未定義領域の有無を指定し（Ｓ６）、
有を指定した場合には、未定義領域を指定する（Ｓ
７）。未定義領域の指定が終了したら（Ｓ８）、変換領
域分割数のデフォルト値をチェックする（Ｓ９）。ここ
で、変換領域分割数とは、領域を分割して変換する場合
の分割数及び分割ピッチで、図形密度等によって決定す
る。分割数が適当でない場合には、分割数を指定する
（Ｓ１０）。

【００１５】全レイヤの指定が終了したら（Ｓ１１）、
変換の際の基準座標値である変換オフセット値をチェッ
クし（Ｓ１２）、これが適当でない場合には変換オフセ
ット値を新たに指定する（Ｓ３）。そして、変換開始の
指令が与えられたら（Ｓ１４）、図３に示すように反転
指定されたレイヤについては反転処理を実行し（Ｓ１
５）、次にレイヤ間のＯＲ処理（Ｓ１６）を実行した
後、得られたパターンデータの中間データファイルを作
成する（Ｓ１７）。

【００１６】なお、反転処理は、基本的には前述した方
法によるが、反転前後に存在する図２で示す切り込み線
Ｄ′ａ，ａＤ″が切り込み線であるという認識が困難で
あることがある。このため、切り込み線には、予め切り
込み線であることを示す情報を付加しておく。これによ
り、反転処理後に切り込み線部分を認識し、必要に応じ
てこれを除去するなどの処理が可能になる。

【００１７】また、その他の方法としては、閉図形を複
数の三角形及び台形に分割する方法も考えられる。この
処理を図５のフローチャートに沿って説明する。即ち、
図３のレイヤＬ２の図形を例にとると、矩形の内部に円
形のくり貫きが存在している。円形が正２００角形とし
て定義されていたとして、簡単のためこれを正六角形で
表現すると図６（ａ）のような閉図形データで表され
る。また、図３のレイヤＬ４は、図７（ａ）のような閉
図形データで表される。

【００１８】そこで、先ず、未定義領域の境界を規定す
る頂点を図形の頂点として取り込む（Ｓ２０）。次に、
図形の各頂点を通るＸ軸に平行な直線を算出し（Ｓ２
１）、その直線と図形の各線分との交点を求め、図６，
７（ｂ）のような分割線分Ｓを算出する（Ｓ２２）。そ
して、この分割線分Ｓで元の図形を分割する（Ｓ２
３）。このとき、図６，７（ｃ）に示すように、各分割
図形の頂点の配列順序は、元の図形の配列順序に従うよ
うに決定される。次に同図（ｄ）に示すように、各分割
図形の頂点の配列順序を反転させたのち（Ｓ２４）、同
図（ｅ，ｆ）に示すように、分割図形を合成する（Ｓ２
５）。合成時には、分割線には予め付加しておいた分割
線であることを示す情報に基づいて分割線を消去してし
まうか、または、重なった線分のうち、頂点の配列順序
が異なる線分同士を消去する。なお、ＯＲ処理は、単純
に指定レイヤのアドレスを演算子で接続すればよい。

【００１９】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、変
換パラメータ設定手段で変換すべき領域を設定すると、
反転処理手段が、前記変換パラメータに基づいて、変換
すべき領域を規定する境界の頂点と変換すべき領域内の
閉図形データの頂点とを変換すべき閉図形データの頂点
として当該頂点の配列順序を反転させるようにしている
ので、任意の指定領域の内部のみを、頂点配列データの
形で不都合なく反転処理することができる。このため、
既に作成されているパターンデータの必要な部分のみを
利用して合成することにより、新たなパターンデータの
作成が容易になり、設計作業効率も向上するという効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例に係るパターンデータの編集
処理システムの機能ブロック図である。

【図２】 同システムにおける編集処理の基本的な考え
方を説明するための図である。

【図３】 同システムにおけるパターンデータの反転及
び合成処理の概念を説明するための図である。

【図４】 同システムの処理を示すフローチャートであ
る。

【図５】 同システムにおける編集処理の更に具体例を
示すフローチャートである。

【図６】 同編集処理の一例を説明するための図であ
る。

【図７】 同編集処理の他の例を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１…ソースファイル記憶部、２…入力部、３…表示部、
４…変換パラメータ設定処理部、５…反転処理部、６…
レイヤ合成処理部、７…中間データファイル作成部、８
…中間データファイル記憶部。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 頂点の配列で表現されると共に頂点の配
   列順序から内外領域を識別できる閉図形データからなる
   パターンデータを記憶するパターンデータ記憶手段と、 このパターンデータ記憶手段に記憶されたパターンデー
   タに対し変換すべき領域及び反転の有無等の変換パラメ
   ータを設定する変換パラメータ設定手段と、 この変換パラメータ設定手段で設定された変換パラメー
   タに基づいて前記変換すべき領域を規定する境界の頂点
   及び前記変換すべき領域の内部の閉図形データの頂点を
   変換すべき閉図形データの頂点とし、当該頂点の配列順
   序を反転させる反転処理手段とを備えたことを特徴とす
   るパターンデータの編集処理システム。
2. 【請求項２】 前記反転処理手段は、それぞれに独立に
   変換パラメータが設定された複数のレイヤに対し、それ
   ぞれの変換パラメータに基づいて反転処理を実行するも
   のであり、 前記反転処理手段で処理された複数のレイヤを合成する
   レイヤ合成手段を更に備えたことを特徴とする請求項１
   記載のパターンデータの編集処理システム。