JPH07114731A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH07114731A JPH07114731A JP5260818A JP26081893A JPH07114731A JP H07114731 A JPH07114731 A JP H07114731A JP 5260818 A JP5260818 A JP 5260818A JP 26081893 A JP26081893 A JP 26081893A JP H07114731 A JPH07114731 A JP H07114731A
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- magnetic
- recording medium
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録再生機器に使用される磁気記録媒体
の製造方法において、強磁性金属薄膜を電子ビーム蒸着
により形成したのち、回転支持体よりフィルムを引き離
す部分に、磁性流体を配し、再現良く高密度ディジタル
記録でビットエラーの少ない磁気記録媒体を製造する方
法の提供を目的とする。 【構成】 強磁性金属薄膜を電子ビーム蒸着により形成
したのち、回転支持体よりフィルムを引き離す部分に、
磁性流体を配することで、フィルム上の静電気を効率良
く排除し、しわや、材料転写等の欠点によるビットエラ
ーの発生をなくした、高性能ディジタルテープが製造さ
れる。
の製造方法において、強磁性金属薄膜を電子ビーム蒸着
により形成したのち、回転支持体よりフィルムを引き離
す部分に、磁性流体を配し、再現良く高密度ディジタル
記録でビットエラーの少ない磁気記録媒体を製造する方
法の提供を目的とする。 【構成】 強磁性金属薄膜を電子ビーム蒸着により形成
したのち、回転支持体よりフィルムを引き離す部分に、
磁性流体を配することで、フィルム上の静電気を効率良
く排除し、しわや、材料転写等の欠点によるビットエラ
ーの発生をなくした、高性能ディジタルテープが製造さ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高密度磁気記録に適する
強磁性金属薄膜を磁性層とする耐久性と記録特性に優れ
た磁気記録媒体の製造方法に関するものである。
強磁性金属薄膜を磁性層とする耐久性と記録特性に優れ
た磁気記録媒体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】情報化社会の進展に伴い、記録すべき情
報量の増大は著しく、磁気記録についても可能な限り記
録密度を高める対応が要請され、短波長化、狭トラック
化に耐える高性能磁気記録媒体の開発が盛んになってき
ている。多くの提案がなされているが、現在実用に供さ
れているものは特開昭５３−５８２０６号公報に開示さ
れているような強磁性金属自身の酸化物で柱状微粒子の
表面が被覆された構造をもち記録特性と耐久性をバラン
ス良く改善したもので、構成元素はＣｏ，Ｎｉ，Ｏから
なり（特開昭５６−１５０１４号公報）、これらの磁気
記録層を形成するのは、酸素ガスを介在させながらＣ
ｏ，Ｃｏ−Ｎｉを電子ビーム蒸着する方法が代表的で酸
素の導入については幾つかの提案があるが基材近傍で、
入射角規制を行う部分に近い位置が良く用いられている
（特開昭５４−１９１９９号公報、特開昭５８−３２２
３４号公報）。
報量の増大は著しく、磁気記録についても可能な限り記
録密度を高める対応が要請され、短波長化、狭トラック
化に耐える高性能磁気記録媒体の開発が盛んになってき
ている。多くの提案がなされているが、現在実用に供さ
れているものは特開昭５３−５８２０６号公報に開示さ
れているような強磁性金属自身の酸化物で柱状微粒子の
表面が被覆された構造をもち記録特性と耐久性をバラン
ス良く改善したもので、構成元素はＣｏ，Ｎｉ，Ｏから
なり（特開昭５６−１５０１４号公報）、これらの磁気
記録層を形成するのは、酸素ガスを介在させながらＣ
ｏ，Ｃｏ−Ｎｉを電子ビーム蒸着する方法が代表的で酸
素の導入については幾つかの提案があるが基材近傍で、
入射角規制を行う部分に近い位置が良く用いられている
（特開昭５４−１９１９９号公報、特開昭５８−３２２
３４号公報）。
