JPS63251929A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS63251929A JPS63251929A JP62086032A JP8603287A JPS63251929A JP S63251929 A JPS63251929 A JP S63251929A JP 62086032 A JP62086032 A JP 62086032A JP 8603287 A JP8603287 A JP 8603287A JP S63251929 A JPS63251929 A JP S63251929A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- magnetic recording
- durability
- gaseous
- recording medium
- Prior art date
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- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
窒業上の利用分野
本発明は、録音、録画、コンピュータ等の分野で利用さ
れる磁気記録の高密度化に適した強磁性金属薄膜を磁気
記録層とした磁気記録媒体の製造方法に関する。
れる磁気記録の高密度化に適した強磁性金属薄膜を磁気
記録層とした磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来の技術
強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体は、短
波長出力が大きいことから、今後、一層進展が予測され
る高密度磁気記録に不可欠の媒体として位置づけされ開
発が進められている〔外国論文誌：アイイーイーイー
トランザクシロンズオンーｒｆ＄ティクス（ＩＥＥＥ
ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧＮＥＴＩＣ
８）ｖｏｌ、ＭＡＧ−２１、ｐ、ｐ、１２１７〜１２２
０ 、 （１９８５） ）。一般に、かかる構成の磁気
記録媒体は、高分子フィルムを円筒キャンに沿わせて巻
き取りながら、スパッタリング法、電界蒸着法、イオン
ブレーティング法、電子ビーム蒸着法などで、強磁性金
属薄膜を高分子フィルム上に形成することで磁気記録層
の形成が行われる〔特開昭５３−４２０１０．電子通信
学会、磁気記録研究会資料ＭＲｓ１−２（１９８１）、
特開昭６１−１８６４７５号公報等〕。
波長出力が大きいことから、今後、一層進展が予測され
る高密度磁気記録に不可欠の媒体として位置づけされ開
発が進められている〔外国論文誌：アイイーイーイー
トランザクシロンズオンーｒｆ＄ティクス（ＩＥＥＥ
ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧＮＥＴＩＣ
８）ｖｏｌ、ＭＡＧ−２１、ｐ、ｐ、１２１７〜１２２
０ 、 （１９８５） ）。一般に、かかる構成の磁気
記録媒体は、高分子フィルムを円筒キャンに沿わせて巻
き取りながら、スパッタリング法、電界蒸着法、イオン
ブレーティング法、電子ビーム蒸着法などで、強磁性金
属薄膜を高分子フィルム上に形成することで磁気記録層
の形成が行われる〔特開昭５３−４２０１０．電子通信
学会、磁気記録研究会資料ＭＲｓ１−２（１９８１）、
特開昭６１−１８６４７５号公報等〕。
第２図は、磁気記録媒体の製造に用いられる蒸着装置の
一例の要部構成図である。第２図で１は電子ビーム発生
器、２は蒸発源容器、３は防着ユニット、４は円筒キャ
ン、６はフリーローラー系、６はグロー処理電極、ユニ
ット、７はシャッター、８は送り出し軸、９は巻取り軸
である。
一例の要部構成図である。第２図で１は電子ビーム発生
器、２は蒸発源容器、３は防着ユニット、４は円筒キャ
ン、６はフリーローラー系、６はグロー処理電極、ユニ
ット、７はシャッター、８は送り出し軸、９は巻取り軸
である。
第２図の装置を用いて、８に装着されたポリエステルフ
ィルムは、円筒キャン４に沿って移動すろ過程で、グロ
ー放電処理（６により）され、限定された入射角のＣｏ
−Ｎｉ 、Ｃｏ−Ｃｒ等の蒸気流で磁気記録層の形成
が行われるが、この過程で酸素ガス等の酸化性のガスを
導入することがよく用いられている。
ィルムは、円筒キャン４に沿って移動すろ過程で、グロ
ー放電処理（６により）され、限定された入射角のＣｏ
−Ｎｉ 、Ｃｏ−Ｃｒ等の蒸気流で磁気記録層の形成
が行われるが、この過程で酸素ガス等の酸化性のガスを
導入することがよく用いられている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記した構成では、磁気特性と耐久性の両
者を調和させて高速で磁気記録媒体を製造することがで
きないため改善が望まれていた。
者を調和させて高速で磁気記録媒体を製造することがで
きないため改善が望まれていた。
本発明は上記した磁気記録媒体製造上の課題を解決する
ためのもので、耐久性と磁気特性を満足せしめた上で、