【０００３】以下に従来の磁気記録媒体の製造方法につ
いて説明する。図３は従来の磁気記録媒体の製造に用い
られている蒸着装置の要部構成図である。
いて説明する。図３は従来の磁気記録媒体の製造に用い
られている蒸着装置の要部構成図である。
【０００４】図３で１はポリエステル等の高分子フィル
ムで、２は一定の温度に制御された回転支持体で、３は
フィルム送り出し軸、４はフィルム巻き取り軸、５は蒸
発源容器、６は蒸着材料、７は加速電子ビーム、８は蒸
気流、９はマスク、１０は酸素導入ノズルで、１１はグ
ロー放電電極である。図３の装置を用いて、磁気記録媒
体を製造する方法は以下の如くである。例えば粒状性の
表面をもったポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ンナフタレート等を巻き取り系にセットし、真空排気
し、ＣｏやＣｏ−Ｎｉ等の蒸着材料を加速電子線により
加熱蒸発させて、接線方向から蒸着を進めマスクで遮断
する入射角（最小入射角と呼んでいる）で蒸着を完了
し、その際に最小入射角近くで酸素ガスを導入し、部分
酸化膜からなる磁気記録層の形成を回転支持体に沿った
状態で移動するフィルム上に行った後、回転支持体より
離されて静電気を見かけ上打ち消すようにグロー放電処
理されたあと巻取られることで製造される。
ムで、２は一定の温度に制御された回転支持体で、３は
フィルム送り出し軸、４はフィルム巻き取り軸、５は蒸
発源容器、６は蒸着材料、７は加速電子ビーム、８は蒸
気流、９はマスク、１０は酸素導入ノズルで、１１はグ
ロー放電電極である。図３の装置を用いて、磁気記録媒
体を製造する方法は以下の如くである。例えば粒状性の
表面をもったポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ンナフタレート等を巻き取り系にセットし、真空排気
し、ＣｏやＣｏ−Ｎｉ等の蒸着材料を加速電子線により
加熱蒸発させて、接線方向から蒸着を進めマスクで遮断
する入射角（最小入射角と呼んでいる）で蒸着を完了
し、その際に最小入射角近くで酸素ガスを導入し、部分
酸化膜からなる磁気記録層の形成を回転支持体に沿った
状態で移動するフィルム上に行った後、回転支持体より
離されて静電気を見かけ上打ち消すようにグロー放電処
理されたあと巻取られることで製造される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、フィルムが薄型化して、しわになりやす
くなり静電気の影響を小さくするためにグロー放電処理
を強化すると平滑面と微小部分で接着現象が起きて、高
密度ディジタル記録で、エラー発生率が不十分である媒
体しか製造できないといった問題点を有していた。
来の構成では、フィルムが薄型化して、しわになりやす
くなり静電気の影響を小さくするためにグロー放電処理
を強化すると平滑面と微小部分で接着現象が起きて、高
密度ディジタル記録で、エラー発生率が不十分である媒
体しか製造できないといった問題点を有していた。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、狭トラック高密度ディジタル記録を可能にする、耐
久性と高出力特性を兼ね備えた薄型の磁気記録媒体の製
造方法を提供することを目的とする。
で、狭トラック高密度ディジタル記録を可能にする、耐
久性と高出力特性を兼ね備えた薄型の磁気記録媒体の製
造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の磁気記録媒体の製造方法は、移動するフィル
ムに強磁性金属を電子ビーム蒸着した後、回転支持体よ
りフィルムを引き離す部分に、磁性流体を配するように
したものである。
に本発明の磁気記録媒体の製造方法は、移動するフィル
ムに強磁性金属を電子ビーム蒸着した後、回転支持体よ
りフィルムを引き離す部分に、磁性流体を配するように
したものである。
【０００８】
【作用】この構成によって磁性層形成後において、回転
支持体から帯電したフィルムの表面電位が磁性流体を通
しての放電現象でさがることになり、且つその均一性も
良好にできるから薄型化した機械強度の弱いフィルムを
幅方向に均一な張力で巻取れるから、過剰なグロー放電
処理を行う必要がなく、微視的な接着現象をなくせるこ