磁気記録媒体の製造を高速で行える方法を提供するもの
である。
ためのもので、耐久性と磁気特性を満足せしめた上で、
磁気記録媒体の製造を高速で行える方法を提供するもの
である。
問題点を解決するための手段
上記した問題点を解決するために、本発明の磁気記録媒
体の製造方法は、回転支持体に沿って移動する高分子フ
ィルム上に、斜め蒸着法により強磁性金属薄膜を形成す
る際、酸素ガスとモノマーガスを同時に導入し、蒸着後
、グロー放電処理するようにしたものである。
体の製造方法は、回転支持体に沿って移動する高分子フ
ィルム上に、斜め蒸着法により強磁性金属薄膜を形成す
る際、酸素ガスとモノマーガスを同時に導入し、蒸着後
、グロー放電処理するようにしたものである。
作 用
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上記した構成によ
り、柱状粒子間の磁気的分離が良好になるため、磁気特
性が改良され、モノマーガスの重合層が柱状粒子と一体
化されて出来るため、耐久性も向上するのと、重合層部
の厚みが薄くても耐久性が確保されるので、磁気特性の
みならず、電磁変換特性（Ｃ／Ｎ）も改善されることに
なるものである。
り、柱状粒子間の磁気的分離が良好になるため、磁気特
性が改良され、モノマーガスの重合層が柱状粒子と一体
化されて出来るため、耐久性も向上するのと、重合層部
の厚みが薄くても耐久性が確保されるので、磁気特性の
みならず、電磁変換特性（Ｃ／Ｎ）も改善されることに
なるものである。
実施例
以下、図面を参照しながら、本発明の磁気記録媒体の製
造方法の一実施例について説明する。
造方法の一実施例について説明する。
第１図は本発明を実施するために用いた蒸着装置の内部
構成製図で、第１図で１０は回転支持体で１１は高分子
フィルム、１２は送り出し軸、１３は巻取り軸、１４は
電子ビーム加熱式の蒸発源、１６は最小入射角を決める
マスク、１ｅはガス導入ボートで、酸素ガスとモノマー
ガスの混合ガスを導入するためのボートである。１７は
グロー処理電極、１８はカバーで放電が安定するように
、圧力制御を容易にするためのほぼ閉じられた空間形成
を行うためのものである。
構成製図で、第１図で１０は回転支持体で１１は高分子
フィルム、１２は送り出し軸、１３は巻取り軸、１４は
電子ビーム加熱式の蒸発源、１６は最小入射角を決める
マスク、１ｅはガス導入ボートで、酸素ガスとモノマー
ガスの混合ガスを導入するためのボートである。１７は
グロー処理電極、１８はカバーで放電が安定するように
、圧力制御を容易にするためのほぼ閉じられた空間形成
を行うためのものである。
第１図で、回転支持体として、直径１ｍの円筒状キャン
を用い、直下３７（７）に、電子ビーム蒸発源を配し、
ＣｏＮ１（Ｎｉ ２０ｗｔ％）を蒸発源容器に仕込み、
最小入射角４８〜３０度で、蒸着ができるようにした。
を用い、直下３７（７）に、電子ビーム蒸発源を配し、
ＣｏＮ１（Ｎｉ ２０ｗｔ％）を蒸発源容器に仕込み、
最小入射角４８〜３０度で、蒸着ができるようにした。
グロー処理電極は、曲率半径５３０のアルミ製で、周長
４ｏ（７）のものを用い、１６曲の電界が与えられるよ
う構成した。ガス導入ポートは、最小入射角に近い位置
に配し、全体の排気は、油拡散ポンプに液体窒素トラッ
プをつけて行えるようにし、ガス導入前に、５〜６ ｘ
１０ （Ｔｏｒｒ）まで排気するようにした。
４ｏ（７）のものを用い、１６曲の電界が与えられるよ
う構成した。ガス導入ポートは、最小入射角に近い位置
に配し、全体の排気は、油拡散ポンプに液体窒素トラッ
プをつけて行えるようにし、ガス導入前に、５〜６ ｘ
１０ （Ｔｏｒｒ）まで排気するようにした。
厚み１０μｍの両面に１００人のミミズ状突超を配した
ポリエチレンテレフタレートを用い、酸素を０．ａ ［
： ｎ／ｖｔＭ’Ｊ導入し、Ｃｏ−Ｎｉを０．１２μｍ
蒸着したものを従来例として準備し、別のプラズマ重合
装置でスチレンモノマーを用いて、表面に、プラズマ重
合層を４００人形成した後８ミリ幅の磁気テープＡを得
た。
ポリエチレンテレフタレートを用い、酸素を０．ａ ［
： ｎ／ｖｔＭ’Ｊ導入し、Ｃｏ−Ｎｉを０．１２μｍ
蒸着したものを従来例として準備し、別のプラズマ重合
装置でスチレンモノマーを用いて、表面に、プラズマ重
合層を４００人形成した後８ミリ幅の磁気テープＡを得
た。
同じポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、Ｃｏ
−１’Ｈを０．１２μｍ蒸着する際、酸素を０．５ 〔
ｆｌ／ｙｒｉｎ〕、 スチレンモノマーを０．０６ （
ｆｌ／ｍｉｎ：）導入し、アルゴンガスを０．０９ Ｃ
Ｉ！、 ／ｍｉｎ〕導入しながら、２９０Ｖ、０．２Ａ
のグロー放電処理を行ったものを８ミリ幅のテープＢと
して実施した。
−１’Ｈを０．１２μｍ蒸着する際、酸素を０．５ 〔
ｆｌ／ｙｒｉｎ〕、 スチレンモノマーを０．０６ （
ｆｌ／ｍｉｎ：）導入し、アルゴンガスを０．０９ Ｃ
Ｉ！、 ／ｍｉｎ〕導入しながら、２９０Ｖ、０．２Ａ
のグロー放電処理を行ったものを８ミリ幅のテープＢと
して実施した。
尚この時、最小入射角は３０度とした。
磁気特性の両者比較を行ったところ、保磁力はテープＡ
が１ｏｔｓｏ （Ｏｅ ） 、テープＢが１１００ （
Ｏｅ）であった。
が１ｏｔｓｏ （Ｏｅ ） 、テープＢが１１００ （
Ｏｅ）であった。
市販の８ミリビデオ（ＶＸ−ｓｏｌ、机下電器製）によ
りＣ／Ｎを比較したところ、テープＡよりテープＢの方
が５．２ （ｄＢ）Ｃ／Ｎが良好であった。
りＣ／Ｎを比較したところ、テープＡよりテープＢの方
が５．２ （ｄＢ）Ｃ／Ｎが良好であった。
２０′０３０％ＲＨでスチル再生をして比較したところ
、テープＡ、テープＢともに、３ｅ分画面に異常はみら
れなかった。
、テープＡ、テープＢともに、３ｅ分画面に異常はみら
れなかった。
以上よシ本実施例は、蒸着時のフィルムの巻取り速度が
従来例の１．９倍と高速にも拘らず、スチル耐久性は４
００人の厚みのプラズマ重合膜を配した従来例に比べそ
ん色のないもので、且つ、電磁変換特性、保磁力とも有
価値性が高いことがわかる。
従来例の１．９倍と高速にも拘らず、スチル耐久性は４
００人の厚みのプラズマ重合膜を配した従来例に比べそ
ん色のないもので、且つ、電磁変換特性、保磁力とも有
価値性が高いことがわかる。
尚、上記した一列に限定されるものでないことは勿論で
、高分子フィルムとしてポリエチレンナフタレート、ポ
リエーテルサルフオン、ポリフェニレンサルファイド、
ポリイミド等についても適用可能であり、強磁性金、属
薄膜も、Ｃｏ、Ｃｏ−Ｆｅ。
、高分子フィルムとしてポリエチレンナフタレート、ポ
リエーテルサルフオン、ポリフェニレンサルファイド、
ポリイミド等についても適用可能であり、強磁性金、属
薄膜も、Ｃｏ、Ｃｏ−Ｆｅ。
Ｃｏ−Ｃｒ 、Ｃｏ−Ｃｕ 、Ｃｏ −Ａｇ 、Ｃｏ−
Ｒｎ 、Ｃｏ−Ｒｕ 。
Ｒｎ 、Ｃｏ−Ｒｕ 。
Ｃｏ−Ｐｔ 、Ｃｏ −Ｍｏ 、Ｃｏ −Ｎｂ 、Ｃｏ
−Ｎｉ−Ｐｒ 、等についても適用できる。
−Ｎｉ−Ｐｒ 、等についても適用できる。
モノマーガスは、炭化水素系、フッ素系、シリコーン不
等適宜選択できる。
等適宜選択できる。
製造する磁気記録媒体に、潤滑剤が配されるかどうかや
、バックコートが配されるか、両面蒸着型とするか等の
選択は全く自由である。
、バックコートが配されるか、両面蒸着型とするか等の
選択は全く自由である。
発明の効果
以上のように本発明によれば、Ｃ／Ｎ 、磁気特性、耐
久性をバランスよく改良した磁気記録媒体が高速で製造
できるといったすぐれた効果がある。
久性をバランスよく改良した磁気記録媒体が高速で製造
できるといったすぐれた効果がある。
第１図は本発明の実施に用いた蒸着装置の内部構成要因
、第２図は従来の蒸着装置の構成図である。 １０・・・・回転支持体、１１・・・・・高分子フィル
ム、１４・・・・・・蒸発源、１６・・・・・ガス導入
ボード（０２／モノマーガス）、１７・・・・・・グロ
ー処理電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ＩＱ
−−− ＠転吏許惨 第２図
、第２図は従来の蒸着装置の構成図である。 １０・・・・回転支持体、１１・・・・・高分子フィル
ム、１４・・・・・・蒸発源、１６・・・・・ガス導入
ボード（０２／モノマーガス）、１７・・・・・・グロ
ー処理電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ＩＱ
−−− ＠転吏許惨 第２図
Claims (1)
- 回転支持体に沿って移動する高分子フィルム上に、斜め
蒸着により強磁性金属薄膜を形成する際、酸素ガスとモ
ノマーガスを同時に導入し、蒸着後、グロー放電処理す
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8603287A JPH07105046B2 (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8603287A JPH07105046B2 (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63251929A true JPS63251929A (ja) | 1988-10-19 |
| JPH07105046B2 JPH07105046B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=13875321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8603287A Expired - Lifetime JPH07105046B2 (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07105046B2 (ja) |
-
1987
- 1987-04-08 JP JP8603287A patent/JPH07105046B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07105046B2 (ja) | 1995-11-13 |
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