とになり薄型の磁気記録媒体を再現よく製造できるよう
になる。
支持体から帯電したフィルムの表面電位が磁性流体を通
しての放電現象でさがることになり、且つその均一性も
良好にできるから薄型化した機械強度の弱いフィルムを
幅方向に均一な張力で巻取れるから、過剰なグロー放電
処理を行う必要がなく、微視的な接着現象をなくせるこ
とになり薄型の磁気記録媒体を再現よく製造できるよう
になる。
【０００９】
（実施例１）以下本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【００１０】図１において、図３と同一の構成で良い要
素は同一の番号を付与した。図１において１２は磁性流
体で磁性微粒子は粒径が５〜３０ｎｍの合金粒子が好ま
しく、液体物質は真空内で用いられることから蒸気圧の
低いもので回転支持体が冷却して用いられる場合はその
温度での動粘度が５Ｃｓｔ（２０℃）以下になる様に設
計することが好ましい。合金粒子の濃度は１０〜６０％
が良いが、合金粒子の代わりに酸化鉄を用いる場合は金
属イオンを吸着させる必要がある。１３は磁性流体をフ
ィルムを回転支持体から処理が終わって引き離す部分に
局在化させるための隔壁でマグネット自体かマグネット
を内蔵した構造物からなるものである。１４はフリーロ
ーラーである。
素は同一の番号を付与した。図１において１２は磁性流
体で磁性微粒子は粒径が５〜３０ｎｍの合金粒子が好ま
しく、液体物質は真空内で用いられることから蒸気圧の
低いもので回転支持体が冷却して用いられる場合はその
温度での動粘度が５Ｃｓｔ（２０℃）以下になる様に設
計することが好ましい。合金粒子の濃度は１０〜６０％
が良いが、合金粒子の代わりに酸化鉄を用いる場合は金
属イオンを吸着させる必要がある。１３は磁性流体をフ
ィルムを回転支持体から処理が終わって引き離す部分に
局在化させるための隔壁でマグネット自体かマグネット
を内蔵した構造物からなるものである。１４はフリーロ
ーラーである。
【００１１】以下更に本実施例の効果について明確にす
るために具体的に磁気記録媒体を試作し、従来法で得ら
れたものと特性比較を行った結果について詳しく述べ
る。
るために具体的に磁気記録媒体を試作し、従来法で得ら
れたものと特性比較を行った結果について詳しく述べ
る。
【００１２】厚み４．１μｍで、長手方向、幅方向夫々
７４０，８９０［Kg／mm2］のヤング率で、平均粗さ３
０Åのポリエチレンナフタレートフィルム（直径１５０
ÅのＳｉＯ2の超微粒子を平均密度２０個／μｍ2を樹脂
固定した塗布層をあらかじめ配したものを用いた）を直
径１ｍの２０℃に冷却した回転キャンに沿わせて巻き取
りながら酸素を導入してＣｏを電子ビーム蒸着して磁性
層を０．１８μｍ形成した。蒸着後フィルムを引き離す
部分にマグネットで囲って磁性流体を配した。
７４０，８９０［Kg／mm2］のヤング率で、平均粗さ３
０Åのポリエチレンナフタレートフィルム（直径１５０
ÅのＳｉＯ2の超微粒子を平均密度２０個／μｍ2を樹脂
固定した塗布層をあらかじめ配したものを用いた）を直
径１ｍの２０℃に冷却した回転キャンに沿わせて巻き取
りながら酸素を導入してＣｏを電子ビーム蒸着して磁性
層を０．１８μｍ形成した。蒸着後フィルムを引き離す
部分にマグネットで囲って磁性流体を配した。
【００１３】磁性流体は磁気テープに用いられる鉄、コ
バルト・鉄等の合金微粒子を蒸気圧の低い天然油や、合
成油である高級アルキルベンゼン、高級アルキルナフタ
レン、ポリブテン等に分散したものを用いた。いずれの
材料も特に差は見られなかった。磁性流体に触れさせた
後に、弱いグロー放電をかけた場合とかけない場合につ
いて実施結果に差異は見られなかったので、後述する結
果のデータはない場合で統一し、従来例のみ強化グロー
処理と、通常グロー処理の２種類を確認した。夫々につ
いてプラズマＣＶＤ法により厚み１５ｎｍの硬質炭素膜
を形成し、更にパーフルオロステアリン酸を４ｎｍ塗布
し、反対面に厚み０．５μｍのバックコート層を配し、
６．３５mm幅の磁気テープにして評価した。評価は８mm
ビデオデッキを６．３５mm幅の磁気テープ評価用に改造
してビット長０．２４μｍ，トラックピッチ９μｍでビ
ットエラーレートの相対比較で行った。磁気テープの長
さは１００ｍとし、ランダムに５巻選び出して５巻の平
均値で表示した。本実施例による磁気記録媒体の特性と
比較例の磁気記録媒体の特性を（表１）に比較して示し
ている。
バルト・鉄等の合金微粒子を蒸気圧の低い天然油や、合
成油である高級アルキルベンゼン、高級アルキルナフタ
レン、ポリブテン等に分散したものを用いた。いずれの
材料も特に差は見られなかった。磁性流体に触れさせた
後に、弱いグロー放電をかけた場合とかけない場合につ
いて実施結果に差異は見られなかったので、後述する結
果のデータはない場合で統一し、従来例のみ強化グロー
処理と、通常グロー処理の２種類を確認した。夫々につ
いてプラズマＣＶＤ法により厚み１５ｎｍの硬質炭素膜
を形成し、更にパーフルオロステアリン酸を４ｎｍ塗布
し、反対面に厚み０．５μｍのバックコート層を配し、
６．３５mm幅の磁気テープにして評価した。評価は８mm
ビデオデッキを６．３５mm幅の磁気テープ評価用に改造
してビット長０．２４μｍ，トラックピッチ９μｍでビ
ットエラーレートの相対比較で行った。磁気テープの長
さは１００ｍとし、ランダムに５巻選び出して５巻の平
均値で表示した。本実施例による磁気記録媒体の特性と
比較例の磁気記録媒体の特性を（表１）に比較して示し
ている。
【００１４】
【表１】
【００１５】この（表１）から明らかなように、本実施
例によって製造された磁気記録媒体は、従来例がしわ
や、材料転写でビットエラーレートがばらつき、平均値
も大きいのに比し、狭トラック記録での高密度ディジタ
ル記録でビットエラーの少ないものを実現できるといっ
た優れた効果が得られる。
例によって製造された磁気記録媒体は、従来例がしわ
や、材料転写でビットエラーレートがばらつき、平均値
も大きいのに比し、狭トラック記録での高密度ディジタ
ル記録でビットエラーの少ないものを実現できるといっ
た優れた効果が得られる。
【００１６】以上の様に本実施例の製造方法によれば、
移動するフィルムに強磁性金属を電子ビーム蒸着した
後、回転支持体よりフィルムを引き離す部分に、磁性流
体を配することにより、フィルム上の静電気が磁性流体
を通して放電するか、補償されて見かけ上中和されて均
一な張力で搬送されることから薄くなっても皺などの表
面欠点がなくなって狭トラック記録での高密度ディジタ
ル記録でビットエラーの少ないものを実現できるといっ
た優れた効果が得られる。
移動するフィルムに強磁性金属を電子ビーム蒸着した
後、回転支持体よりフィルムを引き離す部分に、磁性流
体を配することにより、フィルム上の静電気が磁性流体
を通して放電するか、補償されて見かけ上中和されて均
一な張力で搬送されることから薄くなっても皺などの表
面欠点がなくなって狭トラック記録での高密度ディジタ
ル記録でビットエラーの少ないものを実現できるといっ
た優れた効果が得られる。
【００１７】（実施例２）以下本発明の第２の実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。図２は本発明の第
２の実施例の磁気記録媒体の製造方法を実施するための
磁気記録媒体の製造装置の要部構成図である。図２にお
いて図１と同一の構成要素で良い部分は同一の番号を付
与している。１５は磁性流体で、１６は磁性流体保持用
の磁界発生器で、１７はプラズマ発生容器、１８は放電
電極で、１９は電源装置である。尚プラズマ発生容器内
はあらかじめ排気し、（必要に応じて連続的に排気する
こともできる）外部より放電ガスを導入できるように構
成される。上記した構成により放電状態が極めて安定に
なることから、得られる薄膜の物性も均一で良好にな
る。
ついて図面を参照しながら説明する。図２は本発明の第
２の実施例の磁気記録媒体の製造方法を実施するための
磁気記録媒体の製造装置の要部構成図である。図２にお
いて図１と同一の構成要素で良い部分は同一の番号を付
与している。１５は磁性流体で、１６は磁性流体保持用
の磁界発生器で、１７はプラズマ発生容器、１８は放電
電極で、１９は電源装置である。尚プラズマ発生容器内
はあらかじめ排気し、（必要に応じて連続的に排気する
こともできる）外部より放電ガスを導入できるように構
成される。上記した構成により放電状態が極めて安定に
なることから、得られる薄膜の物性も均一で良好にな
る。
【００１８】上記した構成の装置により本発明を実施し
た。実際に製造された磁気記録媒体の特性を従来例、比
較例と対比することで本発明について具体的に詳しく説
明する。
た。実際に製造された磁気記録媒体の特性を従来例、比
較例と対比することで本発明について具体的に詳しく説
明する。
【００１９】厚み６μｍのポリイミドフィルム（平均粗
さ２０Å、ヤング率長手６００、幅６５０Kg／mm2）上
に平均粒子径２００ÅのＳｉＯ2を平均密度５０個／μ2
で塗布固定し、その上にメタンガスを用いプラズマ重合
膜を１ｎｍ（２Ａ），３ｎｍ（２Ｂ）形成した。プラズ
マ発生容器（内容積；０．０４ｍ3）とキャン（直径５
０cm）の間を初期設定として２mmとし、磁性流体でシー
ルした実施例と、磁性流体を配さずに試作した比較例を
準備した。放電電極には２０ｋHz、１．２〜２．１ＫＷ
を印加し、メタンガスを０．０２１／ｍｉｎ，導入し排
気は実施例のみ５１／ｓｅｃで行った。夫々に以下の条
件でＣｏ−Ｏ垂直磁化膜を形成した。Ｃｏはマグネシア
容器内で加速電子ビームによって加熱蒸発させて、入射
角が４４度から２０度の範囲で入射角が４４度側のマス
クの内側に酸素ガス導入ノズルを配し、０．７１／ｍｉ
ｎ導入し０．２μｍ蒸着した。それぞれ磁性膜の上にス
パッタリング法でダイヤモンド状硬質炭素膜を７０Å形
成した後パーフルオロアラキン酸を３０Å配し、０．５
μｍのバックコート層を配して夫々６．３５mm幅の磁気
テープに加工した。これらのテープを試験用のビデオに
よって６μトラック、ビット長０．２μのディジタル記
録を行いエラーレートを相対比較した。耐久性について
も４５℃、８５％ＲＨで１００パス履歴を加えた後のエ
ラーレートで評価した。本実施例による磁気記録媒体の
特性と従来磁気記録媒体の特性を（表２）に比較して示
している。
さ２０Å、ヤング率長手６００、幅６５０Kg／mm2）上
に平均粒子径２００ÅのＳｉＯ2を平均密度５０個／μ2
で塗布固定し、その上にメタンガスを用いプラズマ重合
膜を１ｎｍ（２Ａ），３ｎｍ（２Ｂ）形成した。プラズ
マ発生容器（内容積；０．０４ｍ3）とキャン（直径５
０cm）の間を初期設定として２mmとし、磁性流体でシー
ルした実施例と、磁性流体を配さずに試作した比較例を
準備した。放電電極には２０ｋHz、１．２〜２．１ＫＷ
を印加し、メタンガスを０．０２１／ｍｉｎ，導入し排
気は実施例のみ５１／ｓｅｃで行った。夫々に以下の条
件でＣｏ−Ｏ垂直磁化膜を形成した。Ｃｏはマグネシア
容器内で加速電子ビームによって加熱蒸発させて、入射
角が４４度から２０度の範囲で入射角が４４度側のマス
クの内側に酸素ガス導入ノズルを配し、０．７１／ｍｉ
ｎ導入し０．２μｍ蒸着した。それぞれ磁性膜の上にス
パッタリング法でダイヤモンド状硬質炭素膜を７０Å形
成した後パーフルオロアラキン酸を３０Å配し、０．５
μｍのバックコート層を配して夫々６．３５mm幅の磁気
テープに加工した。これらのテープを試験用のビデオに
よって６μトラック、ビット長０．２μのディジタル記
録を行いエラーレートを相対比較した。耐久性について
も４５℃、８５％ＲＨで１００パス履歴を加えた後のエ
ラーレートで評価した。本実施例による磁気記録媒体の
特性と従来磁気記録媒体の特性を（表２）に比較して示
している。
【００２０】
【表２】
【００２１】この（表２）から明らかなように、本実施
例により製造された磁気記録媒体は、狭トラック条件で
の高密度ディジタル記録を良好なエラー率で行うことが
できるといった優れた効果がある。
例により製造された磁気記録媒体は、狭トラック条件で
の高密度ディジタル記録を良好なエラー率で行うことが
できるといった優れた効果がある。
【００２２】実施例は磁性層を形成する前にプラズマ蒸
着する場合の効果について述べたが、磁性層の形成後に
プラズマ蒸着し、炭素膜、酸化膜、プラズマ重合膜を形
成する場合も同様に顕著な改善効果があるのは言うまで
もない。
着する場合の効果について述べたが、磁性層の形成後に
プラズマ蒸着し、炭素膜、酸化膜、プラズマ重合膜を形
成する場合も同様に顕著な改善効果があるのは言うまで
もない。
【００２３】以上のように本実施例によれば移動するフ
ィルム上にプラズマ蒸着する際プラズマ発生容器とフィ
ルムの隙間部分に磁性流体を配することで、製造された
磁気記録媒体は、狭トラック条件での高密度ディジタル
記録を良好なエラー率で行うことができるといった優れ
た効果がある。
ィルム上にプラズマ蒸着する際プラズマ発生容器とフィ
ルムの隙間部分に磁性流体を配することで、製造された
磁気記録媒体は、狭トラック条件での高密度ディジタル
記録を良好なエラー率で行うことができるといった優れ
た効果がある。
【００２４】
【発明の効果】以上の様に本発明によれば、移動するフ
ィルムに強磁性金属を電子ビーム蒸着した後、回転支持
体よりフィルムを引き離す部分に、磁性流体を配するこ
とにより、フィルム上の静電気が磁性流体を通して放電
するか、補償されて見かけ上中和されて均一な張力で搬
送されることから薄くなってもしわなどの表面欠点がな
くなって狭トラック記録での高密度ディジタル記録でビ
ットエラーの少ないものを実現できるといった優れた効
果が得られる。
ィルムに強磁性金属を電子ビーム蒸着した後、回転支持
体よりフィルムを引き離す部分に、磁性流体を配するこ
とにより、フィルム上の静電気が磁性流体を通して放電
するか、補償されて見かけ上中和されて均一な張力で搬
送されることから薄くなってもしわなどの表面欠点がな
くなって狭トラック記録での高密度ディジタル記録でビ
ットエラーの少ないものを実現できるといった優れた効
果が得られる。
【図１】本発明の第１の実施例における磁気記録媒体の
製造に用いた蒸着装置の要部拡大断面図
製造に用いた蒸着装置の要部拡大断面図
【図２】本発明の第２の実施例における磁気記録媒体の
製造に用いた装置の要部拡大断面図
製造に用いた装置の要部拡大断面図
【図３】従来の磁気記録媒体の製造に用いた蒸着装置の
要部拡大断面図
要部拡大断面図
１２ 磁性流体 １３ 隔壁 １５ 磁性流体 １６ 保持用磁界発生器
Claims (2)
- 【請求項１】 移動するフィルムに強磁性金属を電子ビ
ーム蒸着した後、回転支持体よりフィルムを引き離す部
分に、磁性流体を配することを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法。 - 【請求項２】 移動する磁性金属を配したフィルム上に
プラズマ蒸着する際プラズマ発生容器とフィルムの隙間
部分に磁性流体を配することを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26081893A JP2833444B2 (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26081893A JP2833444B2 (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07114731A true JPH07114731A (ja) | 1995-05-02 |
| JP2833444B2 JP2833444B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=17353188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26081893A Expired - Fee Related JP2833444B2 (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2833444B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008075164A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Toppan Printing Co Ltd | 巻取式真空蒸着方法及び装置 |
-
1993
- 1993-10-19 JP JP26081893A patent/JP2833444B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008075164A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Toppan Printing Co Ltd | 巻取式真空蒸着方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2833444B2 (ja) | 1998-12-09 |
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